JP5538406B2 - 共振器長の測定法 - Google Patents
共振器長の測定法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5538406B2 JP5538406B2 JP2011530501A JP2011530501A JP5538406B2 JP 5538406 B2 JP5538406 B2 JP 5538406B2 JP 2011530501 A JP2011530501 A JP 2011530501A JP 2011530501 A JP2011530501 A JP 2011530501A JP 5538406 B2 JP5538406 B2 JP 5538406B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator
- spectrum
- est
- interferences
- calculating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02044—Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
- G01B9/02028—Two or more reference or object arms in one interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
−第1及び第2の反射端面を有する共振器か空洞共振器か干渉計を提供するステップと;
−導波管内に電磁波を伝達し、共振器か空洞共振器か干渉計内に電磁波を放出するステップであって、この電磁波が少なくとも1つの共振波長を含んでいるステップと;
−前記電磁波によって、共振器か空洞共振器か干渉計内に少なくとも1つの共振波を形成するステップと;
−共振器か空洞共振器か干渉計から放出された導波管内の電磁波のスペクトルを、記録ユニットに伝達するステップと;
−放出されたスペクトルを記録ユニットで記録し、記録されたスペクトルを分析ユニットに提供するステップと;
−分析ユニットにおいて共振器か空洞共振器か干渉計の長さの少なくとも1つの数値を概算または算出するステップであって、共振器長の少なくとも1つの数値を概算するステップは記録されたスペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを含むステップと;
−記録されたスペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、分析ユニットにおいて、スペクトルの少なくとも1つのマーク波長を選択するステップと;
−共振器か空洞共振器か干渉計の長さの少なくとも1つの数値の2倍と使用波長の比に基づいて、概算干渉数を計算するステップと;
−実際の干渉数を概算干渉数に最も近い推定干渉数として算出するステップと;
−実際の干渉数と使用している波長の積の半分に基づいて、共振器か空洞共振器か干渉計の長さの第2の数値を計算するステップとを具える。
−共振器と;
−電磁波を共振器に伝達するように配置された、第1の一連の電磁波伝達手段と;
−電磁スペクトルを記録するように機能する記録手段と;
−共振器から記録手段に電磁波を伝達するように配置された、第2の一連の電磁波伝達手段と;
−共振器長の少なくとも1つの数値を概算または算出するステップであって、当該共振器長の少なくとも1つの数値を概算するステップは、記録されたスペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを含むステップと;
−記録されたスペクトルの最大、最小または変曲点を概算することにより、スペクトルの少なくとも1つのマーク波長を選択するステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値の2倍と使用波長の比に基づいて、概算干渉数を計算するステップと;
−実際の干渉数を概算干渉数に最も近い推定干渉数(I)として算出するステップと;
−実際の干渉数と使用波長の積の半分に基づいて、共振器長の第2の数値を計算するステップとにより、干渉器長を算出するように動作するアナライザとを具える。
−共振器によって修正された、記録された電磁スペクトルを受けるステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値を概算または算出するステップであって、当該共振器長の少なくとも1つの数値を概算するステップは、記録されたスペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを含むステップと;
−記録されたスペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、スペクトルのマーク波長を選択するステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値の2倍とマーク波長の比に基づいて、概算干渉数を選択するステップと;
−実際の干渉数を概算干渉数に最も近い推定干渉数として算出するステップと;
−実際の干渉数とマーク波長の積の半分に基づいて、共振器長の第2の数値を計算するステップと具える方法を、プログラム可能な処理装置に実行させる。
−共振器によって修正された、記録された電磁スペクトルを受けるステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値を概算または算出するステップであって、当該共振器長の少なくとも1つの数値を概算するステップは、記録されたスペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを含むステップと;
−記録されたスペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、スペクトルのマーク波長を選択するステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値の2倍とマーク波長の比に基づいて、概算干渉数を計算するステップと;
−実際の干渉数を概算干渉数に最も近い推定干渉数として算出するステップと;
−実際の干渉数とマーク波長の積の半分に基づいて、共振器長の第2の数値を計算するステップとを具える方法をプログラム可能な処理装置に実行させる。
のように表すことができ、r1 2=r2 2=Rであり、r1、r2は第1および第2の面それぞれに対する反射性、Lは空洞長さ、λは波長である。この場合、表1における斜めのセルのみが重要であり、干渉数は常に整数となる。
Claims (15)
- 導波管と物体の表面の間の距離を算出する方法において、当該方法が:
−第1および第2の反射性端面(4、5)を有する共振器(1)を設けるステップであって、前記第2の反射性端面(5)は前記物体の表面である、ステップと;
−導波管内の電磁波(λLS)を伝達し、当該電磁波を前記共振器内に放出するステップであって、前記電磁波が少なくとも1つの共振波長を具えているステップと;
−前記電磁波(λLS)によって、前記共振器内に少なくとも1つの共振波を形成するステップと;
−前記共振器から放出された導波管内の前記電磁波のスペクトル(SR)を、記録ユニット(700、800)に伝達するステップと;
−放出された前記スペクトル(SR)を前記記録ユニットで記録し、記録された前記スペクトルを分析ユニットに提供するステップと;
−前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を前記分析ユニットにおいて概算するステップであって、前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を前記分析ユニットにおいて概算するステップが、記録された前記スペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを具えるステップと;
−記録された前記スペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、前記スペクトルの少なくとも1つのマーク波長(λM)を前記分析ユニットにおいて選択するステップと;
−前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)の2倍と使用している前記波長(λM)の比(2*LEST/λM)に基づいて、概算干渉数(IEST)を計算するステップと;
−前記概算干渉数(IEST)に最も近い整数または半整数として、実際の干渉数(ICORR)を算出するステップと;
−前記実際の干渉数(ICORR)と使用している前記波長(λM)の積の半分(ICORR*λM/2)に基づいて、共振器長の第2の数値(LCORR)を計算するステップとを具えることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法が更に:
−前記電磁波が伝達されて前記共振器内に放出される前に、電磁波源から前記電磁波を受けるステップと;
−参照スペクトルと、好適には前記電磁波源の参照スペクトルと比較することにより、記録された波長の前記スペクトルを正規化するステップとを具えることを特徴とする方法。 - 請求項1または2に記載の方法において、前記共振器長(L)の少なくとも1つの数値を算出するステップがさらに、前記フーリエ変換を実行する前に、前記波長のスペクトルの少なくとも一部を周波数領域に変換するステップを具えることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載の方法において、前記電磁波(λLS)の帯域幅が、記録された前記スペクトルが少なくとも2つの干渉最小点または少なくとも2つの干渉最大点を含むように選択されることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載の方法において、前記少なくとも1つのマーク波長(λM)を選択するステップが、前記スペクトルの異なる最大点および/または最小点を更に算出することにより、更なるマーク波長を選択するステップを具えることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至5の何れか一項に記載の方法において、前記実際の干渉数(ICORR)を算出するステップがさらに、規定の推定干渉数のグループを提供するステップを具えることを特徴とする方法。
- 導波管と物体の表面の間の距離を算出するシステムにおいて;
−第1および第2の反射性端面(4、5)を有する共振器(1)であって、前記第2の反射性端面(5)は前記物体の表面であり、その表面までの距離が測定される共振器と;
−電磁波(λLS)を前記共振器に伝達するように構成された、第1の組の電磁波送信機(360、410、412)と;
−電磁スペクトル(SR)を記録するように動作するレコーダと;
−前記共振器(1)から記録手段(700、800)に電磁波を伝達するように構成された、第2の組の電磁波送信機と;
−共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を概算するステップであって、前記共振器長の少なくとも1つの数値(L EST )を概算するステップが、記録された前記スペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを具えるステップと;
−記録された前記スペクトルの最大、最小または変曲点を概算することにより、前記スペクトルの少なくとも1つのマーク波長(λM)を選択するステップと;
−前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)の2倍と使用している前記波長(λM)の比(2*LEST/λM)に基づいて、概算干渉数(IEST)を計算するステップと;
−前記概算干渉数(IEST)に最も近い整数または半整数として実際の干渉数(ICORR)を算出するステップと;
−前記実際の干渉数(ICORR)と使用している前記波長(λM)の積の半分(I CORR *λ M /2)に基づいて、共振器長の第2の数値(LCORR)を計算するステップとによって、
−前記共振器の長さ(L)を算出するように動作するアナライザ(800)とを具えることを特徴とするシステム。 - 請求項7に記載のシステムにおいて、光ファイバが前記第1の端面に配置され、前記第2の端面が金属であることを特徴とするシステム。
- 請求項7または8に記載のシステムにおいて、前記共振器がワークヘッドユニット(600)の第1および第2の面で形成されており、前記ワークヘッドユニットは分離可能な第1および第2の部分を具え、前記第1の面が前記第1の部分の面であり、前記第2の面が前記第2の部分の面であることを特徴とするシステム。
- 請求項7乃至9に記載のシステムにおいて、前記共振器が、2つの反射する実質的に平行な面を具え、前記電磁波の共振波を形成することを特徴とするシステム。
- 請求項7乃至10の何れか一項に記載のシステムにおいて、前記共振器が、ファブリペロー干渉計、フィゾー干渉計、ギヤス−トールニスエタロン、マイケルソン干渉計および円形共振器を含むグループから選択された共振器であることを特徴とするシステム。
- 請求項7乃至11の何れか一項に記載のシステムにおいて、前記電磁波の伝達手段が、導波管、好適には光ファイバ(360)を具えることを特徴とするシステム。
- 請求項7乃至12の何れか一項に記載のシステムにおいて、前記共振器が、流体を含むように構成されることを特徴とするシステム。
- 請求項7乃至13の何れか一項に記載のシステムを制御するコンピュータプログラムの指示を具えるコンピュータプログラムであって、
−物体の表面である反射性端面(5)を有する共振器(1)により修正された、記録された電磁スペクトル(SR)を受けるステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を概算または算出するステップであって、前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を概算するステップが、記録された前記スペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを具えるステップと;
−記録された前記スペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、前記スペクトルのマーク波長(λM)を選択するステップと;
−前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)の2倍と前記マーク波長(λM)の比(2*LEST/λM)に基づいて、概算干渉数(IEST)を計算するステップと;
−前記概算干渉数(IEST)に最も近い整数または半整数として実際の干渉数(ICORR)を算出するステップと;
−前記実際の干渉数(ICORR)と前記マーク波長(λM)の積の半分(ICORR*λM/2)を用いて、前記共振器長の第2の数値(LCORR)を計算するステップとを具える、導波管と物体の表面の間の距離を算出する方法を、プログラム可能な処理装置に実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
- 請求項7乃至13の何れか一項に記載のシステムを制御するコンピュータプログラムを含むコンピュータプログラムの保持媒体であって、前記プログラムが、
−物体の表面である反射性端面(5)を有する共振器(1)により修正された、記録された電磁スペクトル(SR)を受けるステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を概算するステップであって、前記共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)を概算するステップが、記録された前記スペクトルの少なくとも一部のフーリエ変換を実行するステップを具えるステップと;
−記録された前記スペクトルの最大、最小または変曲点を算出することにより、前記スペクトルのマーク波長(λM)を選択するステップと;
−共振器長の少なくとも1つの数値(LEST)の2倍と前記マーク波長(λM)の比(2*LEST/λM)に基づいて、概算干渉数(IEST)を計算するステップと;
−前記概算干渉数(IEST)に最も近い整数または半整数として、実際の干渉数(ICORR)を算出するステップと;
−前記実際の干渉数(ICORR)と前記マーク波長(λM)の積の半分(ICORR*λM/2)を用いて、前記共振器長の第2の数値(LCORR)を計算するステップとを具える、導波管と物体の表面の間の距離を算出する方法を、プログラム可能な処理装置に実行させることを特徴とする媒体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP08166344A EP2175228A1 (en) | 2008-10-10 | 2008-10-10 | Resonator length measurement |
EP08166344.5 | 2008-10-10 | ||
PCT/EP2009/063208 WO2010040838A1 (en) | 2008-10-10 | 2009-10-09 | Resonator length measurement |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012505393A JP2012505393A (ja) | 2012-03-01 |
JP2012505393A5 JP2012505393A5 (ja) | 2012-11-22 |
JP5538406B2 true JP5538406B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=40301781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011530501A Active JP5538406B2 (ja) | 2008-10-10 | 2009-10-09 | 共振器長の測定法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8134714B2 (ja) |
EP (2) | EP2175228A1 (ja) |
JP (1) | JP5538406B2 (ja) |
CN (1) | CN102177409B (ja) |
WO (1) | WO2010040838A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288103B (zh) * | 2011-06-27 | 2013-07-03 | 清华大学 | 基于折叠式法布里-珀罗腔的腔长测量方法及装置 |
DE102015009595A1 (de) * | 2015-07-24 | 2017-01-26 | Universität Heidelberg | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibration eines optischen Resonators, Verwendung der Vorrichtung, Verwendung eines optischen Modulators und Computerprogrammprodukt |
NL2017595A (en) * | 2015-11-10 | 2017-05-26 | Asml Netherlands Bv | Proximity sensor, lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE102016103109B4 (de) * | 2016-02-23 | 2018-07-26 | Björn Habrich | Vermessung einer kavität mittels interferenzspektroskopie |
CN106898942A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-06-27 | 中国科学院光电研究院 | 多束脉冲光同步的调节方法 |
CN107961986A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-27 | 铜陵日兴电子有限公司 | 一种无动力高协调性谐振器厚度分类筛选装置 |
CN111122610B (zh) * | 2019-11-22 | 2021-09-03 | 上海大学 | 一种基于半整数阶谐振模式的有源传感器 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3044183A1 (de) * | 1980-11-24 | 1982-06-24 | Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich | Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens |
US4593368A (en) * | 1984-06-04 | 1986-06-03 | Kollmorgen Technologies Corporation | Technique for measuring very small spacings |
US5555089A (en) * | 1994-11-30 | 1996-09-10 | Anvik Corporation | Absolute distance measuring interferometry using multi-pass resonant cavity referenced to a stabilized laser source |
DE19528676C2 (de) | 1995-08-04 | 1997-05-22 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Interferometeranordnung zur absoluten Distanzmessung |
JPH1183457A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-26 | Yazaki Corp | スペクトル干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた表面形状測定方法 |
US6078706A (en) | 1998-09-22 | 2000-06-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Quasi-static fiber pressure sensor |
US7057732B2 (en) | 1999-01-25 | 2006-06-06 | Amnis Corporation | Imaging platform for nanoparticle detection applied to SPR biomolecular interaction analysis |
US6449048B1 (en) | 2000-05-11 | 2002-09-10 | Veeco Instruments, Inc. | Lateral-scanning interferometer with tilted optical axis |
US6510256B1 (en) | 2000-06-29 | 2003-01-21 | Proximion Fiber Optics Ab | Method and arrangement in connection with optical bragg-reflectors |
CN1137369C (zh) * | 2001-08-23 | 2004-02-04 | 四川大学 | 大尺寸零件无导轨测量装置及其测试方法 |
US7099015B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-08-29 | Ivan Melnyk | Fiber optic sensing device for measuring a physical parameter |
US7483598B2 (en) | 2004-03-15 | 2009-01-27 | Queen's University At Kingston | Phase shift optical loop spectroscopy |
EP1586854A3 (en) * | 2004-04-15 | 2006-02-08 | Davidson Instruments | Interferometric signal conditioner for measurement of the absolute length of gaps in a fiber optic Fabry-Pérot interferometer |
US7305158B2 (en) * | 2004-04-15 | 2007-12-04 | Davidson Instruments Inc. | Interferometric signal conditioner for measurement of absolute static displacements and dynamic displacements of a Fabry-Perot interferometer |
JP4027352B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2007-12-26 | アンリツ株式会社 | 光ファイバプローブ装置 |
TWI278682B (en) * | 2004-11-23 | 2007-04-11 | Ind Tech Res Inst | Fiber optic interferometric position sensor and measuring method thereof |
EP1744119A1 (en) | 2005-07-15 | 2007-01-17 | Proximion Fiber Systems AB | Swept-source optical coherence tomography |
US7289220B2 (en) * | 2005-10-14 | 2007-10-30 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Broadband cavity spectrometer apparatus and method for determining the path length of an optical structure |
DE502006002379D1 (de) | 2006-04-27 | 2009-01-29 | 3R Syst Int Ab | Spannvorrichtung mit Einrichtung zur Messung der Distanz zwischen einem Spannfutter und einem Werkzeug- oder Werkstückhalter |
CN101126629A (zh) * | 2007-09-25 | 2008-02-20 | 北京交通大学 | 利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量*** |
-
2008
- 2008-10-10 EP EP08166344A patent/EP2175228A1/en not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-10-09 WO PCT/EP2009/063208 patent/WO2010040838A1/en active Application Filing
- 2009-10-09 CN CN200980140143.XA patent/CN102177409B/zh active Active
- 2009-10-09 JP JP2011530501A patent/JP5538406B2/ja active Active
- 2009-10-09 US US13/121,043 patent/US8134714B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-09 EP EP09783912.0A patent/EP2335013B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2335013A1 (en) | 2011-06-22 |
JP2012505393A (ja) | 2012-03-01 |
CN102177409A (zh) | 2011-09-07 |
CN102177409B (zh) | 2014-03-26 |
EP2335013B1 (en) | 2014-04-23 |
US20110176143A1 (en) | 2011-07-21 |
EP2175228A1 (en) | 2010-04-14 |
WO2010040838A1 (en) | 2010-04-15 |
US8134714B2 (en) | 2012-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5538406B2 (ja) | 共振器長の測定法 | |
US6937346B2 (en) | Wavemeter having two interference elements | |
Xiaoli et al. | High-accuracy absolute distance measurement by means of wavelength scanning heterodyne interferometry | |
EP0875743B1 (en) | A wavemeter and an arrangement for the adjustment of the wavelength of an optical source | |
JP6157240B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP2011504234A (ja) | 干渉計装置及びその作動方法 | |
JP2002116089A (ja) | 高精度波長計 | |
US20160363531A1 (en) | Refractive index measurement method, measurement apparatus, and optical element manufacturing method | |
US20020171843A1 (en) | Phase-based wavelength measurement apparatus | |
US20100225914A1 (en) | Method for monitoring and measuring optical properties of device in polarization maintaining fibers by using reference fiber bragg grating and fiber components manufactured thereby | |
KR100721783B1 (ko) | 투명 재료의 두께를 측정하기 위한 방법 및 장치 | |
US9625350B2 (en) | Refractive index distribution measuring method, refractive index distribution measuring apparatus, and method for manufacturing optical element | |
JP2015105850A (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP4208069B2 (ja) | 屈折率及び厚さの測定装置ならびに測定方法 | |
JP6157241B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
KR101108693B1 (ko) | 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 장치 및 방법 | |
Imran et al. | Measurement of the group-delay dispersion of femtosecond optics using white-light interferometry | |
JP2015010920A (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP5177566B2 (ja) | 屈折率測定方法および屈折率測定装置 | |
KR100809833B1 (ko) | 잔류응력 측정장치 및 그 방법 | |
JP2001280914A (ja) | 光干渉測定方法 | |
Ushakov et al. | Utilization of NI PXIe-4844 interrogator for high resolution fiber extrinsic Fabry-Perot interferometric sensing | |
WO2002088629A1 (en) | Phase-based wavelength measurement apparatus | |
Iwasiñska et al. | Interferometric dimension comparator | |
Jesus et al. | Optical refractometer based on high birefringence Bragg grating Fabry-Perot cavity |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121005 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5538406 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140428 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |