JP5509318B2 - 熱交換係数を向上させた熱交換装置およびその装置を製造する方法 - Google Patents
熱交換係数を向上させた熱交換装置およびその装置を製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5509318B2 JP5509318B2 JP2012509023A JP2012509023A JP5509318B2 JP 5509318 B2 JP5509318 B2 JP 5509318B2 JP 2012509023 A JP2012509023 A JP 2012509023A JP 2012509023 A JP2012509023 A JP 2012509023A JP 5509318 B2 JP5509318 B2 JP 5509318B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat exchange
- duct
- cavity
- exchange device
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
- F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
- F28F13/003—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing by using permeable mass, perforated or porous materials
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
- F28F13/18—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing by applying coatings, e.g. radiation-absorbing, radiation-reflecting; by surface treatment, e.g. polishing
- F28F13/185—Heat-exchange surfaces provided with microstructures or with porous coatings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2245/00—Coatings; Surface treatments
- F28F2245/02—Coatings; Surface treatments hydrophilic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2245/00—Coatings; Surface treatments
- F28F2245/04—Coatings; Surface treatments hydrophobic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/4935—Heat exchanger or boiler making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
- 前記空洞は、壁によって流体的に互いから隔離され、各空洞は少なくとも1つのダクトを介して第2の面に現出し、各ダクトの長さはダクトの平均半径より大きく、空洞との接続領域内のダクトの横方向寸法は、空洞とダクトの間に制限を形成するように選択され、第2の面には、ダクトによって形成されたアパーチャがあけられ、
- 前記第2の面は、液体の接触角が90°未満で、液体とダクトおよび空洞の内表面の接触角が液体と第2の面の接触角以上であるように、冷却液に対する良好な濡れ性という特性を有する。
- V全ダクトは、空洞に貫入するダクトのそれぞれの容積の合計によって形成される容積であり、
- V空洞は空洞の容積であり、
- Pは冷却液の絶対圧であり、
- P大気は大気圧力である。
a)基板上へのバリア層の堆積段階と、
b)空洞を画定することを意図した、平均直径の大きな方の個別要素の層の堆積段階と、
c)平均直径の大きな方の個別要素上への、および平均直径の大きな方の個別要素間の、層の堆積段階であって、前記層が装置のマトリックスを形成することを意図した、段階と、
d)マトリックスを形成する層上への平均直径の小さな方の個別要素の堆積段階と、
e)平均直径の小さな方の個別要素(30)上への、および平均直径の小さな方の個別要素(30)の間への連続層の堆積段階と、
f)マトリックスを形成する層が露出される領域内のアパーチャを見せる、平均直径の小さな方の個別要素の取り外し段階と、
g)平均直径の大きな方の個別要素に達するまで、アパーチャの領域においてマトリックスを形成する層内でのダクトの作製段階と、
h)平均直径の大きな方の個別要素の除去段階と
を含むことができる。
V全ダクト > (P/P大気) × V空洞
- 式中、V全ダクトは、空洞8に貫入するダクト10のそれぞれの容積の合計によって形成される容積であり、
- 式中、V空洞は空洞8の容積であり、
- 式中、Pは液体の絶対圧であり、
- 式中、P大気は大気圧である。
n > 0.5 × (Dl/D2)2
4 第1の面
6 第2の面、表面
8 空洞
10 ダクト
10.1 ダクトの大きい方の基部
10.2 ダクトの小さい方の基部
11 開口、アパーチャ、穴
13 壁
14 要素
16 構造化領域
18 非構造化領域
20 泡
22 基板
24 バリア層
26 シリカボール、層
28 層
28' 層
30 ボール
32 連続層、ボール
34 アパーチャ
D 熱交換装置
L 液体
D1 空洞の平均直径
D2 アパーチャの平均直径
d1 構造化領域間の距離
d2 構造化領域の幅
H 高さ
α 接触角
Claims (17)
- 放散されるべき熱の源と接触することを意図する第1の面(4)と、冷却液と接触することを意図する第2の面(6)とを含む熱交換装置であって、前記装置が、その全体を通して前記第1の面(4)と前記第2の面(6)の間に平均半径(D1)の複数の空洞(8)を含み、
前記空洞(8)が壁(13)によって流体的に互いから隔離され、各空洞(8)が少なくとも1つのダクト(10)を介して前記第2の面(6)に現出し、各ダクト(10)の長さ(H)が前記ダクトの前記平均半径(D2)より大きく、前記空洞(8)との接続領域内の前記ダクトの横方向寸法が、前記空洞(8)と前記ダクト(10)の間に制限を形成するように選択され、前記第2の面(6)には、前記ダクト(10)によって形成されたアパーチャ(11)があけられ、
前記第2の面(6)が、前記液体の接触角が90°未満で、前記液体と前記ダクト(10)および前記空洞(8)の内表面の接触角が前記液体と前記第2の面(6)の接触角以上であるように、前記冷却液に対する良好な濡れ性という特性を有する、熱交換装置。 - 前記ダクト(10)が、0.1D1からD1の間の最大部直径(D2)を有し、前記ダクト(10)の数(n)が、n > 0.5 × (D1/D2)2であるように定められる、請求項1に記載の熱交換装置。
- V全ダクト > (B/P大気)×V空洞であり、
式中、V全ダクトが、空洞(8)に貫入する前記ダクト(10)のそれぞれの容積の合計によって形成された容積であり、
式中、V空洞が空洞(8)の容積であり、
式中、Pが前記冷却液の絶対圧であり、
式中、P大気が大気圧力である、
請求項1または2に記載の熱交換装置。 - 前記空洞(8)を離隔する前記壁(13)が、前記空洞の平均直径(D1)の0.1倍から0.2倍の間の最小厚さを有し、前記第2の面(6)内に形成された前記アパーチャ(11)が、前記アパーチャ(11)の前記直径に比べて小さな距離(L2)だけ離隔される、請求項1から3の一項に記載の装置。
- 前記ダクト(10)がテーパ形状を有し、小さい方の基部が、前記空洞(8)との前記接続領域内に位置する、請求項1から4の一項に記載の熱交換装置。
- 前記空洞(8)および前記ダクト(10)がその中に作製されるマトリックスと、前記第2の面(6)上に堆積される層(32)とを含み、前記マトリックスが前記液体に対する低い濡れ性を有し、前記層(32)が前記液体に対する良好な濡れ性を有する、請求項1から5の一項に記載の熱交換装置。
- 前記ダクト(10)によって形成されたアパーチャ(11)が前記第2の面(6)に現出する、構造化領域(16)と呼ばれる領域と、アパーチャ(11)のない、非構造化領域(18)と呼ばれる領域とを含む、請求項1から6の一項に記載の熱交換装置。
- 前記構造化領域(16)が、10μmから50μmの間の辺を有し、前記領域(16)が50μmから500μmの間の距離だけ互いから離隔される、請求項7に記載の熱交換装置。
- 前記個別要素(26)に達するまでダクト(10)のマトリックス内に作製するために、および前記個別要素(26)を除去するために、前記熱交換装置のマトリックスを形成する材料の層(28)内での前記個別要素(26)を埋設することによる基板上へのこれらの個別要素の堆積によって空洞(8)が得られる、請求項1から8の一項に記載の熱交換装置の作製方法。
- a)基板(22)上へのバリア層(24)の堆積段階と、
b)前記空洞を画定することを意図した、平均直径の大きな方の個別要素(26)の層の堆積段階と、
c)前記平均直径の大きな方の個別要素(28)上への、および前記平均直径の大きな方の個別要素(28)間の、層(28)の堆積段階であって、前記層(28)が、前記装置のマトリックスを形成することを意図した段階と、
d)前記マトリックス(26)を形成する前記層上への平均直径の小さな方の個別要素(30)の堆積段階と、
e)前記平均直径の小さな方の個別要素(30)上への、および前記平均直径の小さな方の個別要素(30)の間の連続層(32)の堆積段階と
f)前記マトリックス(28)を形成する層が露出される前記領域内のアパーチャ(34)を見せる、前記平均直径の小さな方の個別要素(30)の取り外し段階と、
g)前記平均直径の大きな方の個別要素(28)に達するまで、前記アパーチャ(34)の前記領域において前記マトリックス(32)を形成する前記層内でのダクト(10)の作製段階と、
h)前記平均直径の大きな方の個別要素(28)の除去段階と
を含む、請求項9に記載の熱交換装置の作製方法。 - 前記個別要素(26、30)が、シリカまたはポリマーたとえばポリスチレンから作製され、前記個別要素(26、30)が、化学攻撃によるそれらの溶解によって除去される、請求項9または10に記載の熱交換装置の作製方法。
- 前記平均直径の小さな方の個別要素(30)が、前記直径の大きな方の個別要素(26)の前記平均直径以下の平均直径を有する、請求項10または11に記載の熱交換装置の作製方法。
- たとえばドライエッチングによる、段階c)堆積の前に前記平均直径の大きな方の個別要素(26)の前記サイズの縮小段階を、および/または段階e)の前に前記平均直径の小さな方の個別要素(30)の前記サイズの縮小段階を含む、請求項10、11、または12に記載の熱交換装置の作製方法。
- 段階e)で堆積された前記層が、前記冷却液たとえばシリカに対する良好な濡れ性を有する、請求項10から13の一項に記載の熱交換装置の作製方法。
- 前記マトリックスを形成する前記材料が水素化アモルファスカーボンである、請求項10から14の一項に記載の熱交換装置の作製方法。
- 段階b)の前に、前記マトリックスを形成する材料の準備層の堆積段階を含む、請求項10から15の一項に記載の熱交換装置の作製方法。
- 前記平均直径の小さな方の個別要素(30)を非マスク領域の領域でのみ取り外すことができるように、前記直径の小さな方の個別要素(30)の取り外し段階f)の前に前記積層上へのマスクの設置段階を含む、請求項10から16の一項に記載の熱交換装置の作製方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0953012A FR2945337B1 (fr) | 2009-05-06 | 2009-05-06 | Dispositif d'echange thermique a coefficient d'echange thermique augmente et procede de realisation d'un tel dispositif |
FR0953012 | 2009-05-06 | ||
PCT/EP2010/056071 WO2010128067A1 (fr) | 2009-05-06 | 2010-05-05 | Dispositif d'echange thermique a coefficient d'échange thermique augmenté et procédé de réalisation d'un tel dispositif |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012526257A JP2012526257A (ja) | 2012-10-25 |
JP5509318B2 true JP5509318B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=41338211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012509023A Expired - Fee Related JP5509318B2 (ja) | 2009-05-06 | 2010-05-05 | 熱交換係数を向上させた熱交換装置およびその装置を製造する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120067558A1 (ja) |
EP (1) | EP2427714B1 (ja) |
JP (1) | JP5509318B2 (ja) |
CN (1) | CN102422114A (ja) |
BR (1) | BRPI1013846A2 (ja) |
FR (1) | FR2945337B1 (ja) |
WO (1) | WO2010128067A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2971581B1 (fr) | 2011-02-11 | 2013-03-15 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif absorbeur thermique a materiau a changement de phase |
CN104509220B (zh) | 2012-05-07 | 2018-05-29 | 弗诺尼克设备公司 | 包括保护性热密封盖和最优化界面热阻的热电热交换器组件 |
US20130291555A1 (en) | 2012-05-07 | 2013-11-07 | Phononic Devices, Inc. | Thermoelectric refrigeration system control scheme for high efficiency performance |
US10458683B2 (en) | 2014-07-21 | 2019-10-29 | Phononic, Inc. | Systems and methods for mitigating heat rejection limitations of a thermoelectric module |
US9593871B2 (en) | 2014-07-21 | 2017-03-14 | Phononic Devices, Inc. | Systems and methods for operating a thermoelectric module to increase efficiency |
US10638648B2 (en) | 2016-04-28 | 2020-04-28 | Ge Energy Power Conversion Technology Ltd. | Cooling system with pressure regulation |
US9894815B1 (en) | 2016-08-08 | 2018-02-13 | General Electric Company | Heat removal assembly for use with a power converter |
FR3075340B1 (fr) * | 2017-12-19 | 2021-04-30 | Air Liquide | Element intercalaire a texturation de surface, echangeur de chaleur et procede de fabrication associes |
JP7444715B2 (ja) | 2020-06-30 | 2024-03-06 | 古河電気工業株式会社 | 伝熱部材および伝熱部材を有する冷却デバイス |
US20230160646A1 (en) * | 2021-11-19 | 2023-05-25 | Amulaire Thermal Technology, Inc. | Immersion heat dissipation structure |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3301314A (en) * | 1964-03-02 | 1967-01-31 | Gen Electric | Method and means for increasing the heat transfer coefficient between a wall and boiling liquid |
US3684007A (en) * | 1970-12-29 | 1972-08-15 | Union Carbide Corp | Composite structure for boiling liquids and its formation |
JPS5235582Y2 (ja) * | 1973-02-06 | 1977-08-13 | ||
US4050507A (en) * | 1975-06-27 | 1977-09-27 | International Business Machines Corporation | Method for customizing nucleate boiling heat transfer from electronic units immersed in dielectric coolant |
JPS5297466A (en) * | 1976-02-12 | 1977-08-16 | Hitachi Ltd | Heat exchanging wall and its preparation method |
GB1523855A (en) * | 1976-02-23 | 1978-09-06 | Borg Warner | Heat exchangers |
DE2808080C2 (de) * | 1977-02-25 | 1982-12-30 | Furukawa Metals Co., Ltd., Tokyo | Wärmeübertragungs-Rohr für Siedewärmetauscher und Verfahren zu seiner Herstellung |
JPS5487959A (en) * | 1977-12-19 | 1979-07-12 | Ibm | Base plate for cooling |
JPS5528483A (en) * | 1978-08-22 | 1980-02-29 | Mitsubishi Electric Corp | Heat transfer surface and its preparation |
JPS5914119B2 (ja) * | 1979-07-16 | 1984-04-03 | 三菱電機株式会社 | 放熱体の表面処理方法 |
JPS5948876B2 (ja) * | 1980-03-11 | 1984-11-29 | 三菱電機株式会社 | 放熱体の表面処理方法 |
JPS57165990U (ja) * | 1981-04-15 | 1982-10-19 | ||
US4474231A (en) * | 1981-08-05 | 1984-10-02 | General Electric Company | Means for increasing the critical heat flux of an immersed surface |
JPS6064194A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-12 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 伝熱管 |
JPS60238698A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-27 | Hitachi Ltd | 熱交換壁 |
US4709754A (en) * | 1985-07-18 | 1987-12-01 | International Business Machines Corp. | Heat transfer element with nucleate boiling surface and bimetallic fin formed from element |
US6371199B1 (en) * | 1988-02-24 | 2002-04-16 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Nucleate boiling surfaces for cooling and gas generation |
JPH06323778A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Kobe Steel Ltd | 沸騰用伝熱管 |
WO2002023115A2 (en) * | 2000-09-15 | 2002-03-21 | Mems Optical, Inc. | Enhanced surface structures for passive immersion cooling of integrated circuits |
JP2003293166A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Kobe Steel Ltd | 銅又は銅合金管及びその製造方法 |
ATE418673T1 (de) * | 2002-12-12 | 2009-01-15 | Perkins Engines Co Ltd | Kühlungsanordnung und verfahren mit ausgewählten und ausgebildeten oberflächen zur verhinderung der veränderung von siedezustand |
US20070028588A1 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | General Electric Company | Heat transfer apparatus and systems including the apparatus |
CN100365369C (zh) * | 2005-08-09 | 2008-01-30 | 江苏萃隆铜业有限公司 | 蒸发器热交换管 |
US20100012299A1 (en) * | 2007-01-24 | 2010-01-21 | Nec Corporation | Heat exchanger unit |
-
2009
- 2009-05-06 FR FR0953012A patent/FR2945337B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-05-05 BR BRPI1013846A patent/BRPI1013846A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2010-05-05 US US13/318,649 patent/US20120067558A1/en not_active Abandoned
- 2010-05-05 JP JP2012509023A patent/JP5509318B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-05-05 WO PCT/EP2010/056071 patent/WO2010128067A1/fr active Application Filing
- 2010-05-05 CN CN2010800200845A patent/CN102422114A/zh active Pending
- 2010-05-05 EP EP10715899A patent/EP2427714B1/fr not_active Not-in-force
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012526257A (ja) | 2012-10-25 |
EP2427714B1 (fr) | 2013-04-03 |
FR2945337B1 (fr) | 2012-05-25 |
WO2010128067A1 (fr) | 2010-11-11 |
FR2945337A1 (fr) | 2010-11-12 |
US20120067558A1 (en) | 2012-03-22 |
CN102422114A (zh) | 2012-04-18 |
EP2427714A1 (fr) | 2012-03-14 |
BRPI1013846A2 (pt) | 2016-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5509318B2 (ja) | 熱交換係数を向上させた熱交換装置およびその装置を製造する方法 | |
US11353269B2 (en) | Thermal ground plane | |
JP5640008B2 (ja) | 熱交換構造およびそのような構造を備える冷却デバイス | |
US7705342B2 (en) | Porous semiconductor-based evaporator having porous and non-porous regions, the porous regions having through-holes | |
US9685393B2 (en) | Phase-change chamber with patterned regions of high and low affinity to a phase-change medium for electronic device cooling | |
JPH0234183B2 (ja) | ||
US20070017814A1 (en) | Heat spreader with vapor chamber defined therein and method of manufacturing the same | |
WO2004065866A1 (en) | Cooling device of hybrid-type | |
WO2018089432A1 (en) | Method and device for spreading high heat fluxes in thermal ground planes | |
US8006746B2 (en) | 3-dimensional high performance heat sinks | |
US11898807B2 (en) | Single and multi-layer mesh structures for enhanced thermal transport | |
JPWO2008090726A1 (ja) | 熱交換装置 | |
US10746478B2 (en) | Silicon biporous wick for high heat flux heat spreaders | |
US7832462B2 (en) | Thermal energy transfer device | |
Rangarajan et al. | A Review of Recent Developments in “On-Chip” Embedded Cooling Technologies for Heterogeneous Integrated Applications | |
CN113133283B (zh) | 一种散热器件及其制造方法 | |
CN112888264B (zh) | 一种基于气液分离的双层微通道散热装置 | |
KR20060109119A (ko) | 판형 열전달 장치 | |
Adera et al. | Capillary-limited evaporation from well-defined microstructured surfaces | |
KR20190017079A (ko) | 윅 구조물과 이를 포함하는 히트 파이프 및 그 제조 방법 | |
Dewanjee et al. | Capillary-activated scalable microporous copper microchannels for two-phase thermal management of semiconductor materials | |
Chau | Fabrication And Performance Evaluation Of An Evaporative Hollow Micropillar Module For Data Center Cooling Application |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140324 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5509318 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |