JP5544636B2 - Tomography equipment - Google Patents
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Description
本発明は、被検体を透過した放射線を検出し、得られた透過像から被検体の異なる層ごとの構造を抽出して検査を行なう断層撮影装置に関する。 The present invention relates to a tomography apparatus that detects radiation transmitted through a subject, extracts a structure for each different layer of the subject from an obtained transmission image, and performs an examination.
従来の断層撮影装置(ラミノグラフやトモシンセシス装置とも呼ばれる)は、透過方向を変えた透過像をデジタル画像として多数収集し、計算機で互いにずらして加算することで所望する層にピントのあった断層像を作成している。この断層像によれば、多くの構造物が重なっても、所望する層の上下に離れた層はボケるためこの1つの層が明瞭に観察できる。 Conventional tomography devices (also called laminographs and tomosynthesis devices) collect a large number of transmission images with different transmission directions as digital images, and add them while shifting them with a computer. Creating. According to this tomographic image, even if many structures are overlapped, a layer separated from the upper and lower sides of a desired layer is blurred, so that this one layer can be clearly observed.
断層撮影装置の用途は、例えば、電子部品が実装された基板の検査などに用いられ、これにより、基板の1つの層の断層像を作ることで、他の層に影響されずに、例えば、電子部品と基板の接合状態を検査することができる。 The use of the tomography apparatus is used for, for example, inspection of a substrate on which electronic components are mounted, and thereby, by creating a tomographic image of one layer of the substrate, it is not affected by other layers, for example, The bonding state of the electronic component and the substrate can be inspected.
図14は従来の断層撮影装置の型式別の模式図である。 FIG. 14 is a schematic view of each type of conventional tomography apparatus.
図14(a)は直進型ラミノグラフで、例えば、特許文献1にあるように、角錐放射線ビーム中に被検体を直進移動させることで、透過方向を変えた透過像を収集している。X線管101と、X線管101から放射されるX線ビーム102を検出する2次元のX線検出器103が配置され、XY機構104で被検体105を、検出面103aに沿ったX方向に走査させて多数の透過像を撮影する。そして、これらの透過像をX方向に所定量ずらしながら加算して検出面103aに平行な任意の高さの断層像を得る。ここで、XY機構104は、断層撮影の走査以外に、被検体105の(X,Y方向の)断層撮影部位を変更するための移動にも用いられる。 FIG. 14A is a rectilinear laminograph. For example, as disclosed in
図14(b)は円型ラミノグラフで、これは、被検体に対し円錐に沿って透過方向を変えて透過像を収集している。被検体106をXY機構107上に載置し、被検体106に対してX線ビーム108の透過方向が円錐に沿って変化するよう回転軸RAに対してX線管109と回転軸RAに対して垂直な検出面110aを持つ2次元のX線検出器110を同期して公転させ多数の透過像を撮影する。そして、これらの透過像を円形に所定量ずらしながら加算して検出面110aに平行な任意の高さの断層像を得る。ここで、XY機構107は、被検体106の断層撮影部位を変更するための移動に用いられる。 FIG. 14B is a circular laminograph, which collects transmission images by changing the transmission direction along the cone with respect to the subject. The
図14(c)は自転型ラミノグラフで、これは、X線ビームの中で被検体を自転させて透過方向を変えて透過像を収集している。X線管111が放射するX線ビーム112の中でX線ビーム112に対し90度に満たない角度で交差する回転軸RAに対し被検体113を自転させて、被検体113を透過したX線ビーム112を回転軸RAに対し垂直な検出面114aを持つX線検出器114で検出し多数の透過像を撮影する。そして、これらの透過像を円形に所定量ずらしながら、かつ所定量回転させながら加算して回転軸RAに垂直な任意の高さの断層像を得る。ここで被検体113はXY機構115を介して回転機構116に保持され、XY機構115は、被検体113の断層撮影部位を変更するための移動に用いられる。 FIG. 14C is a rotational laminograph, which collects transmission images by rotating the subject in the X-ray beam and changing the transmission direction. The X-ray transmitted through the
従来の断層撮影装置で、例えば、電子部品が実装された基板を検査する場合、XY機構を用いて基板をこの基板の面に沿って移動させ、撮影する部位を選択して断層撮影できるようになっている。 For example, when a conventional tomography apparatus inspects a substrate on which electronic components are mounted, the substrate can be moved along the surface of the substrate using an XY mechanism, and a tomographic image can be selected by selecting a region to be imaged. It has become.
図14(a)に示す直進型ラミノグラフの場合、断層撮影部位の選択はXY機構104によるX方向とY方向の移動で行い、断層撮影走査もXY機構104によるX移動で行うことができ、機構に無駄が無い。しかし、直進型ラミノグラフによる断層像はピントのあった層以外の層は走査方向に直線的にボケるため、走査方向を向いた直線状の配線パターンなどがあるとボケずに断層像に残存してしまい、検査の邪魔になることがある。これが、直進型ラミノグラフの欠点である。 In the case of the straight-ahead laminograph shown in FIG. 14A, the tomographic region can be selected by movement in the X and Y directions by the
この点で、図14(b)に示す円型ラミノグラフの場合、ピントのあった層以外の層は円形にボケるので直線状の配線パターンなども良好にボケるためピントのあった層だけが明瞭に観察できる。 In this regard, in the case of the circular laminograph shown in FIG. 14B, since the layers other than the focused layer are blurred in a circle, the linear wiring pattern is also well blurred, so only the focused layer is present. It can be observed clearly.
しかし、円型ラミノグラフの場合、断層撮影部位の選択を行うXY機構107とは別に、X線管109とX線検出器110を公転させる機構を必要とする。X線管109は大きくて重く、また、X線検出器110は自転させず公転のみ行わせるので、複雑で大型の公転機構が別に必要になるという問題がある。 However, in the case of a circular laminograph, a mechanism for revolving the
図14(c)に示す自転型ラミノグラフの場合も、ピントのあった層以外の層は円形にボケるので直線状の配線パターンなども良好にボケるためピントのあった層だけが明瞭に観察できる。 Also in the case of the rotation type laminograph shown in FIG. 14C, the layers other than the focused layer are blurred in a circle, so that the linear wiring pattern is well blurred, so only the focused layer is clearly observed. it can.
しかしまた、自転型ラミノグラフの場合、断層撮影部位の選択を行うXY機構115とは別に、被検体113をXY機構115と共に自転させる回転機構116を必要とする。面積の大きな被検体113をXY移動させるのでXY機構115は大きくて重く、このため、大型で重い回転機構116が別に必要になるという問題がある。 However, in the case of the rotation-type laminograph, a
従って、本発明は、所望する層だけが明瞭に観察できる断層像を簡便な機構で撮影する断層撮影装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a tomographic apparatus that captures a tomographic image in which only a desired layer can be clearly observed with a simple mechanism.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の断層撮影装置は、水平な載置面を有するテーブルと、前記テーブルに載置された被検体に対しX線焦点よりX線を放射するX線源と、前記被検体を透過してくるX線を2次元の分解能で検出して透過データである透過像を出力するX線検出器と、前記テーブルを水平面内で互いに直交するX方向とY方向に移動させるXY機構と、前記XY機構を制御して前記テーブルを前記X方向とY方向の移動を組合わせて所定位置X0、Y0を中心とした所定の移動範囲の中を2次元的に移動させる機構制御手段と、前記移動の複数位置で前記X線検出器が検出して出力した前記被検体の複数の透過像を取込み、前記移動位置毎に前記所定位置X0、Y0を起点とする移動ベクトルに所定の係数Kを乗算したずらしベクトルで前記被検体の複数の透過像を互いにずらして加算して前記被検体の水平面に沿った断層像を作成するデータ処理手段と、を有する断層撮影装置であって、前記データ処理手段は、操作者の入力に応じて、前記透過像の左と右をそれぞれ画素数R0x狭め、上と下をそれぞれ画素数R0y狭めた前記断層像の断層像視野を設定し、かつ操作者の入力に応じて前記被検体に対して水平に延在する基準断層面を設定し、前記狭めた画素数R0x、R0y及び前記設定した基準断層面に応じて前記所定の移動範囲を自動的に設定することを要旨とする。In order to achieve the above object, the tomography apparatus according to
この構成により、例えば、電子部品が実装された基板を検査する場合、XY機構を用いて基板をこの基板の面に沿って移動させ、撮影する部位を選択して断層撮影できると共に、当該XY機構のみで、選択した部位の断層撮影ができ、しかも、ピントの合った断層面以外の層は2次元的にボケるので、直線状の配線パターンなどでも良好にボケるためピントの合った断層面だけが明瞭に観察できる。さらに、断層像視野と基準断層面を設定し、設定した断層像視野と設定した基準断層面に応じて移動範囲を自動的に決定しているので、断層像視野を変えても基準断層面を変えても、自動的に、基準断層面について常に設定した(所望する)断層像視野内でずらし加算が完全となる断層像を作成できる。 With this configuration, for example, when inspecting a substrate on which an electronic component is mounted, the XY mechanism can be used to move the substrate along the surface of the substrate, and a tomographic image can be selected by selecting a region to be imaged. Only the tomographic image of the selected part can be taken, and the layers other than the tomographic plane in focus are two-dimensionally blurred. Only can be observed clearly. Furthermore, the tomographic field of view and the reference tomographic plane are set, and the range of movement is automatically determined according to the set tomographic field of view and the set reference tomographic plane. Even if it is changed, it is possible to automatically create a tomographic image that is completely shifted and added within the (desired) tomographic image field that is always set for the reference tomographic plane.
上記目的を達成するため、請求項2に記載の断層撮影装置は、請求項1に記載の断層撮影装置において、前記2次元的な移動は前記所定の移動範囲に内接する円あるいは楕円の上の移動であることを要旨とする。In order to achieve the above object, the tomographic apparatus according to
この構成により、ピントの合った断層面以外の層は円形にボケるので、直線状の配線パターンなどでも良好にボケるためピントの合った断層面だけが明瞭に観察できる。 With this configuration, the layers other than the focused fault plane are blurred in a circular shape, so that even a straight wiring pattern or the like is well blurred, so that only the focused fault plane can be clearly observed.
上記目的を達成するため、請求項3に記載の断層撮影装置は、請求項1に記載の断層撮影装置において、前記2次元的な移動は前記所定の移動範囲の中での複数の互いに平行な経路上の移動であることを要旨とする。 In order to achieve the above object, the tomographic apparatus according to
この構成により、ピントの合った断層面以外の層は2次元的な面でボケるので、直線状の配線パターンなどでも良好にボケるためピントの合った断層面だけが明瞭に観察できる。 With this configuration, the layers other than the in-focus tomographic plane are blurred in a two-dimensional plane, so even a linear wiring pattern or the like is well blurred, so that only the in-focus tomographic plane can be clearly observed.
上記目的を達成するため、請求項4に記載の断層撮影装置は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の断層撮影装置において、前記データ処理手段は、前記透過像を表示する表示手段を有し、前記透過像に前記設定した断層像視野を示す図形を重ねて前記表示手段に表示することを要旨とする。In order to achieve the above object, the tomography apparatus according to
この構成により、XY機構により被検体の位置決めを行う時、操作者は、表示される断層像視野が重ねられた透過像を観察しながら容易に被検体の所望する部分が断層像視野に入るように位置決めできる。 With this configuration, when the subject is positioned by the XY mechanism, the operator can easily enter a desired portion of the subject into the tomographic image field while observing a transmission image in which the displayed tomographic field is superimposed. Can be positioned.
上記目的を達成するため、請求項5に記載の断層撮影装置は、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の断層撮影装置において、前記データ処理手段は、前記被検体に対して水平な断層面を設定し、前記設定した断層面に応じて前記所定の係数Kを求めてこれを使用して前記設定した断層面に対する前記断層像を作成することを要旨とする。In order to achieve the above object, the tomography apparatus according to
この構成により、基準断層面の近傍に断層面を設定し、設定した断層面に応じて所定の係数Kを求めて移動ベクトルに対し係数Kをかけてずらしベクトルを求めることで、1回の断層撮影で得た透過像から、任意の断層面の断層像を、設定した断層像視野内でずらし加算がほぼ完全な断層像として得ることができる。 With this configuration, a fault plane is set in the vicinity of the reference fault plane, a predetermined coefficient K is obtained according to the set fault plane, and a vector is obtained by shifting the movement vector by multiplying the coefficient K to obtain a single fault. A tomographic image of an arbitrary tomographic plane can be shifted from a transmitted tomographic image obtained by photographing within a set tomographic image field to obtain an almost complete tomographic image.
上記目的を達成するため、請求項6に記載の断層撮影装置は、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の断層撮影装置において、前記データ処理手段は、前記ずらして加算した画像に画素毎に当該画素に対する加算回数で除算を施して前記断層像を作成することを要旨とする。In order to achieve the above object, a tomographic apparatus according to a sixth aspect is the tomographic apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the data processing means includes the shifted and added image. The gist is to create the tomographic image by dividing each pixel by the number of additions to the pixel.
この構成により、加算回数が減少する断層像視野の外で、画像が暗くなることがなく、断層像視野の少し外側まで検査に使用できる断層像が得られる。 With this configuration, it is possible to obtain a tomographic image that can be used for inspection up to a little outside of the tomographic image field without darkening the image outside the tomographic field of view where the number of additions decreases.
上記目的を達成するため、請求項7に記載の断層撮影装置は、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の断層撮影装置において、前記データ処理手段は、前記所定位置X0、Y0にて作成した前記断層像と、前記所定位置X0、Y0を変えて作成した別の断層像を繋ぎ合わせて合成した断層像を作成することを要旨とする。In order to achieve the above object, the tomography apparatus according to
この構成により、分解能を下げずに大きな範囲の断層像を得ることができる。 With this configuration, a large range of tomographic images can be obtained without reducing the resolution.
本発明によれば、所望する層だけが明瞭に観察できる断層像を簡便な機構で撮影する断層撮影装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a tomographic apparatus that captures a tomographic image in which only a desired layer can be clearly observed with a simple mechanism.
(本発明の第一の実施の形態の構成)
以下、本発明の第一の実施形態の構成について図1、図2を参照して説明する。
図1は本発明の第一の実施形態に係る断層撮影装置の構成を示した模式図(正面図)である。(Configuration of the first embodiment of the present invention)
The configuration of the first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
FIG. 1 is a schematic view (front view) showing a configuration of a tomography apparatus according to the first embodiment of the present invention.
断層撮影装置は、X線管1(X線源)と、X線管1から放射されたX線ビーム2を検出するX線検出器3と、このX線管1とX線検出器3の間に配置されたテーブル4と、テーブル4を3軸方向に移動させるXY機構6およびZ機構7と、XY機構6およびZ機構7を制御し、また、X線検出器3の出力を取込んで処理する制御処理部(機構制御手段およびデータ処理手段)8より成る。 The tomography apparatus includes an X-ray tube 1 (X-ray source), an
テーブル4の水平な載置面4aには基板等の被検体9が載置される。 A subject 9 such as a substrate is placed on the
X線管1はX線焦点Fより垂直方向を中心にX線を放射し、X線検出器3はX線管1の上方に水平な検出面3aをX線管1にむけて配置され、放射されてテーブル4及び被検体9を透過したX線の一部である角錐状のX線ビーム2を2次元の分解能で検出し、透過像(透過データ)として出力する。(X線はX線ビーム2の外側にも放射される。) The
X線管1は発生するX線ビーム2のX線焦点Fが1μm程度のマイクロフォーカスX線管を用い、X線検出器3にはX線検出素子を2次元マトリックスで並べたX線フラットパネルディテクタ(FPD)を用いている。X線検出器3は透過像をデジタルデータとして出力するものである。 The
XY機構6はテーブル4を水平方向で互いに直交するX方向とY方向に移動させ、Z機構7はテーブル4を垂直なZ方向に移動させる。この移動により、被検体9の所望する部分が所望する拡大率で透過像の視野(X線ビーム2に相当)に入るようにすることができる。ここで、透過像の拡大率は図1を参照して、fdd/fpd0である。fddは、X線焦点Fと検出面3a間の距離、fpd0は、X線焦点Fと被検体9の位置に設定した水平に延在する基準断層面10間の距離である。 The XY mechanism 6 moves the table 4 in the X and Y directions orthogonal to each other in the horizontal direction, and the
なお、各機構部(XY機構6、Z機構7)には図示してないエンコーダが取付けられており、テーブル4のXY機構6とZ機構7による移動位置X,Y,Zが読み取られ、それぞれ制御処理部8に送られる。 Note that an encoder (not shown) is attached to each mechanism section (XY mechanism 6, Z mechanism 7), and the movement positions X, Y, Z of the table 4 by the XY mechanism 6 and the
また、X線ビーム2は、被検体9とテーブル4とのみ交差して、他のX線吸収の強い機構構成要素とは交差しないように構成されている。また、構成要素としてX線管1、X線検出器3、Z機構7等を支持するフレーム、X線を遮蔽する遮蔽箱等があるが図示省略している。 Further, the
図2は第一の実施形態に係る被検体9の一例を示した模式図(正面図)である。 FIG. 2 is a schematic diagram (front view) showing an example of the subject 9 according to the first embodiment.
被検体9は、例えばパワーモジュール基板である。被検体9は、銅でできたヒートシンク9aとセラミック基板9bとシリコンチップ9cがハンダ層9d(下層)、9e(上層)により接着されている。 The
この被検体のハンダ層9d、9eの断層像を得ることで、層毎にハンダ接合の良否を判定することが断層撮影の目的である。 The purpose of tomography is to obtain a tomographic image of the solder layers 9d and 9e of the subject to determine the quality of solder bonding for each layer.
図2を参照して、基準断層面10は載置面4aからの高さhを与えることで設定され、断層像を作成する断層面11は基準断層面10からの高さΔzを与えることで設定される。ここで、基準断層面10と断層面11は被検体9に対して水平に延在する面である。Z機構7のエンコーダよりテーブル4の高さがわかるので、h,Δzを用いて、X線焦点Fと基準断層面10間の距離fpd0と、X線焦点Fと断層面11間の距離(fpd0+Δz)が決まり、基準断層面10と断層面11が設定される。なお、Δzを変えることで任意の層(ハンダ層9d、9e)を断層面11に設定できる。 Referring to FIG. 2, the
図1に戻り、制御処理部8は通常のコンピュータで、CPU、メモリ、ディスク、表示部8a(表示手段)、入力部(キーボードやマウス等)8b、機構制御ボード、インターフェース、等より成っている。 Returning to FIG. 1, the
制御処理部8は、機構制御ボードにより、各機構部(XY機構6、Z機構7)の動作位置の信号(エンコーダパルス等)を受けて各機構部6,7を制御して被検体の位置合わせやスキャン(断層撮影走査)等を行わせる他、透過画像の撮影指令信号等をX線検出器3に送る。 The
制御処理部8は、被検体9の位置決めをする時、X線検出器3からの透過像を取込み、表示部8aにリアルタイム表示し、操作者がリアルタイム表示の透過像を観察しながら行う入力に従って、被検体9の所望する部分が所望する拡大率で透過像の視野に入るようXY機構6、Z機構7を制御する。 When the subject 9 is positioned, the
また、制御処理部8は、X線管1を制御するX線制御部(不図示)に指令を出し、管電圧、管電流を指定すると共に、X線の放射、停止の指示を行なう。管電圧、管電流は被検体に合わせて変えることができる。 In addition, the
図1に示すように、制御処理部8はソフトウエアを読み込んでCPUが機能する機能ブロックとして、各機構部6,7により被検体9の位置決めや断層撮影条件を設定する断層撮影条件設定部8c、断層撮影を制御するスキャン制御部8d、と断層像を再構成する再構成部8e、等を備えている。 As shown in FIG. 1, the
(第一の実施の形態の作用)
図3乃至図9を参照して作用を説明する。作用は、断層撮影条件設定、断層撮影、断層像再構成の順に説明する。(Operation of the first embodiment)
The operation will be described with reference to FIGS. The operation will be described in the order of tomography condition setting, tomography, and tomographic reconstruction.
<断層撮影条件設定>
図3は第一の実施形態における断層撮影条件設定のフロー図である。<Tomography condition setting>
FIG. 3 is a flowchart of tomography condition setting in the first embodiment.
ステップS1で断層撮影条件設定部8cは断層像視野の設定を行う。図4に、透過像と断層像視野を示す。透過像14はX,Y方向の画素番号をそれぞれn,mとしてN×Mのマトリックスを持つ。操作者がパラメータR0を入力すると、透過像14の画面(マトリックスサイズ)の中に透過像14を上下左右とも画素数R0だけ狭めた断層像視野15を設定する。パラメータR0は任意であるが、小さすぎると断層像の上下層のボケが不十分となり、大きすぎると断層像視野15が小さくなるので、短辺のマトリックス数Mの1/4程度が好ましい。また、R0は操作者の入力でなく固定値として設定してもよい。 In step S1, the tomography condition setting unit 8c sets a tomographic field of view. FIG. 4 shows a transmission image and a tomographic image field. The
ステップS2で、操作者は被検体9をテーブル4に載置し、被検体9の位置決めを行う。この時、断層撮影条件設定部8cは、X線検出器3からの透過像14を取込み、設定した断層像視野15を示す図形を重ねて表示部8aにリアルタイム表示し、操作者がリアルタイム表示の透過像14を観察しながら行う入力に従って、被検体9の所望する部分が所望する拡大率で断層像視野15に入るようXY機構6、Z機構7を制御する。ここで、位置決めが終わった時のX,Y,Z移動位置をそれぞれX0,Y0,Z0とする。 In step S <b> 2, the operator places the subject 9 on the table 4 and positions the
ステップS3で、基準断層面10を設定する。操作者が載置面4aからの高さhを入力すると、断層撮影条件設定部8cは、Z機構7のエンコーダよりテーブル4の高さがわかるので、入力されたhを用いて、基準断層面10の位置であるfpd0を設定する。ここで、基準断層面10の設定とはfpd0の設定のことである。 In step S3, the
ステップS4で、断層撮影条件設定部8cは、断層像視野15と基準断層面10から(すなわちR0とfpd0から)スキャン範囲(移動範囲)を設定する。図5は断層撮影のスキャン範囲16とスキャン経路17を示す図である。図5は、X,Y方向のテーブル移動位置を示し、X0,Y0を中心とした2r0×2r0の範囲がスキャン範囲16である。スキャン範囲16の半幅r0は、式、
r0=R0・pix・fpd0/fdd ………(1)
で求められ、スキャン範囲16が設定される。ここで、pixは検出面3a上での画素間隔(mm/画素)である。In step S4, the tomography condition setting unit 8c sets a scan range (movement range) from the
r0 = R0 · pix · fpd0 / fdd (1)
And the
以上で、断層撮影条件設定が終わる。<>終了 This completes the tomographic condition setting. <> End
<断層撮影>
図6は第一の実施形態における断層撮影のフロー図である。<Tomography>
FIG. 6 is a flowchart of tomography in the first embodiment.
ステップS5で、スキャン制御部8dは、スキャン経路の設定を行う。図5を参照して、スキャン経路17はスキャン範囲16に内接する円とする。スキャン経路17はX0、Y0を起点とする移動ベクトルVsで表される。移動ベクトルVsは、X成分とY成分ΔX,ΔYがそれぞれ(各iの移動位置で)、式、
θi=i・Δθ ………(2)
ΔX(i)=r0・cosθi ………(3)
ΔY(i)=r0・sinθi ………(4)
で表される。ここで、θiはi番目の撮影を行う回転角度で、Δθは撮影間の角度間隔である。In step S5, the scan control unit 8d sets a scan path. Referring to FIG. 5, scan
θi = i · Δθ (2)
ΔX (i) = r0 · cos θi (3)
ΔY (i) = r0 · sin θi (4)
It is represented by Here, θi is a rotation angle at which the i-th shooting is performed, and Δθ is an angle interval between the shootings.
ステップS6で、スキャン指令が入力されると、スキャン制御部8dは、XY機構6を制御してX方向とY方向の移動を組合わせてスキャンを行う。i=0から1ステップずつiを変えて移動ベクトルVsによりテーブル4移動させ、各iの移動位置でX線検出器3からの透過像を取込み(i番目の撮影)、1回転分撮影を行う。 When a scan command is input in step S6, the scan control unit 8d controls the XY mechanism 6 to perform scanning by combining movements in the X direction and the Y direction. i is changed step by step from i = 0, and the table 4 is moved by the movement vector Vs, and the transmission image from the
ステップS7で各iの移動位置で取込んだ透過像を記憶する。 In step S7, the transmission image captured at each i movement position is stored.
以上で、断層撮影が終わる。<>終了 This is the end of tomography. <> End
<断層像再構成>
図7は第一の実施形態における断層像再構成のフロー図である。<Tomographic reconstruction>
FIG. 7 is a flowchart of tomographic image reconstruction in the first embodiment.
ステップS8で、再構成部8eは、操作者の入力により、再構成する断層面の位置を設定する。図2を参照して、断層像を作成する断層面11は基準断層面10からの高さΔzを与えることで設定される。再構成部8eは、入力されたΔz(1つ乃至複数個)を記憶する。 In step S8, the reconstruction unit 8e sets the position of the tomographic plane to be reconstructed by the operator's input. With reference to FIG. 2, a
ステップS9で、再構成部8eは、ずらしベクトルVgを設定する。まず、式、
K=−fdd/{(fpd0+Δz)・pix} ………(5)
で係数Kを求め、この係数Kを、移動ベクトルVsに乗算することで、ずらしベクトルVgが得られる。式で記述すると、ずらしベクトルVgのX成分とY成分Δn,Δmはそれぞれ(各iの移動位置で)、式、
Δn(i)=K・ΔX(i) ………(6)
Δm(i)=K・ΔY(i) ………(7)
で計算して設定される。図8はずらしベクトルVgとずらし範囲18を示す図である。ずらし無しに相当する原点を中心とした2R×2Rの範囲がずらし範囲18で、Rは、スキャン範囲16(2r0×2r0の範囲)を係数K倍した値で、式、
R=|r0・K|=R0・fpd0/(fpd0+Δz) ………(8)
で得られる。In step S9, the reconstruction unit 8e sets a shift vector Vg. First, the formula,
K = −fdd / {(fpd0 + Δz) · pix} (5)
A shift vector Vg is obtained by obtaining a coefficient K and multiplying the movement vector Vs by this coefficient K. When described by the equation, the X component and the Y component Δn, Δm of the shift vector Vg are respectively (at the movement position of each i), the equation,
Δn (i) = K · ΔX (i) (6)
Δm (i) = K · ΔY (i) (7)
Calculated and set by FIG. 8 is a diagram showing the shift vector Vg and the
R = | r0 · K | = R0 · fpd0 / (fpd0 + Δz) (8)
It is obtained by.
ここで、移動ベクトルVsがスキャン範囲16内で動くと(図5参照)、それに対応したずらしベクトルVgはずらし範囲18内で移動する関係になる。 Here, when the movement vector Vs moves within the scan range 16 (see FIG. 5), the shift vector Vg corresponding to the movement vector Vs moves within the
移動ベクトルVsが(iにより)半径r0のスキャン経路17上を回転する時、ずらしベクトルVgはずらし範囲18に内接する半径Rの円であるずらし経路19上を180°異なる位相で回転する。 When the movement vector Vs rotates (by i) on the
なお、Δz=0(基準断層面)のとき、RはパラメータR0に一致する。 When Δz = 0 (reference tomographic plane), R matches the parameter R0.
図7に戻り、ステップS10で、再構成部8eは、記憶してある各iの移動位置で取込んだ透過像をずらし加算する。 Returning to FIG. 7, in step S <b> 10, the reconstruction unit 8 e shifts and adds the stored transmission images captured at the stored i movement positions.
図9はずらし加算を説明する図である。まず、透過像と同じN×Mのマトリックスを持つ加算用画像PΣを用意し、i=0から1ステップずつ、i番目の透過像Piをi番目のずらしベクトルVgで平行に(向きを保ったまま)ずらして加算用画像PΣに加算しつつ、1回転分足し込む。 FIG. 9 is a diagram for explaining shift addition. First, an addition image PΣ having the same N × M matrix as the transmission image is prepared, and the i-th transmission image Pi is paralleled by the i-th shift vector Vg in one step from i = 0 (the orientation is maintained). As it is shifted, the image is added to the addition image PΣ and added by one rotation.
ここで、Δz=0(基準断層面)のとき、ずらし範囲18内でずらす場合、最大ずらし量はX方向Y方向ともにR0となり、加算用画像PΣ内の断層像視野15内は常に透過像Piに覆われるのでずらし加算が完全な断層像ができる。これに対し、断層像視野15の外の点は、透過像Piから外れることが起こり、断層像視野15の端から離れるほどずらし加算回数が減って、外側になるに従い徐々に不完全な断層像となる。 Here, when Δz = 0 (reference tomographic plane), when shifting within the
Δz≠0(通常の断層面)のとき、Δzが小さいので、最大ずらし量RはR0とほぼ同じとなり、概略として、断層像視野15内はずらし加算がほぼ完全な断層像で断層像視野15の端から離れるほど不完全な断層像となると言える。 Since Δz is small when Δz ≠ 0 (normal tomographic plane), the maximum shift amount R is almost the same as R0. As a rule, the
図7に戻り、さらに、ステップS10で、再構成部8eは、ずらし加算と同時に、加算用画像PΣの画素ごとに加算回数を計数して記憶する。 Returning to FIG. 7, in step S10, the reconstruction unit 8e counts and stores the number of additions for each pixel of the addition image PΣ simultaneously with the shift addition.
ステップS11で、再構成部8eは、加算の済んだ加算用画像PΣを画素ごとに加算回数で除算して規格化を行い、目的とする断層像を得て記憶する。なお、加算と規格化が済んだ加算用画像PΣが断層像である。 In step S11, the reconstruction unit 8e performs normalization by dividing the addition image PΣ after the addition by the number of additions for each pixel, and obtains and stores a target tomographic image. Note that the addition image PΣ after addition and normalization is a tomographic image.
この断層像は断層像視野15内はずらし加算がほぼ完全な断層像で断層像視野15の端から離れるほど不完全な断層像となるが、規格化しているので、断層像視野15の外で画像が暗くなることがなく、断層像視野15の少し外側(R0/2程度)まで検査に使用できる断層像が得られる。 This tomographic image is a tomographic image in which the addition within the
ステップS12で、再構成部8eは、次のΔzがあるかを判定し、ある場合はステップS8に戻りΔzを変えてステップS9乃至ステップS11を繰り返す。無い場合は終了する。 In step S12, the reconstruction unit 8e determines whether there is a next Δz. If there is, the reconstruction unit 8e returns to step S8, changes Δz, and repeats steps S9 to S11. If not, end.
以上で断層像再構成が終わる。<>終了。 This is the end of the tomographic reconstruction. <> End.
(第一の実施形態の効果)
第一の実施形態によれば、設定した断層面11(ピントのあった層)以外の層は円形にボケる。この理由を図10を用いて説明する。図10は断層面11と検出面3aを示す幾何図(鳥瞰図)である。X線焦点Fと検出面3a上の1点Oを結ぶラインLを考える。被検体の中にこのラインLに合致する点A,Bがあり、点Aは断層面11上、点Bは水平な他の面20上にあるとする。被検体をスキャン移動させると、点A,Bは移動ベクトルVsにより、それぞれ点A1,B1に移動する。このとき、検出面3a(透過像)上で点A1,B1の投影位置はそれぞれ点A2,B2となる。点A2,B2は点Oから移動ベクトルVsの方向にずれるが、ずれる距離は拡大率に応じて異なる。点A2をずらしベクトルVgでずらした点A3は、常に点Oに戻る(ピントが合う)のに対し、点B2をずらしベクトルVgでずらした点B3は、常に点OからΔだけ離れる。これにより、移動ベクトルVsがスキャン経路17上を円形に移動したとき、点B3は半径Δの円軌道21上を移動するので、被検体中の点Bは断層像上で円形にボケるのである。点Oは任意に取れるので、断層面11上に無い全ての点は円形にボケることが判る。(Effect of the first embodiment)
According to the first embodiment, the layers other than the set tomographic plane 11 (the focused layer) are blurred in a circular shape. The reason for this will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a geometric view (bird's eye view) showing the
従って、第一の実施形態によれば、例えば、電子部品が実装された基板を検査する場合、XY機構6を用いて基板をこの基板の面に沿って移動させ、撮影する部位を選択して断層撮影できると共に、当該のXY機構6のみで、選択した部位の断層撮影ができ、しかも、ピントの合った断層面以外の層は円形にボケるので直線状の配線パターンなどでも良好にボケるためピントの合った断層面だけが明瞭に観察できる。また、XY機構6のみで断層撮影の部位選択と断層撮影の両方ができ、極めて簡便な機構で済む。また、簡便なずらし加算で断層像を作ることができる。 Therefore, according to the first embodiment, for example, when inspecting a board on which an electronic component is mounted, the board is moved along the surface of the board using the XY mechanism 6, and a part to be photographed is selected. The tomography can be performed, and the tomography of the selected part can be performed only by the XY mechanism 6 and the layers other than the tomographic plane in focus are blurred, so that even a linear wiring pattern is well blurred. Therefore, only the fault plane in focus can be observed clearly. Further, only the XY mechanism 6 can perform both tomographic site selection and tomographic imaging, and an extremely simple mechanism is sufficient. In addition, a tomographic image can be created by simple shift addition.
また、第一の実施形態によれば、断層像視野15(R0)と基準断層面10(fpd0)を設定し、設定した断層像視野15と設定した基準断層面10で決まる透過像の拡大率(fdd/fpd0)に応じてスキャン範囲16を自動的に決定しているので、断層像視野を変えても基準断層面を変えても、基準断層面について常に設定した(所望する)断層像視野内でずらし加算が完全となる断層像を作成できる。 According to the first embodiment, the tomographic image field 15 (R0) and the reference tomographic plane 10 (fpd0) are set, and the transmission image magnification determined by the set
その詳細は、まず、R0,fpd0を設定すると式(1)でX0,Y0を中心としたスキャン範囲16(2r0×2r0)が決定されるので、このスキャン範囲内でX0,Y0を起点として2次元的(ここでは円形)に移動させる移動ベクトルが設定でき、断層撮影できる。次に、基準断層面(Δz=0)の断層像を再構成するとき、移動ベクトルVsに対し式(5)で求められる係数KをかけてずらしベクトルVgを求めると、このずらしベクトルVgはX,Y方向共に−R0からR0の正方形の範囲に収まる。このため、(図9を参照して)加算用画像PΣの周囲のR0幅を除いた断層像視野15内は常にずらした透過像Piに覆われるので、断層像(加算後の加算用画像PΣ)の断層像視野15内はずらし加算が完全になる。 Specifically, when R0 and fpd0 are set, the scan range 16 (2r0 × 2r0) centering on X0 and Y0 is determined by the equation (1). A movement vector that moves in a dimensional manner (circular in this case) can be set, and tomography can be performed. Next, when reconstructing a tomographic image of the reference tomographic plane (Δz = 0), if the displacement vector Vg is obtained by multiplying the movement vector Vs by the coefficient K obtained by the equation (5), the displacement vector Vg becomes X The Y and Y directions fall within the square range from -R0 to R0. For this reason, the
また、第一の実施形態によれば、被検体9の位置決めを行う時、X線検出器3からの透過像を取込み、この透過像14に設定した断層像視野15を示す図形を重ねて表示部8aにリアルタイム表示するので、操作者は表示する透過像14を観察しながら容易に被検体9の所望する部分が所望する拡大率で断層像視野15に入るように位置決めできる。 Further, according to the first embodiment, when the
また、第一の実施形態によれば、基準断層面の近傍に断層面(Δz)を設定し、設定した断層面に応じて式(5)で係数Kを求めて、移動ベクトルVsに対し係数KをかけてずらしベクトルVgを求めることで、1回の断層撮影で得た透過像から、任意の断層面の断層像を、設定した断層像視野15内でずらし加算がほぼ完全な断層像として得ることができる。 Further, according to the first embodiment, a tomographic plane (Δz) is set in the vicinity of the reference tomographic plane, the coefficient K is obtained by the equation (5) according to the set tomographic plane, and the coefficient for the movement vector Vs is obtained. A tomographic vector Vg is obtained by multiplying K, and a tomographic image of an arbitrary tomographic plane is obtained from a transmission image obtained by one tomographic imaging as a tomographic image in which the displacement addition is almost complete within the set
また、第一の実施形態によれば、ずらして加算した画像に画素毎に当該画素に対する加算回数で除算を施して断層像を作成するので、加算回数が減少する断層像視野15の外で、画像が暗くなることがなく、断層像視野15の少し外側(R0/2程度)まで検査に使用できる断層像が得られる。 In addition, according to the first embodiment, since the tomographic image is created by performing the division and addition for each pixel on the shifted and added image, the
(第一の実施形態の変形)
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形や機能追加して実施することが可能である。以下の変形例は種々組み合わせて適用することもできる。(Modification of the first embodiment)
In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and functions can be added without departing from the scope of the invention. The following modifications can be applied in various combinations.
(変形例1)
第一の実施形態は、求めたスキャン範囲16に内接する円形のスキャン経路17を設定しているが、スキャン経路は、スキャン範囲16内を2次元的に覆うように設定してもよい。例えば、図11に示すように複数の互いに平行な経路を組合わせたスキャン経路22としてもよい。(Modification 1)
In the first embodiment, the
この場合、断層面以外の層は2次元的な面でボケるので直線状の配線パターンなどでも良好にボケるためピントの合った断層面だけが明瞭に観察できる。 In this case, since the layers other than the tomographic plane are blurred in a two-dimensional plane, even a linear wiring pattern or the like is well blurred, so that only the focused tomographic plane can be clearly observed.
(変形例2)
第一の実施形態で、断層像視野15は透過像14の周囲のR0幅を除いた部分として設定しているが、図12に示すように周囲の除去幅をX方向とY方向で変え、それぞれR0x,R0yとして断層像視野23を設定することもできる。この場合、図13を参照して、断層像視野23に対応するスキャン範囲24は、X方向をR0の代わりにR0xを用いて、式(1)を計算してr0xを求め、Y方向をR0の代わりにR0yを用いて、式(1)を計算してr0yを求めて、2r0x×2r0yのスキャン範囲24が得られ、この長方形のスキャン範囲24内に、内接する円のスキャン経路25a、あるいは内接する楕円のスキャン経路25b、あるいは、複数の互いに平行な経路を組合わせたスキャン経路25cを設定する。(Modification 2)
In the first embodiment, the
(変形例3)
第一の実施形態では、テーブル4を、設定した円形のスキャン経路17上を移動させて断層撮影するが、滑らかにスキャン経路17上を移動させる必要は無く、i番目の透過像を撮影するときスキャン経路17上のi番目の移動位置にあればよい。すなわち、撮影する位置間の移動はX移動とY移動を同時制御する必要は無い。(Modification 3)
In the first embodiment, tomography is performed by moving the table 4 on the set
また、スキャン経路17は正確に円でなくても良い。ボケの形が円から多少ずれても影響は少ない。 Also, the
(変形例4)
第一の実施形態では、設定した移動ベクトルVsに係数Kを乗算することで、ずらしベクトルVgを得ているが、設定した移動ベクトルVsを用いる代わりに、XY機構6のエンコーダで読み取った実測位置から求めた実績の移動ベクトルを用いるようにできる。これにより、機構の制御に誤差があっても正確に断層面11にピントのあった断層像が作成できる。(Modification 4)
In the first embodiment, the shift vector Vg is obtained by multiplying the set movement vector Vs by the coefficient K. However, instead of using the set movement vector Vs, the actual position read by the encoder of the XY mechanism 6 is obtained. The movement vector of the results obtained from the above can be used. Thereby, even if there is an error in the control of the mechanism, a tomographic image in which the
(変形例5)
第一の実施形態で、スキャンの中央位置、X0,Y0にて作成した断層像と、X0,Y0を変えて作成した別の断層像を繋ぎ合わせて合成した断層像を作成することができる。例えば、Y方向に2枚の断層像を繋ぐ場合、式、
Y0’=Y0+(M−2・R0)・pix・fpd0/fdd ………(9)
で求めた位置X0,Y0’で別の断層像を作成し、2つの断層像を互いにY方向に、中心間を(M−2・R)・fpd0/(fpd0+Δx)画素だけ離すように繋ぐことで合成断層像を得る。X方向も同様で、X,Y方向にマトリックス状に繋ぐこともできる。(Modification 5)
In the first embodiment, it is possible to create a tomographic image obtained by joining and synthesizing a tomographic image created at the scan center position, X0, Y0, and another tomographic image created by changing X0, Y0. For example, when connecting two tomographic images in the Y direction,
Y0 '= Y0 + (M-2.R0) .pix.fpd0 / fdd (9)
Create different tomographic images at the positions X0 and Y0 ′ obtained in step S2, and connect the two tomographic images so that they are separated from each other in the Y direction by a distance of (M−2 · R) · fpd0 / (fpd0 + Δx) pixels. To obtain a composite tomogram. The same applies to the X direction, and the X and Y directions can be connected in a matrix.
これにより、分解能を下げずに大きな範囲の断層像を得ることができる。 Thereby, a large range of tomographic images can be obtained without reducing the resolution.
(変形例6)
第一の実施形態では、透過像をそのままずらし加算しているが、画像処理を加えてからずらし加算することもできる。例えば、感度補正、対数変換などの画像処理を行っても良い。(Modification 6)
In the first embodiment, the transmission images are shifted and added as they are, but they can be shifted and added after image processing is added. For example, image processing such as sensitivity correction and logarithmic conversion may be performed.
また、特開2008−268026号公報にあるように、各透過像からそれぞれエッジ細線画を作って、これらのエッジ細線画をずらし加算することもできる。 Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-268026, edge thin line images can be created from each transmission image, and these edge thin line images can be shifted and added.
この場合、断層面11の構造を抽出した断層像が得られる。 In this case, a tomographic image obtained by extracting the structure of the
(変形例7)
第一の実施形態で、テーブル4に対し、X線管1を上側に、X線検出器3を下側に配置してもよい。(Modification 7)
In the first embodiment, the
(変形例8)
第一の実施形態で、X線検出器3はFPDを使用したが、2次元のX線検出器なら他のものでもよい。(Modification 8)
In the first embodiment, the
例えば、X線II(Image Intensifier)とテレビカメラを組合わせたX線検出器を用いてもよい。この場合は、画像の歪や入力面(検出面)の湾曲の補正が必要である。 For example, an X-ray detector combining an X-ray II (Image Intensifier) and a television camera may be used. In this case, it is necessary to correct image distortion and curvature of the input surface (detection surface).
補正は例えばX線IIの入力面の近傍に水平なグリッドを置き、このグリッドの透過像が所定間隔で歪が無いように画像処理して歪補正する。なお、この場合、撮影したグリッドの位置を検出面3aとして扱う必要がある。 For example, a horizontal grid is placed in the vicinity of the input surface of the X-ray II, and the distortion is corrected by performing image processing so that the transmitted image of the grid is not distorted at a predetermined interval. In this case, it is necessary to handle the captured grid position as the detection surface 3a.
1…X線管、2…X線ビーム、
3…X線検出器、3a…検出面、
4…テーブル、4a…載置面、
6…XY機構、7…Z機構、
8…制御処理部、8a…表示部、8b…入力部、8c…断層撮影条件設定部、8d…スキャン制御部、8e…再構成部、
9…被検体、9a…ヒートシンク、9b…セラミック基板、9c…シリコンチップ、9d…ハンダ層(下層)、9e…ハンダ層(上層)、
10…基準断層面、11…断層面、14…透過像、
15,23…断層像視野、
16,24…スキャン範囲、
17,22,25…スキャン経路、
18…ずらし範囲、19…ずらし経路、20…他の面、21…円軌道、
101,109,111…X線管、
102,108,112…X線ビーム、
103,110,114…X線検出器、
103a,110a,114a…検出面、
104,107,115…XY機構、
105,106,113…被検体、
116…回転機構1 ... X-ray tube, 2 ... X-ray beam,
3 ... X-ray detector, 3a ... detection surface,
4 ... Table, 4a ... Placement surface,
6 ... XY mechanism, 7 ... Z mechanism,
8 ... Control processing unit, 8a ... Display unit, 8b ... Input unit, 8c ... Tomographic condition setting unit, 8d ... Scan control unit, 8e ... Reconstruction unit,
9 ... subject, 9a ... heat sink, 9b ... ceramic substrate, 9c ... silicon chip, 9d ... solder layer (lower layer), 9e ... solder layer (upper layer),
10 ... reference tomographic plane, 11 ... tomographic plane, 14 ... transmission image,
15, 23 ... Tomographic field of view,
16, 24 ... scan range,
17, 22, 25 ... scan path,
18 ... Shift range, 19 ... Shift path, 20 ... Other surface, 21 ... Circular orbit,
101, 109, 111 ... X-ray tube,
102, 108, 112 ... X-ray beam,
103, 110, 114 ... X-ray detectors,
103a, 110a, 114a ... detection surface,
104, 107, 115 ... XY mechanism,
105, 106, 113 ... subject,
116: Rotating mechanism
Claims (7)
前記テーブルに載置された被検体に対しX線焦点よりX線を放射するX線源と、
前記被検体を透過してくるX線を2次元の分解能で検出して透過データである透過像を出力するX線検出器と、
前記テーブルを水平面内で互いに直交するX方向とY方向に移動させるXY機構と、
前記XY機構を制御して前記テーブルを前記X方向とY方向の移動を組合わせて所定位置X0、Y0を中心とした所定の移動範囲の中を2次元的に移動させる機構制御手段と、
前記移動の複数位置で前記X線検出器が検出して出力した前記被検体の複数の透過像を取込み、前記移動位置毎に前記所定位置X0、Y0を起点とする移動ベクトルに所定の係数Kを乗算したずらしベクトルで前記被検体の複数の透過像を互いにずらして加算して前記被検体の水平面に沿った断層像を作成するデータ処理手段と、
を有する断層撮影装置であって、
前記データ処理手段は、操作者の入力に応じて、前記透過像の左と右をそれぞれ画素数R0x狭め、上と下をそれぞれ画素数R0y狭めた前記断層像の断層像視野を設定し、かつ操作者の入力に応じて前記被検体に対して水平に延在する基準断層面を設定し、前記狭めた画素数R0x、R0y及び前記設定した基準断層面に応じて前記所定の移動範囲を自動的に設定することを特徴とする断層撮影装置。 A table having a horizontal mounting surface;
An X-ray source that emits X-rays from an X-ray focal point to a subject placed on the table;
An X-ray detector that detects X-rays transmitted through the subject with a two-dimensional resolution and outputs a transmission image as transmission data;
An XY mechanism for moving the table in the X and Y directions perpendicular to each other in a horizontal plane;
Mechanism control means for controlling the XY mechanism to move the table two-dimensionally within a predetermined movement range centered on a predetermined position X0, Y0 by combining the movement in the X direction and the Y direction;
A plurality of transmission images of the subject detected and output by the X-ray detector at a plurality of positions of the movement are taken, and a predetermined coefficient K is added to a movement vector starting from the predetermined positions X0 and Y0 for each movement position. Data processing means for creating a tomographic image along the horizontal plane of the subject by shifting and adding a plurality of transmission images of the subject with a shift vector multiplied by
A cross-sectional layer imaging equipment that have a,
The data processing means sets a tomographic field of view of the tomographic image in which the left and right of the transmission image are narrowed by the number of pixels R0x and the top and bottom of the transmission image are narrowed by the number of pixels R0y, respectively, in response to an operator input In response to the input, a reference tomographic plane extending horizontally to the subject is set, and the predetermined moving range is automatically set in accordance with the narrowed number of pixels R0x and R0y and the set reference tomographic plane. A tomography apparatus characterized by setting.
前記2次元的な移動は前記所定の移動範囲に内接する円あるいは楕円の上の移動であることを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to claim 1,
The tomography apparatus according to claim 2, wherein the two-dimensional movement is a movement on a circle or an ellipse inscribed in the predetermined movement range.
前記2次元的な移動は前記所定の移動範囲の中での複数の互いに平行な経路上の移動であることを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to claim 1,
The tomography apparatus according to claim 2, wherein the two-dimensional movement is movement on a plurality of mutually parallel paths within the predetermined movement range.
前記データ処理手段は、前記透過像を表示する表示手段を有し、前記透過像に前記設定した断層像視野を示す図形を重ねて前記表示手段に表示することを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to any one of claims 1 to 3 ,
The tomography apparatus, wherein the data processing means includes display means for displaying the transmission image, and the display means displays the figure indicating the set tomographic field of view on the transmission image.
前記データ処理手段は、前記被検体に対して水平な断層面を設定し、前記設定した断層面に応じて前記所定の係数Kを求めてこれを使用して前記設定した断層面に対する前記断層像を作成することを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to any one of claims 1 to 4 ,
The data processing means sets a horizontal tomographic plane for the subject, calculates the predetermined coefficient K according to the set tomographic plane, and uses the predetermined coefficient K to use the tomographic image for the set tomographic plane A tomography apparatus characterized by creating
前記データ処理手段は、前記ずらして加算した画像に画素毎に当該画素に対する加算回数で除算を施して前記断層像を作成することを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to any one of claims 1 to 5 ,
The tomographic apparatus is characterized in that the data processing means creates the tomographic image by dividing the image added by shifting with the number of additions for the pixel for each pixel.
前記データ処理手段は、前記所定位置X0、Y0にて作成した前記断層像と、前記所定位置X0、Y0を変えて作成した別の断層像を繋ぎ合わせて合成した断層像を作成することを特徴とする断層撮影装置。The tomography apparatus according to any one of claims 1 to 6 ,
The data processing means creates a tomographic image obtained by joining and combining the tomographic image created at the predetermined positions X0 and Y0 and another tomographic image created by changing the predetermined positions X0 and Y0. A tomography device.
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