JP5517350B2 - 載置台駆動装置 - Google Patents
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Description
本発明は、検査装置において、半導体ウエハ等の被検査体を載置し、被検査体の電気的特性検査に使用される載置台を駆動する載置台駆動装置に関し、更に詳しくは、検査装置の省スペース化及び軽量化に資することができる載置台駆動装置に関する。
従来の検査装置は、例えば図4に示すように、互いに隣接するローダ室1及び検査室2を備えている。ローダ室1は、複数枚の半導体ウエハWをカセット単位で収納するカセット収納部と、カセットから半導体ウエハWを一枚ずつ搬出入するウエハ搬送機構と、ウエハ搬送機構によって半導体ウエハWを搬送する間に半導体ウエハWの予備位置合わせを行うプリアライメント機構と、を備えている。
検査室2は、半導体ウエハWを保持しX、Y、Z及びθ方向で移動可能に構成された載置台3と、この載置台3上に載置された半導体ウエハWと電気的に接触させるプローブカード4と、このプローブカード4を、カードホルダ(図示せず)を介して固定するクランプ機構5と、プローブカード4とテストヘッドTとを電気的に接続する接続リング6と、を備え、制御装置の制御下でテストヘッドT、接続リング6及びプローブカード4を介して図示しないテスタと半導体ウエハWとの間でテスト信号を送受信して半導体ウエハWの電気的特性検査を行なうように構成されている。尚、図4において、7は載置台3と協働して半導体ウエハWとプローブカード4との位置合わせを行うアライメント機構で、7Aはアライメントブリッジに設けられた上カメラ、7Bは載置台側に設けられた下カメラであり、8はクランプ機構5が固定されたヘッドプレートである。
而して、半導体ウエハWの電気的特性検査を行う時には、検査に先立って半導体ウエハWの複数の電極パッドとこれらの電極パッドに対応するプローブカード4のプローブ4Aのアライメントを行った後、半導体ウエハWとプローブカード4を電気的に接触させてデバイスの電気的特性検査を行う。この際、載置台3がXYテーブル9を介してX方向及びY方向へ移動し、半導体ウエハWを検査位置へ移動させる。
また、必要に応じて半導体ウエハWに形成された全電極パッドとプローブカード4の全プローブ4Aを一括接触させて半導体ウエハWの複数のデバイスの電気的特性検査を行うこともある。
しかしながら、従来の検査装置の場合には、検査室2内で載置台3がXYテーブル9を介して水平方向で広範囲に移動するため、載置台3の移動領域が広くなり、また、載置台3をミクロンオーダーで駆動制御するため、XYテーブル9を高精度で高剛性に仕上げなくてはならず、XYテーブル9が高重量化し、しかも半導体ウエハWの大口径化に伴ってXYテーブル9の高重量化が更に顕著になる。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、検査装置の省スペース化及び軽量化に資する載置台駆動装置を提供することを目的としている。
本発明の請求項1に記載の載置台駆動装置は、被検査体を載置する載置台、上記載置台の上方に配置されたプローブカード、及び上記載置台を支持する支持台を含む検査室の外側から上記載置台を移動させる載置台駆動装置であって、上記載置台を水平方向に移動させる水平方向駆動機構と、上記載置台を上記支持台から浮上させる載置台浮上機構と、上記水平方向駆動機構と上記載置台を連結する連結機構と、を備え、上記水平方向駆動機構と上記載置台を連結し、上記支持台から浮上する上記載置台を水平方向に移動させることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載の載置台駆動装置は、請求項1に記載の発明において、上記水平移動機構は、X方向へ移動するXテーブルと、Y方向へ移動するYテーブルと、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載の載置台駆動装置は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記載置台浮上機構は、エアベアリングとして構成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載の載置台駆動装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、上記載置台を上記支持台上に固定する真空吸着装置を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載の載置台駆動装置は、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発明において、上記連結機構は、上記筐体から水平方向に延設される連結体と、上記載置台に設けられ且つ上記連結体を吸着する電磁石と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項6に記載の載置台駆動装置は、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の発明において、上記載置台へ上記被検査体を搬送する搬送機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項7に記載の載置台駆動装置は、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の発明において、上記検査室が一列に複数配列されていることを特徴とするものである。
本発明によれば、検査装置の省スペース化及び軽量化に資する載置台駆動装置を提供することができる。
本発明の載置台駆動装置は、例えば図1に示すように複数の検査室を備えた検査装置に適用される。そこで、本実施形態の載置台駆動装置を例えば図1〜図3に示す検査装置と共に説明する、
本実施形態の検査装置Eは、図1に示すように、X方向に複数(例えば5室)連設して配列された検査室10と、これらの検査室10に沿って移動するように設けられた一台の載置台駆動装置20と、半導体ウエハWを一枚ずつ搬送するウエハ搬送装置30と、を備えている。検査室10、載置台駆動装置20及びウエハ搬送装置30は、統括制御装置(図示せず)の制御下で駆動するように互いに通信回線で結ばれている。
検査室10は、図1、図2に示すように、半導体ウエハWを載置する載置台11と、載置台11を支持する支持台12と、載置台11の上方に配置されたプローブカード13と、プローブカード13の複数のプローブ13Aと載置台11上の半導体ウエハWの複数の電極パッドと位置合わせを行うアライメント機構(図示せず)と、これらを制御する制御装置(図示せず)と、を備え、載置台11上の半導体ウエハWとプローブカード13が一括して接触し、一度の接触で半導体ウエハWの全デバイスの電気的特性検査を行うように構成されている。
載置台11は、図2に示すように、半導体ウエハWを吸着固定するチャックトップ11Aと、チャックトップ11Aを昇降させる昇降駆動機構11Bと、チャックトップ11Aをθ方向へ移動させるθ方向駆動機構(図示せず)と、を有し、半導体ウエハWの検査時には支持台12の中心に真空装置を介して固定されている。載置台11は、例えば、その軸芯と支持台12の中心との一致点を基準位置として支持台12上に配置されている。また、プローブカード13は、半導体ウエハW全面に形成された複数の全てのデバイスの電極パッドと接触する本数のプローブを有している。
従って、載置台11が移動へする間にアライメント機構を介して載置台11上の半導体ウエハWの電極パッドとプローブカード13のプローブ13Aとのアライメントを行った後、プローブカード13と半導体ウエハWの全てのデバイスの電極パッドが一括して接触し、半導体ウエハWの全デバイスの電気的特性検査を行う。
本実施形態の載置台駆動装置20は、検査室10の外側で5室の検査室10に沿って移動するように配置され、半導体ウエハWとプローブカード13とのアライメント時や半導体ウエハWの検査時に検査室10の外側から載置台11を支持台12上で移動操作するように構成されている。この載置台駆動装置20は、図1、図2に示すように、検査室10内の載置台11を水平方向に移動させる水平方向駆動機構21と、水平方向駆動機構21を支持する基台22と、圧縮空気を用いて載置台11を支持台12から浮上させる載置台浮上機構(例えば、エアベアリング)23と、水平方向駆動機構21と載置台11を連結する連結機構24と、水平方向駆動機構21を収納する筐体25と、を備え、検査室10との間で通信することによって駆動機構を介して5室の検査室10に沿ってX方向へ移動し、各検査室10の正面中央で停止するように制御されている。また、筐体25の上面には半導体ウエハWを受け渡すアーム機構26が設けられ、検査室10との間で半導体ウエハWを受け渡すように構成されている。
水平方向駆動機構21は、図2に示すように、X方向へ移動するXテーブル21Aと、Y方向へ移動するYテーブル21Bと、を有し、Xテーブル21Aがモータ(図示せず)を介してYテーブル21B上に設けられたX方向レール21Cに従って移動すると共にYテーブル21Bがモータ(図示せず)を介して基台22上に設けられたY方向レール21Dに従って移動するように構成されている。この水平方向駆動機構21は、図4に示す従来の検査装置のものに準じて構成されている。
エアベアリング23は、図2に示すように、載置台11内の下端部に設けられ、空気供給源(図示せず)から供給される圧縮空気Aによって作動し、載置台11を支持台12から僅かな寸法だけ白抜き矢印方向(Z方向)へ浮上させるように構成されている。従って、載置台11は、エアベアリング23が作動して支持台12の上面から浮上し、水平方向駆動機構21を介して支持台12の上面内で水平方向へ移動する。このエアベアリング23としては従来公知のものを使用することができる。
水平方向駆動機構21と載置台11は、図1〜図3に示すように連結機構24を介して連結され、連結が解除されるように構成されている。連結機構24は、図3に示すように、例えばXテーブル21Aの幅方向の中心から検査室10に水平に延設された進退動可能な連結体24Aと、載置台11の周面に設けられて連結体24Aを吸着する電磁石24Bと、を有し、連結体24AがXテーブル21Aを基準にして進退動できるように構成されている。連結体24Aの先端には三角形状の突起24Cが形成されており、この突起24Cを載置台11の周面に設けられた電磁石24Bが吸着して水平方向駆動機構21と載置台11を連結するように構成されている。そして、水平方向駆動機構21と載置台11を連結した時に、連結体24Aが水平方向駆動機構21において載置台11の浮上に追随して上昇でききるようになっている。また、検査室10には連結体24Aが出入する開口部10Aが形成されている。
また、ウエハ搬送装置30は、図1に示すように検査室10とで載置台駆動装置20を挟む位置に配置されている。このウエハ搬送装置30は、多関節アーム31と、多関節アーム31の駆動機構が収納された筐体32と、を有し、5室の検査室10と平行に配置されたレール40に従ってX方向で移動するように構成されている。また、レール40を挟んで載置台駆動装置20と対向する位置には半導体ウエハWを一時的に保管するウエハ保管台50がX方向に複数台設けられている。従って、ウエハ搬送装置30は、レール40に従ってX方向で移動し、多関節アーム31によってウエハ保管台50と載置台駆動装置20のアーム機構26との間で半導体ウエハWを受け渡しするように構成されている。
次いで、半導体ウエハWを検査する時の載置台駆動装置20の動作について説明する。まず、検査装置Eが統括制御装置の制御下で作動すると、図1に示すように、ウエハ搬送装置30がレール40に従って移動して所定のウエハ保管台50の正面で停止した後、多関節アーム31が駆動してウエハ保管台50から半導体ウエハWを一枚搬出する。その後、図1に示すようにウエハ搬送装置30が所定(例えば図1では一番左側)の検査室10と対向する位置までレール40に従って移動する。この間に、載置台駆動装置20が移動して一番左側の検査室10の正面で停止する。この時、連結機構24の連結体24Aの延長線上に載置台11側の電磁石24Bが位置しており、載置台11は支持台12の中央に真空吸着により固定されている。
載置台駆動装置20が検査室10の正面で停止すると、水平方向駆動機構21から連結機構24の連結体24Aが検査室10内へ進出し、突起24Cが載置台11側の電磁石24Bに吸着されて、水平方向駆動機構21と載置台11が連結される。引き続き、ウエハ搬送装置30の多関節アーム31が駆動すると共に載置台駆動装置20のアーム機構26が駆動し、多関節アーム31とアーム機構26の間で半導体ウエハWの受け渡しを行う。アーム機構26が多関節アーム31から半導体ウエハWを受け取った後、アーム機構26は検査室10内へ進出して載置台11のチャックトップ11Aに半導体ウエハWを引き渡した後、検査室10から退出する。この際、連結機構24の連結体24Aと載置台11側の電磁石24Bとの連結が解除され、連結体24Aが検査室10から退出する。
載置台駆動装置20が一番左側の検査室10への半導体ウエハWの引渡しを終了すると、ウエハ要求のある他の検査室10へ移動し、同様の動作を繰り返してその検査室10への半導体ウエハWの引渡しを行う。このように載置台駆動装置20は、5室の検査室10を行き来してウエハ保管台50との間で半導体ウエハWの受け渡しを効率よく行う。
半導体ウエハWを受け取った一番左側の検査室10では半導体ウエハWの電気的特性検査を実施する。即ち、検査室10内では、載置台11のチャックトップ11Aがθ方向駆動機構を介して僅かな角度だけ回転して半導体ウエハWを所定の向きに調整した後、支持台12上での載置台11の固定が解除されると共に載置台11がエアベアリング23を介して支持台12から浮上し、支持台12上の基準位置から自由に移動できる状態になる。この状態で載置台11が水平方向駆動機構21を介してX方向及びY方向へ移動すると共にアライメント機構と協働して載置台11上の半導体ウエハWの検査用の電極パッドとプローブカード13のプローブ13Aのアライメントを行う。半導体ウエハWとプローブカード13をアライメントした後、アライメント位置で載置台11が支持台12上に固定される。引き続き、載置台11ではチャックトップ11Aが昇降駆動機構を介して上昇し、半導体ウエハWの全電極パッドとプローブカード13の全プローブ13Aが一括して接触し、チャックトップ11Aがオーバードライブして全電極パッドと全プローブ13Aがそれぞれ電気的に接触し、半導体ウエハWの全デバイスの電気的特性検査が順次行われる。
半導体ウエハWの検査が終了すると、一番左側の検査室10と載置台駆動装置20との通信を行って載置台駆動装置20を呼び、載置台駆動装置20によって検査室10から検査済みの半導体ウエハWを受け取る。即ち、載置台駆動装置20のアーム機構26が検査室10内に進出して載置台11から検査済みの半導体ウエハWを受け取り、検査室10の外側へ搬送した後、ウエハ搬送装置30の多関節アーム31との間で検査済みの半導体ウエハWの受け渡しを行う。多関節アーム31が検査済み半導体ウエハWを受け取ると、ウエハ搬送装置30がレール40に従って移動し所定のウエハ保管台50の正面で停止し、検査済み半導体ウエハWを所定のウエハ保管第50へ戻す。その後、後続の未検査の半導体ウエハWが上述の工程に従って順次検査される。
以上説明したように本実施形態によれば、検査室10内の載置台11を水平方へ移動させる載置台駆動装置20を検査室10の外側へ設けたため、検査室10内の水平方向駆動機構を省略することができ、検査室10内の駆動機器を軽量化することができると共に検査室10を省スペース化することができ、延いてはコスト低減を促進することができる。
また、5室の検査室10があっても、5室の検査室10で載置台駆動装置20を共用することができるため、検査装置Eのコストを格段に低減することができる。
尚、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではない。例えば、上記実施形態では連結機構として電磁石を用いているが、連結機構としては連結体の先端部を機械的に掴むクランプ機構を用いても良い。また、載置台駆動装置がアーム機構を備えているが、載置台駆動装置のアーム機構を省略し、ウエハ搬送装置の多関節アームと載置台との間で半導体ウエハを直接受け渡すようにしても良い。また、ウエハ搬送装置を省略し、載置台駆動装置に多関節アーム等のアーム機構を設けるようにしても良い。
10 検査室
11 載置台
12 支持台
13 プローブカード
13A プローブ
20 載置台駆動装置
21 水平方向駆動機構
21A Xテーブル
21B Yテーブル
23 エアベアリング(載置台浮上機構)
24 連結機構
24A 連結体
24B 電磁石
26 アーム機構
W 半導体ウエハ
11 載置台
12 支持台
13 プローブカード
13A プローブ
20 載置台駆動装置
21 水平方向駆動機構
21A Xテーブル
21B Yテーブル
23 エアベアリング(載置台浮上機構)
24 連結機構
24A 連結体
24B 電磁石
26 アーム機構
W 半導体ウエハ
Claims (7)
- 被検査体を載置する載置台、上記載置台の上方に配置されたプローブカード、及び上記載置台を支持する支持台を含む検査室の外側から上記載置台を移動させる載置台駆動装置であって、上記載置台を水平方向に移動させる水平方向駆動機構と、上記載置台を上記支持台から浮上させる載置台浮上機構と、上記水平方向駆動機構と上記載置台を連結する連結機構と、を備え、上記水平方向駆動機構と上記載置台を連結し、上記支持台から浮上する上記載置台を水平方向に移動させることを特徴とする載置台駆動装置。
- 上記水平移動機構は、X方向へ移動するXテーブルと、Y方向へ移動するYテーブルと、を有することを特徴とする請求項1に記載の載置台駆動装置。
- 上記載置台浮上機構は、エアベアリングとして構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の載置台駆動装置。
- 上記載置台を上記支持台上に固定する真空吸着装置を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の載置台駆動装置。
- 上記連結機構は、上記筐体から水平方向に延設される連結体と、上記載置台に設けられ且つ上記連結体を吸着する電磁石と、を有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の載置台駆動装置。
- 上記載置台へ上記被検査体を搬送する搬送機構を有することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の載置台駆動装置。
- 上記検査室が一列に複数配列されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の載置台駆動装置。
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