JP5540318B2 - 炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 - Google Patents
炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5540318B2 JP5540318B2 JP2010118851A JP2010118851A JP5540318B2 JP 5540318 B2 JP5540318 B2 JP 5540318B2 JP 2010118851 A JP2010118851 A JP 2010118851A JP 2010118851 A JP2010118851 A JP 2010118851A JP 5540318 B2 JP5540318 B2 JP 5540318B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- silicon carbide
- carbon
- carbide powder
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
Claims (6)
- 炭化ケイ素粉末に、炭素源としてフェノール樹脂を炭素換算量で4wt%から10wt%、及びホウ素源としてホウ素またはホウ素化合物をホウ素換算量で0.1wt%−5wt%混合した混合物を準備し、
前記混合物に対して1700℃以上でマイクロ波焼結を行う、
炭化ケイ素粉末の焼結方法。 - 前記フェノール樹脂の比率が炭素換算量で4wt%から5wt%である、請求項1に記載の炭化ケイ素粉末の焼結方法。
- 前記炭素または炭化することが可能な物質の比率が炭素換算量で3wt%から5wt%である、請求項1に記載の炭化ケイ素粉末の焼結方法。
- 前記マイクロ波焼結の温度が2500℃以下である、請求項1から3の何れかに記載の炭化ケイ素粉末焼結方法。
- 前記炭素源が炭化することが可能な物質であり、
前記マイクロ波焼結の前に、真空中で前記混合物を昇温された状態に維持する
請求項1から4の何れかに記載の炭化ケイ素粉末の焼結方法。 - 前記混合物を予め加圧により整形する、請求項1から5の何れかに記載の炭化ケイ素粉末の焼結方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118851A JP5540318B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118851A JP5540318B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011246295A JP2011246295A (ja) | 2011-12-08 |
JP5540318B2 true JP5540318B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=45412051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010118851A Expired - Fee Related JP5540318B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540318B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6329462B2 (ja) * | 2014-08-11 | 2018-05-23 | イビデン株式会社 | セラミック構造体の製造方法 |
CN114907131A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-08-16 | 湖南航天诚远精密机械有限公司 | 一种碳化硅预制件的微波烧结方法 |
CN115231925A (zh) * | 2022-07-20 | 2022-10-25 | 洛阳理工学院 | 一种微波制备六铝酸钙结合碳化硅陶瓷的方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62113764A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-25 | 三菱電機株式会社 | 高熱伝導性炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
US5321223A (en) * | 1991-10-23 | 1994-06-14 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Method of sintering materials with microwave radiation |
JP3792283B2 (ja) * | 1995-10-30 | 2006-07-05 | 京セラ株式会社 | セラミック基板の製造方法 |
JP4988252B2 (ja) * | 2006-06-05 | 2012-08-01 | 株式会社エフ・シー・シー | 炭化金属焼結体の製造方法 |
JP4802178B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2011-10-26 | 新日本製鐵株式会社 | Alまたは/及びAl−Mg合金添加MgO―Cれんがのマイクロ波熱処理方法 |
-
2010
- 2010-05-24 JP JP2010118851A patent/JP5540318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011246295A (ja) | 2011-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6182082B2 (ja) | 緻密質複合材料、その製法及び半導体製造装置用部材 | |
Zhu et al. | Microwave sintering of a ZrB2–B4C particulate ceramic composite | |
JP4734674B2 (ja) | 低cte高等方性黒鉛 | |
KR101160140B1 (ko) | 지르코늄디보라이드-실리콘카바이드 복합소재의 제조방법 | |
JP5444384B2 (ja) | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 | |
CN106904977B (zh) | 一种两步烧结法制备表硬心韧Si3N4陶瓷材料的方法 | |
JP2005330178A (ja) | 高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックス及びその製造方法 | |
JP6344844B2 (ja) | 炭化ホウ素/ホウ化チタンコンポジットセラミックス及びその作製法 | |
CN101734923A (zh) | 一种氮化铝多孔陶瓷及其制备方法 | |
CN104045349B (zh) | 一种纳米氧化铝增强氮氧化铝陶瓷及其制备方法 | |
JP5540318B2 (ja) | 炭化ケイ素粉末の低温焼結方法 | |
CN113416076A (zh) | 一种自增强碳化硅陶瓷材料的制备方法 | |
CN101734920B (zh) | 一种氮化钛多孔陶瓷及其制备方法 | |
Yu et al. | Densifying (Hf0. 2Zr0. 2Ta0. 2Nb0. 2Ti0. 2) C high‐entropy ceramics by two‐step pressureless sintering | |
KR100917038B1 (ko) | 탄화규소 소결체 제조용 세라믹 조성물, 소결체 및 그제조방법 | |
KR20190048811A (ko) | 우수한 열전도도 및 열내구성을 가지는 탄화규소 소결체의 제조방법 | |
JP3607939B2 (ja) | 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成 | |
CN110446693B (zh) | SiC烧结体、加热器以及SiC烧结体的制造方法 | |
CN108178636A (zh) | 一种Si3N4/SiC复合吸波陶瓷及其制备方法 | |
JP5189712B2 (ja) | AlN基板およびその製造方法 | |
CN104591769A (zh) | 一种铝镁硼增韧增强陶瓷及其制备方法 | |
KR101972350B1 (ko) | 탄화 지르코늄 복합체 및 이의 제조방법 | |
CN109467442B (zh) | 一种氮化硅陶瓷及其制备方法 | |
CN108892528B (zh) | 一种多孔氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
KR101659823B1 (ko) | HfC 복합체 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540318 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |