JP5522596B2 - 吸着装置及びロボットシステム - Google Patents
吸着装置及びロボットシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5522596B2 JP5522596B2 JP2011013103A JP2011013103A JP5522596B2 JP 5522596 B2 JP5522596 B2 JP 5522596B2 JP 2011013103 A JP2011013103 A JP 2011013103A JP 2011013103 A JP2011013103 A JP 2011013103A JP 5522596 B2 JP5522596 B2 JP 5522596B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction pad
- suction
- pressure
- robot system
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
この移送ロボットのハンド部には、搬送物をエア吸着する吸着パッドが設けられている場合がある。
本発明は、吸着パッドの摩耗を検出することが可能な吸着装置及びロボットシステムを提供することを目的とする。
前記吸着パッドが前記搬送物を吸着してから該吸着パッドに吸着された該搬送物が移動を開始するまでの間に前記圧力センサが検出した前記吸着圧力の過渡データに基づいて、前記吸着パッドの摩耗を判断する判断部を有する制御装置とを備え、
前記判断部は、前記過渡データに基づいて、前記吸着パッドの吸着圧力が第1の大きさから第2の大きさまで変化するために必要な時間が、予め決められた時間を超えたことである第1の条件を満たしたと判断した場合に、第1のアラームを出力し、
前記第1の大きさは、前記吸着パッドが前記搬送物を吸着した際の前記吸着圧力の大きさであり、
前記第2の大きさは、前記吸着パッドに吸着された前記搬送物が移動を開始する際の前記吸着圧力の大きさである。
該不一致度合いが予め決められた大きさを超えたことである第2の条件を満たしたと判断した場合に、第2のアラームを出力することができる。
該不一致度合いが予め決められた大きさを超えたことである第3の条件を満たしたと判断した場合に、第3のアラームを出力することができる。
前記圧力センサは、前記各圧力配管系統に設けられることが好ましい。
前記A/D変換器の出力をパラレル信号からシリアル信号に変換して出力するパラレル/シリアル変換器と、
前記パラレル/シリアル変換器が出力したシリアル信号を伝送する送信器とを有し、
前記制御装置は、前記送信器が伝送した前記シリアル信号を受信する受信器を有することが好ましい。
前記A/D変換器、前記パラレル/シリアル変換器、及び前記送信器が、前記フレームに設けられ、
前記吸着パッドが、前記フォーク部材に設けられることが好ましい。
前記吸着パッドの吸着圧力を検出する圧力センサと、
前記吸着パッドが前記物品を吸着してから該吸着パッドの吸着圧力が安定するまでの間に前記圧力センサが検出した前記吸着圧力の過渡データに基づいて、前記吸着パッドの摩耗を判断する判断部とを備え、
前記判断部は、前記過渡データに基づいて、前記吸着パッドの吸着圧力が第1の大きさから第2の大きさまで変化するために必要な時間が、予め決められた時間を超えたと判断した場合に、アラームを出力し、
前記第1の大きさは、前記吸着パッドが前記物品を吸着した際の前記吸着圧力の大きさであり、
前記第2の大きさは、前記吸着パッドに吸着された前記物品が移動を開始する際の前記吸着圧力の大きさである。
基板搬送ロボット20は、走行機構42、昇降機構44、並びに第1及び第2のアーム部46a、46bを有し、第1及び第2のアーム部46a、46bの先端部にそれぞれ設けられた第1及び第2のエンドエフェクタ48a、48bを用いて図3に示す液晶ガラス基板G(搬送物及び物品の一例)を搬送することができる。
走行機構42は、液晶ガラス基板Gの搬送方向と交差する走行方向(図1に示す矢印参照)に昇降機構44を移動させることができる。
昇降機構44は、基板搬送ロボット20の設置面と交差する軸S1回りに旋回することができる。昇降機構44は、複数の左脚部52a1、52a2、52a3及び右脚部52b1、52b2、52b3を略水平方向に延びる各関節軸J1回りに回転させ、支持ベース54を昇降させることができる(図1に示す矢印参照)。
第2のアーム部46bは、第1のアーム部46aと同様に構成される。従って、基板搬送ロボット20は、第2のエンドエフェクタ48bを搬送方向に移動させることができる。
このように、基板搬送ロボット20は、第1及び第2のエンドエフェクタ48a、48bにそれぞれ載った液晶ガラス基板Gを搬送することができる。
各フォーク部材62a〜62dの液晶ガラス基板Gが載せられる側の面には、例えば4つの吸着パッド76が設けられている。基板搬送ロボット20は、これら吸着パッド76にて液晶ガラス基板Gをエア吸着し、液晶ガラス基板Gを保持して搬送することができる。
なお、図5に示した「ロボット本体」とは、基板搬送ロボット20から第1及び第2のエンドエフェクタ48a、48bを除いたものをいう(以下、同様)。
各圧力センサ66a〜66dが出力するアナログ信号は、例えば4チャンネルのA/D変換器68(図4及び図6参照)によってデジタル信号に変換されて出力される。A/D変換器68の各出力は、パラレル/シリアル変換器72によって、パラレル信号からシリアル信号に変換され出力される。パラレル/シリアル変換器72の出力は、送信器74によって伝送される。なお、信号の伝送方式は、時分割サイクリック伝送方式とすることができる。
このように、吸着圧力のデータがデジタル変換されて伝送されるので、アナログ信号のまま伝送される場合よりも信号の耐ノイズ性能が向上する。また、吸着圧力の信号がシリアル変換されて伝送されるので、基板搬送ロボット20に配線される信号ケーブルの本数が低減される。
受信器82は、前述の通り、第1及び第2のエンドエフェクタ48a、48bにそれぞれ設けられた送信器74から伝送されたシリアル信号をそれぞれ受信する。
ここで、吸着パッド76が液晶ガラス基板Gを吸着した瞬間を、吸着圧力に基づいて厳密に特定することは困難である。吸着パッド76が液晶ガラス基板Gを吸着したことは、図9記載のA部に示すように吸着圧力の変化率が急激に乱れることにより判断され、例えば、上昇する吸着圧力が更に上昇する変化点C(時刻t1)にて、吸着パッド76が液晶ガラス基板Gを吸着したと判断(定義)することができる。また、吸着圧力が安定したこと(吸着圧力100%)は、吸着圧力の変動が予め決められた範囲内に収まることにより判断される。
この第1の大きさは、例えば、吸着パッド76が液晶ガラス基板Gに接触した際の吸着圧力の大きさとすることができる。また、第2の大きさは、吸着パッド76の吸着圧力が安定し、吸着パッド76に吸着されたガラス基板Gが移動を開始した際の吸着圧力の大きさとすることができる。即ち、第1の条件は、例えば、図9に示す時刻t1から時刻t2(吸着圧力が安定した時刻)までの時間T1が予め決められた時間を超えたこととすることができる。
判断部86は、第1の条件を満たしたと判断した場合には、吸着パッド76が摩耗したとして第1のアラームを出力する。
判断部86は、過渡データDと、基準過渡データD0との不一致度合いを求める。判断部86は、第2の条件を満たしたと判断した場合には、吸着パッド76が摩耗したとして第2のアラームを出力する。
判断部86は、過渡データDと、過渡データDの移動平均のデータD1との不一致度合いを求める。判断部86は、第3の条件を満たしたと判断した場合には、吸着パッド76が摩耗したとして第3のアラームを出力する。
判断部86は、第1〜第3のアラームのうちいずれかのアラームを出力するたびにその出力回数を累積してカウントする。判断部86は、第4の条件を満たしたと判断した場合には、吸着パッド76が摩耗したとして第4のアラームを出力する。
まず、事前準備として、前述の基準過渡データD0を基準データ記憶部90に記憶しておく。
基板搬送ロボット20が、第1のエンドエフェクタ48aを液晶ガラス基板Gの下方へ移動させる。各ソレノイドバルブ64a〜64dを開き、吸着パッド76に吸着圧力を発生させる。
データ取得部84が、吸着圧力のデータの取得を開始する。データ取得部84が取得するデータは、データ記憶部88に記憶される。基板搬送ロボット20が、第1のエンドエフェクタ48aを液晶ガラス基板Gの下方から上方へと移動させる。
次に、第1のエンドエフェクタ48aの吸着パッド76が液晶ガラス基板Gに接触する。吸着パッド76が液晶ガラス基板Gを吸着する際、データ取得部84が取得するデータに、図9記載のA部に示す変動が現れる。基板搬送ロボット20は、第1のエンドエフェクタ48aを更に上方へと移動する。
基吸着圧力のデータが安定した場合には、次のステップS4へ進む。吸着圧力のデータが安定していない場合には、データ取得部84は、ステップS2に示したデータ取得を継続する。
データ取得部84が、データの取得を終了する。
判断部86は、前述の第1〜第3の条件を満たすか否かを判断する。第1〜第3の条件を満たす場合には、次ステップS6を実行する。第1〜第3の条件を満たしていない場合には、動作を終了する。
判断部86は、対応する第1〜第3のアラームを出力する。
判断部86は、アラームの出力回数を1回増やす。なお、本ステップにて、例えば第1及び第2のアラーム(合計2つのアラーム)を出力した場合には、アラームの出力回数を2回増やす。
判断部86は、更に、第4の条件を満たすか否かを判断する。第1〜第3のアラームの出力回数が累積し、第4の条件を満たしている場合には、次ステップS9を実行する。第4の条件を満たしていない場合には、吸着パッド76の摩耗の検出動作を終了する。
判断部86は、第4のアラームを出力する。
なお、判断部86は第1〜第3のアラームは外部に出力せずに、第4のアラームのみを出力することも可能である。搬送する液晶ガラス基板Gの平面度に大きなばらつきがあると、液晶ガラス基板Gによっては、吸着がうまくいかず、吸着パッド76の摩耗と誤検出される場合がある。第4のアラームのみを出力することで、液晶ガラス基板Gの平面度に大きなばらつきがあっても、誤検出が抑制される。
本実施の形態によれば、吸着パッド76の摩耗が事前に検出される。特に、吸着パッド76が各系統に分かれて設けられているので、摩耗した吸着パッド76が容易に特定される。
ロボットの形態は任意でよい。例えば、アームの軸数は任意でよい。また、ダブルアームでなく、シングルアームであってもよい。更に言えば、ロボットは、例えば、アームの先端にエンドエフェクタを有する6軸(又は7軸の)の産業用ロボットであってもよい。
系統は、フォーク部材毎に分けなくてもよい。例えば、大きさの異なる搬送物を搬送する場合に、各搬送物に接触する吸着パッドに応じて系統を分けることができる。
判断部は、第1〜第4のアラームのうち、一部のアラームだけを出力することもできる。
相関データは、移動平均のデータD1に限定されるものではない。相関データの他の例として、過渡データDに何らかの処理をして得られた新たなデータが挙げられる。
Claims (9)
- 搬送物を吸着する吸着パッド及び該吸着パッドの吸着圧力を検出する圧力センサが設けられたエンドエフェクタを有するロボットと、
前記吸着パッドが前記搬送物を吸着してから該吸着パッドに吸着された該搬送物が移動を開始するまでの間に前記圧力センサが検出した前記吸着圧力の過渡データに基づいて、前記吸着パッドの摩耗を判断する判断部を有する制御装置とを備え、
前記判断部は、前記過渡データに基づいて、前記吸着パッドの吸着圧力が第1の大きさから第2の大きさまで変化するために必要な時間が、予め決められた時間を超えたことである第1の条件を満たしたと判断した場合に、第1のアラームを出力し、
前記第1の大きさは、前記吸着パッドが前記搬送物を吸着した際の前記吸着圧力の大きさであり、
前記第2の大きさは、前記吸着パッドに吸着された前記搬送物が移動を開始する際の前記吸着圧力の大きさであるロボットシステム。 - 請求項1記載のロボットシステムにおいて、
前記判断部は、前記吸着パッドが摩耗していない場合に該吸着パッドが前記搬送物を吸着してから該吸着パッドの吸着圧力が安定するまでの間に前記圧力センサから取得された、前記過渡データに対応する基準過渡データと、前記過渡データとの不一致度合いを求め、該不一致度合いが予め決められた大きさを超えたことである第2の条件を満たしたと判断した場合に、第2のアラームを出力するロボットシステム。 - 請求項2記載のロボットシステムにおいて、
前記判断部は、前記過渡データと、該過渡データと相関のある相関データとの不一致度合いを求め、該不一致度合いが予め決められた大きさを超えたことである第3の条件を満たしたと判断した場合に、第3のアラームを出力するロボットシステム。 - 請求項3記載のロボットシステムにおいて、
前記相関データは、前記過渡データの移動平均のデータであるロボットシステム。 - 請求項3記載のロボットシステムにおいて、
前記判断部は、前記第1〜第3のアラームのうちいずれかのアラームを出力するたびにその出力回数をカウントし、該出力回数が予め決められた値を超えたことである第4の条件を満たしたと判断した場合に第4のアラームを出力するロボットシステム。 - 請求項5記載のロボットシステムにおいて、
前記吸着パッドは、該吸着パッドの吸着圧力を制御する圧力配管系統毎に設けられ、
前記圧力センサは、前記各圧力配管系統に設けられるロボットシステム。 - 請求項6記載のロボットシステムにおいて、
前記エンドエフェクタは、前記各圧力センサが出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力するA/D変換器と、
前記A/D変換器の出力をパラレル信号からシリアル信号に変換して出力するパラレル/シリアル変換器と、
前記パラレル/シリアル変換器が出力したシリアル信号を伝送する送信器とを有し、
前記制御装置は、前記送信器が伝送した前記シリアル信号を受信する受信器を有するロボットシステム。 - 請求項7記載のロボットシステムにおいて、
前記エンドエフェクタは、フレームと、前記フレームから延びるフォーク部材とを有し、
前記A/D変換器、前記パラレル/シリアル変換器、及び前記送信器が、前記フレームに設けられ、
前記吸着パッドが、前記フォーク部材に設けられるロボットシステム。 - 物品を吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドの吸着圧力を検出する圧力センサと、
前記吸着パッドが前記物品を吸着してから該吸着パッドの吸着圧力が安定するまでの間に前記圧力センサが検出した前記吸着圧力の過渡データに基づいて、前記吸着パッドの摩耗を判断する判断部とを備え、
前記判断部は、前記過渡データに基づいて、前記吸着パッドの吸着圧力が第1の大きさから第2の大きさまで変化するために必要な時間が、予め決められた時間を超えたと判断した場合に、アラームを出力し、
前記第1の大きさは、前記吸着パッドが前記物品を吸着した際の前記吸着圧力の大きさであり、
前記第2の大きさは、前記吸着パッドに吸着された前記物品が移動を開始する際の前記吸着圧力の大きさである吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013103A JP5522596B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 吸着装置及びロボットシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013103A JP5522596B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 吸着装置及びロボットシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012152843A JP2012152843A (ja) | 2012-08-16 |
JP5522596B2 true JP5522596B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=46835139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011013103A Expired - Fee Related JP5522596B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | 吸着装置及びロボットシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5522596B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017139261A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6569312B2 (ja) * | 2015-06-05 | 2019-09-04 | 富士通株式会社 | 処理装置、処理方法及び処理プログラム |
JP6825398B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2021-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JP6526097B2 (ja) | 2017-04-21 | 2019-06-05 | ファナック株式会社 | ロボットシステム |
JP6988508B2 (ja) * | 2018-01-24 | 2022-01-05 | 株式会社Ihi | 熱可塑性繊維強化プラスチックシートの搬送方法、搬送装置、及び搬送システム |
KR102153010B1 (ko) * | 2019-02-28 | 2020-09-07 | 한미반도체 주식회사 | 픽커 흡착패드의 검사장치 및 픽커 흡착패드의 검사방법 |
JP7342614B2 (ja) | 2019-10-25 | 2023-09-12 | オムロン株式会社 | 劣化判定装置、劣化判定方法、および制御プログラム |
CN115996825A (zh) * | 2020-09-03 | 2023-04-21 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬运机器人*** |
DE102021129545A1 (de) * | 2021-11-12 | 2023-06-07 | Gerhard Schubert Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Prüf-Verfahren für Sauger-Einheit sowie Sauger-Einheit zur Durchführung des Verfahrens |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3038265B2 (ja) * | 1991-10-31 | 2000-05-08 | サンクス株式会社 | センサスイッチ |
JP3897286B2 (ja) * | 2002-02-07 | 2007-03-22 | 株式会社スター精機 | 成型品取出機 |
JP2010082782A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Nec Electronics Corp | 吸着装置および吸着方法 |
-
2011
- 2011-01-25 JP JP2011013103A patent/JP5522596B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017139261A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
KR102586743B1 (ko) | 2016-02-01 | 2023-10-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012152843A (ja) | 2012-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5522596B2 (ja) | 吸着装置及びロボットシステム | |
US12005566B2 (en) | On-demand robotic food assembly equipment, and related systems and methods | |
TWI586498B (zh) | 機器人系統及末端執行器之變形檢測方法 | |
KR102092868B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2016523793A5 (ja) | ||
WO2009105211A3 (en) | Adaptable container handling system | |
US20150115636A1 (en) | Gripping apparatus, robot, and gripping method | |
JP2016100407A5 (ja) | ||
US20190366544A1 (en) | Robot, Control Device And Method Of Controlling Robot | |
CN106239486B (zh) | 一种工业机器人 | |
KR20190062583A (ko) | 파지력 설정 시스템, 파지력 설정 방법, 및 파지력 추정 시스템 | |
EP3081511A3 (en) | Method for positioning an autonomous vehicle in a warehouse and maintenance system | |
KR20110090753A (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법과 기억 매체 | |
US20210260775A1 (en) | Robotic system with gripping mechanism | |
US20140207283A1 (en) | Robot with handling unit | |
WO2015192034A8 (en) | Tipping indicator for a work vehicle | |
JP2010188483A (ja) | 搬送ロボット | |
WO2016115827A1 (zh) | 压力传感器 | |
WO2008126454A1 (ja) | 基板搬送装置 | |
CN107170701B (zh) | 机械手、半导体加工设备及机械手工作状态的检测方法 | |
CN113276153A (zh) | 具有夹持机构的机器人*** | |
JP2019059016A5 (ja) | ||
MX2009005814A (es) | Metodo y dispositivo para la despaletizacion y el traslado de carros rodantes. | |
WO2020256504A3 (ko) | 수술 시스템 | |
WO2017070872A1 (zh) | 一种用于异常检测的方法和装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130911 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5522596 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140330 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |