JP5553538B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
次に、実施例及び比較例により本発明を更に詳細に説明する。
電熱変換素子2を複数個配置したSiウエハ基板1上に、ポリエーテルアミド層を成膜して100℃で30分間加熱し、次いで250℃で1時間加熱した。こうして塗布溶剤を蒸発させて、厚さ2.0μmの層にした。それから、このポリエーテルアミド層上にレジストを塗布してパターニングし、O2アッシングによりポリエーテルアミド層のパターニングを行った。その後に、マスクとして使用したレジストを剥離することによって、ポリエーテルアミドからなる密着向上層3を形成した(図1(a))。
実施例1と異なる点は、溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について重量比でポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=70:30とした点である。それ以外は実施例1と同様に行った。
実施例1と異なる点は、溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について重量比でポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=60:40とした点である。それ以外は実施例1と同様に行った。
実施例1と異なる点は、溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について重量比でポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=50:50とした点である。それ以外は実施例1と同様に行った。
実施例1と異なる点は、以下の2点である。それ以外は実施例1と同様に行った。溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)の組成比を、重量比でメタクリル酸メチル(MMA):メタクリル酸(MAA)=95:5とした。また、ポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=70:30とした。
実施例1と異なる点は、以下の2点である。それ以外は実施例1と同様に行った。溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)の組成比を、重量比でメタクリル酸メチル(MMA):メタクリル酸(MAA)=90:10とした。また、ポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=70:30とした。
実施例1と異なる点は、以下の2点である。それ以外は実施例1と同様に行った。溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)の組成比を、重量比でメタクリル酸メチル(MMA):メタクリル酸(MAA)=70:30とした。また、ポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=70:30とした。
実施例1と異なる点は、以下の2点である。それ以外は実施例1と同様に行った。溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)の組成比を、重量比でメタクリル酸メチル(MMA):メタクリル酸(MAA)=90:10とした。また、ポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=50:50とした。
実施例1と異なる点は、以下の2点である。それ以外は実施例1と同様に行った。溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)の組成比を、重量比でメタクリル酸メチル(MMA):メタクリル酸(MAA)=70:30とした。また、ポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK):共重合体(PMMA)=50:50とした。
実施例1と異なる点は、溶液状のポジ型感光性樹脂組成物について、共重合体(PMMA)を混合せず、ポリメチルイソプロペニルケトンのみを使用した。それ以外は実施例1と同様に行った。
垂直性:流路パターンの底部角θ(側壁パターン側と基板とが成す角)
で評価。
△:θ<85°
○:85°≦θ<90°
◎:θ≒90°
現像性:流路パターンの外観を観察して評価。
○:パターン表面に若干凹凸が見られる場合があるが、基板上に残渣が無い。
◎:パターン表面に凹凸は見られず、基板上に残渣も無い。
2 エネルギー発生素子
3 密着向上層
4 型
5 流路壁部材
6 吐出口
Claims (5)
- 液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路の壁を有する流路壁部材を備えた液体吐出ヘッドの製造方法において、
ポリメチルイソプロペニルケトンと、メタクリル酸とメタクリレートとの共重合体と、の混合物を含む層を基板上に設ける工程と、
前記混合物を含む層に対して、250nm以上の波長のみの光を用いて露光を行った後に現像を行い、前記層から前記流路の型を形成する工程と、
前記流路壁部材となる層を、前記型を被覆するように前記基板上に設ける工程と、
前記型を除去して前記流路を形成する工程と、
を有し、前記混合物には、前記ポリメチルイソプロペニルケトンと前記共重合体との重量の総和に対して、50重量パーセント以上70重量パーセント以下の割合で前記ポリメチルイソプロペニルケトンが含まれることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記共重合体は、前記メタクリル酸の重量と前記メタクリレートの重量との総和に対して、20重量パーセント以下の割合で前記メタクリル酸が使用されて形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記型の厚さは、10μm以上25μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記共重合体の分子量が10000以上50000以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記混合物には、前記ポリメチルイソプロペニルケトンと前記共重合体との重量の総和に対して、15重量パーセント以上50重量パーセント以下の割合で共重合体が含まれることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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