JP5502595B2 - 球面収差補正装置および球面収差補正方法 - Google Patents
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Description
上記第1乃至第3の態様に係る球面収差補正装置において、各前記第1および第2の一対の三回対称場は、一対の静磁場、一対の静電場、若しくは一対の静磁場及び一対の静電場の重畳場のうちの何れか1つであることが好ましい。
Claims (13)
- 荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
相互に生じる三回非点収差が相殺される第1の一対の三回対称場を発生する第1の一対の多極子と、
第1の一対の多極子の後段に配置され、相互に生じる三回非点収差が相殺される第2の一対の三回対称場を発生する第2の一対の多極子と
を備え、
前記第1の一対の多極子と前記第2の一対の多極子の各六回非点収差は、光軸を中心軸として相互に30°回転していることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
相互に生じる三回非点収差が相殺される第1の一対の三回対称場を発生する第1の一対の多極子と、
第1の一対の多極子の後段に配置され、相互に生じる三回非点収差が相殺される第2の一対の三回対称場を発生する第2の一対の多極子と、
前記第1及び前記第2の一対の多極子の間に設置され、前記第1の一対の多極子と前記第2の一対の多極子の各六回非点収差が、光軸を中心軸として相互に30°回転した関係をもつように、前記第1の一対の多極子を通過した荷電粒子線を回転させる回転レンズとを備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
相互に生じる三回非点収差が相殺される第1の一対の三回対称場を発生する第1の一対の多極子と、
第1の一対の多極子の後段に配置され、相互に生じる三回非点収差が相殺される第2の一対の三回対称場を発生する第2の一対の多極子と、
前記第1及び前記第2の一対の多極子の間に設置され、前記第1の一対の多極子と前記第2の一対の多極子の各六回非点収差が、光軸を中心軸として相互に30°回転した関係をもつように、前記第1および前記第2の一対の多極子のうちの少なくとも一方を回転させる回転機構とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 請求項1乃至3の何れか一項に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、更に、隣接する前記多極子の間に設置され、その一方の多極子に形成される像と共役な像を他方の多極子に形成する一対の転送レンズを備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。
- 請求項4に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、更に、各前記多極子のうちの最も対物レンズに近い多極子と前記対物レンズとの間に設置され、前記最も対物レンズに近い多極子に形成される像と共役な像を前記対物レンズのコマフリー面に形成する一対の転送レンズを備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。
- 請求項1乃至5の何れか一項に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
各前記多極子は六極子であることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 請求項1乃至5の何れか一項に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
前記各多極子は十二極子であることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 請求項1乃至7の何れか一項に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正装置であって、
各前記第1および第2の一対の三回対称場は、一対の静磁場、一対の静電場、若しくは一対の静磁場及び一対の静電場の重畳場のうちの何れか1つであることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正装置。 - 荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
相互に生じる三回非点収差が相殺される第1の一対の三回対称場を生成する工程と、
第1の一対の多極子の後方で、相互に生じる三回非点収差が相殺される第2の一対の三回対称場を生成する工程と
を備え、
前記一対の三回対称場と前記第2の一対の三回対称場が生じる各六回非点収差は、光軸を中心軸として相互に30°回転していることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正方法。 - 荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
相互に生じる三回非点収差が相殺される第1の一対の三回対称場を生成する工程と、
前記第1の一対の三回対称場の後方で、相互に生じる三回非点収差が相殺される第2の一対の三回対称場を生成する工程と、
前記第1及び前記第2の一対の三回対称場の間に設置された回転レンズを用いて、前記第1の一対の三回対称場と前記第2の一対の三回対称場の各六回非点収差が、光軸を中心軸として相互に30°回転した関係をもつように、前記第1の一対の三回対称場を通過した荷電粒子線を回転させる工程と
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正方法。 - 請求項9または10に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、更に、隣接する前記三回対称場の間に、その一方の三回対称場に形成される像と共役な像を他方の三回対称場に形成するための場を生成する工程を備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正方法。
- 請求項11に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、更に、前記三回対称場のうちの最も対物レンズに近い三回対称場に形成される像と共役な像を前記対物レンズのコマフリー面に形成する場を、前記最も対物レンズに近い三回対称場と前記対物レンズとの間に生成する工程を備えることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正方法。
- 請求項9乃至12の何れか一項に記載の荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
各前記第1および第2の一対の三回対称場は、一対の静磁場、一対の静電場、若しくは一対の静磁場及び一対の静電場の重畳場のうちの何れか1つであることを特徴とする荷電粒子線装置の球面収差補正方法。
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