JP2009062153A - Storage - Google Patents

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Masanao Murata
正直 村田
Takashi Yamaji
孝 山路
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Asyst Technnologies Japan Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently store/retrieve loads or efficiently carry the loads inside a storage by a simple configuration, in the storage such as a stocker for temporarily storing loads such as FOUPs for storing various types of substrates for semiconductor device manufacturing. <P>SOLUTION: The storage (10) is provided with a support part (11) capable of supporting loads (3); a horizontal drive part (13) capable of reciprocating the support part (11) in one horizontal direction; a vertical drive part (14) capable of reciprocating a placement part in the vertical direction; and shelves (15) provided by one or two or more at a plurality of stages in the vertical direction at which the support part (11) can arrive by the vertical drive part (14) and in the horizontal position at which the support part (11) can arrive by the horizontal drive part (13), and having a plurality of placement surfaces constituted so as to enable transfer of the loads (3) mutually with the support part (11), respectively. At least one of the plurality of placement surfaces functions as a port for load storing/retrieving. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷を、軌道上で搬送する搬送システムにおいて、軌道に隣接した位置で荷を一時的に保管するストッカ（或いはスタッカ）などの保管庫の技術分野に関する。   The present invention relates to a stocker for temporarily storing a load at a position adjacent to the track in a transfer system for transferring a load such as a FOUP (Front Open Unified Pod) that accommodates various substrates for manufacturing semiconductor elements on the track. (Or a stacker).

この種の保管庫は、例えばビークル等の搬送車が走行する軌道に隣接して敷設され、保管庫内には、搬送車により搬送される荷を多数個保管するように多数の棚部分が設けられる。更に、このような保管庫内と搬送車との間における荷の受け渡し或いは出し入れ（即ち、出入庫）を行うための“ポート”と指定の棚部分との間における荷の搬送（即ち、保管庫内搬送）を行うための、ストッカロボット、ストッカクレーン等と称される保管庫内搬送装置が設けられる。特にストッカロボット等により、縦横無尽に広がる多数の棚部分を含む保管庫内における搬送が可能とされている（特許文献１及び２参照）。   This type of storage is, for example, laid adjacent to a track on which a transport vehicle such as a vehicle travels, and a large number of shelves are provided in the storage to store a large number of loads transported by the transport vehicle. It is done. Further, the transportation of the load between the “port” and the designated shelf portion (ie, the storage warehouse) for delivering and taking in and out (that is, loading and unloading) the load between the inside of the storage and the transport vehicle. In-storage transport devices called stocker robots, stocker cranes, and the like are provided for performing (internal transport). In particular, a stocker robot or the like can be transported in a storage including a large number of shelves extending in all directions (see Patent Documents 1 and 2).

他方、この種の保管庫には、鉛直方向に多数段並べられた棚部分の脇に沿って昇降可能な昇降台上に直接、天井吊り下げ型の搬送車から荷が移載される比較的小型の保管庫もある。この保管庫では、出庫の際には、昇降台上から直接、荷が搬送車へと移載される（特許文献３参照）。   On the other hand, in this type of storage, a load is transferred from a ceiling-suspended transport vehicle directly onto a lifting platform that can be lifted and lowered along the side of a plurality of vertically arranged shelves. There is also a small storage. In this storage, when leaving, the load is directly transferred to the transport vehicle from above the lifting platform (see Patent Document 3).

特開２００６−０４９４５４号公報JP 2006-049454 A 特開２００３−１８２８１５号公報JP 2003-182815 A 特開２００４−２３８１９１号公報JP 2004-238191 A

しかしながら、上述した特許文献１及び２記載の保管庫によれば、ストッカロボット等の保管庫内搬送装置は、制御及び構造が基本的に複雑高度であり、高コストであると共にメンテナンスにも手間やコストがかかるという技術的問題点がある。   However, according to the storage in Patent Documents 1 and 2 described above, the transfer device in the storage, such as a stocker robot, is basically complicated and sophisticated in control and structure, is expensive, and has a troublesome maintenance. There is a technical problem that costs are high.

他方、上述した特許文献３記載の保管庫によれば、昇降台そのものが出入庫用のポートとなり、入庫の際に搬送車から吊り下げて昇降台上まで位置決めしつつ荷を下ろす或いは出庫の際に搬送車により昇降台上から吊り上げるのに時間がかかる。特に、昇降台が上方にある受け渡し位置になければ、昇降台をその位置まで移動させる時間がかかり、下方にある昇降台で受け渡しするのも困難である。そして特に、このように時間のかかる出入庫作業中により昇降台は独占使用されるので、昇降台を使って他の荷を保管庫内搬送することは不可能である。加えて、ローラ、ベルト、ガイド等を組み合わせて、このような昇降台上で出入庫する機構では、昇降台及び荷を位置決めしつつ高速で出入庫及び保管庫内搬送を行うのは根本的に困難であるという技術的問題点がある。   On the other hand, according to the storage described in Patent Document 3 described above, the lifting platform itself becomes a port for loading and unloading, and when loading or unloading the cargo while hanging from the transport vehicle and positioning it on the lifting platform. However, it takes time to lift it from the platform by the transport vehicle. In particular, if the lifting platform is not at the upper delivery position, it takes time to move the lifting platform to that position, and it is difficult to deliver by using the lower lifting platform. In particular, since the lifting platform is exclusively used during such time-consuming loading / unloading operations, it is impossible to transport other loads in the storage using the lifting platform. In addition, in a mechanism for loading and unloading on such a platform by combining rollers, belts, guides, etc., it is fundamental to perform loading and unloading and transport in the storage at high speed while positioning the platform and load There is a technical problem that it is difficult.

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送することを可能ならしめる保管庫を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of, for example, the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a storage that enables efficient loading and unloading or efficient transfer in a storage with a simple configuration. And

本発明の保管庫は上記課題を解決するために、荷を支持可能な支持部と、前記支持部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、前記支持部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部と、前記支持部が前記鉛直駆動部により到達可能な前記鉛直方向の複数段に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は二つ以上ずつ設けられると共に、前記支持部との間で前記荷を相互に移載可能に夫々構成されている複数の載置面を有する棚とを備え、前記複数の載置面の少なくとも一つは、前記荷の出入庫用のポートとして機能する。   In order to solve the above problems, the storage of the present invention is capable of supporting a load, a horizontal drive unit capable of reciprocating the support unit in one horizontal direction, and reciprocating the support unit in a vertical direction. The vertical drive unit and the support unit are provided in a plurality of stages in the vertical direction reachable by the vertical drive unit, one or two or more at horizontal positions reachable by the horizontal drive unit, and the support unit And a shelf having a plurality of placement surfaces each configured to be able to transfer the load to each other, and at least one of the plurality of placement surfaces is a port for loading and unloading the load Function as.

この態様では、前記支持部は、前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部であり、前記複数の載置面は夫々、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面である。   In this aspect, the support portion is a placement portion having a first placement surface capable of supporting the load from the bottom side, and each of the plurality of placement surfaces is between the first placement surface. It is the 2nd mounting surface comprised so that transfer of the said load mutually is possible.

本発明の保管庫によれば、棚は、鉛直方向に一列又は複数列配列された複数の載置面（即ち、第２載置面）を有する。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下単に「厚み方向」と称する）には１列のみといった具合に、薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格は、構成される。支持部（即ち、載置部）は、例えばその第１載置面上に荷を載せた状態で、このような保管庫内を、鉛直駆動部及び水平駆動部によって、鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動可能に構成されている。   According to the storage of the present invention, the shelf has a plurality of placement surfaces (that is, second placement surfaces) arranged in one or more rows in the vertical direction. For example, m (where m is a natural number of 2 or more) in the vertical direction, n (where n is a natural number of 1 or more) columns in one horizontal direction, and the remaining horizontal direction (hereinafter simply referred to as “thickness”). The skeleton of the entire shelf is configured so as to be a thin and vertically elongated flat plate shape, such as only one row in the “direction”. The support unit (that is, the mounting unit) is, for example, in a state in which a load is placed on the first mounting surface, and the vertical storage unit and the horizontal driving unit are used in the storage unit in the vertical direction and the horizontal one direction. It is configured to be movable in two directions or two axial directions.

入庫時には、搬送車からポートとして機能する第２載置面上に荷が移載される。続いて、ポートとして機能する第２載置面上に移載された荷は、２軸方向に移動可能な載置部の第１載置面に載置される。例えば、第１及び第２載置面は、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。載置部が、ポートとして機能する第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、ポートとして機能する第２載置面に代わって、第１載置面で支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が開始される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、棚におけるいずれの第２載置面にも迅速に保管庫内搬送が可能である。   At the time of warehousing, the load is transferred from the transport vehicle onto the second placement surface that functions as a port. Subsequently, the load transferred onto the second placement surface that functions as a port is placed on the first placement surface of the placement portion that is movable in the biaxial direction. For example, the first and second mounting surfaces are configured to support different portions (typically, a portion near the center and a portion near the periphery) on the bottom surface of the load, and support the load on either side. Is possible. When the placement unit is moved to the vertical position and the horizontal position where the second placement surface that functions as a port exists, the first placement surface supports the second placement surface that functions as a port. Thus, transfer from the second placement surface to the first placement surface is performed. Typically, the load is supported by the first placement surface by the vertical drive unit being moved until the first placement surface becomes higher than the second placement surface. Thereby, the conveyance in the storage at the time of warehousing is started. Here, the conveyance in the storage can be quickly performed on any of the second placement surfaces in the shelf by a simple two-axis operation by the vertical driving unit and the horizontal driving unit.

続いて、載置部が、保管に使用しようとする第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際には、第１載置面に代わって、第２載置面で支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が終了され、棚での保管が開始される。   Subsequently, when the placement unit is moved to the vertical position and the horizontal position where the second placement surface to be used for storage exists, the second placement surface is replaced with the first placement surface. By supporting, transfer from the first placement surface to the second placement surface is performed. Typically, the load is supported by the second placement surface by being moved by the vertical drive unit until the first placement surface becomes lower than the second placement surface. Thereby, the conveyance in the storage at the time of warehousing is complete | finished, and the storage on a shelf is started.

他方、出庫時には、載置部が、出庫しようとする荷が載置されている第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動される。続いて、第２載置面に代わって、第１載置面で支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、出庫時における保管庫内搬送が開始される。続いて、載置部が、ポートとして機能する第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、いずれの第２載置面からでも迅速に保管庫内搬送が可能である。   On the other hand, at the time of delivery, the placement unit is moved to the vertical position and the horizontal position where the second placement surface on which the load to be delivered is placed. Subsequently, instead of the second placement surface, the first placement surface is used to support the transfer from the second placement surface to the first placement surface. Typically, the load is supported by the first placement surface by the vertical drive unit being moved until the first placement surface becomes higher than the second placement surface. Thereby, the conveyance in the storage at the time of delivery is started. Subsequently, the placement unit is moved to a vertical position and a horizontal position where the second placement surface functioning as a port exists. Here, the conveyance in the storage can be quickly performed from any second mounting surface by a simple two-axis operation by the vertical driving unit and the horizontal driving unit.

続いて、第１載置面に代わってポートとして機能する第２載置面で支持することで、第１載置面からポートとして機能する第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面によって支持されることとなる。これにより出庫時における保管庫内搬送が終了され、ポートから搬送車への移載が可能な状態となる。   Subsequently, instead of the first placement surface, the second placement surface that functions as a port supports the second placement surface, so that the transfer from the first placement surface to the second placement surface that functions as a port is performed. Typically, the load is supported by the second placement surface by being moved by the vertical drive unit until the first placement surface becomes lower than the second placement surface. As a result, the transport in the storage at the time of delivery is completed, and the transfer from the port to the transport vehicle is possible.

その後、既にポートに対面する軌道上位置にて待機していた又は次にこの位置に到着する搬送車によって、ポートから搬送車への移載が行われる。   Thereafter, the transfer from the port to the transport vehicle is performed by the transport vehicle that has already been waiting at the position on the track facing the port or next arrives at this position.

以上の結果、ポートは、第２載置面のうちの少なくとも一つであるので、載置部が保管庫内搬送を行う最中にも、このポートとして機能する第２載置面に荷が載置されていない限り、搬送車からポートの移載は、実行可能である。逆に、載置部が保管庫内搬送を行う最中にも、ポートから搬送車への移載は実行可能である。しかも、駆動部により２軸方向に動く載置部という比較的簡単な構成及び簡単な制御によって、保管庫内搬送を、ポート及び搬送車間の移載作業の妨げとならないように実行できる。加えて、当該保管庫は、鉛直方向及び水平一方向に広がりを持つと共に厚み方向については、極めて薄く構成する（例えば、一個の荷の幅に若干の機構用の幅を加えた厚みと同程度まで薄くする）ことも可能である。このため、搬送車の軌道に沿った比較的小さい隙間にも、この厚み方向を適宜合わせれば、当該保管庫を挿入する形で配置できる。更に、隙間の幅に合わせて当該薄い保管庫を厚み方向に複数並べて配置することも可能となる。更に、小型化を図ることで、保管庫全体を移動可能とすることもでき、特にメンテナンスも容易となる。   As a result, since the port is at least one of the second placement surfaces, a load is applied to the second placement surface that functions as this port even while the placement unit is transporting in the storage. As long as it is not mounted, the port can be transferred from the transport vehicle. On the contrary, the transfer from the port to the transport vehicle can be performed even while the placement unit is transporting in the storage. In addition, with the relatively simple configuration and simple control of the placement unit that moves in the biaxial direction by the drive unit, the transfer in the storage can be performed without hindering the transfer operation between the port and the transport vehicle. In addition, the storage has an extension in the vertical direction and one horizontal direction, and is extremely thin in the thickness direction (for example, the same thickness as the width of one load plus a width for some mechanism) It is also possible to make it thinner. For this reason, it can arrange | position in the form which inserts the said storage, if it matches this thickness direction suitably also to the comparatively small clearance gap along the track | orbit of a conveyance vehicle. Furthermore, it becomes possible to arrange a plurality of the thin storages in the thickness direction in accordance with the width of the gap. Further, by downsizing, the entire storage can be moved, and maintenance is particularly easy.

このように、軌道に沿った比較的小さい隙間にも配置可能であり、メンテナンスが容易であり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送することが可能となる。   In this way, it can be placed in a relatively small gap along the track, is easy to maintain, and can load and unload efficiently or can be efficiently transported in the storage with a simple configuration. .

尚、支持部は、移載時に、荷の底面を支持するような構成に限られず、荷の頂部に取り付けられたフランジ等を支持又は保持するような構成とされてもよい。   The support portion is not limited to a configuration that supports the bottom surface of the load during transfer, and may be configured to support or hold a flange or the like attached to the top portion of the load.

本発明の保管庫の一態様では、前記棚は、前記支持部が前記水平一方向の両側夫々へ移動された際に前記荷を支持可能に、各段に二つずつ前記載置面を有する。   In one aspect of the storage of the present invention, the shelf has the above-described placement surface, two on each stage, so that the load can be supported when the support portion is moved to both sides in the horizontal direction. .

この態様によれば、例えば、鉛直方向にｍ段、水平一方向に２列、且つ厚み方向に１列のみといった具合に、薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格は、構成される。特に、同一段に二つ存在する載置面（第２載置面）間の保管庫内搬送は、水平駆動部による水平移動によって単純且つ迅速に実行可能となる。しかも、同一段に一つずつ第２載置面を設ける場合と比較して、保管容量を向上できると共に水平駆動部及び鉛直駆動部の機能をより有効に活用することができ、搬送効率をも向上できる。   According to this aspect, for example, the skeleton of the entire shelf is formed into a thin and vertically elongated flat plate shape such as m steps in the vertical direction, two rows in one horizontal direction, and only one row in the thickness direction. Composed. In particular, the in-storage conveyance between the two placement surfaces (second placement surfaces) existing on the same stage can be executed simply and quickly by the horizontal movement by the horizontal drive unit. In addition, the storage capacity can be improved and the functions of the horizontal drive unit and the vertical drive unit can be used more effectively compared to the case where the second mounting surface is provided one by one on the same stage, and the conveyance efficiency can be improved. Can be improved.

但し、棚は、載置部が水平一方向の一端側へ移動された際に荷を支持可能に、各段に一つずつ第２載置面を有するように構成しても、上述した本発明に係る効果は相応に得られる。   However, even if the shelf is configured to have a second placement surface, one on each stage, so that the load can be supported when the placement portion is moved to one end side in one horizontal direction, The effects according to the invention can be obtained accordingly.

本発明の保管庫の他の態様では、前記棚は、前記載置面のうち前記棚の最上段にある少なくとも一つが、前記ポートとして機能する。   In another aspect of the storage of the present invention, at least one of the shelves in the uppermost stage of the shelf functions as the port.

この態様によれば、搬送車が、保管庫の上側に敷設された軌道上を走行する場合に、この搬送車から荷をポートへ移載する作業が簡単となる。同様に、ポートから搬送車に荷を移載する作業も簡単となる。尚、最上段に、二つの載置面（第２載置面）が存在する場合には、両方を夫々ポートとして機能させることも可能であり、片方のみをポートとして機能させることも可能である。   According to this aspect, when the transport vehicle travels on the track laid on the upper side of the storage, the work of transferring the load from the transport vehicle to the port is simplified. Similarly, the work of transferring the load from the port to the transport vehicle is also simplified. If there are two placement surfaces (second placement surfaces) in the uppermost stage, both can function as ports, and only one of them can function as a port. .

本発明の保管庫の他の態様では、前記第１載置面も、前記ポートとして機能する。   In another aspect of the storage of the present invention, the first placement surface also functions as the port.

この態様よれば、第２載置面のみならず、第１載置面もポートとして機能するので、出入庫を行う機会を増大させることができ、搬送車の状況によっては、より迅速なる移載が可能となる。   According to this aspect, since not only the second mounting surface but also the first mounting surface functions as a port, it is possible to increase the opportunity to perform loading and unloading, and more rapid transfer depending on the situation of the transport vehicle. Is possible.

本発明の保管庫の他の態様では、前記第１及び第２載置面は夫々、前記載置部が前記一端側へ移動された際に、前記鉛直方向から見て相互に相補の平面形状を有する。   In another aspect of the storage of the present invention, each of the first and second placement surfaces has a planar shape complementary to each other when viewed from the vertical direction when the placement portion is moved to the one end side. Have

この態様によれば、例えば平面視して、第１載置面が馬蹄形であれば、第２載置面はその馬蹄形の中央を埋める島形状であるなど、或いは、逆に第２載置面が馬蹄形であれば、第１載置面はその馬蹄形の中央を埋める島形状であるなど、載置部が一端側へ移動された際に、即ち第１及び第２載置面間で移載が行われる際に、平面視して相補の平面形状を有する。尚、相補の平面形状は、互いに接触しない櫛歯形状でもよいし、中央寄り部分と周辺寄り部分とであってもよい。いずれの場合にも、どちらか一方の載置面で荷は、支持される。この結果、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面によって支持され、或いは、鉛直駆動部により第２載置面が第１載置面より高くなるまで第１載置面が移動されることで、荷は、第２載置面によって支持される。よって、載置面間の移載を、非常に簡単な２軸動作により実行可能となる。   According to this aspect, for example, in plan view, if the first placement surface is a horseshoe shape, the second placement surface is an island shape filling the center of the horseshoe shape, or conversely, the second placement surface If the mount is a horseshoe shape, the first mounting surface is an island shape that fills the center of the horseshoe shape, for example, when the mounting portion is moved to one end side, that is, between the first and second mounting surfaces. Are performed, they have a complementary planar shape in plan view. The complementary planar shape may be a comb shape that does not contact each other, or may be a central portion and a peripheral portion. In either case, the load is supported by either one of the mounting surfaces. As a result, the load is supported by the first placement surface by the vertical drive unit being moved until the first placement surface becomes higher than the second placement surface, or the load is secondly placed by the vertical drive unit. The load is supported by the second placement surface by moving the first placement surface until the surface becomes higher than the first placement surface. Therefore, transfer between placement surfaces can be executed by a very simple two-axis operation.

尚、第１載置面と第２載置面とがこのような相補の平面形状を有していなくても、他の補助的な保持機構や移載機構を導入することで、第１及び第２載置面間の移載は可能である。   In addition, even if the first placement surface and the second placement surface do not have such a complementary planar shape, by introducing another auxiliary holding mechanism or transfer mechanism, Transfer between the second placement surfaces is possible.

本発明の保管庫の他の態様では、前記荷は、その底面に規定の凹凸を有し、前記第１及び第２載置面は夫々、前記凹凸に係合可能な凹凸を有する。   In another aspect of the storage of the present invention, the load has prescribed irregularities on the bottom surface, and the first and second placement surfaces each have irregularities that can be engaged with the irregularities.

この態様によれば、荷の底面にある規定の凹凸を利用することで、第１及び第２載置面間における移載を、位置精度の高い状態で実行可能となる。尚、このような凹凸として、半導体製造時の各種基板を収容するＦＯＵＰの底面に設けられた凹凸が挙げられる。   According to this aspect, the transfer between the first and second placement surfaces can be performed with high positional accuracy by using the specified unevenness on the bottom surface of the load. Examples of such irregularities include irregularities provided on the bottom surface of the FOUP that accommodates various substrates during semiconductor manufacturing.

本発明の保管庫の他の態様では、当該保管庫は、搬送車が前記荷を搬送する軌道の方位に対して、前記水平一方向の方位が平行になるように、前記軌道に対して配置される。   In another aspect of the storage of the present invention, the storage is arranged with respect to the track so that the direction of the horizontal direction is parallel to the direction of the track on which the transport vehicle transports the load. Is done.

この態様によれば、工場内で壁に沿って且つ壁に接近して軌道が敷設されており、壁が邪魔をして、通常の保管庫では設置できないような場合に、軌道の方位に対して水平一方向の方位が平行になるように本発明に係る保管庫を配置する。この際、薄くすることが容易である保管庫の厚み方向の厚さ分だけ壁から軌道が離れていれば、問題なく保管庫を配置できる。言い換えれば、保管庫の厚み方向の厚さ分だけ壁から離れるように、軌道を敷設しておくとよい。   According to this aspect, when the track is laid along and close to the wall in the factory, and the wall is obstructed and cannot be installed in a normal storage, The storage according to the present invention is arranged so that the azimuth in one horizontal direction is parallel. At this time, if the track is separated from the wall by a thickness in the thickness direction of the storage that can be easily thinned, the storage can be arranged without any problem. In other words, the track should be laid so as to be separated from the wall by the thickness in the thickness direction of the storage.

この態様では、当該保管庫は、前記棚が前記軌道の下方に位置するように配置され、前記棚は、前記第２載置面として前記棚の最上段に位置する二つのうち、前記軌道の上流側にある一方が前記入庫用のポートとして機能すると共に前記軌道の下流側にある他方が前記出庫用のポートとして機能してもよい。   In this aspect, the storage is arranged such that the shelf is positioned below the track, and the shelf is one of the two tracks positioned at the uppermost stage of the shelf as the second placement surface. One on the upstream side may function as the port for entry, and the other on the downstream side of the track may function as the port for exit.

このように構成すれば、上流側にある入庫用のポートへ搬送車から荷が移載された直後に、この移載により空荷となった搬送車が、下流側にある出庫用のポートまで移動して、このポートから搬送車へ荷を移載する工程が可能となる。即ち、出入庫の効率が極めて高められる。   If comprised in this way, immediately after a load is transferred from the conveyance vehicle to the port for warehousing on the upstream side, the conveyance vehicle that has become empty by this transfer will reach the port for delivery on the downstream side. The process of moving and transferring the load from this port to the transport vehicle becomes possible. That is, the efficiency of loading and unloading is greatly enhanced.

以上説明したように、本発明に係る保管庫によれば、簡単な構成により効率良く荷を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送することが可能である。   As described above, according to the storage according to the present invention, it is possible to efficiently load / unload a load or efficiently transport the storage in the storage with a simple configuration.

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。   The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

＜第１実施形態＞   <First Embodiment>

先ず、第１実施形態に係る保管庫の構成について図１から図３を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す断面図であり、図３は、第１実施形態に係る第１及び第２載置面の、荷に対する係合状態を示す断面図である。   First, the configuration of the storage according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a transport system including a storage according to the first embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the internal structure of the storage shown in FIG. 3 is a cross-sectional view showing an engagement state of the first and second placement surfaces according to the first embodiment with respect to a load.

図１において、搬送システム１００は、レール１、搬送車２、ストッカ（保管庫）１０、及びコントローラ２０を備える。搬送システム１００は、搬送車２を駆動して、レール１上でＦＯＵＰ３の搬送を行う。レール１は、本発明に係る「軌道」の一例として、搬送車２が走行するための軌道の役割を果たす。   In FIG. 1, the transport system 100 includes a rail 1, a transport vehicle 2, a stocker (storage) 10, and a controller 20. The transport system 100 drives the transport vehicle 2 to transport the FOUP 3 on the rail 1. The rail 1 serves as a track for the transport vehicle 2 to travel as an example of the “track” according to the present invention.

搬送車２は、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）であり、ストッカ１０や図示しない製造装置、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に、ＦＯＵＰ３を搬送する。搬送車２は、内部に、鉛直方向に移動するホイスト２ａを有している。   The transport vehicle 2 is, for example, an OHT (Overhead Hoist Transport) driven by a linear motor, and transports the FOUP 3 to the stocker 10, a manufacturing apparatus (not shown), an OHT buffer, a large stocker, or the like. The transport vehicle 2 has a hoist 2a that moves in the vertical direction.

ホイスト２ａは、搬送時に、搬送されるＦＯＵＰ３のフランジ４を、例えば挟持機構により保持する。ホイスト２ａは、搬送車２の本体に備えられた、例えば巻き取りベルト及び巻き出しベルト等の昇降機構により、レール１の下方にて鉛直方向に昇降可能に構成されている。ホイスト２ａは、ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３の出庫又は入庫を行う際に、ストッカ１０の出入庫用のポートの上方位置まで移動し、更にポートまで下降した位置にて、フランジ４を保持又は解放する。この下降した位置では、ＦＯＵＰ３の底面が後述の第２載置面（即ちポートの床面）に接触する。   The hoist 2a holds the flange 4 of the FOUP 3 to be transported by, for example, a clamping mechanism during transport. The hoist 2 a is configured to be vertically movable below the rail 1 by an elevating mechanism such as a take-up belt and an unwind belt provided in the main body of the transport vehicle 2. The hoist 2a moves to the position above the loading / unloading port of the stocker 10 when holding or releasing the FOUP 3 with the stocker 10, and holds or releases the flange 4 at a position further lowered to the port. To do. In this lowered position, the bottom surface of the FOUP 3 comes into contact with a second placement surface (that is, the floor surface of the port) described later.

図１及び図２に示すように、ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、ストッカ１０内で、搬送車２に対する出入庫、及び保管位置の調整等のために搬送（即ち保管内搬送）される。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the FOUP 3 is used as an example of “load” according to the present invention for transporting in and out of the stocker 10 and for adjusting the storage position, etc. Transported).

図３に示すように、ＦＯＵＰ３は、底面に、凹部５，６を有している。凹部５は、後述の棚１５に設けられた凸部１６に対応するサイズに形成されている。一方、凹部６は、後述の載置部１１に設けられた凸部１２に対応するサイズに形成されている。   As shown in FIG. 3, the FOUP 3 has recesses 5 and 6 on the bottom surface. The recessed part 5 is formed in the size corresponding to the convex part 16 provided in the shelf 15 mentioned later. On the other hand, the recessed part 6 is formed in the size corresponding to the convex part 12 provided in the mounting part 11 mentioned later.

再び図１において、コントローラ２０は、例えば半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、搬送車２及びストッカ１０に対して、ＦＯＵＰ３の搬送及び出入庫（保管庫内搬送を含む）を指示する。この指示に応答して、搬送車２及びストッカ１０が駆動され、搬送車２に搬送されるＦＯＵＰ３に各種処理が施されることで、半導体素子が製造される。   In FIG. 1 again, the controller 20 instructs the transport vehicle 2 and the stocker 10 to transport and load / unload the FOUP 3 (including transport in the storage) based on, for example, a semiconductor device manufacturing process schedule. In response to this instruction, the transport vehicle 2 and the stocker 10 are driven, and various processes are performed on the FOUP 3 transported to the transport vehicle 2 to manufacture a semiconductor element.

（保管庫単体）     (Storage only)

ストッカ１０は、本発明に係る「保管庫」の一例として、レール１に隣接して敷設され、ＦＯＵＰ３を複数保管する。   The stocker 10 is laid adjacent to the rail 1 as an example of a “storage” according to the present invention, and stores a plurality of FOUPs 3.

図２において、ストッカ１０は、載置部（支持部）１１、水平駆動部１３、及び鉛直駆動部１４から構成される保管庫内搬送装置、並びに複数の棚１５を備える。保管庫内搬送装置は、複数の棚１５の間でＦＯＵＰ３を移載する。この移載により、ＦＯＵＰ３が複数の棚１５のうち特定の棚（即ち、保管用棚）に載置されることで、ＦＯＵＰ３がストッカ１０内に保管される。或いは、後に詳述するように、出入庫用のポートとして機能する棚１５まで移載される。   In FIG. 2, the stocker 10 includes an in-storage transport device including a placement unit (support unit) 11, a horizontal drive unit 13, and a vertical drive unit 14, and a plurality of shelves 15. The in-storage transport device transfers the FOUP 3 between the plurality of shelves 15. By this transfer, the FOUP 3 is stored in the stocker 10 by being placed on a specific shelf (that is, a storage shelf) among the plurality of shelves 15. Alternatively, as will be described in detail later, it is transferred to a shelf 15 that functions as a port for loading and unloading.

載置部１１は、複数の棚１５の間でＦＯＵＰ３を移載するために、水平駆動部１３により水平一方向に、且つ鉛直駆動部１４により鉛直方向に移動される。載置部１１は、上面に第１載置面１１ａを有している。第１載置面１１ａは、移載時に、ＦＯＵＰ３の底面に接触し、ＦＯＵＰ３をその底側から支持する。第１載置面１１ａには、支持部材として、凸部１２が形成されている。図３（ｂ）に示すように、凸部１２は、ＦＯＵＰ３の凹部６に対応するサイズに形成されており、移載時に、この凹部６に係合される。   The placement unit 11 is moved in one horizontal direction by the horizontal drive unit 13 and in the vertical direction by the vertical drive unit 14 in order to transfer the FOUP 3 between the plurality of shelves 15. The placement unit 11 has a first placement surface 11a on the upper surface. The first placement surface 11a contacts the bottom surface of the FOUP 3 during transfer, and supports the FOUP 3 from its bottom side. On the first placement surface 11a, a convex portion 12 is formed as a support member. As shown in FIG. 3B, the convex portion 12 is formed in a size corresponding to the concave portion 6 of the FOUP 3, and is engaged with the concave portion 6 at the time of transfer.

再び図２において、水平駆動部１３は、例えば図示しないモータにより、水平一方向に延びる水平ガイド１７上で、駆動される。水平駆動部１３は、載置部１１と連結されており、載置部１１を水平ガイド１７に沿って、水平一方向Ｄ１に往復移動させる。   In FIG. 2 again, the horizontal drive unit 13 is driven on a horizontal guide 17 extending in one horizontal direction by, for example, a motor (not shown). The horizontal drive unit 13 is connected to the mounting unit 11 and reciprocates the mounting unit 11 along the horizontal guide 17 in one horizontal direction D1.

鉛直駆動部１４は、例えば図示しないモータにより、鉛直方向に延びる鉛直ガイド１８上で、駆動される。鉛直駆動部１４には、水平ガイド１７の中央部が固定されている。鉛直駆動部１４は、この水平ガイド１７を鉛直ガイド１８に沿って、鉛直方向Ｄ２に往復移動させる。この往復移動時に、載置部１１は、水平ガイド１７の中央部に位置する。このように、載置部１１は、水平駆動部１３及び鉛直駆動部１４により、鉛直方向及び水平一方向の２軸方向に移動される。   The vertical drive unit 14 is driven on a vertical guide 18 extending in the vertical direction by, for example, a motor (not shown). A center portion of the horizontal guide 17 is fixed to the vertical drive unit 14. The vertical drive unit 14 reciprocates the horizontal guide 17 along the vertical guide 18 in the vertical direction D2. During this reciprocating movement, the placement portion 11 is located at the center of the horizontal guide 17. In this way, the placement unit 11 is moved by the horizontal drive unit 13 and the vertical drive unit 14 in the biaxial directions of the vertical direction and the horizontal one direction.

複数の棚１５は、鉛直方向に７段、水平一方向に２列、且つ厚み方向に１列として、合計１４個の棚から構成されており、これら１４個の棚１５の間を載置部１１が移動することで、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。各棚１５は、上面に第２載置面１５ａを有しており、この第２載置面１５ａに、ＦＯＵＰ３が載置される。第２載置面１５ａには、支持部材として、凸部１６が形成されている。図３（ａ）に示すように、凸部１６は、ＦＯＵＰ３の凹部５に対応するサイズに形成されており、載置（保管）時に、この凹部５に係合される。   The plurality of shelves 15 are composed of a total of 14 shelves, with 7 rows in the vertical direction, 2 rows in one horizontal direction, and 1 row in the thickness direction. As 11 moves, the FOUP 3 is transferred. Each shelf 15 has a second placement surface 15a on the upper surface, and the FOUP 3 is placed on the second placement surface 15a. A convex portion 16 is formed as a support member on the second placement surface 15a. As shown in FIG. 3A, the convex portion 16 is formed in a size corresponding to the concave portion 5 of the FOUP 3, and is engaged with the concave portion 5 during mounting (storage).

再び図２において、１４個の棚１５のうち１つの棚（言い換えれば、これが有する第２載置面１５ａ）は、搬送車２との間でＦＯＵＰ３を受け渡しするための、出入庫用のポートとして機能する。ポートに設定される棚１５は、最上段に存在する２つの棚のうち一方の棚（図２では、二点鎖線で示されるエリアＰ１に位置する棚）であり、この上方及び側方に位置するストッカ本体１０ａは、ＦＯＵＰ３が出入庫可能に開放されている。   In FIG. 2 again, one of the fourteen shelves 15 (in other words, the second mounting surface 15a included therein) is used as a loading / unloading port for delivering the FOUP 3 to / from the transport vehicle 2. Function. The shelf 15 set as the port is one of the two shelves existing in the uppermost stage (the shelf located in the area P1 indicated by the two-dot chain line in FIG. 2), and is located above and to the side. The stocker body 10a is opened so that the FOUP 3 can be put in and out.

尚、ポートに設定される棚１５だけでなく、この棚１５に加えて、エリアＰ１に移動される載置部１１を、ポートとして機能させてもよいし、この載置部１１のみを、ポートとして機能させてもよい。この場合、エリアＰ１に棚１５を設置せずに、ＦＯＵＰ３を載置していない載置部１１がエリアＰ１に配置されると、ＦＯＵＰ３が搬送車２から直接入庫される。又は、ＦＯＵＰ３を載置している載置部１１がエリアＰ１に配置されると、ＦＯＵＰ３が搬送車２に直接出庫される。   In addition to the shelf 15 set as a port, in addition to this shelf 15, the placement unit 11 moved to the area P1 may function as a port, or only this placement unit 11 may be used as a port. It may be made to function as. In this case, if the placement unit 11 on which the FOUP 3 is not placed is placed in the area P1 without installing the shelf 15 in the area P1, the FOUP 3 is directly received from the transport vehicle 2. Alternatively, when the placement unit 11 on which the FOUP 3 is placed is arranged in the area P1, the FOUP 3 is directly delivered to the transport vehicle 2.

ストッカ１０の配置について、ポートに設定される棚１５が、レール１の下方に配置される。具体的に、載置部１１が移動される水平一方向の方位が、レール１の方位に対して直角に交わる。   With respect to the arrangement of the stocker 10, a shelf 15 set as a port is arranged below the rail 1. Specifically, the azimuth in one horizontal direction in which the placement unit 11 is moved intersects the azimuth of the rail 1 at a right angle.

次に、本実施形態に係る第１及び第２載置面の形体について図４（ａ）を参照して説明する。ここに図４（ａ）は、本実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す、平面図である。図４（ａ）は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の最上段に設置される、２列の棚１５（第２載置面１５ａ）を示している。   Next, the features of the first and second placement surfaces according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4A is a plan view showing an operation state in one horizontal direction of the mounting portion according to the present embodiment. 4A specifically corresponds to the A1-A1 cross section in FIG. 2, and shows two rows of shelves 15 (second placement surface 15a) installed at the uppermost stage of the stocker 10. FIG. ing.

図４（ａ）に示すように、ストッカ１０の上面側から視て、第２載置面１５ａは、馬蹄のようにＵ字形に形成され、第１載置面１１ａは、そのＵ字形の中央を埋める島のように四角形に形成されている。従って、第１及び第２載置面１１ａ，１５ａは、相互に相補の平面形状を有している。このような第１及び第２載置面１１ａ，１５ａの間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。   As shown in FIG. 4A, when viewed from the upper surface side of the stocker 10, the second placement surface 15a is formed in a U shape like a horseshoe, and the first placement surface 11a is the center of the U shape. It is formed in a quadrangular shape like an island that fills up. Therefore, the first and second placement surfaces 11a and 15a have mutually complementary planar shapes. The FOUP 3 is transferred between the first and second placement surfaces 11a and 15a.

尚、図３及び図４（ａ）に示した例では、平面的に見て、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの内側に位置しており、外径が小さい。しかしながら、逆に、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの外側に位置しており、外径が大きくなるように両者は、構成されてもよい。この場合、図４（ａ）に示される第１及び第２載置面の形体の変形例として、図４（ｂ）に示すように、例えばストッカ３０の上面側から視て、第１載置面３１ａが馬蹄のようにＵ字形に形成され、第２載置面３５ａが、そのＵ字形の中央を埋める島のように四角形に形成されている。このように、上下左右に移動される第１載置面３１ａを大きくした方が、ＦＯＵＰ３を載置部３１に載せての保管庫内搬送の際における安定性が増し、ＦＯＵＰ３の落下防止やガタツキ防止に役立つ。   In the example shown in FIGS. 3 and 4A, the first placement surface 11a is located on the inner side of the second placement surface 15a in a plan view, and the outer diameter is smaller. . However, conversely, the first placement surface 11a is positioned on the outer side of the second placement surface 15a, and both may be configured such that the outer diameter becomes larger. In this case, as a modification of the shape of the first and second mounting surfaces shown in FIG. 4A, as shown in FIG. 4B, the first mounting is viewed from the upper surface side of the stocker 30, for example. The surface 31a is formed in a U shape like a horseshoe, and the second placement surface 35a is formed in a quadrilateral shape like an island filling the center of the U shape. As described above, when the first mounting surface 31a moved up, down, left, and right is increased, the stability of the FOUP 3 placed on the mounting unit 31 during transport in the storage is increased, and the FOUP 3 is prevented from falling or rattling. Help prevent.

（保管庫内搬送動作）     (Transport operation in storage)

次に、本実施形態に係る保管庫内の荷の移載、即ち保管庫内搬送の動作について、引き続き図２から図４を参照して説明する。   Next, the operation of transferring the load in the storage, that is, the transfer in the storage according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図２及び図４において、搬送車２により入庫され、エリアＰ１の第２載置面１５ａに載置されているＦＯＵＰ３を、同段のもう１つの第２載置面１５ａ（図２及び図４では、エリアＰ２で示される）に移載する。この場合に、先ず、エリアＰ３の第２載置面１５ａへのＦＯＵＰ３の移載を終えた載置部１１（図２では、破線で示される）が、エリアＰ１の第２載置面１５ａの直下に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７の略中央に移動された後、鉛直駆動部１４により鉛直ガイド１８に沿って所定の鉛直位置に移動される。この所定の鉛直位置は、エリアＰ１の第２載置面１５ａよりも下方である。この後、所定の鉛直位置にある載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７に沿って所定の水平位置（図２では、実線で示される）に移動される。図３（ａ）に示すように、この所定の水平位置は、ＦＯＵＰ３の凹部６の鉛直下方向に、載置部１１の凸部１２が存在する位置である。   2 and 4, the FOUP 3 received by the transport vehicle 2 and placed on the second placement surface 15a in the area P1 is replaced with another second placement surface 15a (see FIGS. 2 and 4) on the same stage. Then, it is transferred to the area P2). In this case, first, the placement unit 11 (shown by a broken line in FIG. 2) that has finished transferring the FOUP 3 to the second placement surface 15a in the area P3 is provided on the second placement surface 15a in the area P1. Moved directly below. At this time, the placement unit 11 is moved to the approximate center of the horizontal guide 17 by the horizontal drive unit 13, and then moved to a predetermined vertical position along the vertical guide 18 by the vertical drive unit 14. This predetermined vertical position is below the second placement surface 15a in the area P1. Thereafter, the placement unit 11 at a predetermined vertical position is moved by the horizontal drive unit 13 along the horizontal guide 17 to a predetermined horizontal position (indicated by a solid line in FIG. 2). As shown in FIG. 3A, this predetermined horizontal position is a position where the convex portion 12 of the mounting portion 11 exists in the vertically downward direction of the concave portion 6 of the FOUP 3.

所定の鉛直位置且つ水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により上昇される。この上昇により、第１載置面１１ａが第２載置部１５ａの中央を通過して、図３（ｂ）に示すように、第２載置面１５ａよりも高くなる。この時、エリアＰ１における凹部５及び凸部１６の係合が外れ、第２載置面１５ａに代わって、第１載置面１１ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、載置部１１の凸部１２及びＦＯＵＰ３の凹部６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第２載置面１５ａから第１載置面１１ａへ移載される。   The placement unit 11 moved to the predetermined vertical position and the horizontal position is raised by the vertical drive unit 14. Due to this rise, the first placement surface 11a passes through the center of the second placement portion 15a and becomes higher than the second placement surface 15a as shown in FIG. At this time, the concave portion 5 and the convex portion 16 in the area P1 are disengaged, the FOUP 3 is supported by the first placement surface 11a instead of the second placement surface 15a, and the convex portion 12 of the placement portion 11 is supported. And the recessed part 6 of FOUP3 is mutually engaged, FOUP3 is transferred from the 2nd mounting surface 15a to the 1st mounting surface 11a.

ＦＯＵＰ３が移載された載置部１１は、エリアＰ２の第２載置面１５ａの直上に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平一方向の所定の水平位置に移動される。この所定の水平位置は、エリアＰ２の第２載置面１５ａの凸部１６の鉛直上方向に、ＦＯＵＰ３の凹部５が存在する位置である。所定の水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により下降される。この下降により、第１載置面１１ａがエリアＰ２の第２載置部１５ａの中央を通過して、図３（ａ）に示すように、第２載置面１５ａよりも低くなる。この時、エリアＰ２における凸部１２及び凹部６の係合が外れ、第１載置面１１ａに代わって、第２載置面１５ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、ＦＯＵＰ３の凹部５及び第２載置面１５ａの凸部１６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第１載置面１１ａから、エリアＰ２の第２載置面１５ａへ移載される。これにより、ポートに設定されるエリアＰ１から、エリアＰ２へのＦＯＵＰ３の移載動作が完了される。尚、この移載工程を逆の順序で行えば、エリアＰ２からエリアＰ１への移載動作となる。従って、上述のポートを介する移載動作は、搬送車２及びストッカ１０の間でのＦＯＵＰ３の出入庫動作でもある。   The placement unit 11 to which the FOUP 3 has been transferred is moved directly above the second placement surface 15a in the area P2. At this time, the placement unit 11 is moved to a predetermined horizontal position in one horizontal direction by the horizontal drive unit 13. This predetermined horizontal position is a position where the concave portion 5 of the FOUP 3 exists in the vertically upward direction of the convex portion 16 of the second placement surface 15a of the area P2. The placement unit 11 moved to a predetermined horizontal position is lowered by the vertical drive unit 14. By this lowering, the first placement surface 11a passes through the center of the second placement portion 15a in the area P2, and becomes lower than the second placement surface 15a as shown in FIG. At this time, the projection 12 and the recess 6 in the area P2 are disengaged, the FOUP 3 is supported by the second placement surface 15a instead of the first placement surface 11a, and the recess 5 and the second placement of the FOUP 3 are supported. When the convex portions 16 of the placement surface 15a are engaged with each other, the FOUP 3 is transferred from the first placement surface 11a to the second placement surface 15a in the area P2. Thereby, the transfer operation of the FOUP 3 from the area P1 set to the port to the area P2 is completed. If the transfer process is performed in the reverse order, the transfer operation from the area P2 to the area P1 is performed. Accordingly, the transfer operation through the above-described port is also a FOUP 3 loading / unloading operation between the transport vehicle 2 and the stocker 10.

このように、本実施形態のストッカ１０によれば、鉛直方向及び水平一方向に広がりを持ち、厚み方向については、ＦＯＵＰ３の一個分の厚みに水平駆動部１３及び鉛直駆動部１４に必要なスペースを含めて、極めて薄く構成される。このため、レール１に沿った比較的小さい隙間にも、配置可能である。また、２軸方向に移動する載置部１１が、ポート及び搬送車２の間の出入庫時に不要であり、その出入庫作業の妨げとならないので、簡単な構成により効率良くＦＯＵＰ３を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送することが可能である。   As described above, according to the stocker 10 of the present embodiment, it has a spread in the vertical direction and one horizontal direction, and in the thickness direction, the space required for the horizontal drive unit 13 and the vertical drive unit 14 is equal to the thickness of one FOUP 3. It is configured to be extremely thin. For this reason, it can be arranged in a relatively small gap along the rail 1. Further, the loading unit 11 that moves in the two-axis direction is not necessary when loading and unloading between the port and the transport vehicle 2 and does not hinder the loading and unloading work. Therefore, the FOUP 3 can be loaded and unloaded efficiently with a simple configuration. Or it can be efficiently transported in the storage.

尚、本実施形態では、ストッカ１０は、載置部１１が移動される水平一方向の方位が、レール１の方位に対して直角に交わるように、配置されるが、水平一方向の方位が、レール１の方位と平行になるように、配置されてもよい。   In the present embodiment, the stocker 10 is arranged so that the horizontal direction in which the placement unit 11 is moved intersects at right angles to the direction of the rail 1. , May be arranged so as to be parallel to the orientation of the rail 1.

＜第２実施形態＞   Second Embodiment

次に、本発明の第２実施形態として、第１実施形態に係る保管庫の変形例について図５を参照して説明する。ここに図５は、第２実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す、図１と同趣旨の斜視図であり、具体的に、図５に示される保管庫では、出庫及び入庫用のポートが別々に設定されると共に、載置部が移動される水平一方向が、軌道と平行に配置される。尚、図５に示される搬送システムにおいて、図１に示される搬送システム１００と同等に構成される要素について、同一の番号を付し、その説明を省略する。   Next, as a second embodiment of the present invention, a modified example of the storage according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a perspective view having the same concept as in FIG. 1 showing the appearance of the transport system including the storage according to the second embodiment. Specifically, in the storage shown in FIG. And a horizontal direction in which the placement unit is moved is arranged in parallel with the track. In the transport system shown in FIG. 5, the same components as those in the transport system 100 shown in FIG.

図５において、搬送システム２００は、レール１、搬送車２、及びストッカ４０を備える。搬送システム２００は、図１に示される搬送システム１００と同様に、搬送車２を駆動して、レール１上でＦＯＵＰ３の搬送を行う。搬送車２は、レール１上で搬送を行う際に、走行方向Ｄ３へ走行する。   In FIG. 5, the transport system 200 includes a rail 1, a transport vehicle 2, and a stocker 40. The transport system 200 drives the transport vehicle 2 and transports the FOUP 3 on the rail 1 in the same manner as the transport system 100 shown in FIG. The transport vehicle 2 travels in the travel direction D3 when transporting on the rail 1.

ストッカ４０は、第１実施形態と同様の保管庫内搬送装置（図２から図５参照）、及び複数の棚１５を備える。複数の棚１５のうち、最上段の２つの棚１５（第２載置面１５ａ）は、出庫及び入庫用のポートとして機能する。最上段の２つの第２載置面１５ａのうち、入庫用のポートに設定される第２載置面１５ａは、走行方向Ｄ３の上流側に位置し、出庫用のポートに設定される第２載置面１５ａは、走行方向Ｄ３の下流側に位置する。これら第２載置面１５ａの上方及び側方に対向するストッカ本体４０ａは、ＦＯＵＰ３が出入庫可能に開放されている。   The stocker 40 includes the same in-storage transport device (see FIGS. 2 to 5) and a plurality of shelves 15 as in the first embodiment. Of the plurality of shelves 15, the top two shelves 15 (second placement surface 15 a) function as a port for delivery and entry. Of the two second placement surfaces 15a in the uppermost stage, the second placement surface 15a set as the warehousing port is located upstream of the traveling direction D3 and is set as the evacuation port. The placement surface 15a is located on the downstream side in the traveling direction D3. The stocker body 40a facing above and to the side of the second placement surface 15a is opened so that the FOUP 3 can be put in and out.

ストッカ４０は、出庫及び入庫用のポートに設定される２つの第２載置面１５ａが、レール１の下方に、且つレール１に沿うように、配置される。また、これら２つの第２載置面１５ａが配列される方位（言い換えれば、２つの第２載置面１５ａを、載置部が移動される水平一方向の方位）が、レール１の方位と平行になるように、配置される。   The stocker 40 is arranged such that two second placement surfaces 15 a set as ports for delivery and entry are below the rail 1 and along the rail 1. Further, the orientation in which these two second placement surfaces 15a are arranged (in other words, the orientation of the two second placement surfaces 15a in one horizontal direction in which the placement portion is moved) is the orientation of the rail 1. It arrange | positions so that it may become parallel.

（出庫及び入庫用ポートを使用する出入庫動作）     (Receipt / receipt operation using the exit / entry port)

次に、本実施形態に係る保管庫及び搬送車の間の出入庫の動作について説明する。   Next, the operation of loading and unloading between the storage and the transport vehicle according to the present embodiment will be described.

図５において、ストッカ４０では、第１ＦＯＵＰ３ａの入庫、及びその第１ＦＯＵＰ３ａと異なる第２ＦＯＵＰ３ｂの出庫が、１台の搬送車２との間で、連続して行われる。この場合に、先ず、第１ＦＯＵＰ３ａを保持する搬送車２が、走行方向Ｄ３の上流側からストッカ４０に到達される。すると、搬送車２が、入庫用のポートに設定される第２載置面１５ａの直上で停止されると共に、第１ＦＯＵＰ３ａを保持するホイスト２ａが所定の鉛直位置に移動されると、このホイスト２ａから第１ＦＯＵＰ３ａが解放され、入庫用のポート（入庫用ポートに設定される棚１５の第２載置面１５ａ）に載置される。この載置により、第１ＦＯＵＰ３ａがストッカ４０に入庫される。この入庫の直後、或いは後述の第２ＦＯＵＰ３ｂの出庫の後、第１実施形態のストッカ１０と同様に、入庫された第１ＦＯＵＰ３ａの保管庫内搬送が行われる。   In FIG. 5, in the stocker 40, the first FOUP 3 a is received and the second FOUP 3 b that is different from the first FOUP 3 a is continuously delivered to and from one transport vehicle 2. In this case, first, the transport vehicle 2 that holds the first FOUP 3a reaches the stocker 40 from the upstream side in the traveling direction D3. Then, the transport vehicle 2 is stopped immediately above the second placement surface 15a set as a storage port, and when the hoist 2a holding the first FOUP 3a is moved to a predetermined vertical position, the hoist 2a The first FOUP 3a is released and placed on the warehousing port (the second placement surface 15a of the shelf 15 set as the warehousing port). With this placement, the first FOUP 3a is stored in the stocker 40. Immediately after the warehousing or after the second FOUP 3b described later, the first FOUP 3a that has been warehoged is transported in the stocker similarly to the stocker 10 of the first embodiment.

続いて、図５に示すように、第１ＦＯＵＰ３ａを解放した搬送車２が、走行方向Ｄ３へ走行される。搬送車２が、出庫用のポートに設定される第２載置面１５ａの直上で停止されると共に、ホイスト２ａが所定の鉛直位置に移動されると、このホイスト２ａに第２ＦＯＵＰ３ｂが保持される。この保持により、第２ＦＯＵＰ３ｂが出庫される。この出庫の直前、或いは搬送車２が出庫用のポートに到達するより前に、第１実施形態のストッカ１０と同様に、出庫予定の第２ＦＯＵＰ３ｂの保管庫内搬送が行われる。出庫の後、第２ＦＯＵＰ３ｂを保持する搬送車２が走行方向Ｄ３に走行される。これにより、一連の出入庫動作が完了される。   Subsequently, as shown in FIG. 5, the transport vehicle 2 that has released the first FOUP 3a travels in the travel direction D3. When the transport vehicle 2 is stopped immediately above the second placement surface 15a set as a delivery port, and the hoist 2a is moved to a predetermined vertical position, the second FOUP 3b is held by the hoist 2a. . By this holding, the second FOUP 3b is delivered. Immediately before the delivery or before the transport vehicle 2 reaches the delivery port, the second FOUP 3b scheduled to be delivered is transported in the storage as in the stocker 10 of the first embodiment. After delivery, the transport vehicle 2 holding the second FOUP 3b travels in the travel direction D3. Thereby, a series of loading / unloading operations is completed.

このように、第２実施形態のストッカ４０によれば、出庫及び入庫用のポートが別々に設けられており、搬送車２から入庫用のポートに、第１ＦＯＵＰ３ａが入庫された直後に、出庫用のポートから空荷の搬送車２に、第２ＦＯＵＰ３ｂが出庫されるので、出入庫の効率が極めて高められる。また、工場内の壁が邪魔をして、通常のストッカでは設置できないような場合に、載置部が移動される水平一方向の方位が、レール１の方位と平行になるように、ストッカ４０が配置されるので、薄く構成されるストッカの厚み方向の厚さ分だけ、壁からレールが離れていれば、問題なくストッカを配置できる。   Thus, according to the stocker 40 of 2nd Embodiment, the port for warehousing and warehousing is provided separately, and immediately after the 1st FOUP3a is warehousing from the conveyance vehicle 2 to the port for warehousing, Since the second FOUP 3b is delivered to the empty transport vehicle 2 from this port, the efficiency of entry and exit is greatly enhanced. In addition, when the wall in the factory is in the way and cannot be installed with a normal stocker, the stocker 40 is set so that the horizontal direction in which the placement unit is moved is parallel to the direction of the rail 1. Therefore, if the rail is separated from the wall by the thickness in the thickness direction of the thin stocker, the stocker can be disposed without any problem.

次に、保管庫の配置について図６を参照して説明する。ここに図６は、第１実施形態に係る保管庫の実用上の配置状態を示す平面図である。   Next, the arrangement of the storage will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a plan view showing a practical arrangement state of the storage according to the first embodiment.

図６に示すように、保管庫は、例えば半導体製造工場等の工場内で、軌道に沿って設置された製造装置等の装置間の隙間に、配置される。ストッカ１０の厚み方向の寸法は、製造装置９間の隙間に対応するように、設計されている。製造装置９間には、メンテナンス用のスペースＳ１が設けられている。このスペースＳ１に、ストッカ１０を挿入することで、メンテナンス時を除いて無駄なスペースとも呼べるスペースＳ１を有効活用する。複数の製造装置９、及びこれら製造装置９間に配置されるストッカ１０は、レール１に対して、載置部が移動される水平一方向が直角に交わるように、配置される。   As shown in FIG. 6, the storage is arranged in a gap between apparatuses such as manufacturing apparatuses installed along a track in a factory such as a semiconductor manufacturing factory. The dimension of the stocker 10 in the thickness direction is designed to correspond to the gap between the manufacturing apparatuses 9. A maintenance space S <b> 1 is provided between the manufacturing apparatuses 9. By inserting the stocker 10 into the space S1, the space S1, which can be called a useless space except during maintenance, is effectively used. The plurality of manufacturing apparatuses 9 and the stocker 10 disposed between the manufacturing apparatuses 9 are disposed such that one horizontal direction in which the placement unit is moved intersects the rail 1 at a right angle.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。例えば上述した実施形態において、移載時に、ＦＯＵＰを底側から支持するような構成を例にとって説明したが、当該保管庫に対して、ＦＯＵＰの頂部に設けられたフランジを支持又は保持するような構成を採用してもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. A storage with such a change can also be used. It is included in the technical scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the configuration in which the FOUP is supported from the bottom side at the time of transfer has been described as an example, but the flange provided on the top of the FOUP is supported or held with respect to the storage. A configuration may be adopted.

第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of a conveyance system provided with the storage which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る保管庫の内部構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the internal structure of the storage which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る第１及び第２載置面の係合状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the engagement state of the 1st and 2nd mounting surface which concerns on 1st Embodiment. 実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す平面図である。It is a top view which shows the operation state to the horizontal one direction of the mounting part which concerns on embodiment. 第２実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of a conveyance system provided with the storage which concerns on 2nd Embodiment. 第１実施形態に係る保管庫の実用上の配置状態を示す平面図である。It is a top view which shows the practical arrangement | positioning state of the storage which concerns on 1st Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１…レール、２…搬送車、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ（保管庫）、１１…載置部（支持部）、１３…水平駆動部、１４…鉛直駆動部、１５…棚、１００…搬送システム   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Rail, 2 ... Transportation vehicle, 3 ... FOUP (load), 10 ... Stocker (storage), 11 ... Mounting part (support part), 13 ... Horizontal drive part, 14 ... Vertical drive part, 15 ... Shelf, 100 ... Transport system

Claims (9)

荷を支持可能な支持部と、
前記支持部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、
前記支持部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部と、
前記支持部が前記鉛直駆動部により到達可能な前記鉛直方向の複数段に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は二つ以上ずつ設けられると共に、前記支持部との間で前記荷を相互に移載可能に夫々構成されている複数の載置面を有する棚と
を備え、
前記複数の載置面の少なくとも一つは、前記荷の出入庫用のポートとして機能する
ことを特徴とする保管庫。 A support capable of supporting the load;
A horizontal drive unit capable of reciprocating the support unit in one horizontal direction;
A vertical drive part capable of reciprocating the support part in the vertical direction;
One or more of the support portions are provided at a plurality of vertical positions reachable by the vertical drive portion at horizontal positions reachable by the horizontal drive portion, and the load between the support portions and the support portion is provided. And a shelf having a plurality of mounting surfaces each configured to be able to transfer each other,
At least one of the plurality of placement surfaces functions as a port for loading and unloading the cargo. 前記支持部は、前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部であり、
前記複数の載置面は夫々、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面である
ことを特徴とする請求項１に記載の保管庫。 The support portion is a placement portion having a first placement surface capable of supporting the load from the bottom side thereof,
The plurality of placement surfaces are second placement surfaces configured to be able to transfer the load to and from the first placement surface, respectively. Storehouse. 前記棚は、前記支持部が前記水平一方向の両側夫々へ移動された際に前記荷を支持可能に、各段に二つずつ前記載置面を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。   3. The shelf according to claim 1, wherein the shelf has two mounting surfaces in each stage so that the load can be supported when the support portion is moved to both sides in the horizontal one direction. 4. The vault described in. 前記棚は、前記載置面のうち前記棚の最上段にある少なくとも一つが、前記ポートとして機能することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の保管庫。   The storage according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one of the shelves in the uppermost stage of the shelf functions as the port. 前記第１載置面も、前記ポートとして機能することを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載の保管庫。   The storage according to any one of claims 2 to 4, wherein the first mounting surface also functions as the port. 前記第１及び第２載置面は夫々、前記載置部が前記一端側へ移動された際に、前記鉛直方向から見て相互に相補の平面形状を有することを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の保管庫。   The first and second placement surfaces each have planar shapes complementary to each other when viewed from the vertical direction when the placement portion is moved to the one end side. The storage according to any one of 5 above. 前記荷は、その底面に規定の凹凸を有し、
前記第１及び第２載置面は夫々、前記凹凸に係合可能な凹凸を有する
ことを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載の保管庫。 The load has prescribed irregularities on its bottom surface,
The storage according to any one of claims 2 to 6, wherein each of the first and second placement surfaces has an unevenness that can be engaged with the unevenness. 当該保管庫は、搬送車が前記荷を搬送する軌道の方位に対して、前記水平一方向の方位が平行になるように、前記軌道に対して配置される
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の保管庫。 The storage is arranged with respect to the track so that the direction of the horizontal direction is parallel to the direction of the track on which the transport vehicle transports the load. The storage according to any one of 7 above. 当該保管庫は、前記棚が前記軌道の下方に位置するように配置され、
前記棚は、前記第２載置面として前記棚の最上段に位置する二つのうち、前記軌道の上流側にある一方が前記入庫用のポートとして機能すると共に前記軌道の下流側にある他方が前記出庫用のポートとして機能する
ことを特徴とする請求項８に記載の保管庫。 The storage is arranged so that the shelf is located below the track,
Among the two shelves positioned at the top of the shelf as the second placement surface, one on the upstream side of the track functions as a port for warehousing and the other on the downstream side of the track The storage room according to claim 8, wherein the storage room functions as the port for shipping.
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