JP5542456B2 - カラーフィルタ基板の露光方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims 3
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 21
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B5/201—Filters in the form of arrays
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
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- G02F1/133514—Colour filters
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
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Description
図1は、本発明の各実施形態に共通する基本的な露光方法を示す平面図である。図2は、本発明の各実施形態に共通する基本的なフォトマスクの開口の配置を示す平面図であって、図1のA部分の拡大図である。図1において、右下がりのハッチングで示す領域は表示画素が配列される表示領域であり、右上がりのハッチングで示す領域は後述する第1の非表示領域である。また、以降の各図面においては、説明の便宜上、互いに直交するX方向及びY方向を用いて基板の向きを特定する。具体的には、X方向は、表示領域の対向する短辺に平行な方向であり、Y方向は、表示領域の対向する長辺に平行な方向である(以下の図においても同様である)。
図7は、第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の一部の断面図であり、より特定的には、(a)は、図6のI−Iラインに沿う部分に相当する断面図であり、(b)は、図6のII―IIに沿う部分に相当する断面図であり、(c)は、図6のIII−IIIラインに沿う部分に相当する断面図である。
図9は、第2の実施形態に係るカラーフィルタ基板上のPS及びダミーPSの断面図である。より特定的には、(a)は、図6のI−Iラインに沿う部分に相当する断面図であり、(b)は、図5のII―IIに沿う部分に相当する断面図であり、(c)は、図5のIII−IIIラインに沿う部分に相当する断面図である。
図11は、第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板上のPS及びダミーPSの断面図である。より特定的には、(a)は、図6のI−Iラインに沿う部分に相当する断面図であり、(b)は、図6のII―IIに沿う部分に相当する断面図であり、(c)は、図6のIII−IIIラインに沿う部分に相当する断面図である。
図13は、第4の実施形態に係るカラーフィルタ基板上のPS及びダミーPSの断面図である。より特定的には、(a)は、図6のI−Iラインに沿う部分に相当する断面図であり、(b)は、図6のII―IIに沿う部分に相当する断面図であり、(c)は、図6のIII−IIIラインに沿う部分に相当する断面図である。
20 基板
30、35 フォトマスク
31、32、36 開口の配列
40 表示領域
50 非表示領域
51 第1の非表示領域
52 第2の非表示領域
53、54 周縁部ダミーPS形成領域
61 ブラックマトリクス
62 着色層
63 ITO膜
71、72 ダミーPS
81 第1のレイヤー
82 第2のレイヤー
83 第3のレイヤー
84 第4のレイヤー
85 第5のレイヤー
86 第6のレイヤー
90 PS
91、92 レイヤー
Claims (8)
- 第1の方向に延びる一対の辺と前記第1の方向と直交する第2の方向に延びる一対の辺とを有する矩形状の複数の表示領域と、前記第1の方向の辺の各々に沿う一対の第1の非表示領域と、前記第2の方向の辺の各々に沿う一対の第2の非表示領域とを有し、前記表示領域に複数の着色画素及び複数のフォトスペーサー(PS)が設けられ、前記第1及び第2の非表示領域の各々の、少なくとも前記複数の表示領域間の各領域に複数のダミーフォトスペーサー(PS)が設けられるカラーフィルタ基板の露光方法であって、
第1の色のフォトレジストを塗布した基板を前記第1の方向に搬送しながら、間欠的に複数回の露光を行い、前記第1の非表示領域内に前記第1の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、第1のダミーPSを構成する第1のレイヤーを形成する工程と、
第2の色のフォトレジストを塗布した基板を前記第2の方向に搬送しながら、間欠的に複数回の露光を行い、前記第2の非表示領域内に前記第2の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、第2のダミーPSを構成する第2のレイヤーを形成する工程とを備える、カラーフィルタ基板の露光方法。 - 第3の色のフォトレジストを塗布した基板に対して1回の露光を行い、前記第1の非表示領域内の前記第1のレイヤーと共に積層され、前記第3の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第1のダミーPSを構成する第3のレイヤーを形成し、前記第2の非表示領域内の前記第2のレイヤーと共に積層され、前記第3の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、第2のダミーPSを構成する第4のレイヤーを形成する工程を更に備え、
前記第1のレイヤーを形成する工程と、前記第2のレイヤーを形成する工程と、前記第3のレイヤー及び前記第4のレイヤーを形成する工程とを任意の順序で行う、請求項1に記載のカラーフィルタ基板の露光方法。 - 第3の色のフォトレジストを塗布した基板を前記第1の方向に搬送しながら、間欠的に複数回の露光を行い、前記第1の非表示領域内の前記第1のレイヤーと共に積層され、前記第3の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、第1のダミーPSを構成する第3のレイヤーを形成し、前記基板を第2の方向に搬送しながら間欠的に複数回の露光を行い、前記第2の非表示領域内の前記第2のレイヤーと共に積層され、前記第3の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第2のダミーPSを構成する第4のレイヤーを形成する工程を更に備え、
前記第1のレイヤーを形成する工程と、前記第2のレイヤーを形成する工程と、前記第3及び4のレイヤーを形成する工程とを任意の順序で行う、請求項1に記載のカラーフィルタ基板の露光方法。 - 第4の色のフォトレジストを塗布した基板に対して1回の露光を行い、前記第1の非表示領域内の前記第1のレイヤー及び前記第3のレイヤーと共に積層され、前記第4の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第1のダミーPSを構成する第5のレイヤーを形成し、第2の非表示領域内の前記第2のレイヤー及び前記第4のレイヤーと共に積層され、前記第4の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第2のダミーPSを構成する第6のレイヤーを形成する工程を更に備え、
前記第1のレイヤーを形成する工程と、前記第2のレイヤーを形成する工程と、前記第3のレイヤー及び前記第4のレイヤーを形成する工程と、前記第5及び6のレイヤーを形成する工程とを任意の順序で行う、請求項2に記載のカラーフィルタ基板の露光方法。 - 第3の色のフォトレジストを塗布した基板を前記第1の方向に搬送しながら、間欠的に複数回の露光を行い、前記第1の非表示領域内の前記第1のレイヤーと共に積層され、前記第3の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第1のダミーPSを構成する第3のレイヤーを形成する工程と、
第4の色のフォトレジストを塗布した基板を前記第2の方向に搬送しながら、間欠的に複数回の露光を行い、前記第2の非表示領域内の前記第2のレイヤーと共に積層され、前記第4の色の着色画素を形成する材料と同一材料からなり、前記第2のダミーPSを構成する第4のレイヤーを形成する工程とを更に備え、
前記第1のレイヤーを形成する工程と、前記第2のレイヤーを形成する工程と、前記第3のレイヤーを形成する工程と、前記第4のレイヤーを形成する工程とを任意の順序で行う、請求項1に記載のカラーフィルタ基板の露光方法。 - 前記カラーフィルタ基板は、前記表示領域に互いに異なる第1〜第3の色の着色画素を有しており、
前記第1のレイヤーは、前記表示領域内の第1の色の着色画素と同時に形成し、
前記第2のレイヤーは、前記表示領域内の第2の色の着色画素及びフォトスペーサー(PS)を構成する第2の色のレイヤーと同時に形成し、
前記第3及び4のレイヤーは、前記表示領域内の第3の色の着色画素及びPSを構成する第3の色のレイヤーと同時に形成する、請求項2又は3に記載の露光方法。 - 前記カラーフィルタ基板は、前記表示領域に互いに異なる第1〜第4の色の着色画素を有しており、
前記第1のレイヤーは、前記表示領域内の第1の色の着色画素と同時に形成し、
前記第2のレイヤーは、前記表示領域内の第2の色の着色画素及びフォトスペーサー(PS)を構成する第2の色のレイヤーと同時に形成し、
前記第3及び4のレイヤーは、前記表示領域内の第3の色の着色画素及びPSを構成する第3の色のレイヤーと同時に形成し、
前記第5及び6のレイヤーは、前記表示領域内の第4の色の着色画素及びPSを構成する第4の色のレイヤーと同時に形成する、請求項4に記載の露光方法。 - 前記カラーフィルタ基板は、前記表示領域に互いに異なる第1〜第4の色の着色画素を有しており、
前記第1のレイヤーは、前記表示領域内の第1の色の着色画素と同時に形成し、
前記第2のレイヤーは、前記表示領域内の第2の色の着色画素及びフォトスペーサー(PS)を構成する第2の色のレイヤーと同時に形成し、
前記第3のレイヤーは、前記表示領域内の第3の色の着色画素及びPSを構成する第3の色のレイヤーと同時に形成し、
前記第4のレイヤーは、前記表示領域内の第4の色の着色画素及びPSを構成する第4の色のレイヤーと同時に形成する、請求項5に記載の露光方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008512A JP5542456B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | カラーフィルタ基板の露光方法 |
CN201180006343.3A CN102713695B (zh) | 2010-01-18 | 2011-01-11 | 彩色滤光片基板的曝光方法 |
PCT/JP2011/000076 WO2011086892A1 (ja) | 2010-01-18 | 2011-01-11 | カラーフィルタ基板の露光方法 |
US13/522,626 US8830610B2 (en) | 2010-01-18 | 2011-01-11 | Exposure method for color filter substrate |
TW100101751A TWI507741B (zh) | 2010-01-18 | 2011-01-18 | 彩色濾光片基板之曝光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008512A JP5542456B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | カラーフィルタ基板の露光方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011145629A JP2011145629A (ja) | 2011-07-28 |
JP5542456B2 true JP5542456B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=44304170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010008512A Expired - Fee Related JP5542456B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | カラーフィルタ基板の露光方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8830610B2 (ja) |
JP (1) | JP5542456B2 (ja) |
CN (1) | CN102713695B (ja) |
TW (1) | TWI507741B (ja) |
WO (1) | WO2011086892A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103235442B (zh) * | 2013-04-22 | 2016-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板、显示面板及显示装置 |
CN103926735A (zh) * | 2013-06-28 | 2014-07-16 | 上海天马微电子有限公司 | 一种彩膜基板及其制作方法、显示面板及装置 |
TWI613492B (zh) | 2017-05-05 | 2018-02-01 | 友達光電股份有限公司 | 彩色濾光片基板及顯示面板 |
CN109116593B (zh) * | 2018-08-02 | 2021-07-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 母板曝光方法 |
CN111474757B (zh) * | 2020-04-30 | 2022-06-17 | 厦门天马微电子有限公司 | 显示面板及显示装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3072829B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2000-08-07 | キヤノン株式会社 | カラー液晶パネル |
AU5066799A (en) | 1998-08-24 | 2000-03-14 | Nikon Corporation | Method and apparatus for scanning exposure, and micro device |
JP4428792B2 (ja) | 2000-03-06 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
CN2715192Y (zh) * | 2004-03-27 | 2005-08-03 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 液晶显示面板 |
TW200604669A (en) * | 2004-07-01 | 2006-02-01 | Seiko Epson Corp | Color filter, color image display device, and electronic apparatus |
JP4777682B2 (ja) | 2005-04-08 | 2011-09-21 | 株式会社ブイ・テクノロジー | スキャン露光装置 |
JP5382899B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2014-01-08 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
JP4957020B2 (ja) | 2006-03-07 | 2012-06-20 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ |
JP4764237B2 (ja) * | 2006-04-11 | 2011-08-31 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
JP2008158138A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板および液晶表示装置 |
JP2008216798A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Fujifilm Corp | カラーフィルタのパターン露光方法及び装置 |
JP2009116068A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
TWI468748B (zh) | 2009-04-28 | 2015-01-11 | Toppan Printing Co Ltd | 彩色濾光片、液晶顯示裝置、彩色濾光片之製造方法 |
CN101609227B (zh) * | 2009-07-08 | 2011-05-25 | 友达光电股份有限公司 | 彩色滤光层及其制造方法 |
-
2010
- 2010-01-18 JP JP2010008512A patent/JP5542456B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-01-11 US US13/522,626 patent/US8830610B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-11 WO PCT/JP2011/000076 patent/WO2011086892A1/ja active Application Filing
- 2011-01-11 CN CN201180006343.3A patent/CN102713695B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-18 TW TW100101751A patent/TWI507741B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8830610B2 (en) | 2014-09-09 |
WO2011086892A1 (ja) | 2011-07-21 |
TWI507741B (zh) | 2015-11-11 |
US20120300323A1 (en) | 2012-11-29 |
CN102713695A (zh) | 2012-10-03 |
JP2011145629A (ja) | 2011-07-28 |
TW201213893A (en) | 2012-04-01 |
CN102713695B (zh) | 2015-05-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110902 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20111102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20111102 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140507 |
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