JP5515443B2

JP5515443B2 - Storehouse

Info

Publication number: JP5515443B2
Application number: JP2009144266A
Authority: JP
Inventors: 正直村田; 孝山路
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2009-06-17
Filing date: 2009-06-17
Publication date: 2014-06-11
Anticipated expiration: 2029-06-17
Also published as: JP2011001149A

Description

本発明は、搬送車との間で、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の荷の入出庫が行われる、例えばストッカ等の保管庫の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a storage such as a stocker in which goods such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) that accommodates various substrates for manufacturing a semiconductor element are loaded and unloaded, for example.

この種の保管庫に適応する荷として、例えば口径が３００ｍｍである半導体ウェハを複数枚収容可能なＦＯＵＰが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰは、主に、保管庫が設置される施設内において、搬送車の経路に沿った複数の工程間又は各工程内で、複数の半導体ウェハを搬送したり一時的に保管するために使用される。 As a load suitable for this type of storage, for example, a FOUP capable of accommodating a plurality of semiconductor wafers having a diameter of 300 mm has been proposed (for example, see Patent Document 1). Such FOUP is mainly used to transport or temporarily store a plurality of semiconductor wafers between or within a plurality of processes along the route of a transport vehicle in a facility where a storage is installed. Used for.

また、この種の保管庫としては、ワーク等の半導体ウェハを収納可能な収納部が上下左右に複数配列された収納棚と、該収納棚に面する空間を移動することにより半導体ウェハを複数の収納部間で出し入れ可能な移載ロボットとを備える高層収納棚が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このような高層収納棚には、各収納部への足場となるプラットホームが引き出し自在に設けられている。 In addition, as this type of storage, a plurality of storage units that can store semiconductor wafers such as workpieces are arranged vertically and horizontally, and a plurality of semiconductor wafers are moved by moving a space facing the storage shelf. A high-rise storage shelf including a transfer robot that can be taken in and out between storage units has been proposed (see, for example, Patent Document 2). Such a high-rise storage shelf is provided with a platform that can be pulled out as a scaffold for each storage unit.

特開２００７−１２３６７３号公報JP 2007-123673 A 特開２００２−３７０８０７号公報JP 2002-370807 A

ここで、上述した特許文献１に開示されるＦＯＵＰに収納される半導体ウェハについて、その口径は３００ｍｍに規定されるが、近年、３００ｍｍより大きい大口径化が図られ、例えば口径が４５０ｍｍに促進されつつある。これに対応して、ＦＯＵＰが大型化及び大重量化される傾向がある。 Here, the diameter of the semiconductor wafer accommodated in the FOUP disclosed in Patent Document 1 described above is regulated to 300 mm, but in recent years, the diameter has been increased to be larger than 300 mm, and the diameter has been promoted to 450 mm, for example. It's getting on. Correspondingly, FOUPs tend to be larger and heavier.

こうした傾向に対し、上述した特許文献２に開示される高層収納棚において、例えば、移載ロボットが故障し、収納部における荷の取り置きが不能となったり、収納部の収納面の変形や収納部上に落下した部品等の障害物により、荷が収納部の所定位置に載置されなかったり、該所定位置に載置されなかった荷を載置し直そうとも、所定位置にない荷を移載ロボットが把持できない旨の事態が発生する。こうした事態を解消するには、人手により、収納部における荷を高層収納棚外へ持ち運んだり、荷を収納部の所定位置に置き直すことが必要となる。仮に、上述した事態が発生した場合に、保管庫或いは荷を管理する管理者等の一人の作業員が、プラットホームを使用して、持ち運ぶべき荷或いはその近傍に到達し、荷を保持しようとする。この際、保持しようとする荷が大型化及び大重量化されたものであれば、一人の作業員が荷を直接に保持しつつ、プラットホームを渡って移動することは、安全性の観点から困難である。即ち、人手による保管庫内での荷の持ち運びや置き直しは、作業員の安全性を脅かし兼ねない旨の技術的問題点がある。 In response to such a tendency, in the high-rise storage shelf disclosed in Patent Document 2 described above, for example, the transfer robot fails, and it becomes impossible to store the load in the storage unit, the storage surface of the storage unit is deformed, or the storage unit Even if the load is not placed at a predetermined position in the storage unit due to an obstacle such as a component that has dropped onto the storage unit, or when a load that has not been placed at the predetermined position is to be placed again, the load that is not at the predetermined position is transferred. A situation occurs in which the loading robot cannot be gripped. In order to solve such a situation, it is necessary to manually carry the load in the storage unit out of the high-rise storage shelf or to reposition the load at a predetermined position in the storage unit. If the situation described above occurs, one worker, such as an administrator who manages the storage or the load, uses the platform to reach the load to be carried or its vicinity and try to hold the load. . At this time, if the load to be held is large and heavy, it is difficult for one worker to move across the platform while directly holding the load from the viewpoint of safety. It is. That is, there is a technical problem that carrying or repositioning the load in the storage room manually may threaten the safety of the worker.

更には、荷自体が損傷したり、高層収納棚の内外で荷を移動可能な内外移動機構が故障する事態となれば、人手により、高層収納棚の内外で荷を持ち運ぶことが必要となる。仮に、上述した事態が発生した場合に、持ち運ぶべき荷を直接に保持する一人の作業員が、高層収納棚に固定されている梯子或いは階段を登り降りしようとする。ここで、保持している荷が大型化及び大重量化されたものであれば、一人の作業員が荷を直接に保持しつつ、梯子或いは階段を登り降りすることは、安全上の規定により許可されないこともある。即ち、人手による保管庫内外での荷の持ち運びもまた、作業員の安全性を脅かし兼ねない旨の技術的問題点がある。 Furthermore, if the load itself is damaged or the inside / outside movement mechanism capable of moving the load inside and outside the high-rise storage shelf breaks down, it is necessary to carry the load manually inside and outside the high-rise storage shelf. If the situation described above occurs, a worker who directly holds a load to be carried tries to climb up or down a ladder or stairs fixed to a high-rise storage shelf. Here, if the load being held is larger and heavier, one worker must climb the ladder or the stairs while holding the load directly. It may not be allowed. That is, there is a technical problem that carrying of a load manually inside and outside the storage can also threaten the safety of the worker.

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、人手により、当該保管庫内及び当該保管庫内外で荷を安全に移動させ得る保管庫を提供することを課題とする。 This invention is made | formed in view of the problem mentioned above, and makes it a subject to provide the storage which can move a load safely in the said storage and the inside and outside of the said storage by hand.

本発明に係る保管庫は上記課題を解決するために、第１軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記搬送車との間で前記荷を出し入れ可能な第１出入口及び当該保管庫内の前記荷を当該保管庫外に取り出し可能な少なくとも一つの第２出入口が設けられている筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において、前記荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、前記第１出入口と隣接する棚部分と他の棚部分との間で荷を搬送する第１の搬送装置と、前記棚部分から前記荷を前記第２出入口の外側へと搬送する第２の搬送装置とを備え、前記第２の搬送装置は、前記荷を把持可能な把持手段と、該把持手段を、前記筐体又はフレームの内部における前記複数の棚部分の相互間で移動させると共に前記筐体又はフレームの内外で前記第２出入口を介して移動可能である移動手段とを有する。 In order to solve the above-mentioned problem, the storage according to the present invention is a storage in which the loading and unloading of the load is performed with a transport vehicle that travels along the first track and transports the load. vertical with being divided in a plurality of stages in the direction of at least one said load in output to put the first doorway and the vault as possible the load can be taken out of the vault between the transport vehicle a housing or frame second entrance is provided in the housing or frame, Te each smell of the plurality of stages, a plurality of rack compartments being respectively constituted receiving or can be placed said load, The 1st conveyance apparatus which conveys load between the shelf part adjacent to the 1st entrance and other shelf parts, and the 2nd conveyance which conveys the load from the shelf part to the outside of the 2nd entrance / exit and a device, wherein the second transport device, graspable gripping the load Stage and the gripping means, said housing or said housing or moving means in and out of the frame is movable through the second doorway is moved between each other of the plurality of shelves content inside the frame And have .

本発明に係る保管庫では、例えばＯＨＴ（Overhead Hoist Tranport）等の搬送車により、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。ここに「搬送車」は、天井走行型の、所謂、ビークルであって、荷の入出庫を行う際に、例えば半導体素子製造工場或いは半導体素子製造用の施設等の天井又は天井近傍に敷設されたレール等の第１軌道に沿って走行する。具体的には、荷を入庫する際に、例えばグリッパ等により入庫すべき荷を保持する搬送車が、第１軌道における、当該保管庫に対応する移載位置に到達し、停止する。すると、例えばホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された入庫すべき荷が鉛直方向に下降し、当該保管庫の内外で荷を出し入れするためのポートに該荷が載置される。すると、グリッパ等から入庫すべき荷が解放される。これにより、搬送車による荷の入庫が完了する。 In the storage according to the present invention, loading and unloading of cargo such as FOUP is performed by a transport vehicle such as OHT (Overhead Hoist Tranport). Here, the “transport vehicle” is a so-called vehicle of a ceiling traveling type, and is laid on or near the ceiling of a semiconductor element manufacturing factory or a semiconductor element manufacturing facility, for example, when loading and unloading goods. Travel along a first track such as a rail. Specifically, when receiving a load, for example, a transport vehicle that holds the load to be stored by a gripper or the like reaches a transfer position corresponding to the storage in the first track and stops. Then, for example, by a hoist or the like, the gripper or the like and the load to be stored held by the gripper are lowered in the vertical direction, and the load is placed on a port for taking in and out the load inside and outside the storage. Then, the load to be received is released from the gripper or the like. Thereby, the receipt of the load by the transport vehicle is completed.

一方、荷を出庫する際に、空荷の搬送車が上述した移載位置に到達し、停止する。すると、上述したホイスト等により、上述したグリッパ等が鉛直方向に下降し、グリッパ等により、ポートに載置されている出庫すべき荷が搬送車側に保持される。すると、ホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された出庫すべき荷が鉛直方向に上昇する。これにより、搬送車が走行可能な状態となれば、搬送車による荷の出庫が完了する。 On the other hand, when unloading the cargo, the unloaded transport vehicle reaches the transfer position described above and stops. Then, the above-described gripper or the like is lowered in the vertical direction by the above-described hoist or the like, and the load to be unloaded placed on the port is held on the transport vehicle side by the gripper or the like. Then, the gripper or the like and the load to be delivered held by the hoist or the like rise in the vertical direction by the hoist or the like. Thus, when the transport vehicle is ready to travel, the delivery of the load by the transport vehicle is completed.

当該保管庫について、その外観は、筐体又はフレームにより構成されており、該筐体又はフレーム内には、複数の棚部分が配列されている。ここに「複数の棚部分」とは、鉛直方向に一又は複数列配列された複数の載置面を有する棚列を示す。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）にはｏ（但し、ｏは１以上の自然数）列といった具合に、例えば薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格が構成されてもよい。搬送車により当該保管庫に入庫された荷は、例えばローラ機構等により、ポートから、第１出入口を介して、複数の棚部分のうち第１出入口に隣接する一の棚部分に水平移動される。即ち、複数段のうち一の段に対応する高さに、第１出入口は設けられてよい。すると、例えばロボットアーム等の保管庫内搬送装置、所謂、スタッカが、複数の棚部分間を、例えば鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動し、一の棚部分上の荷が、複数の棚部分のうち一の棚部分より他の棚部分上に移動される。即ち、保管庫内搬送され、入庫された荷が当該保管庫に収容或いは保管される。 About the said storage, the external appearance is comprised with the housing | casing or the frame, and the some shelf part is arranged in this housing | casing or frame. Here, the “plurality of shelf portions” refers to a shelf row having a plurality of placement surfaces arranged in one or more rows in the vertical direction. For example, m (where m is a natural number of 2 or more) in the vertical direction, n (where n is a natural number of 1 or more) columns in one horizontal direction, and the remaining horizontal direction (hereinafter simply “ The skeleton of the entire shelf may be configured to be a thin and vertically elongated flat plate shape such as o (where o is a natural number equal to or greater than 1) in “thickness direction”). The load received in the storage by the transport vehicle is horizontally moved from the port to the one shelf part adjacent to the first entrance through the first entrance through, for example, a roller mechanism. . That is, the first entrance may be provided at a height corresponding to one of the plurality of stages. Then, for example, a storage device such as a robot arm, a so-called stacker, moves between a plurality of shelves in, for example, two directions or two axial directions such as a vertical direction and a horizontal direction, and loads on one shelf portion. However, it is moved from one shelf part to another shelf part among a plurality of shelf parts. That is, the load that has been transported and stored in the storage is stored or stored in the storage.

ここで、上述した保管庫内搬送時に、スタッカの故障、搬送先たる棚部分の破損、又は棚部分上の障害物等に起因して、スタッカを使用せずに、当該保管庫内及び当該保管庫の内外で荷を移動させなければならない場合がある。 Here, during the transport in the storage, the stacker and the storage can be stored without using the stacker due to a failure of the stacker, damage to the shelf as a transport destination, or an obstacle on the shelf. It may be necessary to move the load in and out of the warehouse.

そこで、本発明に係る保管庫によれば、当該保管庫内で荷を移動する際に、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が移動すべき荷まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷を把持可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段により把持される。ここに「把持手段」は、荷の少なくとも一部を把持可能なグリップ等の把持機構である。この把持手段は、例えば荷がＦＯＵＰである場合、ＦＯＵＰのフランジを把持可能である。また「移動手段」は、把持手段を各棚部分及びその周囲に移動可能な移動機構である。この移動手段は、例えば人力、又はアクチュエータ或いはモータにより駆動される。更には「棚部分の周囲」は、上述したスタッカの故障又はスタッカによる保管庫内搬送の失敗等により、荷が搬送先たる棚部分の所定位置からずれて載置されたり、該棚部分から落下した場合に、荷の所在として想定される棚部分の周囲を示す。尚、人手の操作に係る「直接的」とは、把持手段及び移動手段を、作業員等が直接に押圧し、人力により所望の位置或いは状態に変化させる旨を意味し、他方、「間接的」とは、把持手段及び移動手段を、作業員等が直接に押圧することなく、スイッチ操作或いはハンドル操作によりアクチュエータ或いはモータを制御して、所望の位置或いは状態に変化させる旨を意味する。尚、把持手段のみが、人手による直接的な操作により、制御されても構わない。 Therefore, according to the storage according to the present invention, when the load is moved in the storage, the moving means is controlled by the direct or indirect operation by hand, and the gripping means moves to the load to be moved. At the same time, the gripping means is controlled, and the gripping means is displaced so as to be able to grip the load to be moved. That is, the load is gripped by the gripping means. Here, the “gripping means” is a gripping mechanism such as a grip capable of gripping at least a part of the load. For example, when the load is a FOUP, the gripping means can grip the flange of the FOUP. The “moving means” is a moving mechanism capable of moving the gripping means to and from each shelf portion. This moving means is driven by, for example, human power, an actuator or a motor. Furthermore, “around the shelf portion” is loaded or shifted from a predetermined position of the shelf portion to which the load is transferred due to the failure of the stacker or the failure of the stacker to transfer in the storage, as described above. In this case, the periphery of the shelf portion assumed as the location of the load is shown. Note that “directly” related to the manual operation means that the gripping means and the moving means are directly pressed by an operator or the like and changed to a desired position or state by human power. "Means that the gripping means and the moving means are changed to a desired position or state by controlling the actuator or the motor by a switch operation or a handle operation without directly pressing the gripping means and the moving means. Note that only the gripping means may be controlled by a direct manual operation.

把持手段により荷が把持された後、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が荷を載置すべき棚部分まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放される。以上のように、当該保管庫内における荷の移動が、スタッカを使用せずに行われる。 After the load is gripped by the gripping means, the moving means is controlled by direct or indirect operation by hand, the gripping means moves to the shelf portion where the load is to be placed, and the gripping means is controlled and gripped. The load held by the means is displaced to a releasable state. That is, the load is released from the gripping means. As described above, the movement of the load in the storage is performed without using the stacker.

他方、当該保管庫の内外で荷を移動する際には、上述したように把持手段により荷が把持された後、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が当該保管庫の外部に設定された所定の受け取り位置まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放される。ここに「移動手段」は、把持手段を、当該保管庫の内部から外部へ第２出入口を介して移動可能な移動機構でもある。また「第２出入口」は、把持手段及び移動手段を使用して荷を出し入れ可能である大きさの開口を示す。即ち、この第２出入口を、把持手段、移動手段及び荷が同時に通過可能である。この第２出入口は、例えば、筐体又はフレームにおける、第１出入口が設けられた側面と異なる側面、或いは該異なる側面に対応する側方フレームに設けられている。また、第２出入口は、複数段のうち、第１出入口に対応する段と同一の又は異なる段に設けられている。この場合に、荷を受け取る作業員等が、搬送車が走行する第１軌道の下方に進入することがなく、作業員等が荷を安全に受け取ることが可能である。 On the other hand, when moving a load inside and outside the storage, after the load is gripped by the gripping means as described above, the moving means is controlled by direct or indirect operation by hand, and the gripping means While moving to a predetermined receiving position set outside the storage, the gripping means is controlled to displace the load held by the gripping means into a releasable state. That is, the load is released from the gripping means. Here, the “moving means” is also a moving mechanism capable of moving the gripping means from the inside of the storage to the outside via the second doorway. The “second entrance / exit” indicates an opening having a size that allows loading and unloading using the gripping means and the moving means. That is, the gripping means, the moving means, and the load can pass through the second doorway at the same time. This 2nd entrance / exit is provided in the side frame corresponding to the side surface different from the side surface in which the 1st entrance / exit was provided, for example in a housing | casing or a frame. Moreover, the 2nd entrance / exit is provided in the same or different step | paragraph as the step corresponding to the 1st entrance / exit among several steps. In this case, the worker who receives the load does not enter the lower part of the first track on which the transport vehicle travels, and the worker can receive the load safely.

以上のように、スタッカによる保管庫内搬送が不能となり、人手による荷の持ち運びが余儀なくされる場合、人手による操作により、把持手段及び移動手段を制御して、複数の棚部分及び複数の棚部分の周囲の相互間、並びに当該保管庫内外で荷を移動する。これにより、作業員等が荷を直接に保持することがなくなり、作業員等の安全性を担保することが可能である。従って、人手により、当該保管庫内及び当該保管庫内外で荷を安全に移動させることが可能である。 As described above, when the stacker cannot be transported in the storage, and it is necessary to carry the load manually, the gripping means and the moving means are controlled by manual operation so that the plurality of shelf parts and the plurality of shelf parts are controlled. The cargo is moved between each other and inside and outside the storage. As a result, the worker or the like does not hold the load directly, and the safety of the worker or the like can be ensured. Therefore, it is possible to safely move the load in and out of the storage room by manpower.

本発明に係る保管庫の一態様では、前記複数の棚部分は、少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記移動手段は、前記筐体又はフレームの天井又は該天井側に敷設され、且つ一端が前記第２出入口を介して前記筐体又はフレームの外部へ延伸されている第２軌道と、該第２軌道に沿って前記水平一方向に往復移動可能なスライド機構と、一端が前記把持手段に固定されており、前記把持手段を鉛直方向に吊り下げた吊り下げ部材と、前記スライド機構と一体又は別体に設けられており、前記スライド機構の往復移動に伴って前記水平一方向に往復移動すると共に前記吊り下げ部材の他端を巻き上げ又は巻き下げ可能なホイスト機構とを有し、前記吊り下げ部材は、鉛直方向に吊り下がった前記把持手段の位置を中心とする所定範囲に、前記把持手段を移動自在に構成されている。 In one aspect of the storage according to the present invention, the plurality of shelf portions are arranged so as to spread in at least one horizontal direction, and the moving means is laid on the casing or the ceiling of the frame or on the ceiling side. A second track whose one end extends to the outside of the housing or the frame through the second doorway, a slide mechanism capable of reciprocating in one horizontal direction along the second track, and one end It is fixed to the gripping means, and is provided with a suspension member that suspends the gripping means in the vertical direction, and is provided integrally with or separately from the slide mechanism. A hoist mechanism that can reciprocate in the direction and wind up or lower the other end of the suspension member, and the suspension member is centered on the position of the gripping means suspended in the vertical direction. Range, and is freely configured moving the gripping means.

この態様によれば、把持手段により荷が把持される際に、例えば、人手による直接的又は間接的な操作により、スライド機構が制御され、スライド機構が第２軌道に沿って水平一方向に移動し、移動すべき荷に最近の水平一方向位置に停止する。ここに「第２軌道」は、当該保管庫の内外を連絡する、スライド機構におけるレール等の軌道を示す。この第２軌道は、具体的には、当該保管庫内において、筐体又はフレーム内の天井又は天井近傍に且つ複数の棚部分の配列に対応する水平一方向に敷設されると共に、当該保管庫外において、第２出入口を通過した一端が少なくとも荷一つ分延伸されている軌道である。スライド機構が移動すべき荷に最近の水平一方向位置まで移動すると、人手による直接的又は間接的な操作により、ホイスト機構が制御され、吊り下げ部材が移動すべき荷に最近の鉛直位置まで巻き上げ又は巻き下げられる。すると、人手による直接的な操作により、吊り下げ部材が制御され、吊り下げ部材の一端と接続している把持手段が所定範囲にある移動すべき荷まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷を把持可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段により把持されると共に、吊り下げ部材により把持手段を介して吊り下げられた状態となる。ここに、吊り下げ部材に係る「所定範囲」は、スライド機構及びホイスト機構による、水平一方向及び鉛直方向の二軸方向への移動後に、スライド機構及びホイスト機構の鉛直下方向に吊り下がった把持手段を、作業員等の押圧により、移動させることが可能である当該保管庫内外の空間を示す。即ち、この所定範囲は、移動すべき荷の所在として想定され得る、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍をカバーし、且つ把持手段が移動すべき荷に到達し該荷を把持可能である空間として予め設定されている。尚、吊り下げ部材は、ホイスト機構により巻き上げ又は巻き下げ可能に且つ人手により屈曲可能な柔軟性、及び把持手段及び荷の荷重に耐え得る耐久性を有する、金属や繊維材料等からなる。 According to this aspect, when the load is gripped by the gripping means, the slide mechanism is controlled by, for example, direct or indirect operation by human hands, and the slide mechanism moves in one horizontal direction along the second track. Then, the load to be moved is stopped at the latest horizontal one-way position. Here, the “second track” indicates a track such as a rail in the slide mechanism that communicates the inside and outside of the storage. Specifically, the second track is laid in the horizontal direction corresponding to the arrangement of the plurality of shelf portions on the ceiling or in the vicinity of the ceiling in the housing or frame, and in the storage. Outside, the end that has passed through the second doorway is a track that is extended by at least one load. When the slide mechanism moves to the latest horizontal one-way position on the load to be moved, the hoist mechanism is controlled by manual or indirect operation by hand, and the suspension member is wound up to the latest vertical position on the load to be moved. Or it is rolled down. Then, the suspension member is controlled by a direct operation by a human hand, the gripping means connected to one end of the suspension member moves to a load to be moved within a predetermined range, and the gripping means is controlled and gripped. The means is displaced so as to be able to grip the load to be moved. That is, the load is held by the holding means and is suspended by the hanging member via the holding means. Here, the “predetermined range” related to the suspension member is the grip that is suspended in the vertical downward direction of the slide mechanism and the hoist mechanism after being moved in one horizontal direction and two vertical directions by the slide mechanism and the hoist mechanism. The space inside and outside the storage where the means can be moved by the pressing of an operator or the like is shown. That is, this predetermined range covers a plurality of shelf portions and the vicinity of the plurality of shelf portions, which can be assumed as the location of the load to be moved, and the gripping means can reach the load to be moved and grip the load. It is preset as a space. The suspension member is made of a metal, a fiber material, or the like having flexibility that can be wound or lowered by a hoist mechanism and that can be bent manually, and that can withstand a load of a gripping means and a load.

また、把持手段により把持された荷が当該保管庫外へ移動する際に、例えば、人手による直接的又は間接的な操作により、スライド機構及びホイスト機構が制御され、把持手段が、第２出入口を介して、第２軌道における延伸されている軌道部分に移動する。ここで、荷は、当該保管庫の外部に位置する。すると、ホイスト機構が制御され、吊り下げ部材が上述した受け取り位置まで巻き下げられる。続いて、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放されると共に、作業員等に直接に保持され、各種処理施設等へ持ち運ばれることとなる。 Further, when the load gripped by the gripping means moves out of the storage, for example, the slide mechanism and the hoist mechanism are controlled by a direct or indirect operation by hand, and the gripping means moves the second doorway. To move to the extended track portion of the second track. Here, the load is located outside the storage. Then, the hoist mechanism is controlled, and the suspension member is lowered to the receiving position described above. Subsequently, the gripping means is controlled by a direct operation by human hands, and the load held by the gripping means is displaced into a releasable state. That is, the load is released from the gripping means and is directly held by a worker or the like and carried to various processing facilities.

以上のように、人手による操作により、把持手段、並びにスライド機構及びホイスト機構を制御して、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍の荷を把持すると共に、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍の相互間、並びに当該保管庫内外で荷を移動する。これにより、作業員等が当該保管庫内、及び当該保管庫外に併設された梯子或いは階段等の高所で荷を直接に保持することがなくなり、作業員等の安全性を担保することが可能である。 As described above, the gripping means, the slide mechanism, and the hoist mechanism are controlled by manual operation to grip the plurality of shelf portions and the loads near the plurality of shelf portions, and the plurality of shelf portions and the plurality of shelf portions. Move loads between nearby and inside and outside the storage. As a result, workers and the like do not hold the load directly at the high places such as ladders or stairs provided in the storage and outside the storage, and the safety of the workers and the like can be ensured. Is possible.

この態様では、前記把持手段は、前記荷を把持する把持状態と、前記把持している荷を解放する解放状態との間で変位自在に構成されており、当該保管庫は、前記荷を、前記内部から、前記外部に設けられた所定の受け渡し棚に移動する場合に、移動すべき前記荷を把持すべく前記把持状態に変位するように前記把持手段を制御し、前記把持状態にある前記把持手段を、前記第２出入口の水平方向に位置する第１鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、前記第１鉛直位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚の鉛直方向に位置する第１水平位置に移動させるように前記スライド機構を制御し、前記第１水平位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚に対応する第２鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、前記第２鉛直位置に移動した把持手段から前記移動すべき荷を解放すべく前記解放状態に変位するように前記把持手段を制御する制御手段を更に備えてもよい。 In this aspect, the gripping means is configured to be freely displaceable between a gripping state for gripping the load and a release state for releasing the gripped load, and the storage unit stores the load, When moving from the inside to a predetermined delivery shelf provided outside, the gripping means is controlled so as to be displaced to the gripping state to grip the load to be moved, and the gripping state is The hoist mechanism is controlled to move the gripping means to a first vertical position located in the horizontal direction of the second doorway, and the gripping means moved to the first vertical position is moved in the vertical direction of the predetermined delivery shelf. Controlling the slide mechanism to move to a first horizontal position located at the first horizontal position, and moving the gripping means moved to the first horizontal position to a second vertical position corresponding to the predetermined delivery shelf Controls structure may further comprise a control means for controlling the gripping means so as to be displaced from the gripping means to move to said second vertical position to the released state in order to release the load to be the moving.

このように構成すれば、荷が当該保管庫内から当該保管庫外の所定の受け渡し棚に移動する際に、例えば、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷に対し把持状態に変位する。即ち、移動すべき荷は、把持手段により把持される。続いて、人手によるチェーンブロック等の操作により（又はストッカコントローラ等の制御手段により）、把持手段の把持状態への変位が判別されると、ホイスト機構が制御され、把持状態にある把持手段が第１鉛直位置に移動する。続いて、スライド機構が制御され、把持手段が第１水平位置に移動する。ここで、把持手段は、当該保管庫の外部に且つ所定の受け渡し棚の上方に位置する。続いて、ホイスト機構が制御され、把持手段が第２鉛直位置に移動する。すると、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が把持状態から解放状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放されると共に、所定の受け渡し棚に支持された状態となり、作業員等は、移動すべき荷を直接に保持可能となる。このように、把持手段が把持状態に変位してから解放状態に変位するまでの間の制御、即ち、スライド機構及びホイスト機構の制御を、人手操作（又は制御手段）により行う。これにより、荷の移動を迅速且つ正確に行うことが可能である。 With this configuration, when the load moves from inside the storage to a predetermined delivery shelf outside the storage, for example, the gripping means is controlled by manual operation, and the gripping means moves. It shifts to the gripping state with respect to the power load. That is, the load to be moved is gripped by the gripping means. Subsequently, when the displacement of the gripping means to the gripping state is determined by manual operation of the chain block or the like (or by control means such as a stocker controller), the hoist mechanism is controlled, and the gripping means in the gripping state is Move to 1 vertical position. Subsequently, the slide mechanism is controlled, and the gripping means moves to the first horizontal position. Here, the gripping means is located outside the storage and above a predetermined delivery shelf. Subsequently, the hoist mechanism is controlled, and the gripping means moves to the second vertical position. Then, the gripping means is controlled by a direct operation by human hands, and the gripping means is displaced from the gripping state to the released state. That is, the load is released from the gripping means and is supported by a predetermined delivery shelf, so that an operator or the like can directly hold the load to be moved. In this way, control from when the gripping means is displaced to the gripping state until it is displaced to the released state, that is, control of the slide mechanism and the hoist mechanism is performed by manual operation (or control means). Thereby, it is possible to move a load quickly and accurately.

尚、所定の受け渡し棚について、その高さ、支持面の大きさ等は、作業者等が荷の受け渡しを可能とする形態であれば特に限定されず、極論すれば、所定の受け渡し棚は、可動式のものや、当該保管庫が設置された設置面に続く床面であっても構わない。 In addition, about the predetermined delivery shelf, the height, the size of the support surface, and the like are not particularly limited as long as the operator can deliver the load, and as a matter of course, the predetermined delivery shelf is It may be a movable type or a floor following the installation surface where the storage is installed.

本発明に係る保管庫の他の態様では、前記第１の搬送装置は、前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、前記載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段とを更に備え、前記駆動手段は、前記載置部を前記水平一方向を含む水平方向に往復移動可能な水平駆動手段と、前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動手段とを有し、前記複数の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する。 In another aspect of the storage according to the present invention, the first transport device includes a placement unit having a first placement surface capable of supporting the load from a bottom side thereof, and the placement unit described above. Drive means that is movable between the shelf portions of the plurality of shelf parts, wherein the drive means is capable of reciprocating the placement part in a horizontal direction including the one horizontal direction, and the placement part. A vertical driving means capable of reciprocating vertically in the vertical direction, and the plurality of shelf portions are configured to be able to transfer the load to and from the first mounting surface. Each has a face.

この態様によれば、当該保管庫内で、本来荷が搬送される（即ち、保管庫内搬送される）際に、複数の棚部分のうち搬送元たる一の棚部分に向かって、例えば水平アクチュエータ、水平スライダ、ロボットアーム等の水平駆動手段により、載置部が水平方向に移動される。この水平方向の移動と相前後して、一の棚部分に向かって、例えば鉛直エレベータ、鉛直アクチュエータ、ロボットアーム等の鉛直駆動手段により、載置部が鉛直方向に移動される。すると、一の棚部分における第２載置面から載置部における第１載置面への荷の移載が行われる。続いて、複数の棚部分のうち、搬送先たる二の棚部分に向かって、水平駆動手段により、載置部が水平方向に移動される。この水平方向の移動と相前後して、二の棚部分に向かって、鉛直駆動手段により、載置部が鉛直方向に移動される。すると、載置部における第１載置面から二の棚部分における第２載置面への荷の移載が行われる。ここでの、第１及び第２載置面間での荷の移載は、次のように行われる。 According to this aspect, when a load is originally transported in the storage (that is, transported in the storage), for example, a horizontal portion is directed toward one of the plurality of shelf portions that is a transport source. The placement unit is moved in the horizontal direction by horizontal driving means such as an actuator, a horizontal slider, and a robot arm. Before and after the horizontal movement, the mounting portion is moved in the vertical direction toward the one shelf portion by vertical driving means such as a vertical elevator, a vertical actuator, and a robot arm. Then, the load is transferred from the second placement surface in the one shelf portion to the first placement surface in the placement portion. Subsequently, the placement unit is moved in the horizontal direction by the horizontal driving unit toward the second shelf portion as the transfer destination among the plurality of shelf portions. Concurrently with the movement in the horizontal direction, the mounting portion is moved in the vertical direction by the vertical driving means toward the second shelf portion. Then, the load is transferred from the first placement surface in the placement portion to the second placement surface in the second shelf portion. Here, the transfer of the load between the first and second placement surfaces is performed as follows.

第１及び第２載置面は、荷を夫々、相互に移載可能である。一の棚部分の第２載置面上の荷は、２軸方向に移動可能な載置部の第１載置面に移載される。例えば、第１及び第２載置面は、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。具体的には、載置部が、一の棚部分の第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第２載置面に代わって、第１載置面で荷を支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動手段により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面により支持されることとなる。これにより、保管庫内搬送が開始される。ここでは、鉛直駆動手段及び水平駆動手段による簡単な２軸動作によって、棚部分におけるいずれの第２載置面にも迅速に保管庫内搬送が可能である。 The first and second mounting surfaces can transfer the load to each other. The load on the second placement surface of one shelf portion is transferred to the first placement surface of the placement portion that is movable in the biaxial direction. For example, the first and second mounting surfaces are configured to support different portions (typically, a portion near the center and a portion near the periphery) on the bottom surface of the load, and support the load on either side. Is possible. Specifically, when the placement unit is moved to the vertical position and the horizontal position where the second placement surface of one shelf portion exists, the first placement surface is replaced with the second placement surface. By supporting the load, transfer from the second placement surface to the first placement surface is performed. Typically, the load is supported by the first placement surface by the vertical drive means being moved until the first placement surface becomes higher than the second placement surface. Thereby, conveyance in a storage is started. Here, by a simple two-axis operation by the vertical driving means and the horizontal driving means, it is possible to quickly carry in the storage to any second mounting surface in the shelf portion.

また、載置部の第１載置面上の荷は、搬送先とする二の棚部分の第２載置面に移載される。具体的には、載置部が、二の棚部分の第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第１載置面に代わって、第２載置面で荷を支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動手段により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面により支持されることとなる。これにより、保管庫内搬送が終了され、二の棚部分に荷が収納或いは保管される。 In addition, the load on the first placement surface of the placement unit is transferred to the second placement surface of the second shelf portion as the transport destination. Specifically, when the placement unit is moved to a vertical position and a horizontal position where the second placement surface of the second shelf portion is present, the second placement surface is replaced with the second placement surface. By supporting the load, transfer from the first placement surface to the second placement surface is performed. Typically, the load is supported by the second placement surface by being moved by the vertical driving means until the first placement surface becomes lower than the second placement surface. Thereby, the transport in the storage is finished, and the load is stored or stored in the second shelf portion.

以上のように、第１及び第２載置面間で荷が受け渡されることにより、保管庫内搬送における荷の移載時間を短縮することが可能となる。 As described above, by transferring the load between the first and second mounting surfaces, it is possible to shorten the load transfer time in the transport in the storage.

この態様では、前記制御手段は、前記載置部が前記複数の棚部分の相互間で移動する際に、前記把持手段を、前記載置部の移動を妨げない退避位置に移動させるように前記スライド機構及び前記ホイスト機構を制御してもよい。 In this aspect, the control means moves the gripping means to a retracted position that does not hinder the movement of the mounting portion when the mounting portion moves between the plurality of shelf portions. The slide mechanism and the hoist mechanism may be controlled.

このように構成すれば、載置部の移動による保管庫内搬送が行われる際に、制御手段により、スライド機構及びホイスト機構が制御され、把持手段が退避位置に移動する。ここに「退避位置」は、把持手段が移動し得る当該保管庫内外において、載置部の移動を妨げない位置を示す。具体的には、この退避位置は、例えば、第２軌道における延伸されている軌道部分、又は該延伸されている軌道部分とは逆側の軌道端部を示すが、載置部の移動に応じて適宜変更しても構わない。このような退避位置を予め設定することにより、載置部及び把持手段が夫々に独立して移動するための二つの移動経路たる空間を設ける必要がなく、移動手段（具体的には、第２軌道）と、載置部及び駆動手段を含む保管庫内搬送装置たるスタッカとを近接して設けることが可能となり、その分空いた空間に棚部分を増設することも可能である。即ち、収納或いは保管数を増大し、当該保管庫の収納或いは保管力を高めることが可能である。 If comprised in this way, when the conveyance in a storage by the movement of a mounting part is performed, a slide mechanism and a hoist mechanism will be controlled by a control means, and a holding means will move to a retracted position. Here, the “retracted position” indicates a position that does not hinder the movement of the mounting portion inside and outside the storage where the gripping means can move. Specifically, this retracted position indicates, for example, the extended track portion in the second track, or the end of the track opposite to the extended track portion, depending on the movement of the mounting portion. May be changed as appropriate. By setting such a retracted position in advance, it is not necessary to provide a space as two movement paths for the placement unit and the gripping unit to move independently of each other, and the moving unit (specifically, the second unit) Track) and a stacker that is a transport device in the storage including the placement unit and the driving means can be provided close to each other, and a shelf portion can be added to the space that is free. That is, it is possible to increase the number of storage or storage, and to increase the storage or storage power of the storage.

前記移動手段が前記第２軌道及び前記スライド機構を有する態様では、前記移動手段は、前記第２軌道に対して前記スライド機構を組み付け自在に構成されていてもよい。 In an aspect in which the moving unit includes the second track and the slide mechanism, the moving unit may be configured to be able to assemble the slide mechanism with respect to the second track.

このように構成すれば、載置部の移動による保管庫内搬送が不能となり、人手による荷の持ち運びが余儀なくされる場合にのみ、人手による直接的な操作により、第２軌道に対してスライド機構が組み付けられる。他方、載置部の移動による保管庫内搬送が可能であれば、第２軌道からスライド機構が取り外される。これにより、保管庫内搬送時に、把持手段を上述した退避位置に移動させる旨の制御を行わなくて済む。また、各保管庫が第２軌道のみを備えていれば、複数の保管庫において、スライド機構、ホイスト機構、釣り下げ部材及び把持手段を共用することが可能となり、一つの保管庫に係るコストを抑制することも可能である。 If comprised in this way, a slide mechanism with respect to a 2nd track | truck will be carried out by direct operation by hand only when conveyance in a storage by movement of a mounting part becomes impossible, and carrying of a load by hand will be forced. Is assembled. On the other hand, the slide mechanism is removed from the second track if it can be transported in the storage by moving the mounting portion. Thereby, it is not necessary to perform control to move the gripping means to the above-described retracted position during conveyance in the storage. Further, if each storage has only the second track, a plurality of storages can share the slide mechanism, the hoist mechanism, the fishing member, and the gripping means, and the cost for one storage can be reduced. It is also possible to suppress it.

当該保管庫が前記載置部及び前記駆動手段を更に備える態様では、前記駆動手段は、前記第２軌道に対して前記水平駆動手段を組み付け自在に構成されており、前記水平駆動手段は、前記第２軌道に沿って前記水平一方向に前記載置部を往復移動可能であり、前記鉛直駆動手段は、前記第２軌道の鉛直方向に前記載置部を往復移動可能であってもよい。 In the aspect in which the storage further includes the placement unit and the driving unit, the driving unit is configured to be able to assemble the horizontal driving unit with respect to the second track, and the horizontal driving unit The placement unit may be reciprocally moved along the second track in the horizontal direction, and the vertical driving unit may be capable of reciprocating the placement unit in the vertical direction of the second track.

このように構成すれば、第２軌道は、移動手段におけるスライダ機構の他に、駆動手段における水平駆動手段の軌道としても機能する。水平移動手段は、人手による直接的又は間接的な操作により、第２軌道に対し、スライダ機構と同時に又は異なる時期に組み付けられる。これにより、載置部及び把持手段が同一の移動経路を移動することとなり、載置部及び把持手段が異なる２つの移動経路を夫々に独立して移動する場合と比較して、棚部分を多く設置することも可能である。即ち、収納或いは保管数を増大し、当該保管庫の収納或いは保管力を高めることが可能である。 If comprised in this way, the 2nd track | orbit functions also as a track | orbit of the horizontal drive means in a drive means other than the slider mechanism in a moving means. The horizontal movement means is assembled to the second track at the same time as the slider mechanism or at a different time by direct or indirect operation by hand. As a result, the placement unit and the gripping means move along the same movement path, and there are more shelf parts than when the placement part and the gripping means move independently through two different movement paths. It is also possible to install. That is, it is possible to increase the number of storage or storage, and to increase the storage or storage power of the storage.

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。 Such an operation and other advantages of the present invention will be clarified from embodiments to be described below.

本発明の実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of a conveyance system provided with the storage which concerns on embodiment of this invention. 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す一方向断面図である。FIG. 2 is a one-way sectional view schematically showing an internal structure of the storage of FIG. 1. 図２の載置部及び複数の棚部分間での荷の移載動作を説明するための一方向断面図である。FIG. 3 is a one-way cross-sectional view for explaining a load transfer operation between the placing portion and the plurality of shelf portions in FIG. 2. 図１の把持手段の退避位置を説明するための他方向断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view in the other direction for explaining a retracted position of the gripping means in FIG. 1. 図１の保管庫におけるＦＯＵＰマニュアル搬送処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the FOUP manual conveyance process in the storage of FIG. 本発明に係る第２軌道の一例を示す一方向断面図である。It is a one way sectional view showing an example of the 2nd track concerning the present invention. 本発明に係る移動手段及び駆動手段の相対位置の一例を示す一方向断面図である。It is a one-way sectional view showing an example of relative positions of the moving means and the driving means according to the present invention. 本発明に係る載置部及び駆動手段の一例を示す他方向断面図である。It is another direction sectional drawing which shows an example of the mounting part and drive means which concern on this invention. 本発明に係る移動手段の一例を示す他方向断面図である。It is another direction sectional drawing which shows an example of the moving means which concerns on this invention.

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

＜実施形態＞
＜実施形態の構成＞
図１から図３を参照して、本発明の実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す、図１の保管庫を前後方向（即ち、「一方向」と称する）で切断した場合の一方向断面図であり、図３は、図２の載置部及び複数の棚部分間で荷を移載する動作を説明するための、載置部及び複数の棚部分の一方向断面図である。 <Embodiment>
<Configuration of Embodiment>
With reference to FIG. 1 to FIG. 3, the configuration of the storage according to the embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a transport system including a storage according to the embodiment, and FIG. 2 schematically shows the internal structure of the storage shown in FIG. FIG. 3 is a unidirectional cross-sectional view when cut in a direction (that is, referred to as “one direction”), and FIG. 3 is a diagram for explaining an operation of transferring a load between the placing portion and the plurality of shelf portions in FIG. It is a one-way sectional view of a mounting part and a plurality of shelf parts.

図１において、搬送システム１０００は、レールＲ１、ビークル１０及びストッカ２０の他、制御系として、搬送指示部１００、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を備える。搬送システム１０００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ２０等に対してＦＯＵＰ３の搬送を行うと共に、ストッカ２０においてＦＯＵＰ３の収納或いは保管を行う。 In FIG. 1, the transport system 1000 includes a transport instruction unit 100, a vehicle controller 101, and a stocker controller 102 as a control system in addition to the rail R 1, the vehicle 10, and the stocker 20. The transport system 1000 transports the FOUP 3 to various manufacturing apparatuses and the stocker 20 according to a transport schedule in semiconductor element manufacturing, and stores or stores the FOUP 3 in the stocker 20.

ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、ビークル１０によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ２０内で、入庫若しくは出庫、又は保管位置の調整のために搬送（即ち、保管庫内搬送）される。ＦＯＵＰ３は、その上面に、ビークル１０、後述する自動搬送装置３０又はマニュアル搬送装置４０により把持されるフランジ４を備えている。図３において、ＦＯＵＰ３は、その下面中央部及び側部に、複数の凹部５，６を有する。下面側部に位置する凹部５は、後述する各棚部分２１に設けられた凸部２２に対応するサイズに形成されている。一方、下面中央部に位置する凹部６は、後述する載置部３１に設けられた凸部３２に対応するサイズに形成されている。 The FOUP 3 is transported along the rail R1 by the vehicle 10 as an example of “load” according to the present invention, and is transported in the stocker 20 for entering / exiting or adjusting the storage position (that is, storage warehouse). Inside transport). The FOUP 3 is provided with a flange 4 held on the upper surface thereof by the vehicle 10, an automatic transfer device 30 or a manual transfer device 40 described later. In FIG. 3, the FOUP 3 has a plurality of recesses 5 and 6 at the center and side of the lower surface. The recessed part 5 located in the lower surface side part is formed in the size corresponding to the convex part 22 provided in each shelf part 21 mentioned later. On the other hand, the recessed part 6 located in the lower surface center part is formed in the size corresponding to the convex part 32 provided in the mounting part 31 mentioned later.

レールＲ１は、本発明に係る「第１軌道」の一例として、半導体素子製造施設の天井に敷設されており、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レールＲ１の下方且つこれに隣接する位置に、各種製造装置及びストッカ２０等が設置されている。 The rail R1 is laid on the ceiling of the semiconductor device manufacturing facility as an example of the “first track” according to the present invention, and serves as a track for the vehicle 10 to travel. Various manufacturing apparatuses, a stocker 20, and the like are installed below and adjacent to the rail R1.

図２において、ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（天井走行車）であって、レールＲ１に沿って走行し、ＦＯＵＰ３を搬送すると共に、レールＲ１上の所定位置で停止し、各種製造装置及びストッカ２０等に夫々備えられたポート（例えば、ポートＰ１及びＰ２）との間でＦＯＵＰ３を移載可能に構成されている。ビークル１０は、ホイスト１１、ベルト１２及びグリッパ１３を備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１０１により制御される。 In FIG. 2, a vehicle 10 is an OHT (overhead traveling vehicle) that uses a linear motor as a power source as an example of the “conveyance vehicle” according to the present invention, and travels along the rail R 1 to convey the FOUP 3. The FOUP 3 stops at a predetermined position on the rail R1, and is configured to be able to transfer the FOUP 3 to / from ports (for example, ports P1 and P2) provided in various manufacturing apparatuses, the stocker 20, and the like. The vehicle 10 includes a hoist 11, a belt 12, and a gripper 13, and these parts are controlled by a vehicle controller 101.

ホイスト１１は、ビークル１０内部に取り付けられており、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ベルト１２を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。ベルト１２について、その一端がホイスト１１に固定され、その他端がグリッパ１３に固定されている。グリッパ１３は、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ＦＯＵＰ３を保持する保持状態、及びＦＯＵＰ３を解放する解放状態間で変位可能に構成されている。 The hoist 11 is attached to the inside of the vehicle 10 and is driven by an actuator or a motor so that the belt 12 can be wound or unwound. The belt 12 has one end fixed to the hoist 11 and the other end fixed to the gripper 13. The gripper 13 is driven by an actuator or a motor, and is configured to be displaceable between a holding state for holding the FOUP 3 and a releasing state for releasing the FOUP 3.

ストッカ２０は、本発明に係る「保管庫」の一例として、ビークル１０により搬送されるＦＯＵＰ３を複数収容或いは保管可能である。ストッカ２０は、本体部２０ａ、ポートＰ１及びＰ２、複数の棚部分２１、自動搬送装置３０、並びにマニュアル搬送装置４０を備える。 The stocker 20 can store or store a plurality of FOUPs 3 transported by the vehicle 10 as an example of the “storage” according to the present invention. The stocker 20 includes a main body 20a, ports P1 and P2, a plurality of shelf portions 21, an automatic conveyance device 30, and a manual conveyance device 40.

本体部２０ａ（即ち、本発明に係る「筐体又はフレーム」の一例）には、レールＲ１側の側面（即ち、図１における正面）に、開口Ｈ１及びＨ２が設けられている。各開口Ｈ１，Ｈ２は、本発明に係る「第１出入口」の一例として、ポートＰ１又はＰ２に隣接しており、ポートＰ１又はＰ２と本体部２０ａ内部との間で、ＦＯＵＰ３を出し入れ可能な大きさに形成されている。更に、本体部２０ａには、レールＲ１側の側面に隣り合う側面（即ち、図１における右側面）に、開口Ｈ３が設けられている。開口Ｈ３は、本発明に係る「第２出入口」の一例として、マニュアル搬送装置４０の後述するレールＲ２を貫通させると共に、本体部２０ａ内外でＦＯＵＰ３を出し入れ可能な大きさに形成されている。本体部２０ａ内部には、複数の棚部分２１、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０が設けられている。 The main body 20a (that is, an example of the “casing or frame” according to the present invention) is provided with openings H1 and H2 on the side surface on the rail R1 side (that is, the front surface in FIG. 1). Each of the openings H1 and H2 is adjacent to the port P1 or P2 as an example of the “first entrance / exit” according to the present invention, and is large enough to allow the FOUP 3 to be taken in and out between the port P1 or P2 and the inside of the main body 20a. Is formed. Further, the main body portion 20a is provided with an opening H3 on a side surface adjacent to the side surface on the rail R1 side (that is, the right side surface in FIG. 1). As an example of the “second doorway” according to the present invention, the opening H3 penetrates a rail R2 (described later) of the manual transport device 40 and is formed to have a size that allows the FOUP 3 to be taken in and out of the main body 20a. A plurality of shelf portions 21, an automatic conveyance device 30, and a manual conveyance device 40 are provided inside the main body 20a.

尚、本体部２０ａ内部には、不図示のメンテナンス用の足場、梯子或いは脚立等の作業台が各棚部分２１に対向して固定されている、又は取り付け／取り外し可能に設けられる。搬送システム１０００に係る作業を行う作業員は、このメンテナンス用作業台を歩行しつつ、各棚部分２１又はその周囲に到達することにより、後述する変位操作及び押圧操作を可能としている。 In addition, a work platform such as a scaffold for maintenance (not shown), a ladder, or a stepladder is fixed to each shelf portion 21 or is attachable / detachable inside the main body 20a. A worker who performs work related to the transport system 1000 can perform a displacement operation and a pressing operation, which will be described later, by walking to the work table for maintenance and reaching each shelf portion 21 or the periphery thereof.

各ポートＰ１，Ｐ２は、本体部２０ａのレールＲ１側の外面に、開口Ｈ１又はＨ２に隣接して設けられている。また、各ポートＰ１，Ｐ２は、ビークル１０とストッカ２０との間でＦＯＵＰ３を移載可能に、レールＲ１の鉛直下方向に位置している。各ポートＰ１，Ｐ２は、ビークル１０から移載されたＦＯＵＰ３を、出入口Ｈ１又はＨ２を介して、本体部２０ａ内部へ向けて水平移動可能なスライド機構を備える。具体的には、スライド機構は、ポートＰ１又はＰ２上のＦＯＵＰ３を、後述する複数の棚部分２１のうち、開口Ｈ１又はＨ２に隣接する一の棚部分（即ち、図２において二点鎖線で示されるエリアＡ１に位置する）上に移動する。 Each port P1, P2 is provided on the outer surface of the main body 20a on the rail R1 side, adjacent to the opening H1 or H2. Each port P1, P2 is positioned vertically downward of the rail R1 so that the FOUP 3 can be transferred between the vehicle 10 and the stocker 20. Each of the ports P1 and P2 includes a slide mechanism that can horizontally move the FOUP 3 transferred from the vehicle 10 toward the inside of the main body 20a through the entrance H1 or H2. Specifically, the slide mechanism is configured such that the FOUP 3 on the port P1 or P2 is indicated by one shelf portion adjacent to the opening H1 or H2 among the plurality of shelf portions 21 described later (that is, indicated by a two-dot chain line in FIG. Move up) (located in area A1).

複数の棚部分２１は、鉛直方向に７段、各段における水平一方向（即ち、図１における左右方向）に４列、且つ各段における厚み方向（即ち、図１における前後方向）に２列として、合計５６個の棚部分から構成されている。各棚部分２１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を夫々有する、一対の載置部２１ａ，２１ｂから構成されている。図３において、各棚部分２１は、その載置面に、凸部２２を有する。凸部２２は、ＦＯＵＰ３の下面側部に形成された凹部５に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の収容或いは保管時にこの凹部５に係合される。 The plurality of shelves 21 are arranged in seven rows in the vertical direction, four rows in one horizontal direction (ie, the left-right direction in FIG. 1), and two rows in the thickness direction (ie, the front-rear direction in FIG. 1) in each step As a total of 56 shelves. Each shelf portion 21 includes a pair of placement portions 21a and 21b each having a placement surface that can support the lower surface side portion of the FOUP 3 (that is, an example of the “second placement surface” according to the present invention). ing. In FIG. 3, each shelf portion 21 has a convex portion 22 on its mounting surface. The convex portion 22 is formed in a size corresponding to the concave portion 5 formed on the lower surface side portion of the FOUP 3, and is engaged with the concave portion 5 when the FOUP 3 is stored or stored.

自動搬送装置３０は、ストッカコントローラ１０２の制御により、複数の棚部分２１間でＦＯＵＰ３を自動的に搬送可能な保管庫内搬送装置たるスタッカ（或いはスタッカロボット）である。自動搬送装置３０は、載置部３１、並びに本発明に係る「駆動手段」の一例を構成する、本体部３０ａ、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム（以下、適宜単に「アーム」と称する）３５を備えており、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム３５の各部が、ストッカコントローラ１０２により制御される。 The automatic transfer device 30 is a stacker (or stacker robot) that is a transfer device in the storage that can automatically transfer the FOUP 3 between the plurality of shelf portions 21 under the control of the stocker controller 102. The automatic conveyance device 30 includes a main body portion 30a, a plurality of rollers 33, a vertical guide portion 34, and a horizontal telescopic swivel arm (hereinafter simply referred to as “ A plurality of rollers 33, a vertical guide portion 34, and a horizontal telescopic turning arm 35 are controlled by the stocker controller 102.

載置部３１は、複数のローラ３３による水平一方向への駆動、鉛直ガイド部３４による鉛直方向への駆動、及びアーム３５による厚み方向への駆動により、複数の棚部分２１間を往復移動可能に構成されている。載置部３１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」の一例）を有する。図３において、載置部３１は、その載置面に、凸部３２を有する。凸部３２は、ＦＯＵＰ３の下面中央部に形成された凹部６に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の移載時にこの凹部６に係合される。 The mounting portion 31 can reciprocate between the plurality of shelf portions 21 by driving in a horizontal direction by a plurality of rollers 33, driving in a vertical direction by a vertical guide portion 34, and driving in a thickness direction by an arm 35. It is configured. The placement unit 31 has a placement surface that can support the center of the lower surface of the FOUP 3 (that is, an example of the “first placement surface” according to the present invention). In FIG. 3, the placement portion 31 has a convex portion 32 on the placement surface. The convex portion 32 is formed in a size corresponding to the concave portion 6 formed at the center of the lower surface of the FOUP 3 and is engaged with the concave portion 6 when the FOUP 3 is transferred.

本体部３０ａの底面には、アクチュエータ或いはモータにより駆動する複数のローラ３３が、ストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を回転可能に取り付けられている。本体部３０ａには、上下方向に、鉛直ガイド部３４が固定されている。本体部３０ａは、本発明に係る「水平駆動手段」の一部として機能し、複数のローラ３３の回転により、鉛直ガイド部３４（言い換えれば、載置部３１）を水平一方向に移動可能に構成されている。 A plurality of rollers 33 driven by an actuator or a motor are attached to the bottom surface of the main body 30a so as to be rotatable on a rail R20 laid on the floor surface inside the stocker 20. A vertical guide portion 34 is fixed to the main body portion 30a in the vertical direction. The main body portion 30a functions as a part of the “horizontal driving means” according to the present invention, and the vertical guide portion 34 (in other words, the placement portion 31) can be moved in one horizontal direction by the rotation of the plurality of rollers 33. It is configured.

鉛直ガイド部３４には、アーム３５が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。鉛直ガイド部３４は、本発明に係る「鉛直駆動手段」の一例であって、アクチュエータ或いはモータにより鉛直方向に回動する機構３４ａと、該機構３４ａにおける回動部位に固定された回動部３４ｂとから成っている。鉛直ガイド部３４は、機構３４ａの動作により、回動部３４ｂの上面に旋回自在に取り付けられたアーム３５（言い換えれば、載置部３１）を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。 An arm 35 is attached to the vertical guide portion 34 so as to be movable only in the vertical direction. The vertical guide portion 34 is an example of the “vertical driving means” according to the present invention, and includes a mechanism 34a that is rotated in the vertical direction by an actuator or a motor, and a rotating portion 34b that is fixed to a rotating portion of the mechanism 34a. It consists of. The vertical guide portion 34 is configured to be able to reciprocate in the vertical direction an arm 35 (in other words, the placement portion 31) pivotably attached to the upper surface of the rotation portion 34 b by the operation of the mechanism 34 a.

アーム３５には、載置部３１が厚み方向にのみ移動可能に取り付けられている。アーム３５は、本体部３０ａと共に本発明に係る「水平駆動手段」の一部として機能し、上下方向に連結された２つのアーム部から成っている。これら２つのアーム部は、アクチュエータ（例えば、油圧シリンダ等）或いはモータにより相互に旋回することにより、厚み方向に伸縮自在に構成されている。アーム３５は、２つのアーム部の動作により、２つのアーム部のうち上方のアーム部に固定された載置部３１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。 A mounting portion 31 is attached to the arm 35 so as to be movable only in the thickness direction. The arm 35 functions as a part of the “horizontal driving means” according to the present invention together with the main body 30a, and includes two arms connected in the vertical direction. These two arm portions are configured to be extendable in the thickness direction by reciprocally turning with an actuator (for example, a hydraulic cylinder or the like) or a motor. The arm 35 is configured to be able to reciprocate in the thickness direction on the mounting portion 31 fixed to the upper arm portion of the two arm portions by the operation of the two arm portions.

上述したように複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により移動する載置部３１と、該載置部３１の移動先たる各棚部分２１との相対関係について説明する。各棚部分２１の載置面は、ストッカ２０の上面側から視て、馬蹄のようにＵ字形に形成されている。一方、載置部３１の載置面は、そのＵ字形の中央を埋める島のように矩形に形成されている。即ち、各棚部分２１の載置面及び載置部３１の載置面は、相互に相補の平面形状を有する。このような各棚部分２１及び載置部３１間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。 As described above, the relative relationship between the placement unit 31 that moves by driving the plurality of rollers 33, the vertical guide unit 34, and the arm 35 and each shelf portion 21 that is the destination of the placement unit 31 will be described. The mounting surface of each shelf portion 21 is formed in a U shape like a horseshoe when viewed from the upper surface side of the stocker 20. On the other hand, the mounting surface of the mounting portion 31 is formed in a rectangular shape like an island that fills the center of the U-shape. That is, the placement surface of each shelf portion 21 and the placement surface of the placement portion 31 have mutually complementary planar shapes. The FOUP 3 is transferred between each shelf portion 21 and the placement unit 31.

マニュアル搬送装置４０は、作業員による不図示のチェーンブロックの操作により、ＦＯＵＰ３を移動可能な装置である。マニュアル搬送装置４０は、把持部４１、並びに本発明に係る「移動手段」の一例を構成するレールＲ２、スライド部４３、ホイスト部４４、及び吊り下げ部４５を備える。 The manual transport device 40 is a device that can move the FOUP 3 by an operation of a chain block (not shown) by an operator. The manual conveyance device 40 includes a grip 41 and a rail R2, a slide 43, a hoist 44, and a suspension 45 that constitute an example of the “moving means” according to the present invention.

把持部４１は、本発明に係る「把持手段」の一例として、ＦＯＵＰ３を把持可能に構成されている。具体的には、把持部４１は、作業員の変位操作により、ＦＯＵＰ３のフランジ４を把持する把持状態、及びフランジ４を解放する解放状態間で変位自在に構成されている。 The grip portion 41 is configured to be able to grip the FOUP 3 as an example of the “grip means” according to the present invention. Specifically, the gripping portion 41 is configured to be freely displaceable between a gripping state in which the flange 4 of the FOUP 3 is gripped and a releasing state in which the flange 4 is released by an operator's displacement operation.

レールＲ２は、本発明に係る「第２軌道」の一例として、ストッカ２０内部の天井に、その長手方向が水平一方向と平行になるように取り付けられている。レールＲ２の一端部は、開口Ｈ３を介してストッカ２０内外を連絡すべく、ストッカ２０外部へ延伸されている。レールＲ２の延伸部分の長さは、スライド部４３における水平一方向の長さより大きいものとする。このレールＲ２には、スライド部４３が組み付けられている。 As an example of the “second track” according to the present invention, the rail R2 is attached to the ceiling inside the stocker 20 so that its longitudinal direction is parallel to one horizontal direction. One end of the rail R2 extends to the outside of the stocker 20 so as to communicate the inside and outside of the stocker 20 through the opening H3. The length of the extending portion of the rail R 2 is greater than the length of the slide portion 43 in one horizontal direction. The slide part 43 is assembled | attached to this rail R2.

スライド部４３は、本発明に係る「スライド機構」の一例として、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、レールＲ２に沿って水平一方向に往復移動可能に構成されている。スライド部４３内部には、ホイスト部４４が一体に取り付けられている。 As an example of the “slide mechanism” according to the present invention, the slide portion 43 is driven by an actuator or a motor, and is configured to reciprocate in one horizontal direction along the rail R2. A hoist unit 44 is integrally attached inside the slide unit 43.

ホイスト部４４は、本発明に係る「ホイスト機構」の一例として、吊り下げベルト４５の一端が固着されている巻き軸を備える。ホイスト部４４は、アクチュエータ或いはモータにより駆動される巻き軸の回転により、吊り下げベルト４５の一端を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。 The hoist part 44 includes a winding shaft to which one end of the suspension belt 45 is fixed as an example of the “hoist mechanism” according to the present invention. The hoist part 44 is configured to be capable of winding or lowering one end of the suspension belt 45 by rotation of a winding shaft driven by an actuator or a motor.

吊り下げベルト４５は、本発明に係る「吊り下げ部材」の一例として、その一端がホイスト部４４の巻き軸に固着され、その他端が把持部４１上面に固着されていることにより、ホイスト部４４及び把持部４１を接続する。通常時に、吊り下げベルト４５は、ホイスト部４４の鉛直下方向に把持部４１を吊り下げた状態にある。吊り下げベルト４５は、作業員による把持部４１を押圧する操作により、鉛直方向に吊り下がった把持部４１が一定の範囲で移動自在となるように構成されている。ここで「一定の範囲」とは、吊り下げベルト４５を鉛直方向以外の方向に引っ張ったり、屈曲させることにより、吊り下げられた把持部４１が到達し得る空間を示す。尚、吊り下げベルト４５の代わりに、吊り下げチェーン或いは吊り下げワイヤが使用されても構わない。 As an example of the “suspending member” according to the present invention, the suspension belt 45 has one end fixed to the winding shaft of the hoist portion 44 and the other end fixed to the upper surface of the grip portion 41. And the gripping part 41 is connected. At the normal time, the suspension belt 45 is in a state where the grip portion 41 is suspended vertically below the hoist portion 44. The suspension belt 45 is configured such that the grip 41 that is suspended in the vertical direction can move within a certain range by an operation of pressing the grip 41 by an operator. Here, the “certain range” indicates a space that can be reached by the suspended gripping portion 41 by pulling or bending the suspension belt 45 in a direction other than the vertical direction. Instead of the hanging belt 45, a hanging chain or a hanging wire may be used.

搬送指示部１００は、メインコントローラたる製造指示部における半導体素子製造スケジュールに基づいてＦＯＵＰ３の搬送スケジュールを作成し、該搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を制御可能に構成された、ＭＣＳ（ＭａｔｅｒｉａｌＣｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍ）である。搬送指示部１００は、ビークルコントローラ１０１に対し、ビークル１０によるＦＯＵＰ３の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１０２に対し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送を指示可能に構成されている。 The transport instruction unit 100 is configured to create a transport schedule of the FOUP 3 based on the semiconductor element manufacturing schedule in the manufacturing instruction unit as a main controller, and to control the vehicle controller 101 and the stocker controller 102 based on the transport schedule. It is MCS (Material Control System). The transport instruction unit 100 is configured to instruct the vehicle controller 101 to transport the FOUP 3 by the vehicle 10 and to instruct the stocker controller 102 to transport the FOUP 3 inside the stocker 20.

ビークルコントローラ１０１は、搬送指示部１００の指示により、ビークル１０各部を制御し、レール１に沿ったＦＯＵＰ３の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ２０等との間でＦＯＵＰ３の移載を実行可能に構成されている。 The vehicle controller 101 controls each part of the vehicle 10 according to an instruction from the conveyance instruction unit 100, executes conveyance of the FOUP 3 along the rail 1, and executes transfer of the FOUP 3 between various manufacturing apparatuses, the stocker 20, and the like. It is configured to be possible.

ストッカコントローラ１０２は、搬送指示部１００の指示により、ポートＰ１，Ｐ２及び自動搬送装置３０の各部を制御し、ビークル１０との間でポートＰ１又はＰ２を介してＦＯＵＰ３の移載（即ち、入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置３０各部を制御し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送（即ち、保管庫内搬送）を実行可能に構成されている。 The stocker controller 102 controls each of the ports P1 and P2 and the automatic conveyance device 30 according to the instruction from the conveyance instruction unit 100, and transfers the FOUP 3 to the vehicle 10 via the port P1 or P2 (that is, warehousing or (Unloading) and controlling each part of the automatic transfer device 30 so that the transfer of the FOUP 3 in the stocker 20 (that is, transfer in the storage) can be executed.

＜実施形態の動作＞
＜保管庫内搬送動作＞
次に、図２及び図３を参照して、自動搬送装置３０による、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送動作（即ち、保管庫内搬送動作）について説明する。 <Operation of Embodiment>
<Transport operation in storage>
Next, with reference to FIGS. 2 and 3, the transport operation of the FOUP 3 inside the stocker 20 (that is, the transport operation in the storage) by the automatic transport device 30 will be described.

図２において、自動搬送装置３０は、例えば、エリアＡ１に位置する棚部分２１上のＦＯＵＰ３を、エリアＡ２に位置する棚部分２１上に移載する。図３（ａ）に示すように、エリアＡ１の棚部分２１上のＦＯＵＰ３は、その凹部５が棚部分２１の凸部２２と係合した状態で、棚部分２１の載置面に支持されている。この場合に、先ず載置部３１が、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により、エリアＡ１における棚部分２１の直下に移動される。この「棚部分２１の真下」とは、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間（即ち、図３（ａ）において載置部３１が点線で示される空間）の下方であり、具体的には、ＦＯＵＰ３における凹部６の鉛直下方向に載置部３１における凸部３２が位置することを示す。 In FIG. 2, the automatic conveyance apparatus 30 transfers, for example, the FOUP 3 on the shelf portion 21 located in the area A1 onto the shelf portion 21 located in the area A2. As shown in FIG. 3A, the FOUP 3 on the shelf portion 21 in the area A1 is supported on the placement surface of the shelf portion 21 with the recess 5 engaged with the projection 22 of the shelf portion 21. Yes. In this case, first, the placement unit 31 is moved directly below the shelf portion 21 in the area A1 by driving the plurality of rollers 33, the vertical guide unit 34, and the arm 35. This “below the shelf portion 21” is below the space between the pair of shelf portions 21a and 21b (that is, the space where the placement portion 31 is indicated by a dotted line in FIG. 3A), specifically, , Shows that the convex part 32 in the mounting part 31 is located vertically below the concave part 6 in the FOUP 3.

続いて、エリアＡ１における棚部分２１の真下に移動した載置部３１は、鉛直ガイド部３４の駆動により鉛直上方向へ移動する。この際、載置部３１が、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間を通過して、図３（ｂ）に示すように、この一対の棚部分２１ａ，２１ｂよりも上昇する。これに伴い、ＦＯＵＰ３の凹部５及び棚部分２１の凸部２２の係合が外れ、ＦＯＵＰ３は、エリアＡ１における棚部分２１の載置面に代わって、その凹部６が載置部３１の凸部３２に係合した状態で、載置部３１の載置面に支持される。即ち、エリアＡ１の棚部分２１上のＦＯＵＰ３が載置部３１上に移載される。 Subsequently, the placement unit 31 that has moved directly below the shelf portion 21 in the area A 1 moves vertically upward by driving the vertical guide unit 34. At this time, the placement portion 31 passes through the space between the pair of shelf portions 21a and 21b and ascends from the pair of shelf portions 21a and 21b as shown in FIG. Along with this, the concave portion 5 of the FOUP 3 and the convex portion 22 of the shelf portion 21 are disengaged, and the concave portion 6 is replaced by the convex portion of the placement portion 31 in place of the placement surface of the shelf portion 21 in the area A1. In the state engaged with 32, it is supported by the placement surface of the placement portion 31. That is, the FOUP 3 on the shelf portion 21 in the area A1 is transferred onto the placement unit 31.

続いて、ＦＯＵＰ３を支持している載置部３１は、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により、エリアＡ２における棚部分２１の直上に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平一方向の所定の水平位置に移動される。この「棚部分２１の真上」とは、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間の上方であり、具体的には、ＦＯＵＰ３における凹部５の鉛直下方向に棚部分２１における凸部２２が位置することを示す。 Subsequently, the placement unit 31 supporting the FOUP 3 is moved directly above the shelf portion 21 in the area A 2 by driving the plurality of rollers 33, the vertical guide unit 34, and the arm 35. At this time, the placement unit 11 is moved to a predetermined horizontal position in one horizontal direction by the horizontal drive unit 13. The “directly above the shelf portion 21” is above the space between the pair of shelf portions 21a and 21b. Specifically, the convex portion 22 in the shelf portion 21 is located vertically below the concave portion 5 in the FOUP 3. Indicates to do.

続いて、エリアＡ２における棚部分２１の真上に移動した載置部３１は、鉛直ガイド部３４の駆動により鉛直下方向へ移動する。この際、載置部３１が、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間を通過して、図３（ａ）に示すように、この一対の棚部分２１ａ，２１ｂよりも下降する。これに伴い、ＦＯＵＰ３の凹部６及び載置部３１の凸部３２の係合が外れ、ＦＯＵＰ３は、載置部３１の載置面に代わって、その凹部５が棚部分２１の凸部２２に係合した状態で、棚部分２１の載置面に支持される。即ち、載置部３１上のＦＯＵＰ３がエリアＡ２の棚部分２１上に移載される。これにより、エリアＡ１の棚部分２１からエリアＡ２の棚部分２１への、ＦＯＵＰ３の移載動作が完了される。尚、この移載工程を逆の順序で行えば、エリアＡ２の棚部分２１からエリアＡ１の棚部分２１への移載動作となる。 Subsequently, the placement unit 31 that has moved right above the shelf portion 21 in the area A 2 moves vertically downward by driving the vertical guide unit 34. At this time, the placement portion 31 passes through the space between the pair of shelf portions 21a and 21b and descends below the pair of shelf portions 21a and 21b as shown in FIG. Accordingly, the concave portion 6 of the FOUP 3 and the convex portion 32 of the placement portion 31 are disengaged, and the concave portion 5 is replaced by the convex portion 22 of the shelf portion 21 instead of the placement surface of the placement portion 31. In the engaged state, it is supported on the placement surface of the shelf portion 21. That is, the FOUP 3 on the placement unit 31 is transferred onto the shelf portion 21 in the area A2. Thereby, the transfer operation of the FOUP 3 from the shelf portion 21 in the area A1 to the shelf portion 21 in the area A2 is completed. In addition, if this transfer process is performed in the reverse order, it will be the transfer operation | movement from the shelf part 21 of the area A2 to the shelf part 21 of the area A1.

上述した保管庫内搬送動作について、各移載工程で、ＦＯＵＰ３の位置決め手段たる凹部５，６が、各棚部分２１の位置決め手段たる凸部２２、又は載置部３１の位置決め手段たる凸部３２と係合した状態となり、ＦＯＵＰ３の位置決めが確実になされる。これは、各移載工程が順調に実行されるために必要不可欠の条件である。一方、自動搬送装置３０の故障、搬送先たる棚部分２１の破損、棚部分２１上の障害物、及びＦＯＵＰ３自体の破損に起因する移載ずれにより、ＦＯＵＰ３の位置決めに確実性を欠くと、一連の移載工程が中断してしまう場合がある。この場合、中断した移載工程を再度始動するためには、各種移載ずれの要因を払拭することと併せて、ＦＯＵＰ３の移動動作を行うこととなる。具体的には、該移動動作として、位置決めが確実に行われなかった一のＦＯＵＰ３を出庫する、又は該一のＦＯＵＰ３より他の、ストッカ２０内のＦＯＵＰ３を少なくとも１つ若しくは全て出庫する。そこで、本実施形態では、保管庫内搬送動作の過程における、上述したようなＦＯＵＰ３の移動動作が、故障中、又は故障中でなくとも所定の位置決め位置にないＦＯＵＰ３を搬送不能な自動搬送装置３０に代わって、マニュアル搬送装置４０により実行される。 In the transfer operation in the storage, the concave portions 5 and 6 as the positioning means of the FOUP 3 are the convex portions 22 as the positioning means of the shelf portions 21 or the convex portions 32 as the positioning means of the placement portion 31 in each transfer process. The FOUP 3 is reliably positioned. This is an indispensable condition for each transfer process to be performed smoothly. On the other hand, if the positioning of the FOUP 3 lacks certainty due to the failure of the automatic transfer device 30, the breakage of the shelf portion 21 that is the transfer destination, the obstacle on the shelf portion 21, and the damage of the FOUP 3 itself, The transfer process may be interrupted. In this case, in order to restart the interrupted transfer process, the movement operation of the FOUP 3 is performed in addition to wiping out various transfer deviation factors. Specifically, as the moving operation, one FOUP 3 that has not been reliably positioned is delivered, or at least one or all of the FOUPs 3 in the stocker 20 other than the one FOUP 3 are delivered. Therefore, in the present embodiment, the automatic transfer device 30 that cannot transfer the FOUP 3 that is not in the predetermined positioning position even if the movement operation of the FOUP 3 as described above in the course of the transfer operation in the storage is out of order or not in failure. Instead, it is executed by the manual conveyance device 40.

＜マニュアル搬送動作＞
次に、図４及び図５を参照して、マニュアル搬送装置４０による、ＦＯＵＰ３の移動動作について説明する。ここに図４は、図１の保管庫における退避位置を示す、図１の保管庫を左右方向（即ち、「他方向」と称する）で切断した場合の他方向断面図であり、図５は、マニュアル搬送装置４０による移動動作の一例たる、ＦＯＵＰマニュアル搬送処理を示すフローチャートである。 <Manual transfer operation>
Next, the movement operation of the FOUP 3 by the manual conveyance device 40 will be described with reference to FIGS. 4 is a cross-sectional view in the other direction when the storage in FIG. 1 is cut in the left-right direction (that is, referred to as “other direction”), showing the retracted position in the storage in FIG. 5 is a flowchart showing a FOUP manual conveyance process as an example of a movement operation by the manual conveyance device 40.

先ず図４において、ＦＯＵＰマニュアル搬送処理が実行される以前、即ち、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作の実行中に、把持部４１は、スライド部４３及びホイスト部４４の駆動により、レールＲ２の延伸部分（即ち、図４において、二点鎖線で示されるエリアＡ５に位置する）に位置する。このエリアＡ５は、自動搬送装置３０によるＦＯＵＰ３の搬送を妨げないと共に、マニュアル搬送装置４０による移動動作が実行される際に搬送の対象たるＦＯＵＰ３を逸早く到達すべく開口Ｈ３に最近である、本発明に係る「退避位置」の一例たる退避エリアである。ＦＯＵＰマニュアル搬送処理では、例えば、エリアＡ６に位置する棚部分２１への移載時に移載ズレが生じたＦＯＵＰ３をストッカ２０外部へ移動する動作が示される。 First, in FIG. 4, before the FOUP manual conveyance process is executed, that is, during the execution of the in-storage conveyance operation by the automatic conveyance device 30, the gripping unit 41 is driven by the rail R 2 by driving the slide unit 43 and hoist unit 44. (Ie, located in the area A5 indicated by the two-dot chain line in FIG. 4). This area A5 does not hinder the transport of the FOUP 3 by the automatic transport device 30 and is recent to the opening H3 so as to reach the FOUP 3 to be transported quickly when the moving operation by the manual transport device 40 is executed. This is a retreat area as an example of the “retreat position”. In the FOUP manual conveyance process, for example, an operation of moving the FOUP 3 in which transfer displacement has occurred during transfer to the shelf portion 21 located in the area A6 to the outside of the stocker 20 is shown.

図５において、先ず作業員によるチェーンブロックのマニュアル操作に応答して、スライド部４３及びホイスト部４４が駆動され、退避エリアＡ５に位置する把持部４１がエリアＡ６近傍に移動する。すると、作業員の押圧操作により、把持部４１がＦＯＵＰ３のフランジ４に対応する位置に移動されると共に、作業員の変位操作により、把持部４１が把持状態に変位する。これにより、ＦＯＵＰ３が把持部４１により把持される（ステップＳ５１）。 In FIG. 5, first, in response to a manual operation of the chain block by an operator, the slide part 43 and the hoist part 44 are driven, and the grip part 41 located in the retreat area A5 moves to the vicinity of the area A6. Then, the grip portion 41 is moved to a position corresponding to the flange 4 of the FOUP 3 by the pressing operation of the worker, and the grip portion 41 is displaced to the grip state by the displacement operation of the worker. As a result, the FOUP 3 is gripped by the grip portion 41 (step S51).

続いて、作業員のマニュアル操作により、ホイスト部４４が駆動され、把持部４１が所定の第１鉛直位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ７）に移動する（ステップＳ５２）。ここで「第１鉛直位置」とは、開口Ｈ３と同じ高さになるまで、把持部４１が鉛直方向に上昇された位置を示す。即ち、第１鉛直位置に移動した把持部４１は、開口Ｈ３の水平方向に位置する。すると、スライド部４３が駆動され、把持部４１が所定の第１水平位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ５）に移動する（ステップＳ５３）。ここで「第１水平位置」とは、ストッカ２０外部に設定される受け渡し棚Ｐ３（即ち、図４において点線で示されるポート）の上方にくるまで、把持部４１が水平一方向に移動された位置を示す。即ち、第１水平位置に移動した把持部４１は、受け渡し棚Ｐ３の鉛直上方に位置する。すると、ホイスト部４４が駆動され、把持部４１が所定の第２鉛直位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ８）に移動する（ステップＳ５４）。ここで「第２鉛直位置」とは、受け渡し棚Ｐ３に、把持しているＦＯＵＰ３を移載可能である高さになるまで、把持部４１が鉛直方向に下降された位置を示す。即ち、第２鉛直位置に移動した把持部４１は、受け渡し棚Ｐ３の直上に位置する。 Subsequently, the hoist unit 44 is driven by the manual operation of the worker, and the gripping unit 41 moves to a predetermined first vertical position (that is, the area A7 indicated by the two-dot chain line in FIG. 4) (step S52). Here, the “first vertical position” indicates a position where the grip portion 41 is raised in the vertical direction until the height becomes the same as the opening H3. That is, the grip part 41 moved to the first vertical position is located in the horizontal direction of the opening H3. Then, the slide part 43 is driven, and the grip part 41 moves to a predetermined first horizontal position (that is, the area A5 indicated by the two-dot chain line in FIG. 4) (step S53). Here, the “first horizontal position” means that the grip portion 41 is moved in one horizontal direction until it is above the delivery shelf P3 set outside the stocker 20 (that is, the port indicated by the dotted line in FIG. 4). Indicates the position. That is, the grip part 41 moved to the first horizontal position is positioned vertically above the delivery shelf P3. Then, the hoist part 44 is driven and the grip part 41 moves to a predetermined second vertical position (that is, the area A8 indicated by the two-dot chain line in FIG. 4) (step S54). Here, the “second vertical position” indicates a position where the gripping portion 41 is lowered in the vertical direction until the gripping FOUP 3 reaches a height that can be transferred to the delivery shelf P3. That is, the grip portion 41 that has moved to the second vertical position is located immediately above the delivery shelf P3.

続いて、作業員の変位操作により、把持部４１が解放状態に変位する。これにより、ＦＯＵＰ３が把持部４１から解放される（ステップＳ５５）。即ち、移載ズレが生じたＦＯＵＰ３がストッカ２０内部から外部へ移動され、一連のＦＯＵＰマニュアル移動処理が終了する。 Subsequently, the gripper 41 is displaced to the released state by the operator's displacement operation. Thereby, the FOUP 3 is released from the grip portion 41 (step S55). That is, the FOUP 3 in which the transfer shift has occurred is moved from the stocker 20 to the outside, and a series of FOUP manual movement processes is completed.

本実施形態のＦＯＵＰマニュアル移動処理によれば、自動搬送装置３０による保管庫内搬送が不能となり、人手によるＦＯＵＰ３の持ち運びが余儀なくされる場合、作業員の操作により、マニュアル搬送装置４０を制御して、ストッカ２０内部及びストッカ２０内外でＦＯＵＰ３を移動する。これにより、作業員がストッカ２０内で荷を直接に保持することがなくなり、作業員の安全性を担保することが可能である。 According to the FOUP manual movement process of the present embodiment, when the automatic conveyance device 30 cannot be carried in the storage, and the FOUP 3 is forced to be carried manually, the manual conveyance device 40 is controlled by the operator's operation. The FOUP 3 is moved inside and outside the stocker 20. Thereby, the worker does not directly hold the load in the stocker 20, and the safety of the worker can be ensured.

尚、本実施形態によれば、レールＲ２に対し、スライド部４３が組み付けられているが、スライド部４３はレールＲ２から取り外し自在（言い換えれば、レールＲ２に組み付け自在）に構成されていてもよい。 In addition, according to this embodiment, although the slide part 43 is assembled | attached with respect to the rail R2, the slide part 43 may be comprised detachably from the rail R2 (in other words, can be assembled | attached to rail R2). .

次に、図６を参照して、組み付け自在のスライド部が組み付けられるレールの一例について説明する。ここで、図６は、組み付け自在のスライド部が組み付けられるレールの構造を説明するための、レールの一方向断面図である。 Next, with reference to FIG. 6, an example of a rail on which a freely slidable slide part is assembled will be described. Here, FIG. 6 is a one-way cross-sectional view of the rail for explaining the structure of the rail to which the freely slidable slide portion is assembled.

図６（ａ）において、ストッカ２２０に適用されるマニュアル搬送装置２４０は、把持部２４１、レールＲ３、スライド部２４３、ホイスト部２４４、及び吊り下げ部２４５を備える。スライド部２４３は、本体部２４３ａ、一対のローラ２４６、及び一対の掛かり部２４７を備える。レールＲ３は、ストッカ本体部２２０ａの天井に且つ水平一方向に敷設されている。レールＲ３について、その内部が開部Ｏ１を介してレール３下方と相通している。また、その下部は、一対の掛かり部２４７に形成されている。こうした構造は、レールＲ３の水平一方向に連続している。本体部２４３ａの上面には、車軸で連結される一対のローラ２４６が回転可能に取り付けられている。スライド部２４３は、一対のローラ２４６のローラ面と一対の掛かり部２４７上面とが当接する状態となるように、レールＲ３に対して組み付けられる。この組み付け状態で、アクチュエータ或いはモータにより一対のローラ２４６が一対の掛かり部２４７上面を回動する。これにより、スライド部２４３が水平一方向に往復移動可能となる。 In FIG. 6A, the manual transport device 240 applied to the stocker 220 includes a gripping part 241, a rail R 3, a slide part 243, a hoist part 244, and a hanging part 245. The slide portion 243 includes a main body portion 243a, a pair of rollers 246, and a pair of hook portions 247. The rail R3 is laid on the ceiling of the stocker body 220a and in one horizontal direction. The interior of the rail R3 communicates with the lower portion of the rail 3 through the opening O1. Moreover, the lower part is formed in a pair of hook part 247. As shown in FIG. Such a structure is continuous in one horizontal direction of the rail R3. A pair of rollers 246 connected by an axle is rotatably attached to the upper surface of the main body 243a. The slide portion 243 is assembled to the rail R3 so that the roller surfaces of the pair of rollers 246 and the upper surfaces of the pair of hook portions 247 are in contact with each other. In this assembled state, the pair of rollers 246 rotate on the top surfaces of the pair of hook portions 247 by the actuator or the motor. Thereby, the slide part 243 can reciprocate in one horizontal direction.

尚、本実施形態では、自動搬送装置３０は、複数のローラ３３がストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を水平一方向に回動することにより、水平一方向への往復移動を可能とするが、自動搬送装置３０の水平一方向への移動を規定する軌道として、上述したレールＲ３を設定してもよい。 In the present embodiment, the automatic conveyance device 30 causes the plurality of rollers 33 to reciprocate in one horizontal direction by rotating in one horizontal direction on the rail R20 laid on the floor surface inside the stocker 20. Although possible, the rail R3 described above may be set as a track that regulates the movement of the automatic conveyance device 30 in one horizontal direction.

図６（ｂ）において、ストッカ２２０は、鉛直ガイド部２３４を含む自動搬送装置２３０を備える。鉛直ガイド部２３４の上面には、ローラ面が対向するように一対のローラ２３５が取り付けられている。レールＲ３に対し、マニュアル搬送装置２４０におけるスライド部２４３に加えて、自動搬送装置２３０における鉛直ガイド部２３４もまた組み付け可能に構成されている。鉛直ガイド部２３４は、一対のローラ２３５のローラ面間でレールＲ３を両側から挟み込んだ状態となるように、レールＲ３に対して組み付けられる。この組み付け状態で、鉛直ガイド部２３４が駆動すると、レールＲ３両側面を一対のローラ２３５が回動する。これにより、鉛直ガイド部２３４が水平一方向に往復移動可能となる。 In FIG. 6B, the stocker 220 includes an automatic conveyance device 230 including a vertical guide part 234. A pair of rollers 235 are attached to the upper surface of the vertical guide portion 234 so that the roller surfaces face each other. In addition to the slide portion 243 in the manual conveyance device 240, the vertical guide portion 234 in the automatic conveyance device 230 can also be assembled to the rail R3. The vertical guide portion 234 is assembled to the rail R3 so that the rail R3 is sandwiched between the roller surfaces of the pair of rollers 235 from both sides. When the vertical guide portion 234 is driven in this assembled state, the pair of rollers 235 rotate on both side surfaces of the rail R3. Thereby, the vertical guide part 234 can be reciprocated in one horizontal direction.

尚、本実施形態によれば、図２に示すように、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２の直下に、自動搬送装置３０が設置されるが、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０の相対位置は、これに限定されない。 According to the present embodiment, as shown in FIG. 2, the automatic conveyance device 30 is installed immediately below the rail R2 in the manual conveyance device 40. However, the relative positions of the automatic conveyance device 30 and the manual conveyance device 40 are as follows. However, the present invention is not limited to this.

図７を参照して、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０がとり得る相対位置の他の例について説明する。ここに図７は、図１における自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０の相対位置の他の例を示す一方向断面図である。尚、図７において、図１のストッカ２０と同一に構成される要素について、同一の符号を付すこととする。 With reference to FIG. 7, another example of relative positions that can be taken by the automatic conveyance device 30 and the manual conveyance device 40 will be described. FIG. 7 is a one-way sectional view showing another example of the relative positions of the automatic conveyance device 30 and the manual conveyance device 40 in FIG. In FIG. 7, the same components as those of the stocker 20 of FIG.

図７において、ストッカ１２０は、厚み方向に、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２、及び自動搬送装置３０におけるレールＲ２０を並べて設置している。このため、ストッカ１２０では、厚み方向における２つの棚部分列間の空間を、図１のストッカ２０の場合よりも大きくせざるを得ない。一方、マニュアル搬送装置４０及び自動搬送装置３０における水平一方向への移動経路が夫々に独立しているので、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作時に、把持部４１が退避位置Ａ５に退避するための退避動作を最小限とすることが可能となる。 In FIG. 7, the stocker 120 has a rail R 2 in the manual conveyance device 40 and a rail R 20 in the automatic conveyance device 30 arranged side by side in the thickness direction. For this reason, in the stocker 120, the space between the two shelf partial rows in the thickness direction must be made larger than in the case of the stocker 20 in FIG. On the other hand, since the manual transfer device 40 and the automatic transfer device 30 have independent movement paths in one horizontal direction, the gripper 41 is retracted to the retreat position A5 when the automatic transfer device 30 performs the in-storage transfer operation. Therefore, it is possible to minimize the saving operation.

尚、本実施形態によれば、自動搬送装置３０は、特に棚部分２１の設置数が多いワイドストッカに適用され、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により複数の棚部分２１間を往復移動可能とするが、自動搬送装置の構成は、これに限定されない。 According to the present embodiment, the automatic conveyance device 30 is applied to a wide stocker in which the number of the shelf portions 21 is particularly large, and the plurality of shelf portions 21 are driven by driving the plurality of rollers 33, the vertical guide portions 34, and the arms 35. However, the configuration of the automatic conveyance device is not limited to this.

図８を参照して、図１の自動搬送装置３０と異なる自動搬送装置の一例について説明する。ここに図８は、図１の自動搬送装置３０と異なる自動搬送装置の一例を示す他方向断面図である。 With reference to FIG. 8, an example of an automatic conveyance apparatus different from the automatic conveyance apparatus 30 of FIG. 1 will be described. FIG. 8 is a cross-sectional view in the other direction showing an example of an automatic conveyance device different from the automatic conveyance device 30 of FIG.

図８において、ストッカ３２０は、特に高層ストッカに適用されるＨ型の自動搬送装置３３０を備える。自動搬送装置３３０は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置部３３１、該載置部３３１を厚み方向に移動可能な水平アーム３３５、該水平アーム３３５を水平一方向に移動可能な水平ガイド部３３４、及び該水平ガイド部３３４の鉛直方向への移動を可能とする鉛直ガイド部３３３を備える。水平アーム３３５、水平ガイド部３３４及び鉛直ガイド部３３３は、アクチュエータ或いはモータにより夫々駆動される。水平アーム３３５は、複数のアーム部分からなっており、個々のアーム部分を段階的にスライドすることにより載置部３３１を最近の棚部分３２１に到達可能に構成されている。水平ガイド部３３４は、ストッカ本体部３２０ａの水平一方向の長さより、鉛直移動のための有余を設けるべく、若干短く形成されている。鉛直ガイド部３３３は、２つの縦型コンベアからなっており、各々が、本体部３２０ａの鉛直方向の高さより、マニュアル搬送装置４０のレールＲ２に接触しないための有余を設けるべく、若干低く形成されている。このような水平アーム３３５、水平ガイド部３３４及び鉛直ガイド部３３３からなる自動搬送装置３２０における移動手段を構成することにより、載置部３３１を高部の棚部分３２１にも安定して移動させることが可能である。 In FIG. 8, the stocker 320 includes an H-type automatic conveyance device 330 that is applied particularly to a high-rise stocker. The automatic transfer device 330 includes a mounting portion 331 that can support the center of the lower surface of the FOUP 3, a horizontal arm 335 that can move the mounting portion 331 in the thickness direction, and a horizontal guide that can move the horizontal arm 335 in one horizontal direction. And a vertical guide portion 333 that enables the horizontal guide portion 334 to move in the vertical direction. The horizontal arm 335, the horizontal guide part 334, and the vertical guide part 333 are each driven by an actuator or a motor. The horizontal arm 335 includes a plurality of arm portions, and is configured such that the placement portion 331 can reach the latest shelf portion 321 by sliding the individual arm portions in stages. The horizontal guide portion 334 is formed to be slightly shorter than the length of the stocker main body portion 320a in one horizontal direction so as to provide a margin for vertical movement. The vertical guide portion 333 is composed of two vertical conveyors, each of which is formed slightly lower than the vertical height of the main body portion 320a so as to provide a margin for preventing contact with the rail R2 of the manual transport device 40. ing. By configuring the moving means in the automatic conveyance device 320 including the horizontal arm 335, the horizontal guide portion 334, and the vertical guide portion 333, the placement portion 331 can be stably moved to the high shelf portion 321 as well. Is possible.

尚、本実施形態によれば、マニュアル搬送装置４０による一度の移動動作により、開口Ｈ３を介して、１つのＦＯＵＰ３が出し入れされるが、マニュアル搬送装置による一度の移動動作により出し入れされるＦＯＵＰ３の個数は、１つに限定されない。 According to the present embodiment, one FOUP 3 is put in and out through the opening H3 by a single movement operation by the manual conveyance device 40, but the number of FOUPs 3 that are taken in and out by a single movement operation by the manual conveyance device. Is not limited to one.

図９を参照して、図１のマニュアル搬送装置４０と異なるマニュアル搬送装置の一例について説明する。ここに図９は、図１のマニュアル搬送装置４０と異なるマニュアル搬送装置の一例を示す他方向断面図である。尚、図９において、図７のストッカ１２０と同一に構成される要素について、同一の符号を付すこととする。 With reference to FIG. 9, an example of a manual conveyance device different from the manual conveyance device 40 of FIG. 1 will be described. FIG. 9 is a cross-sectional view in the other direction showing an example of the manual conveyance device different from the manual conveyance device 40 of FIG. Note that, in FIG. 9, the same reference numerals are given to elements that are configured in the same manner as the stocker 120 of FIG.

図９において、ストッカ４２０は、本体部４２０ａ及びマニュアル搬送装置４４０を備える。本体部４２０ａには、水平一方向に位置する、相対する２つの側面に、２つの開口Ｈ４，Ｈ５が設けられている。マニュアル搬送装置４４０は、２つの開口Ｈ４，Ｈ５を介して、同時に２つのＦＯＵＰ３を出し入れ可能に構成されている。具体的には、ストッカ本体部４２０ａの天井には、２つの開口Ｈ４，Ｈ５を介して、ストッカ４２０内外を連絡すると共に両端部が本体部４２０ａ外部に延伸されているレールＲ４が敷設されている。マニュアル搬送装置４４０は、２つの把持部４１Ａ，４１Ｂを水平一方向及び鉛直方向に独立して移動可能に、スライド部４３、ホイスト部４４及び吊り下げベルト４５からなる移動手段を２組備える。例えば、レールＲ４の直下に自動搬送装置１３０が設置されている場合に、ストッカ４２０内部において、自動搬送装置１３０より左方にある、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３は、一の把持部４１Ａにより把持され、自動搬送装置１３０より右方にある、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３は、二の把持部４１Ｂにより把持されるように、自動搬送装置４２０を構成してもよい。このように、複数の移動動作を行う場合に、１つの把持部４１だけで行う場合よりも迅速に、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３へ到達し、移動動作を実行することが可能である。 In FIG. 9, the stocker 420 includes a main body 420 a and a manual transport device 440. The main body 420a is provided with two openings H4 and H5 on two opposite side surfaces located in one horizontal direction. The manual transport device 440 is configured so that two FOUPs 3 can be taken in and out simultaneously through the two openings H4 and H5. Specifically, a rail R4 is connected to the ceiling of the stocker main body 420a through the two openings H4 and H5 so as to communicate the inside and outside of the stocker 420 and whose both ends are extended to the outside of the main body 420a. . The manual conveyance device 440 includes two sets of moving means including a slide portion 43, a hoist portion 44, and a suspension belt 45 so that the two gripping portions 41A and 41B can be moved independently in one horizontal direction and one vertical direction. For example, when the automatic conveyance device 130 is installed immediately below the rail R4, the FOUP 3 in which the transfer shift occurs on the left side of the automatic conveyance device 130 inside the stocker 420 is grasped by one grasping portion 41A. Then, the automatic conveyance device 420 may be configured such that the FOUP 3 on the right side of the automatic conveyance device 130 in which transfer displacement has occurred is gripped by the second gripping portion 41B. In this way, when performing a plurality of moving operations, it is possible to reach the FOUP 3 where the transfer displacement has occurred and execute the moving operations more quickly than when performing only one gripper 41.

尚、本実施形態によれば、スライド部４３は、常時、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２に対して組み付けられているが、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作が可能な場合には取り外しておき、作業員によるＦＯＵＰ３の持ち運びが余儀なくされる場合にのみ、取り付けるようにしても構わない。 In addition, according to this embodiment, the slide part 43 is always assembled | attached with respect to the rail R2 in the manual conveyance apparatus 40, However, When the automatic conveyance apparatus 30 can perform the conveyance operation in a storage, it removes. In addition, it may be attached only when the FOUP 3 is forced to be carried by a worker.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. A storage with such a change can also be used. It is included in the technical scope of the present invention.

３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ビークル（天井走行車）、２０…ストッカ（保管庫）、２１…棚部分、３０…自動搬送装置、３１…載置部、３３…複数のローラ、３４…鉛直ガイド部、３５…アーム、４０…マニュアル搬送装置、４１…把持部、４３…スライド部分、４４…ホイスト部、４５…吊り下げベルト、１００…搬送指示部、１０１…ビークルコントローラ、１０２…ストッカコントローラ、１０００…搬送システム DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... FOUP (load), 10 ... Vehicle (ceiling traveling vehicle), 20 ... Stocker (storage), 21 ... Shelf part, 30 ... Automatic conveyance apparatus, 31 ... Loading part, 33 ... Multiple rollers, 34 ... Vertical Guide unit, 35 ... arm, 40 ... manual transfer device, 41 ... gripping unit, 43 ... slide part, 44 ... hoist unit, 45 ... hanging belt, 100 ... transfer instruction unit, 101 ... vehicle controller, 102 ... stocker controller, 1000 ... Transport system

Claims

第１軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、
内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記搬送車との間で前記荷を出し入れ可能な第１出入口及び当該保管庫内の前記荷を当該保管庫外に取り出し可能な少なくとも一つの第２出入口が設けられている筐体又はフレームと、
該筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において、前記荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、
前記第１出入口と隣接する棚部分と他の棚部分との間で荷を搬送する第１の搬送装置と、
前記棚部分から前記荷を前記第２出入口の外側へと搬送する第２の搬送装置と
を備え、
前記第２の搬送装置は、
前記荷を把持可能な把持手段と、
該把持手段を、前記筐体又はフレームの内部における前記複数の棚部分の相互間で移動させると共に前記筐体又はフレームの内外で前記第２出入口を介して移動可能である移動手段と
を有することを特徴とする保管庫。 A storage for carrying in and out of the load with a transport vehicle that travels along the first track and transports the load,
The interior is divided into a plurality of stages in the vertical direction, and at least one of the first doorway through which the load can be taken in and out of the transport vehicle and the load in the storage can be taken out of the storage A housing or frame provided with a second doorway;
In each of the plurality of stages in the housing or frame, a plurality of shelf portions each configured to receive or place the load; and
A first transport device for transporting a load between a shelf portion adjacent to the first doorway and another shelf portion;
A second transport device for transporting the load from the shelf portion to the outside of the second doorway,
The second transport device is
Gripping means capable of gripping the load;
Moving means that moves the gripping means between the plurality of shelf portions inside the casing or the frame and is movable inside and outside the casing or the frame via the second doorway. A vault characterized by

前記複数の棚部分は、少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、
前記移動手段は、
前記筐体又はフレームの天井又は該天井側に敷設され、且つ一端が前記第２出入口を介して前記筐体又はフレームの外部へ延伸されている第２軌道と、
該第２軌道に沿って前記水平一方向に往復移動可能なスライド機構と、
一端が前記把持手段に固定されており、前記把持手段を鉛直方向に吊り下げた吊り下げ部材と、
前記スライド機構と一体又は別体に設けられており、前記スライド機構の往復移動に伴って前記水平一方向に往復移動すると共に前記吊り下げ部材の他端を巻き上げ又は巻き下げ可能なホイスト機構と
を有し、
前記吊り下げ部材は、鉛直方向に吊り下がった前記把持手段の位置を中心とする所定範囲に、前記把持手段を移動自在に構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の保管庫。 The plurality of shelf portions are arranged to spread at least in one horizontal direction,
The moving means is
A second track that is laid on the ceiling of the casing or the frame or on the ceiling side, and has one end extending to the outside of the casing or the frame through the second doorway;
A slide mechanism capable of reciprocating in the horizontal direction along the second track,
One end is fixed to the gripping means, and a suspension member that suspends the gripping means in the vertical direction;
A hoist mechanism provided integrally or separately with the slide mechanism, capable of reciprocating in the horizontal direction along with the reciprocating movement of the slide mechanism and winding up or down the other end of the suspension member. Have
The storage according to claim 1, wherein the suspension member is configured to be able to move the gripping means within a predetermined range centered on the position of the gripping means suspended in the vertical direction.

前記第１の搬送装置は、
前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
前記載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段と
を更に備え、
前記駆動手段は、
前記載置部を前記水平一方向を含む水平方向に往復移動可能な水平駆動手段と、
前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動手段と
を有し、
前記複数の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する
ことを特徴とする請求項２に記載の保管庫。 The first transport device includes:
A mounting portion having a first mounting surface capable of supporting the load from the bottom side;
And a driving means that is movable between the plurality of shelf portions.
The driving means includes
Horizontal driving means capable of reciprocating the mounting portion in the horizontal direction including the one horizontal direction;
Vertical drive means capable of reciprocating the mounting portion in the vertical direction,
The storage according to claim 2, wherein each of the plurality of shelf portions has a second placement surface configured to be able to transfer the load to and from the first placement surface. Warehouse.

前記把持手段は、
前記荷を把持する把持状態と、前記把持している荷を解放する解放状態との間で変位自在に構成されており、
当該保管庫は、
前記荷を、前記内部から、前記外部に設けられた所定の受け渡し棚に移動する場合に、
移動すべき前記荷を把持すべく前記把持状態に変位するように前記把持手段を制御し、
前記把持状態にある前記把持手段を、前記第２出入口の水平方向に位置する第１鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、
前記第１鉛直位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚の鉛直方向に位置する第１水平位置に移動させるように前記スライド機構を制御し、
前記第１水平位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚に対応する第２鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、
前記第２鉛直位置に移動した把持手段から前記移動すべき荷を解放すべく前記解放状態に変位するように前記把持手段を制御する
制御手段を更に備える
ことを特徴とする請求項３に記載の保管庫。 The gripping means is
It is configured to be freely displaceable between a gripping state for gripping the load and a release state for releasing the gripping load,
The storage is
When moving the load from the inside to a predetermined delivery shelf provided outside,
Controlling the gripping means to displace into the gripping state to grip the load to be moved;
Controlling the hoist mechanism to move the gripping means in the gripping state to a first vertical position located in a horizontal direction of the second doorway;
Controlling the slide mechanism to move the gripping means moved to the first vertical position to a first horizontal position located in a vertical direction of the predetermined delivery shelf;
Controlling the hoist mechanism to move the gripping means moved to the first horizontal position to a second vertical position corresponding to the predetermined delivery shelf;
4. The control device according to claim 3 , further comprising a control unit configured to control the gripping unit so as to displace the load to be moved from the gripping unit that has moved to the second vertical position to the released state. 5. Storehouse.

前記制御手段は、
前記載置部が前記複数の棚部分の相互間で移動する際に、前記把持手段を、前記載置部の移動を妨げない退避位置に移動させるように前記スライド機構及び前記ホイスト機構を制御する
ことを特徴とする請求項４に記載の保管庫。 The control means includes
When the placement unit moves between the plurality of shelf portions, the slide mechanism and the hoist mechanism are controlled so that the gripping means is moved to a retracted position that does not hinder the movement of the placement unit. The storage according to claim 4.

前記移動手段は、前記第２軌道に対して前記スライド機構を組み付け自在に構成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の保管庫。 The storage according to claim 2, wherein the moving unit is configured to be able to assemble the slide mechanism with respect to the second track.

前記駆動手段は、前記第２軌道に対して前記水平駆動手段を組み付け自在に構成されており、
前記水平駆動手段は、前記第２軌道に沿って前記水平一方向に前記載置部を往復移動可能であり、
前記鉛直駆動手段は、前記第２軌道の鉛直方向に前記載置部を往復移動可能である
ことを特徴とする請求項３に記載の保管庫。 The drive means is configured so that the horizontal drive means can be assembled to the second track,
The horizontal driving means is capable of reciprocating the mounting portion in the horizontal direction along the second track.
The said vertical drive means can reciprocate the said mounting part in the perpendicular direction of the said 2nd track | orbit. The storage of Claim 3 characterized by the above-mentioned.