JP5560602B2 - 光導波路 - Google Patents
光導波路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5560602B2 JP5560602B2 JP2009168943A JP2009168943A JP5560602B2 JP 5560602 B2 JP5560602 B2 JP 5560602B2 JP 2009168943 A JP2009168943 A JP 2009168943A JP 2009168943 A JP2009168943 A JP 2009168943A JP 5560602 B2 JP5560602 B2 JP 5560602B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- waveguide
- region
- spot size
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について、図1A,図1Bを用いて説明する。図1Aは、本実施の形態1における光導波路の構成を示す平面図である。また、図1Bは、実施の形態1における光導波路の導波方向に平行な断面を示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態2について、図2A〜2D,図3を用いて説明する。図2Aは、本実施の形態2における光導波路の構成を示す平面図である。また、図2Bは、実施の形態2における光導波路の導波方向に平行な断面を示す断面図である。また、図2Cは、図2Aのcc’線の断面を示し、図2Dは、図2Aのdd’線の断面を示している。
次に、本発明の実施の形態3について、図6Aおよび図6Bを用いて説明する。図6Aおよび図6Bは、本実施の形態3における光導波路の構成を示す平面図である。
Claims (1)
- 下部クラッド層と、
この下部クラッド層の上の導波領域からスポットサイズ変換領域にかけて形成され、前記スポットサイズ変換領域の終端となる光入出射端の手前に一端を備える第1コアと、
前記スポットサイズ変換領域で前記第1コアを覆って前記下部クラッド層の上に形成された第2コアと、
前記第1コアおよび前記第2コアを覆って前記下部クラッド層の上に形成された上部クラッド層と
を少なくとも備え、
前記第1コアは、前記第2コアに覆われている領域で前記一端にかけて先細りに形成され、
前記第2コアは、前記スポットサイズ変換領域の開始端にかけて先細りに形成され、
前記第2コアの屈折率は、前記第1コアより小さく前記下部クラッド層および前記上部クラッド層より大きくされ、
前記第1コアは、前記開始端の手前の前記導波領域で、導波する光の基本モードが維持される範囲で、前記開始端にかけて徐々に太くなる形状傾斜領域を備え、
前記第1コアの一端の箇所における前記第2コアの断面積は、導波する光の単一モード条件が維持される範囲で前記スポットサイズ変換領域の開始端より大きくされ、
前記第2コアは、前記光入出射端の手前で、導波する光の基本モードが維持される範囲で、前記光入出射端にかけて徐々に径が変化する形状傾斜領域を備え、
前記スポットサイズ変換領域の導波方向は、前記光入出射端の平面に対して直角より傾斜している
ことを特徴とする光導波路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168943A JP5560602B2 (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | 光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168943A JP5560602B2 (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | 光導波路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011022464A JP2011022464A (ja) | 2011-02-03 |
JP5560602B2 true JP5560602B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=43632572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009168943A Expired - Fee Related JP5560602B2 (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | 光導波路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5560602B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5659866B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2015-01-28 | 住友電気工業株式会社 | スポットサイズ変換器 |
JP5900100B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-04-06 | 富士通株式会社 | スポットサイズ変換素子の製造方法およびスポットサイズ変換素子付き光導波路 |
WO2014203568A1 (ja) | 2013-06-21 | 2014-12-24 | 古河電気工業株式会社 | スポットサイズ変換光導波路 |
GB201319207D0 (en) * | 2013-10-31 | 2013-12-18 | Ibm | Photonic circuit device with on-chip optical gain measurement structures |
JP6295762B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-03-20 | 日本電気株式会社 | 光集積回路とその製造方法 |
JP6335609B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2018-05-30 | 三菱電機株式会社 | スポットサイズ変換素子および半導体装置 |
KR20160147018A (ko) | 2014-04-30 | 2016-12-21 | 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 | 저손실 모드 컨버터를 위한 역 테이퍼 도파관 |
JP6012801B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-25 | 沖電気工業株式会社 | スポットサイズ変換器 |
JP6730583B2 (ja) * | 2016-02-12 | 2020-07-29 | 富士通株式会社 | 光半導体装置及びその製造方法 |
JP6387373B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2018-09-05 | 株式会社フジクラ | 微小光回路および光モード変換器 |
JP2019020689A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | 日本電信電話株式会社 | 光電子集積素子 |
CN108132499B (zh) * | 2018-02-02 | 2024-05-31 | 苏州易缆微光电技术有限公司 | 基于多层聚合物结构的硅波导模斑转换器及其制备方法 |
CN109324372B (zh) * | 2018-11-09 | 2024-02-09 | 熠谱(上海)半导体制造有限公司 | 一种硅光波导端面耦合器 |
CN112630886B (zh) * | 2020-12-22 | 2024-07-12 | 联合微电子中心有限责任公司 | 端面耦合器及其制造方法 |
CN113809634A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-12-17 | 中山大学 | 一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器 |
CN115857097B (zh) * | 2023-02-21 | 2023-06-20 | 苏州旭创科技有限公司 | 阵列波导光栅 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06174982A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光結合デバイス |
JP3318406B2 (ja) * | 1993-10-13 | 2002-08-26 | 京セラ株式会社 | 光導波路、光導波路と光ファイバの接続装置 |
US6631225B2 (en) * | 2000-07-10 | 2003-10-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Mode coupler between low index difference waveguide and high index difference waveguide |
US6870987B2 (en) * | 2002-08-20 | 2005-03-22 | Lnl Technologies, Inc. | Embedded mode converter |
JP2004133446A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光モジュール及び製造方法 |
JP4169270B2 (ja) * | 2003-12-08 | 2008-10-22 | 日本電信電話株式会社 | 近接場光学用プローブ及びその製造方法 |
JP2005331967A (ja) * | 2005-06-24 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 光結合装置 |
JP4549949B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2010-09-22 | 株式会社フジクラ | 光学素子 |
JP5240583B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-07-17 | 日本電気株式会社 | 光導波路及びこれを用いたスポットサイズ変換器 |
-
2009
- 2009-07-17 JP JP2009168943A patent/JP5560602B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011022464A (ja) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5560602B2 (ja) | 光導波路 | |
JP5811273B2 (ja) | 光素子、光送信素子、光受信素子、ハイブリッドレーザ、光送信装置 | |
JP6175263B2 (ja) | スポットサイズ変換器、その製造方法及び光集積回路装置 | |
Yamada et al. | Si photonic wire waveguide devices | |
JP5290534B2 (ja) | 光集積回路および光集積回路モジュール | |
US20070036500A1 (en) | Optical integrated device and optical control device | |
CN113777708B (zh) | 模变换器 | |
JP5212475B2 (ja) | 波長可変光送信機 | |
JP2017069494A (ja) | 半導体発光装置及び光送受信器 | |
JP5357214B2 (ja) | 光集積回路 | |
JP2011165712A (ja) | 半導体光増幅器モジュール | |
JP2011102819A (ja) | ハイブリッド集積光モジュール | |
JP7400843B2 (ja) | 光素子の製造方法 | |
JP3434986B2 (ja) | 光合分波回路 | |
JP4457296B2 (ja) | 光遅延回路、集積光素子および集積光素子の製造方法 | |
JP4946793B2 (ja) | 光配線を備えた電子装置及びその光配線 | |
JP2012042849A (ja) | 光導波路デバイス | |
JP2013251401A (ja) | 光送信器 | |
JP2003207665A (ja) | 光導波路 | |
JP2008281639A (ja) | 光偏向素子、光偏向モジュール及び光スイッチモジュール、並びに光偏向方法 | |
WO2023276053A1 (ja) | 光デバイス | |
JP2005506572A (ja) | 光フィルタ | |
US7336855B1 (en) | Integration of a waveguide self-electrooptic effect device and a vertically coupled interconnect waveguide | |
WO2023095278A1 (ja) | 光素子、光集積素子および光素子の製造方法 | |
JP2000298222A (ja) | 光回路素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5560602 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |