JP5532320B2 - 表面被覆切削工具およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被膜とを備えたものである。このような基本的構成を有する本発明の表面被覆切削工具は、たとえばドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型切削チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップ、またはクランクシャフトのピンミーリング加工用チップ等として極めて有用に用いることができる。
本発明の表面被覆切削工具の基材としては、硬質粒子と該硬質粒子を結合する結合相とを含むものであれば、特に限定なく使用することができる。たとえば、超硬合金(たとえばWC基超硬合金、WCの他、Coを含み、あるいはさらにTi、Ta、Nb等の炭窒化物等を添加したものも含む)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの)、立方晶型窒化硼素焼結体等をこのような基材の例として挙げることができる。上記の中でも、被膜との密着性を良好に保つという観点から、WC基超硬合金、サーメット等を用いることが好ましい。基材として超硬合金を使用する場合、そのような超硬合金は、組織中に遊離炭素やη相と呼ばれる異常相を含んでいても本発明の効果は示される。
図1は、表面被覆切削工具の表面に対する法線を含む平面で切断したときの断面であって、基材の被膜に接する側の表面近傍を示す模式図である。本発明の基材は、図1に示される表面被覆切削工具の表面に対する法線を含む平面で切断したときの断面において、被膜に接する側の表面に位置する長さ50μmの基準線における面粗度Rmaxが1μm以上10μm以下であることを特徴とする。ここで、面粗度Rmaxは、基準線内の基材の凸部の最大値(最高高さ)と凹部の最小値(最低高さ)との差であり、その値が大きいほど凹凸の段差が粗いことを示す。
図2は、基材の被膜に接する側の表面に位置する硬質粒子の断面を示す模式図である。図2に示されるように、被膜に接する硬質粒子は、被膜に接する側の表面に凹凸が形成されており、上述の基準線における硬質粒子の凹凸を構成する凹部のうち、少なくとも1つの凹部において、該凹部を挟む両端の凸部の先端を結ぶ線分Aの長さLは、10nm以上100nm以下であり、線分Aに平行でかつ凹部の最深部に接する線分Bと、線分Aとの距離Dは、10nm以上100nm以下であることを特徴とする。このような形状の凹部を形成することにより、その上に形成される被膜を構成する結晶の幅を100nm以下の微細な構造にすることができ、もって溶着剥離や被膜の破壊が著しく生じにくくなる。上記の長さLおよび距離Dはいずれも、10nm以上50nm以下であることが好ましい。
本発明における被膜は、基材上の全面を被覆する態様を含むとともに、部分的に被膜が形成されていない態様をも含み、さらにまた部分的に被膜の一部の積層態様が異なっているような態様をも含む。また、本発明の被膜は、その全体の膜厚が1μm以上10μm以下であることが好ましい。1μm未満であると耐摩耗性に劣る場合があり、10μmを超えると基材との密着性および耐欠損性が低下する場合がある。このような被膜の特に好ましい膜厚は2μm以上5μm以下である。また、本発明の被膜は、1層のみに限られるものではなく、2層以上積層させたものであってもよい。
本発明の表面被覆切削工具を作製する方法としては、表面被覆切削工具の表面に対する法線を含む平面で該表面被覆切削工具を切断した場合の断面における基材の表面の長さ50μmの基準線において、1μm以上10μm以下の面粗度Rmaxを形成する第1ステップと、被膜に接する側の基材の表面に位置する硬質粒子の表面に、凹凸を形成する第2ステップと、該基材に対し、物理的蒸着法により基材上に被膜を形成する第3ステップとを含むことを特徴とする。
まず、基材ホルダー4に基材5をセットし、Arガスによるスパッタクリーニング(ボンバード)を兼ねた第1ステップのイオンボンバードを行なう。
続く、第2ステップにおいては、基材の被膜に接する側の表面に位置する硬質粒子の表面に凹凸を形成する。かかる第2ステップは、基材5に対し、チャンバー1内の圧力を1.5Pa以上2.5Pa以下の比較的高圧で、−800V以上−400V以下の比較的低いバイアス電圧を基材に維持してイオンボンバード処理することにより行なわれることが好ましい。
上記のようにして基材表面をイオンボンバード処理を行なった後に、該基材に対し、物理的蒸着法により基材上に被膜を形成する。まず、アーク式蒸発源7に被膜を構成するターゲットをセットする。ターゲットとしては、TiやCrの種々の金属単体もしくは金属化合物を用いることができる。
本実施例の表面被覆切削工具の基材として、その材質がISO P30グレードの超硬合金であって、形状がSFKN12T3AZTNのものを用いた。基材を構成する超硬合金は、硬質粒子としてWCを含み、該硬質粒子をCoからなる結合相によって結合してなるものである。図3は、本実施例の表面被覆切削工具の作製に用いた成膜装置の模式図である。
実施例2〜7および比較例1〜6の表面被覆切削工具は、実施例1の表面被覆切削工具に対し、第1ステップおよび第2ステップのイオンボンバード処理の条件、ならびに被膜を形成するターゲット材料が、表1の「第1ステップ」、「第2ステップ」、および「被膜」の「組成」の欄に示されるように異なる他は、実施例1と同様の方法により作製した。なお、比較例1、2、および6においては、第2ステップを行なわなかった。なおまた、実施例6のように、被膜を構成する金属元素が多い場合は、図3中のアーク式蒸発源6、7の両方にターゲット材料をセットした。
上記のようにして作製した実施例1の表面被覆切削工具において、被膜の表面に対する法線を含む平面に沿って被膜および基材を切断し、その断面を機械研磨した。そして、その断面に対する垂直方向からSEMを用いて25000倍で観察した。実施例1の表面被覆切削工具の断面をSEMで観察した画像を図4に示す。
上記で作製した各実施例および各比較例の表面被覆切削工具のそれぞれについて、乾式の断続切削試験を行なうことにより工具寿命の評価を行なった。断続切削加工の条件は、SUS304を被削材として用い、切削速度120m/min、送り速度0.2mm/刃、切り込み2.0mmの条件で、基材の表面が露出するまでフライス切削加工を行なった。そして、基材露出までに切削した切削長さを下記の表2に示した。なお、切削長さが長いほど、工具寿命が長いことを示している。
Claims (6)
- 基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具の製造方法であって、
前記表面被覆切削工具の表面に対する法線を含む平面で該表面被覆切削工具を切断した場合の断面における前記基材の表面の長さ50μmの基準線において、1μm以上10μm以下の面粗度Rmaxを形成する第1ステップと、
前記被膜に接する側の前記基材の表面に位置する硬質粒子の表面に、凹凸を形成する第2ステップと、
前記基材に対し、物理的蒸着法により前記基材上に前記被膜を形成する第3ステップとを含み、
前記基準線における前記硬質粒子の前記凹凸を構成する凹部のうち、少なくとも1つの凹部において、該凹部を挟む両端の凸部の先端を結ぶ線分Aの長さLは、10nm以上100nm以下であり、前記線分Aに平行でかつ凹部の最深部に接する線分Bと、前記線分Aとの距離Dは、10nm以上100nm以下であり、
前記硬質粒子と前記被膜との接触線の長さをSとし、前記接触線には1または複数の所定形状の凹部が含まれ、該所定形状の凹部の前記長さLの和をTとすると、比T/Sは、0.1以上であり、
前記第1ステップおよび前記第2ステップはいずれも、イオンボンバード処理によって行なう、表面被覆切削工具の製造方法。 - 請求項1に記載の表面被覆切削工具の製造方法により製造された表面被覆切削工具であって、
基材と、該基材上に形成された被膜とを備え、
前記基材は、硬質粒子と該硬質粒子を結合する結合相とを含み、
前記被膜に接する前記硬質粒子は、前記被膜に接する側の表面に凹凸が形成されており、
前記表面被覆切削工具の表面に対する法線を含む平面で切断したときの断面において、前記基材は、前記被膜に接する側の表面に位置する長さ50μmの基準線における面粗度Rmaxが1μm以上10μm以下であり、
前記基準線における前記硬質粒子の前記凹凸を構成する凹部のうち、少なくとも1つの凹部において、該凹部を挟む両端の凸部の先端を結ぶ線分Aの長さLは、10nm以上100nm以下であり、前記線分Aに平行でかつ前記凹部の最深部に接する線分Bと、前記線分Aとの距離Dは、10nm以上100nm以下であり、
前記硬質粒子と前記被膜との接触線の長さをSとし、前記接触線には1または複数の所定形状の凹部が含まれ、該所定形状の凹部の前記長さLの和をTとすると、比T/Sは、0.1以上である、表面被覆切削工具。 - 前記被膜は、柱状晶の結晶組織からなり、
前記所定形状の凹部に接する前記被膜の柱状晶の結晶の幅Wは、前記所定形状の凹部の長さLよりも小さい、請求項2に記載の表面被覆切削工具。 - 前記長さLが、10nm以上50nm以下であり、かつ前記距離Dが10nm以上50nm以下であり、かつ前記比T/Sは0.1以上である、請求項2または3に記載の表面被覆切削工具。
- 前記被膜は、Ti、Al、Si、およびCrからなる群より選ばれる1種以上の第1元素の炭化物、窒化物、または炭窒化物を含み、
前記第1元素に占めるSiの原子比は、20原子%以下である、請求項2〜4のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 - 前記第1元素に占めるSiの原子比は、3原子%以上10原子%以下である、請求項5に記載の表面被覆切削工具。
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