JP5509912B2 - 空間光変調器、照明装置、露光装置およびそれらの製造方法 - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開平09−101467号公報
Claims (8)
- 電極、静電力により前記電極に引き付けられて揺動する可動部、および、前記可動部に支持されて前記可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、
前記反射鏡の間から前記基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層と
を備え、
前記遮光層は、前記反射鏡および前記可動部の間に配される空間光変調器。 - 前記遮光層は、前記可動部または前記反射鏡と同じ材料により形成される請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記可動部は、一端を前記基板に対して固定され、他端を前記可動部に対して固定された捩じり軸部により支持される請求項1または2記載の空間光変調器。
- 前記単位素子は、前記捩じり軸部の前記一端を前記基板との間で支持する固定枠を更に有し、
前記遮光層は、前記固定枠と前記可動部との間で、前記捩じり軸部が無い領域に形成された間隙の前記遮光層側を覆う請求項3に記載の空間光変調器。 - 前記遮光層は遮光面と前記遮光面から前記基板側に延在する脚部とを有し、
前記単位素子は、前記捩じり軸部の前記一端が固定される固定枠と、前記固定枠から前記基板に向かって延在する脚部とを有し、
前記固定枠、前記遮光面、並びに、前記固定枠および前記遮光層の前記脚部のそれぞれが、隣接する前記単位素子で連続的につながっている請求項3に記載の空間光変調器。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の空間光変調器を備えた照明装置。
- 請求項6に記載の照明装置を備えた露光装置。
- 電極、静電力により前記電極に引き付けられて揺動する可動部、および、前記可動部に支持されて前記可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、前記反射鏡の間から前記基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える空間光変調器を製造する製造方法であって、
前記電極および前記可動部を形成された前記基板の表面に、犠牲材料により第一下地層を形成する段階と、
前記第一下地層の上に前記遮光層を形成する段階と、
前記遮光層の上に、犠牲材料により第二下地層を形成する段階と、
前記第二下地層の上に反射膜材料を堆積して前記反射鏡を形成する段階と
前記第一下地層および前記第二下地層を除去する段階と
を備える製造方法。
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