JP5500172B2

JP5500172B2 - 静電吸着構造体及びその製造方法

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Publication number: JP5500172B2
Application number: JP2011520931A
Authority: JP
Inventors: 博藤澤; 慈河合; 良昭辰己
Original assignee: 株式会社クリエイティブテクノロジー
Priority date: 2009-07-02
Filing date: 2010-06-29
Publication date: 2014-05-21
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Description

この発明は、被吸着物を電気的に吸着する静電吸着構造体、及びその製造方法に関し、詳しくは、使用時には強固な一体構造を形成すると共に、使用後には構造体の構成変更を自由に行うことができるようにした静電吸着構造体、及びその製造方法に関する。

被吸着物を電気的に吸着・保持する静電吸着構造体は、半導体基板やガラス基板を吸着・保持するのに使用され、また、紙や樹脂等のシート物を吸着・保持するのに使用されるなど、広範な用途で用いられている。静電吸着構造体は、通常、電極を上下方向からそれぞれ誘電体で挟み込み、吸着電源によって電極に電圧を印加することで、一方の誘電体の表面を吸着面として被吸着物を吸着し、用途に応じて更に、例えば半導体製造プロセス等で使用する場合には、冷却ガス等の冷媒を流す管路を備えた金属製のベースと一体に接着される。

静電吸着構造体の吸着原理については、電極と被吸着物との間で発生した静電吸着力を利用するクーロン力型や、被吸着物を載置した誘電体と被吸着物との間に発生した静電吸着力を利用するジョンソン・ラーベック力型のほか、例えば櫛歯状をした２つの電極間に電位差を生じさせて不均一な電界を形成し、この不均一電界に起因して生じる吸着力を利用するグラディエント力型が知られており、これらの吸着力を個別に利用する構造体や、複数の力を組み合わせて利用する構造体もある。そして、この吸着原理の違いや構造体の使用目的に応じて、電極を単極型にしたり双極型にするほか、誘電体の種類や特性を選択しながら静電吸着構造体が形成される。例えば、ジョンソン・ラーベック力を利用する静電吸着構造体の場合、所定の体積抵抗率を有したセラミック材料を誘電体として用いて、電極を挟むようにしてホットプレスすることで、誘電体内に電極を埋設したり、また、発塵を防ぐ目的から絶縁性のフィルムが用いられ、例えばポリイミドフィルムで電極を挟むようにして、接着フィルムや接着剤を介して熱圧着される。

更には、グラディエント力を利用する静電吸着構造体では、吸着対象の材質によらずに吸着力が発現するため、半導体基板以外のものを吸着するのに利用されている。そして、本発明者らは、これまでに、大型のガラス基板を吸着するのに適した装置を提案している（特許文献１参照）。グラディエント力は、通常、電極間の距離を狭めることで、より大きな吸着力が得られるが、その距離が近くなると電極間での放電が問題となることから、高い電圧を印加することができない。そこで、本発明者らが提案した装置では、２つの電極を上下に配置し、これらの間に電極間絶縁層（誘電体）を介装した静電吸着構造体を利用することで、電気的絶縁の信頼性を高めるようにしている。

ところが、このような静電吸着構造体では、電極間絶縁層の両面に所定の電極を形成するために、例えば導電性のインクを用いて所定の形状の電極を印刷する場合や、導電性のセラミック材料を溶射して所定の形状の電極を得る場合には、いずれも電極間絶縁層の表裏面を２度処理する必要があることから、総じて作業が繁雑になり、コストアップの原因にもなる。

一方で、静電吸着構造体は、吸着力を均一に発現させるなどの理由から、誘電体と電極とを積層しながら固着させて強固な一体構造を形成するのが通常であり、更に、金属製ベースに接着させる場合には、被吸着物への熱伝導性を担保するなどの目的から、互いに強固に接着させる。そのため、一旦形成された静電吸着構造体は、例えば、吸着面に傷が生じたり、一部で消耗が進んでも、部分的に吸着面を取り外して交換するのは難しく、再生する場合には、表面の誘電体を全て機械的に削り取り、別途誘電体を形成するなどの処理を行わなければならない。

ＷＯ２００５／０９１３５６号パンフレット

このような状況において、本発明者等は、誘電体を介して電極を上下に並べたような静電吸着構造体をより簡便に得ることができるようにすると共に、一旦形成した構造体の構成変更を自由に行うことができるようにする手段について鋭意検討した結果、誘電体の間に電極が挟み込まれたシート部材を複数重ね合わせ、それぞれのシート部材の電極間で発生する静電吸着力を利用してこれらを一体に形成することで、使用時には強固な一体構造を維持しながら被吸着物を吸着させることができると共に、使用後に電圧の印加を解除すれば、これらのシート部材間を容易に分離可能にすることができることを見出し、本発明を完成した。

したがって、本発明の目的は、使用時には強固な一体構造が維持され、使用後には構造体の構成変更を自由に行うことができる静電吸着構造体を提供することにある。

また、本発明の別の目的は、誘電体を介して電極が上下に並んだ静電吸着構造体を簡便かつ確実に得ることができ、使用後には構造体の構成変更を自由に行うことができるようにした静電吸着構造体の製造方法を提供することにある。

すなわち、本発明は、被吸着物を電気的に吸着して使用する静電吸着構造体であって、２つの誘電体の間に電極が挟み込まれた複数のシート部材と、少なくとも１つの吸着電源とを有し、複数のシート部材を積層して、吸着電源によって対向するシート部材の電極間に電圧を印加することで、対向するシート部材間を電気的に吸着固定させると共に、表面最外層にあたるシート部材と裏面最外層にあたるシート部材との両方の最外層シート部材の誘電体に被吸着物を吸着させて使用し、使用後には、電圧の印加を解除することで、積層された複数のシート部材間が互いに分離可能になるようにしたことを特徴とする静電吸着構造体である。

また、本発明は、上記静電吸着構造体を製造する方法であって、複数のシート部材を互いに位置決めしながら積層し、吸着電源によって対向するシート部材の電極間に電圧を印加することで、対向するシート部材間を電気的に吸着固定させて一体に形成し、電圧の印加を解除した後には、積層した複数のシート部材間を互いに分離できるようにすることを特徴とする静電吸着構造体の製造方法である。

本発明の静電吸着構造体は、複数のシート部材と少なくとも１つの吸着電源とを有し、複数のシート部材を積層しながら、対向するシート部材の電極間に吸着電源から電圧を印加することで、対向するシート部材の電極間で生じた静電吸着力によりシート部材同士を互いに吸着し、一体に形成される。すなわち、シート部材は、２つの誘電体の間に電極が挟み込まれたものであって、吸着電源によって電圧が印加された際に、対向したシート部材の電極間で静電吸着力を発現できるようにすると共に、積層された複数のシート部材のうち、表面側又は裏面側のそれぞれ最外層に位置するシート部材（以下、これらを「最外層シート部材」という）のいずれか一方又は両方で、誘電体を吸着面として被吸着物を吸着できるようにする。

このうち、対向したシート部材の電極間で静電吸着力を発現させるようにするためには、例えばこれらの電極間に互いに極性の異なる電圧を印加して、対向した誘電体の表面に正と負の電荷を生じさせるようにすればよく、電極の形状等については特に制限されない。

また、吸着面を形成する誘電体を備えた最外層シート部材については、これと対向するシート部材の電極との間で、吸着面側に達する吸着力を発生させるために、好適には、複数の開口部を有した電極を備えるようにして、対向するシート部材の電極との間で生じた電気力線が吸着面側に到達できるようにするのがよい。より大きな吸着力を得るために、好ましくは、開口部を有した電極を備えた最外層シート部材に対向して積層されるシート部材については、少なくとも最外層シート部材の電極の開口部に対応する位置に電極が存在するようにするのがよい。すなわち、開口部を厚み方向に投影した場合、対向するシート部材には、投影した位置に電極が存在するようにするのがよい。なお、最外層シート部材の両方が開口部を有した電極を持つ場合には、表裏両面で被吸着物を吸着する両面吸着構造体として使用することができることは勿論である。

複数の開口部を有した電極として、例えば円形等の所定の形状をした開口部を複数有したメッシュ状の電極、格子状電極、櫛歯状電極等のパターン電極を例示することができるが、これらに制限されるものではなく、また、開口部の数や大きさ、形状等については、被吸着物の種類やサイズ等に応じて適宜設計することができる。一方、被吸着物を吸着させないシート部材の電極については、複数の開口部を有した電極であってもよく、開口部を有さないような平面状電極を備えるようにしてもよい。

対向したシート部材の電極間に電圧を印加する吸着電源については、一般的な静電吸着構造体で使用されるものと同様なものを用いることができ、また、光エネルギーを電気エネルギーに変換して発電する太陽電池とこの太陽電池で発電された電力を必要な電圧まで昇圧する昇圧回路とを備えるようにしてもよい。対向したシート部材の電極間に電圧を印加する際には、対向したシート部材毎にひとつずつ吸着電源を使用するようにしてもよく、ひとつの吸着電源で全ての対向したシート部材の電極間に電圧を印加するようにしてもよい。なお、本発明では、吸着電源によって対向するシート部材の電極間に電圧を印加して、対向するシート部材間を吸着させると共に、被吸着物に対する吸着力を吸着面側にも発生させるようにするが、例えばシート部材が双極型の電極を備えるようにしてもよく、これらシート部材内の電極間に電圧を印加して、対向するシート部材間に吸着力を発現させると共に、吸着面側には被吸着物に対する吸着力を発現させるようにしてもよい。

シート部材を形成する誘電体については、その材質、製法等について特に制限されず、被吸着物の種類や静電吸着構造体の使用目的等に応じて適宜設計することができる。代表的には、ポリイミド等の絶縁性フィルムやセラミックス板のほか、アルミナ（Al₂O₃）粉末、窒化アルミニウム（AlN）粉末、ジルコニア（ZrO₂)粉末等のセラミックス粉末を溶射して形成したセラミック溶射膜等が挙げられるが、紙や樹脂製のシート物からなる展示物等を吸着させて、屋内外で使用する展示装置や大気中のごみや塵を吸着する集塵装置等に利用するような場合には、半導体製造プロセスにおけるプラズマ照射の影響等を考慮する必要がないことから、例えばポリエチレンテレフタラート（PET）、ポリエステル、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレン、セルロイド、ポリ塩化ビニル等のプラスチックフィルムや、絶縁性インクを印刷して誘電体を形成するようにしてもよい。また、誘電体の厚みについては、使用する材料や構造体の使用目的等によっても異なるが、例えば屋内外で使用する展示装置や集塵装置等に利用する場合には、ＰＥＴフィルムや絶縁性インクを用いて、それぞれ厚さ２０〜７０μｍ程度の誘電体を備えた構造体にするのが好適である。なお、電極を挟み込む２つの誘電体はそれぞれ異なる材料であってもよく、また、それぞれの誘電体を２層以上の複数層から形成するようにしてもよい。

また、シート部材を形成する電極については、その材質、製法等について特に制限されず、例えば、金属箔やスパッタ法、イオンプレーティング法等により成膜した金属を所定の形状にエッチングして得るようにしてもよく、金属材料を溶射したり、導電性インクを印刷して所定の形状を得るようにしてもよい。電極の厚みは、構造体の使用目的等によっても異なるが、一般には、５〜２０μｍ程度であるのがよい。

本発明において、積層されたシート部材は、吸着電源によってそれぞれのシート部材の電極間に電圧が印加されて互いに電気的に吸着固定されるが、積層する際に、シート部材を互いに位置決めした状態で、予め固定手段によって固定するようにしてもよい。このような固定手段としては、積層されたシート部材の各電極に電圧が印加されるまでの間、位置決めされた状態を維持することができるものであって、尚且つ、電圧の印加を解除した後には、シート部材間の分離を容易に行うことができるようなものであるのがよく、いわゆる仮留め手段であって、例えば、粘着剤が両面に塗布された両面粘着テープのようなものを好適に用いることができる。

本発明の静電吸着構造体は、使用時には、強固な一体構造を維持しながら被吸着物を吸着させることができると共に、使用後には、電圧の印加を解除することで、積層した複数のシート部材間が互いに分離可能であることから、例えば、積層したシート部材の一部を裏返して他方の誘電体を新たな吸着面として使用したり、シート部材の積層順序を変えたり、一部のシート部材のみを新しいものと交換するようなことも簡単に行うことができ、更には、積層するシート部材の数の増減を容易に行うことができるため、例えば、被吸着物の種類やサイズ等に応じて発現させる吸着力を変えることもできる。

本発明の静電吸着構造体によれば、使用時には、誘電体の両面に電極が配置された強固な一体構造が維持されて、最外層シート部材の誘電体を吸着面として被吸着物を吸着させることができ、使用後には、シート部材間を容易に分離できることから、構造体自体の構成の変更を自由に行うことができる。また、本発明の静電吸着構造体の製造方法によれば、誘電体を介して電極が上下に並んだ静電吸着構造体を簡便かつ確実に得ることができると共に、構造体自体の構成変更が自由に行える静電吸着構造体を得ることができる。

図１は、本発明の実施例１の静電チャック装置に吸着・保持手段として採用された静電吸着構造体を説明するための断面説明図である。図２は、本発明の実施例１に係る静電吸着構造体に採用した電極の平面説明図（Ａ）及び（Ｂ）である。図３は、本発明の実施例２に係る展示・掲示装置を説明するための断面説明図である。図４は、本発明の実施例２に係る静電吸着構造体に採用した電極の平面説明図（Ａ）及び（Ｂ）である。図５は、本発明の実施例２に係る静電吸着構造体を説明するための説明図である。図６は、本発明の実施例３に係る静電吸着構造体を説明するための断面説明図である。

以下、添付図面に示す実施例に基づいて、本発明の静電吸着構造体及びその製造方法の好適な実施の形態を具体的に説明する。

［実施例１］
図１及び図２において、本発明の実施例１に係る静電吸着構造体Ｘをプラズマエッチング等の半導体製造プロセスでシリコンウエハ等の半導体基板を吸着・保持する手段として利用する静電チャック装置が示されている。
この実施例１の静電チャック装置において、上記半導体基板の吸着・保持手段としての静電吸着構造体Ｘは、シート部材５及び１５と吸着電源４とを有し、冷却媒体を流す図示外の管路等を備えたアルミ製ベース７と一体に形成されて静電チャック装置を構成し、電吸着構造体Ｘにおけるシート部材５の誘電体２を吸着面として、シリコンウエハ等の半導体基板８を吸着・保持することができる。

ここで、シート部材５は、縦３２０ｍｍ×横３２０ｍｍ×厚さ５０μｍの大きさを有したポリイミドフィルムからなる誘電体１の表面に、銅を蒸着してその後に所定の形状になるようにエッチングして縦３００ｍｍ×横３００ｍｍ×厚さ３μｍの電極３を形成し、更にこの電極３を覆うように、図示外のボンディングシートを介してポリイミドフィルムを積層して、縦３２０ｍｍ×横３２０ｍｍ×厚さ５０μｍの誘電体２を形成して得られる。このうち電極３は、図２（Ａ）において平面図が示されるように、開口部3aを複数有して、電極幅ｄ_１が３ｍｍ、開口幅ｄ_２が１ｍｍの櫛歯状に形成されている。他方のシート部材１５は、図２（Ｂ）に平面図が示されるように、銅を蒸着して開口部を有さない縦３００ｍｍ×横３００ｍｍ×厚さ３μｍの平面電極１３を形成した以外は、シート部材５と同じであり、ポリイミドフィルムからなる厚さ５０μｍの誘電体１１と、同じくポリイミドフィルムからなる厚さ５０μｍの誘電体１２とを有する。

そして、静電チャック装置を形成するために、図１（Ａ）に示されるように、シート部材１５の誘電体１２側を図示外の接着シートを介してアルミ製ベース７に接着した後、誘電体１１の縁に両面粘着テープ６を貼り付け、残りのシート部材５を位置決めしながら誘電体１側を重ね合わせて固定する。また、シート部材５の電極３とシート部材１５の電極１３との間には、接続端子及びスイッチ（いずれも図示外）を介して直流電源（吸着電源）４が接続されており、電極３には＋１ｋＶ、電極１３には−１ｋＶの電圧が印加できるようになっている。

従って、この実施例１の静電チャック装置によれば、図１（Ｂ）に示されるように、電吸着構造体Ｘを構成する吸着電源４のスイッチを入れて、電極３と電極１３とに上記電圧を印加することで、シート部材５とシート部材１５との間には静電吸着力が発生して互いに吸着固定され、同時に、シート部材５の誘電体２には、開口部3aを通じて、電極３と電極１３との間で発生する電気力線が到達して吸着力が発現するため、半導体基板８を吸着することができる。

そして、静電吸着構造体Ｘに吸着させた半導体基板８をプラズマエッチングするなど所定の処理を行った後、吸着電源４のスイッチを開放して電圧の印加を解除すれば、半導体基板８を誘電体２から取り外すことができると共に、シート部材５及び１５の間に発生していた静電吸着力が消失するため、シート部材５を取り外すことも可能になる。そのため、例えば誘電体２の消耗が進んだ場合に、シート部材５のみを別のシート部材と交換すれば、静電吸着構造体Ｘを再び新品と同等に利用することができる。

［実施例２］
図３〜図５において、本発明の実施例２に係る静電吸着構造体Ｘを展示・掲示用の表示手段として利用する展示・掲示装置が示されている。
この実施例２の展示・掲示装置において、上記表示手段としての静電吸着構造体Ｘは、シート部材２５及び３５と吸着電源１４とを有し、シート部材３５の誘電体３２側を例えば壁面１０に吸着させ、シート部材２５の誘電体２２側に紙や樹脂製のシートからなる掲示物９を吸着させることができる。

ここで、シート部材２５は、縦４００ｍｍ×横６００ｍｍ×厚さ５０μｍの大きさを有したＰＥＴフィルム（誘電体）２１に、カーボンインク（十条ケミカル社製 JELCON型式CH-10）をスクリーン印刷して縦３５０ｍｍ×横５５０ｍｍ×厚さ１０μｍの電極２３を形成し、更にこの電極２３を覆うように、絶縁インク（十条ケミカル社製 JELCON型式AC-3G）をスクリーン印刷して縦４００ｍｍ×横６００ｍｍ×厚さ５０μｍの誘電体２２を形成して得られる。このうち電極２３は、図４（Ａ）において平面図が示されるように、電極幅ｄ_１が３ｍｍであり、開口幅ｄ_２が１ｍｍの複数の開口部23aを有して形成されている。他方のシート部材３５は、図４（Ｂ）に平面図が示されるように、電極３３の電極幅ｄ_１が３ｍｍ、開口幅ｄ_２が１ｍｍの複数の開口部33aを有するようにしながら、開口部33aの位置が電極２３のパターンとは異なるようにした以外は、シート部材２５と同様にして形成されている。

また、この実施例２の展示・掲示装置においては、静電吸着構造体Ｘを形成する吸着電源１４として太陽電池を利用している。図５に示されるように、この吸着電源１４は、太陽電池14aとこの太陽電池14aで発電された電力を昇圧する昇圧回路14bとを備え、また、太陽電池14aで発電された電力を蓄えてこの太陽電池14aの発電能力が一時的に停止し、あるいは、低下した際にも上記電極２３及び電極３３に電圧を印加することができるように、エネルギー容量２００ｍＷｈの大容量コンデンサー14cが設けられており、更に、その昇圧回路14bに、電極２３及び３３への電圧の印加をオン・オフする電源スイッチ14dが設けられている。

なお、この実施例２の展示・掲示装置においては、静電吸着構造体Ｘを構成するシート部材２５及び３５と吸着電源１４とが一体的に形成されるようにしているが、各シート部材の電極２３及び電極３３に対して電圧が印加されるように結線されていればよく、これらを比較的長い接続ケーブルで接続し、吸着電源１４については太陽電池14aによる発電に都合のよい場所に設置するようにしてもよい。

そして、展示・掲示装置を形成するために、例えば両面粘着テープ（図示外）で固定しながら、シート部材２５のＰＥＴフィルム２１とシート部材３５のＰＥＴフィルム３１とを重ね合わせて位置決めする。この際、シート部材３５は、シート部材２５を形成する電極２３の開口部23aに対応する位置に電極が存在するように位置決めされると共に、シート部材２５は、シート部材３５を形成する電極３３の開口部33aに対応する位置に電極が存在するように位置決めする。すなわち、図３に示されるように、それぞれの電極の開口部を含むような断面で見た場合に、電極２３及び３３は、いずれも幅１ｍｍの隙間を有して、対向するシート部材のＰＥＴフィルム２１及び３１を介して、一方の電極の隙間に対応する部分を他方の電極が塞ぐように形成され、図３中に矢印ｉで表すように、シート部材２５の電極２３における開口部23aを厚み方向に投影した位置には、シート部材３５の電極３３が存在し、かつ、同じく矢印iiで表すように、シート部材３５の電極３３における開口部33aを厚み方向に投影した位置には、シート部材２５の電極２３が存在するように位置決めされている。なお、矢印iiiで示したように、電極２３と電極３３の厚み方向の重なり部分は両端とも１ｍｍとなるようにしている。

従って、この実施例２の展示・掲示装置によれば、先ず、電源スイッチ14dがオフの状態で、重ね合わせたシート部材２５とシート部材３５の誘電体３２側を所定の壁面１０に位置決めして配置し、この状態で電源スイッチ14dをオンして、電極２３及び３３の間に電圧を印加してシート部材２５とシート部材３５とを電気的に吸着固定させると共に、壁面１０に静電吸着構造体Ｘを吸着固定させ、更に、シート部材２５の誘電体２２の表面に掲示物９を貼り付けて掲示する。

そして、例えば所定の期間に亘って屋外で掲示物９を掲示し、シート部材２５の誘電体２２の表面が汚れたりした場合には、電源スイッチ14dをオフして、一旦、掲示物９を取り外すと共に壁面１０から静電吸着構造体Ｘを取り外して、例えば、静電吸着構造体Ｘを裏返して、シート部材２５の誘電体２２側を壁面１０に向け、シート部材３５の誘電体３２に掲示物９を貼り付けて使用するようにしてもよい。或いは、シート部材２５のみを裏返してＰＥＴフィルム２１側が掲示物の吸着面となるように、シート部材２５の誘電体２２とシート部材３５のＰＥＴフィルム３１とを対向させて静電吸着構造体Ｘを形成するようにしてもよい。

［実施例３］
図６において、上記実施例２で利用した静電吸着構造体Ｘの変形例が示されている。この実施例３に係る静電吸着構造体Ｘは、実施例２における静電吸着構造体Ｘを形成したシート部材２５を２枚利用し、更にこれらの間に、シート部材４５を介装するようにして、３枚のシート部材を積層して形成される。このうちシート部材４５は、開口部を形成せずに、全面が電極となるようにした縦３５０ｍｍ×横５５０ｍｍ×厚さ１０μｍの電極４３を備えるようにした以外は、シート部材２５と同様にして形成されている。また、この実施例３に係る静電吸着構造体Ｘでは、吸着電源１４を２つ使用して、対向したシート部材の電極間に電圧を印加するようにした以外は実施例２と同様にして形成される。

そして、この実施例３に係る静電吸着構造体Ｘでは、実施例２の場合と比べて、それぞれ対向するシート部材間で発生する吸着力をより大きくすることができることから、例えば静電吸着構造体Ｘ自体を大きくしてより大きな掲示物等を吸着させたり、用途や使用目的等を変えてより多彩に利用することができる。

なお、上記実施例１〜３で説明した本発明の静電吸着構造体Ｘは、それぞれにおいて説明した装置以外の用途に利用できることは勿論であり、基板搬送装置のような半導体製造プロセスや液晶製造分野等における更なる別の用途のほか、例えば空気中の塵やほこりを集塵したり、ウイルスや病原性バクテリアなどを滅菌、除菌したりする空気清浄装置として利用することができ、また、水や液体中で使用して液中の金属等を回収する装置や、各種作業現場で発生した切削屑などを取り除く切子除去装置などにも利用することができる。

１，２，１１，１２：誘電体
３，１３，２３，３３，４３：電極
3a，23a，33a：開口部
４，１４：吸着電源
14a：太陽電池
14b：昇圧回路
14c：大容量コンデンサー
14d：電源スイッチ
５，１５，２５，３５，４５：シート部材
６：両面粘着テープ
７：金属製ベース
８：半導体基板
９：掲示物
１０：壁面
Ｘ：静電吸着構造体

Claims

被吸着物を電気的に吸着して使用する静電吸着構造体であって、
２つの誘電体の間に電極が挟み込まれた複数のシート部材と、少なくとも１つの吸着電源とを有し、複数のシート部材を積層して、吸着電源によって対向するシート部材の電極間に電圧を印加することで、対向するシート部材間を電気的に吸着固定させると共に、表面最外層にあたるシート部材と裏面最外層にあたるシート部材との両方の最外層シート部材の誘電体に被吸着物を吸着させて使用し、使用後には、電圧の印加を解除することで、積層された複数のシート部材間が互いに分離可能になるようにしたことを特徴とする静電吸着構造体。
最外層シート部材の両方が、複数の開口部を有した電極を備えており、開口部を有した電極を持つ最外層シート部材に対向して積層されるシート部材は、少なくとも開口部に対応する位置に電極が存在するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の静電吸着構造体。
複数のシート部材が互いに位置決めされた状態で、固定手段によって固定されている請求項１又は２に記載の静電吸着構造体。
絶縁性フィルムに導電性インクを印刷して所定の電極を形成し、この電極を覆うように絶縁性インクを印刷することによって得られたシート部材を複数積層してなる請求項１又は２に記載の静電吸着構造体。
絶縁性フィルムからなる誘電体に導電性インクを印刷して複数の開口部を有した電極を形成し、この電極を覆うように絶縁性インクを印刷して誘電体を形成した２枚のシート部材を重ね合わせ、表裏面両方の誘電体に被吸着物を吸着させて使用することができる請求項４に記載の静電吸着構造体。
絶縁性フィルムからなる誘電体の厚さが２０〜７０μｍであり、絶縁性インクからなる誘電体の膜厚が２０〜７０μｍであり、導電性インクからなる電極の膜厚が５〜２０μｍである請求項５に記載の静電吸着構造体。
請求項１〜６のいずれかに記載の静電吸着構造体を製造する方法であって、
複数のシート部材を互いに位置決めしながら積層し、吸着電源によって対向するシート部材の電極間に電圧を印加することで、対向するシート部材間を電気的に吸着固定させて一体に形成し、電圧の印加を解除した後には、積層した複数のシート部材間を互いに分離できるようにすることを特徴とする静電吸着構造体の製造方法。