JP5508497B2 - ステージ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施例1に係るステージ装置の外観見取図である。また、図2は、図1からトップテーブルを除去した見取図である。
102 Xテーブル
103 Yテーブル
104 ベース
105 Xガイド台
106 Xガイド
107 Xサブガイド
108 Yガイド
109 Yサブガイド
110 Xモータ固定子
111 Xモータ可動子
112 Yモータ固定子
113 Yモータ可動子
114 サブテーブル
115 連結部材
300 ローラ機構
401 除振マウント
402 試料室
403 ステージ装置
404 カラム
405 磁気シールド材
Claims (1)
- ベースと、
前記ベースに対して第一の方向に案内される第一のテーブルと、
前記ベースに対して前記第一の方向に直交する第二の方向に案内される第二のテーブルと、
前記第一のテーブル上で前記第二の方向に案内されるサブテーブルと、
前記第二のテーブル上で前記第一の方向に案内されるトップテーブルと、
前記サブテーブルと前記トップテーブルを連結する連結部材と、
前記第一のテーブルを前記第一の方向に駆動する第一の駆動手段と、
前記第二のテーブルを前記第二の方向に駆動する第二の駆動手段と、を備え、
前記第一の駆動手段と前記第二の駆動手段とによって前記トップテーブルを二次元移動させることが可能なステージ装置であって、
前記第一の駆動手段は、前記第一の方向に沿って平行、かつ前記ベース上の前記第二の方向の端部近傍であって、前記第一の方向と第二の方向に直交する第三の方向から見たとき、前記トップテーブルの可動範囲に含まれるように配置されたリニアモータから構成され、
前記第二の駆動手段は、前記第二の方向に沿って平行、かつ前記ベース上の前記第一の方向の端部近傍であって、前記第三の方向から見たとき、前記トップテーブルの可動範囲に含まれるように配置されたリニアモータから構成される、
ことを特徴とするステージ装置。
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