JP5483919B2 - Conductor coating equipment - Google Patents

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Description

本発明は、繊維集合体の表面に導電体を被覆する導電体被覆装置に関する。   The present invention relates to a conductor coating apparatus that coats a conductor on the surface of a fiber assembly.

ポリマー繊維の表面に導電体を蒸着させて、導電体被覆繊維を製造することが知られている（特許文献１参照）。特許文献１によれば、この導電体被覆繊維は、豪華な外観、各種の物理的性質（導電性、静電抵抗、化学的抵抗、熱反射性、熱放射性、光学的反射性）、望ましい柔軟性、弾性、柔らかさ及びドレープを有する。   It is known to produce a conductor-coated fiber by depositing a conductor on the surface of a polymer fiber (see Patent Document 1). According to Patent Document 1, this conductor coated fiber has a luxurious appearance, various physical properties (conductivity, electrostatic resistance, chemical resistance, heat reflectivity, heat radiation, optical reflectivity), desirable flexibility Has elasticity, elasticity, softness and drape.

特許文献１に記載の導電体被覆繊維は、図１５に示す導電体被覆装置９１０を用いて次のように製造される。圧力が約１０−６〜約１０−４ｍｍＨｇである真空チェンバー９１２の内部で、供給ロール９１４が図１５の矢印の方向に回転し、ポリマー繊維であるエラストマー生地９１６が二つのスタックローラー９２０，９２２からなるＳ字型ロール機構９１８方向に進む。 The conductor coated fiber described in Patent Document 1 is manufactured as follows using a conductor coating apparatus 910 shown in FIG. Inside the vacuum chamber 912 having a pressure of about 10 −6 to about 10 −4 mmHg, the supply roll 914 rotates in the direction of the arrow in FIG. Proceed in the direction of the S-shaped roll mechanism 918.

そして、エラストマー生地９１６は、Ｓ字型ロール機構９１８の隙間を通過した後、アイドルローラ９２４を通過し、チルロール９２６に接触する。エラストマー生地９１６がチルロール９２６に接触している間、エラストマー生地９１６は溶融金属槽９３０から発散する金属蒸気９２８にさらされる。金属蒸気９２８はエラストマー生地９１６上で凝縮され、繊維表面に金属が被覆され導電体被覆繊維であるエラストマー金属化生地９３２が形成される。   The elastomer fabric 916 passes through the gap between the S-shaped roll mechanisms 918, then passes through the idle roller 924, and contacts the chill roll 926. While the elastomeric fabric 916 is in contact with the chill roll 926, the elastomeric fabric 916 is exposed to metal vapor 928 emanating from the molten metal bath 930. The metal vapor 928 is condensed on the elastomeric fabric 916, and the metal is coated on the fiber surface to form an elastomer metallized fabric 932 that is a conductor coated fiber.

その後、エラストマー金属化生地９３２は、アイドルローラ９３４を通過し、さらに二つの駆動ローラ９３８，９４０からなる駆動ローラ機構９３６の隙間を通過した後、巻取ロール９４２に巻き取られる。   Thereafter, the elastomer metallized fabric 932 passes through the idle roller 934, and further passes through a gap between the drive roller mechanisms 936 including the two drive rollers 938 and 940, and is then taken up by the take-up roll 942.

特開平６−１０２６２号公報JP-A-6-10262

特許文献１に記載の導電体被覆方法は、一方のシート面のみから繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆するため、導電体を均一に被覆しにくい上、導電体が被覆されていない繊維表面部分が生じてしまう。   In the conductor coating method described in Patent Document 1, since the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly from only one sheet surface, it is difficult to uniformly coat the conductor, and the fiber is not coated with the conductor. A surface portion is generated.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、繊維の周囲に導電体が均一に被覆できると共に、導電体が被覆されていない繊維表面の割合を極めて低くした導電体被覆繊維が得られる導電体被覆装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and a conductor-coated fiber is obtained in which the conductor can be uniformly coated around the fiber and the ratio of the fiber surface not coated with the conductor is extremely low. It is an object of the present invention to provide a conductor coating apparatus.

（１）本発明の導電体被覆装置は、処理室内で繰り出し機構から繰り出されたシートが巻き取り機構で巻き取られるまでの間に、両方のシート面からシートに含まれる繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する導電体被覆装置であって、一方のシート面から繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第１導電体被覆室と、前記一方のシート面と異なる他のシート面から、前記第１導電体被覆室で得られた導電体被覆繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第２導電体被覆室とを有することを特徴とする。   (1) In the conductor coating apparatus of the present invention, the fiber surface of the fiber assembly included in the sheet from both sheet surfaces until the sheet fed from the feeding mechanism in the processing chamber is wound by the winding mechanism. A first conductor covering chamber for covering a conductor on a fiber surface of a fiber assembly from one sheet surface, and another sheet surface different from the one sheet surface. And a second conductor coating chamber for coating the conductor on the fiber surface of the conductor-coated fiber assembly obtained in the first conductor coating chamber.

（２）本発明の導電体被覆装置において、前記シートは繊維集合体から構成されていてもよい。
（３）本発明の導電体被覆装置において、前記シートは、基材と、この基材表面に形成された繊維集合体とを有し、前記繰り出し機構と前記第１導電体被覆室との間に、前記繊維集合体から前記基材を剥離する剥離機構と、前記剥離機構で剥離された基材を巻き取る基材巻き取り機構とを有していてもよい。 (2) In the conductor coating apparatus of the present invention, the sheet may be composed of a fiber assembly.
(3) In the conductor coating apparatus according to the present invention, the sheet includes a base material and a fiber assembly formed on the surface of the base material, and is between the feeding mechanism and the first conductor coating chamber. Furthermore, a peeling mechanism for peeling the base material from the fiber assembly and a base material winding mechanism for winding the base material peeled by the peeling mechanism may be provided.

（４）本発明の導電体被覆装置において、前記シートは、基材と、この基材表面に形成された繊維集合体とを有し、前記第１導電体被覆室と前記第２導電体被覆室との間に、前記第１導電体被覆室から搬出された導電体被覆繊維集合体から前記基材を剥離する剥離機構と、前記剥離機構で剥離された基材を巻き取る基材巻き取り機構とを有していてもよい。   (4) In the conductor coating apparatus of the present invention, the sheet includes a base material and a fiber assembly formed on the surface of the base material, and the first conductor coating chamber and the second conductor coating. A peeling mechanism for peeling the base material from the conductor-coated fiber assembly transported from the first conductor coating chamber, and a base material winding for winding the base material peeled by the peeling mechanism And a mechanism.

（５）本発明の導電体被覆装置において、前記第２導電体被覆室と前記巻き取り機構との間に、基材を繰り出す基材繰り出し機構と、前記基材繰り出し機構から繰り出された基材を前記第２導電体被覆室から搬出された導電体被覆繊維集合体に接合する基材接合機構とを有していてもよい。   (5) In the conductor coating apparatus of the present invention, a substrate feeding mechanism for feeding a substrate between the second conductor coating chamber and the winding mechanism, and a substrate fed from the substrate feeding mechanism. And a base material joining mechanism for joining the conductor-coated fiber assembly carried out from the second conductor coating chamber.

（６）本発明の導電体被覆装置において、前記第１導電体被覆室と前記第２導電体被覆室との間に、シートを進行させながらねじることによってシート面を反転させる反転機構を有していてもよい。
（７）本発明の導電体被覆装置において、前記処理室内を減圧状態に保持する減圧手段をさらに有していてもよい。 (6) The conductor coating apparatus according to the present invention has a reversing mechanism for reversing the sheet surface by twisting the sheet while moving between the first conductor coating chamber and the second conductor coating chamber. It may be.
(7) The conductor coating apparatus of the present invention may further include a decompression unit that maintains the processing chamber in a decompressed state.

なお本発明において、例えば、「第１導電体被覆室と第２導電体被覆室との間」とは、シートの進行順序に沿って、第１導電体被覆室から第２導電体被覆室までにシートが通過する地点を意味する   In the present invention, for example, “between the first conductor coating chamber and the second conductor coating chamber” means from the first conductor coating chamber to the second conductor coating chamber in the order of sheet travel. Means the point where the sheet passes

本発明の導電体被覆装置によれば、繊維の周囲に導電体が均一に被覆できると共に、導電体が被覆されていない繊維表面の割合を極めて低くすることができる。   According to the conductor coating apparatus of the present invention, the conductor can be uniformly coated around the fiber, and the ratio of the fiber surface not coated with the conductor can be extremely reduced.

実施形態１に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the first embodiment. 実施形態１における導電体被覆繊維集合体の製造工程を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly in Embodiment 1. FIG. 実施形態１で用いるエレクトロスピニング装置の断面模式的図である。1 is a schematic cross-sectional view of an electrospinning apparatus used in Embodiment 1. FIG. 実施形態２に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the second embodiment. 実施形態２における導電体被覆繊維集合体の製造工程を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly in Embodiment 2. 実施形態３に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the third embodiment. 実施形態３における導電体被覆繊維集合体積層シートの製造工程を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly laminated sheet in Embodiment 3. 実施形態４に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the fourth embodiment. 実施形態４における導電体被覆繊維集合体積層シートの製造工程を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly laminated sheet in Embodiment 4. 実施形態５に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the fifth embodiment. 実施形態６に係る導電体被覆装置を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the conductor coating | coated apparatus which concerns on Embodiment 6. FIG. 実施形態７に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the seventh embodiment. 実施形態８に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the eighth embodiment. 実施形態９に係る導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the conductor coating apparatus according to the ninth embodiment. 従来の導電体被覆装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a conventional conductor coating apparatus.

以下、本発明の各実施形態に係る導電体被覆装置について、図面を参照しながら説明する。なお、重複説明は適宜省略する。   Hereinafter, the conductor coating apparatus according to each embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, duplication description is abbreviate | omitted suitably.

［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る導電体被覆装置１００の断面模式図である。導電体被覆装置１００は、繰り出し機構である繰り出し側ロール１０２と、送りローラ１３２,１３４からなる送りローラ機構１３０と、送りローラ１０４と、冷却ローラ１０６ａと、第１導電体被覆室である真空蒸着室１１０と、真空蒸着ユニット１１２と、遮蔽板１１６と、冷却ローラ１０６ｂと、第２導電体被覆室である真空蒸着室１２０と、真空蒸着ユニット１２２と、遮蔽板１２６と、送りローラ１４２,１４４からなる送りローラ機構１４０と、巻き取り機構である巻き取り側ロール１０８とを処理室内に備える。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment. The conductor coating apparatus 100 includes a feeding-side roll 102 serving as a feeding mechanism, a feeding roller mechanism 130 including feeding rollers 132 and 134, a feeding roller 104, a cooling roller 106a, and vacuum deposition serving as a first conductor coating chamber. Chamber 110, vacuum deposition unit 112, shielding plate 116, cooling roller 106 b, vacuum deposition chamber 120 as a second conductor coating chamber, vacuum deposition unit 122, shielding plate 126, and feed rollers 142 and 144. A feed roller mechanism 140 and a take-up roll 108 that is a take-up mechanism are provided in the processing chamber.

導電体被覆装置１００を用いた以下の工程によって、両方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４が得られる。まず、排気ポンプ等の減圧手段（不図示）によって減圧状態に保持された処理室内で、シート状の繊維集合体１０が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２を矢印方向に回転させて、繊維集合体１０が送りローラ機構１３０の方向に進む。つぎに、繊維集合体１０は、送りローラ１３２,１３４の間を通過し、送りローラ１０４を経由して、冷却ローラ１０６ａに密着した状態で減圧雰囲気の真空蒸着室１１０内に進む。なお、真空蒸着室１１０内は、排気ポンプ等の減圧手段（不図示）によって、真空蒸着室１１０の外側周辺より圧力が低くなっている。   By the following steps using the conductor coating apparatus 100, the conductor coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from both sheet surfaces is obtained. First, in a processing chamber held in a reduced pressure state by a pressure reducing means (not shown) such as an exhaust pump, a feeding-side roll 102 around which a sheet-like fiber assembly 10 is wound is rotated in the direction of an arrow, thereby the fiber assembly 10. Advances in the direction of the feed roller mechanism 130. Next, the fiber assembly 10 passes between the feed rollers 132 and 134 and proceeds to the vacuum deposition chamber 110 in a reduced pressure atmosphere through the feed roller 104 and in close contact with the cooling roller 106a. Note that the pressure inside the vacuum deposition chamber 110 is lower than that around the outside of the vacuum deposition chamber 110 by decompression means (not shown) such as an exhaust pump.

真空蒸着室１１０では、加熱された真空蒸着ユニット１１２から蒸発した導電体の蒸気である金属蒸気１１４に繊維集合体１０がさらされ、金属蒸気１１４は繊維集合体１０の繊維表面で冷却されて金属被膜となる。なお、遮蔽板１１６が金属蒸気１１４を遮ることによって、繊維集合体１０の所望の個所が金属蒸気１１４にさらされるようになっている。   In the vacuum deposition chamber 110, the fiber assembly 10 is exposed to the metal vapor 114, which is a vapor of the conductor evaporated from the heated vacuum deposition unit 112, and the metal vapor 114 is cooled on the fiber surface of the fiber assembly 10 to be metal. It becomes a film. The shielding plate 116 shields the metal vapor 114 so that a desired portion of the fiber assembly 10 is exposed to the metal vapor 114.

本実施形態及び後述する各実施形態で用いられる導電体としては、金属からなる導電体及びカーボンからなる導電体が挙げられる。金属としては、例えば、アルミニウム、銅、すず、亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、シリコン、鉛、モリブデン、鉄、金、銀、白金、パラジウム、銅系合金、アルミニウム系合金、チタニウム系合金及び鉄系合金など各種の金属が挙げられる。   Examples of the conductor used in this embodiment and each embodiment described later include a conductor made of metal and a conductor made of carbon. Examples of metals include aluminum, copper, tin, zinc, nickel, chromium, titanium, silicon, lead, molybdenum, iron, gold, silver, platinum, palladium, copper alloys, aluminum alloys, titanium alloys, and iron alloys. Various metals such as alloys can be mentioned.

導電体は、導電体被覆繊維集合体１４に用途に応じて最適なものを選択すればよい。例えば、導電体被覆繊維集合体１４の用途が保温材の場合には、銀、銅、アルミニウムなどを好適に用いることができ、用途が電磁波吸収シールド材の場合には、金、白金、銀、銅、ニッケルなどを好適に用いることができ、用途が電磁波吸収材の場合には、カーボン、アルミニウムなどを好適に用いることができる。   What is necessary is just to select an optimal conductor for the conductor covering fiber assembly 14 according to a use. For example, when the use of the conductor-coated fiber assembly 14 is a heat insulating material, silver, copper, aluminum, or the like can be suitably used. When the use is an electromagnetic wave absorbing shield material, gold, platinum, silver, Copper, nickel, etc. can be used suitably, and when a use is an electromagnetic wave absorber, carbon, aluminum, etc. can be used suitably.

こうして、一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２が得られる。なお、本実施形態では、真空蒸着室１１０内で真空蒸着ユニット１１２を加熱することにより金属蒸気１１４を発生させるが、金属の種類に応じて、この金属に電子ビームを照射することにより金属蒸気１１４を発生させてもよいし、真空蒸着室１１０内の減圧雰囲気によって金属蒸気１１４を発生させてもよい。   In this way, the conductor-coated fiber assembly 12 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from one sheet surface is obtained. In the present embodiment, the metal vapor 114 is generated by heating the vacuum vapor deposition unit 112 in the vacuum vapor deposition chamber 110. Depending on the type of metal, the metal vapor 114 is irradiated by irradiating the metal with an electron beam. May be generated, or the metal vapor 114 may be generated in a vacuum atmosphere in the vacuum deposition chamber 110.

導電体被覆繊維集合体１２は、冷却ローラ１０６ａを通過した後、真空蒸着室１１０から搬出されて、送りローラ１０４，１０４を経由し、冷却ローラ１０６ｂに密着した状態で真空蒸着室１２０内に進む。 After passing through the cooling roller 106a, the conductor-coated fiber assembly 12 is unloaded from the vacuum deposition chamber 110, passes through the feed rollers 104 and 104, and proceeds into the vacuum deposition chamber 120 in close contact with the cooling roller 106b. .

真空蒸着室１２０内は、排気ポンプ等の減圧手段（不図示）によって、真空蒸着室１２０の外側周辺より圧力が低くなっている。また、冷却ローラ１０６ｂに密着している導電体被覆繊維集合体１２のシート面は、真空蒸着室１１０において繊維集合体１０を金属蒸気１１４にさらした方のシート面である。 The pressure inside the vacuum deposition chamber 120 is lower than that around the outside of the vacuum deposition chamber 120 by decompression means (not shown) such as an exhaust pump. The sheet surface of the conductor-coated fiber assembly 12 that is in close contact with the cooling roller 106 b is the sheet surface that is exposed to the metal vapor 114 in the vacuum deposition chamber 110.

真空蒸着室１２０では、真空蒸着ユニット１２２から蒸発した金属蒸気１２４に導電体被覆繊維集合体１２がさらされ、金属蒸気１２４は導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面で冷却されて金属被膜となる。なお、遮蔽板１２６が金属蒸気１２４を遮ることによって、導電体被覆繊維集合体１２の所望の個所が金属蒸気１２４にさらされるようになっている。   In the vacuum deposition chamber 120, the conductor-coated fiber assembly 12 is exposed to the metal vapor 124 evaporated from the vacuum deposition unit 122, and the metal vapor 124 is cooled on the fiber surface of the conductor-coated fiber assembly 12 to form a metal film. . The shielding plate 126 blocks the metal vapor 124 so that a desired portion of the conductor-coated fiber assembly 12 is exposed to the metal vapor 124.

こうして、両方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４が得られる。その後、導電体被覆繊維集合体１４は、真空蒸着室１２０から搬出されて、送りローラ１０４を経由し、送りローラ１４２,１４４の間を通過して巻き取り機構である巻き取り側ロール１０８に巻き取られる。   Thus, the conductor-coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from both sheet surfaces is obtained. Thereafter, the conductor-coated fiber assembly 14 is unloaded from the vacuum deposition chamber 120, passes through the feed roller 104, passes between the feed rollers 142 and 144, and is wound around the winding-side roll 108 serving as a winding mechanism. Taken.

本実施形態では処理室内が減圧状態に保持されており、真空蒸着室１１０から真空蒸着室１２０に導電体被覆繊維集合体１２が搬送される過程で、繊維表面に被覆された導電体が空気に触れない。したがって、真空蒸着室１１０で繊維表面に被覆される導電体層と真空蒸着室１２０で繊維表面に被覆される導電体層との界面の劣化、例えば酸化等が抑えられる。このため、本実施形態では、繊維表面に高品質の導電体被覆が形成できる。   In the present embodiment, the processing chamber is held in a reduced pressure state, and the conductor coated on the fiber surface becomes air in the process of transporting the conductor-coated fiber assembly 12 from the vacuum deposition chamber 110 to the vacuum deposition chamber 120. can not touch. Therefore, deterioration of the interface between the conductor layer coated on the fiber surface in the vacuum deposition chamber 110 and the conductor layer coated on the fiber surface in the vacuum deposition chamber 120, such as oxidation, can be suppressed. For this reason, in this embodiment, a high quality conductor coating can be formed on the fiber surface.

なお、導電体被覆装置１００において、繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２，１４が進行するのは、繰り出し側ロール１０２、送りローラ１０４，１３２，１３４，１４２，１４４、冷却ローラ１０６ａ，１０６ｂ、及び巻き取り側ロール１０８の中から選択される少なくとも１つの部材が駆動しているからである。導電体被覆条件等に応じて、駆動させる部材を適宜決定すればよい。   In the conductor coating apparatus 100, the fiber assembly 10 and the conductor-coated fiber assemblies 12 and 14 travel through the feeding-side roll 102, the feed rollers 104, 132, 134, 142, 144, the cooling roller 106a, This is because at least one member selected from 106b and the winding-side roll 108 is driven. What is necessary is just to determine the member to drive according to conductor covering conditions etc. suitably.

図２は、本実施形態における導電体被覆繊維集合体の製造工程を説明するために示す図である。図２（ａ）は、導電体で被覆される前の繊維集合体１０を示し、図２（ｂ）は、一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２を示し、図２（ｃ）は、上記一方のシート面とは異なる他方のシート面から導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４を示す。このように、両方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体を被覆することによって、繊維の周囲に導電体を均一に被覆できると共に、導電体が被覆されていない繊維表面の割合を極めて低くすることができる。   FIG. 2 is a view for explaining the production process of the conductor-coated fiber assembly in the present embodiment. 2A shows the fiber assembly 10 before being coated with the conductor, and FIG. 2B is a conductor in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from one sheet surface. FIG. 2 (c) shows the coated fiber assembly 12, and the conductor coated fiber assembly in which the conductor is coated on the fiber surface of the conductor coated fiber assembly 12 from the other sheet surface different from the one sheet surface. The body 14 is shown. Thus, by covering the fiber surface of the fiber assembly 10 with the conductor from both sheet surfaces, the conductor can be uniformly coated around the fiber, and the ratio of the fiber surface not coated with the conductor can be determined. Can be very low.

図３は、導電体被覆繊維集合体１４の材料である繊維集合体１０の製造工程に用いるエレクトロスピニング装置２００の断面模式的図である。繊維集合体１０は、エレクトロスピニング法により、可撓性基材１６の一方のシート面に繊維集合体１０の層を形成することによって製造される。ここで、可撓性基材１６は、例えば、ポリエステル繊維の不織布からなる。可撓性基材１６への繊維集合体１０の形成は、以下の工程によって行われる。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an electrospinning apparatus 200 used in the manufacturing process of the fiber assembly 10 that is a material of the conductor-coated fiber assembly 14. The fiber assembly 10 is manufactured by forming a layer of the fiber assembly 10 on one sheet surface of the flexible substrate 16 by an electrospinning method. Here, the flexible base material 16 consists of a nonwoven fabric of a polyester fiber, for example. Formation of the fiber assembly 10 on the flexible substrate 16 is performed by the following steps.

まず、繊維集合体１０の原料である樹脂を、溶媒に溶解した状態で樹脂原料タンク２２０に供給する。繊維集合体１０の原料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリウレタン（ＰＵＲ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリカプロラクトン（ＰＣＬ）、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、ポリ乳酸グリコール酸（ＰＬＧＡ）など各種の原料が挙げられる。導電体被覆繊維集合体１４の用途に応じて好適なものを選択すればよい。   First, the resin that is the raw material of the fiber assembly 10 is supplied to the resin raw material tank 220 in a state of being dissolved in a solvent. Examples of the raw material for the fiber assembly 10 include polyethylene (PE), polypropylene (PP), polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene naphthalate (PEN), polyamide (PA), and polyurethane (PUR). , Polyvinyl alcohol (PVA), polyacrylonitrile (PAN), polyetherimide (PEI), polycaprolactone (PCL), polylactic acid (PLA), and polylactic acid glycolic acid (PLGA). What is necessary is just to select a suitable thing according to the use of the conductor covering fiber assembly 14. FIG.

つぎに、可撓性基材１６が巻き付けられた繰り出し側ロール２０２から、可撓性基材１６を繰り出す。そして、可撓性基材１６が送りローラ２０４を経由して対向電極２２６上を通過するときに、高圧電源２２８によってノズル２２４と対向電極２２６の間に高圧電圧が印加された状態でバルブ２２２を開いて、ノズル２２４から樹脂原料液体２３０を可撓性基材１６に向けて飛ばす。ノズル２２４から飛び出た樹脂原料液体２３０は、可撓性基材１６上でシート状の繊維集合体１０となる。   Next, the flexible base material 16 is fed out from the feeding-side roll 202 around which the flexible base material 16 is wound. When the flexible substrate 16 passes over the counter electrode 226 via the feed roller 204, the valve 222 is set while a high voltage is applied between the nozzle 224 and the counter electrode 226 by the high voltage power source 228. The resin raw material liquid 230 is blown from the nozzle 224 toward the flexible substrate 16. The resin raw material liquid 230 jumping out from the nozzle 224 becomes a sheet-like fiber assembly 10 on the flexible substrate 16.

溶媒は樹脂原料液体２３０がノズル２２４から可撓性基材１６に向かう途中で蒸発する。また、ヒータ（不図示）によって対向電極２２６が加熱されており、仮に繊維集合体１０中に溶媒が残存したとしても、この溶媒はヒータからの熱によって蒸発する。こうして、可撓性基材１６と繊維集合体１０の層からなる繊維集合体積層シート１８が得られる。繊維集合体１０の層の厚さは、例えば、３０μｍ〜５００μｍである。繊維集合体１０を構成する繊維の平均直径は、例えば、５０ｎｍ〜８００ｎｍである。その後、繊維集合体積層シート１８は、送りローラ２０４を経由して巻き取り側ロール２０８に巻き取られる。   The solvent evaporates in the middle of the resin raw material liquid 230 from the nozzle 224 toward the flexible substrate 16. Further, even if the counter electrode 226 is heated by a heater (not shown) and the solvent remains in the fiber assembly 10, the solvent evaporates due to heat from the heater. In this way, a fiber assembly laminated sheet 18 composed of layers of the flexible substrate 16 and the fiber assembly 10 is obtained. The layer thickness of the fiber assembly 10 is, for example, 30 μm to 500 μm. The average diameter of the fibers constituting the fiber assembly 10 is, for example, 50 nm to 800 nm. Thereafter, the fiber assembly laminated sheet 18 is wound around the winding-side roll 208 via the feed roller 204.

［実施形態２］
図４は、実施形態２に係る導電体被覆装置１００ａの断面模式図である。実施形態１に係る導電体被覆装置１００では、繊維集合体１０が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２を用いるが、本実施形態に係る導電体被覆装置１００ａでは、繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２を用いる。つまり、導電体被覆装置１００では、エレクトロスピニング装置２００で製造された繊維集合体積層シート１８から可撓性基材１６を剥離し、得られた繊維集合体１０が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２を用いるが、導電体被覆装置１００ａでは、エレクトロスピニング装置２００で製造された繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた巻き取り側ロール２０８を繰り出し側ロール１０２としてそのまま使用する。 [Embodiment 2]
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the conductor coating apparatus 100a according to the second embodiment. In the conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment, the feeding-side roll 102 around which the fiber assembly 10 is wound is used, but in the conductor coating apparatus 100a according to the present embodiment, the fiber assembly laminated sheet 18 is wound. The feeding side roll 102 is used. That is, in the conductor coating device 100, the flexible substrate 16 is peeled from the fiber assembly laminated sheet 18 manufactured by the electrospinning device 200, and the feeding-side roll 102 around which the obtained fiber assembly 10 is wound is provided. However, in the conductor coating apparatus 100 a, the winding side roll 208 around which the fiber assembly laminated sheet 18 manufactured by the electrospinning apparatus 200 is wound is used as it is as the feeding side roll 102.

導電体被覆装置１００ａを用いた導電体被覆繊維集合体１４の製造方法は、以下の工程によって行われる。まず、繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２が矢印方向に回転すると、繊維集合体積層シート１８は、送りローラ１０４，１０４の間を通過しながら、金属刃等の剥離機構（不図示）によって可撓性基材１６と繊維集合体１０に分離される。その後、可撓性基材１６は、送りローラ１０４を経由して基材巻き取り機構である巻き取り側ロール１５０に巻き取られる。   The manufacturing method of the conductor covering fiber assembly 14 using the conductor covering apparatus 100a is performed by the following steps. First, when the feeding-side roll 102 around which the fiber assembly laminated sheet 18 is wound rotates in the direction of the arrow, the fiber assembly laminated sheet 18 passes through between the feed rollers 104 and 104, and a peeling mechanism such as a metal blade ( The flexible substrate 16 and the fiber assembly 10 are separated by an unillustrated). Thereafter, the flexible base material 16 is taken up by a take-up roll 150 that is a base material take-up mechanism via the feed roller 104.

一方、繊維集合体１０は、送りローラ機構１３０に進む。その後は、実施形態１と同様な工程を経て、両方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４が製造される。実施形態１では、繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた巻き取り側ロール２０８から繊維集合体積層シート１８を引き出して、繊維集合体積層シート１８から可撓性基材１６を剥離した後、再び繊維集合体１０を巻き付けて繰り出し側ロール１０２を準備するのに対して、本実施形態では、繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた巻き取り側ロール２０８を繰り出し側ロール１０２としてそのまま使用できるため、導電体被覆繊維集合体１４の製造工程数を減らすことができる。   On the other hand, the fiber assembly 10 proceeds to the feed roller mechanism 130. Thereafter, through the same process as in the first embodiment, the conductor-coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from both sheet surfaces is manufactured. In Embodiment 1, after pulling out the fiber assembly lamination sheet 18 from the winding side roll 208 around which the fiber assembly lamination sheet 18 is wound, and peeling the flexible base material 16 from the fiber assembly lamination sheet 18, again. Whereas the fiber assembly 10 is wound to prepare the feeding-side roll 102, in this embodiment, the winding-side roll 208 around which the fiber assembly laminated sheet 18 is wound can be used as it is as the feeding-side roll 102. The number of manufacturing steps of the conductor-coated fiber assembly 14 can be reduced.

図５は、本実施形態における導電体被覆繊維集合体の製造工程を説明するために示す図である。図５（ａ）は、可撓性基材１６と繊維集合体１０からなる繊維集合体積層シート１８を示し、図５（ｂ）は、導電体で被覆される前の繊維集合体１０を示し、図５（ｃ）は、一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２を示し、図５（ｄ）は、上記一方のシート面とは異なる他方のシート面から導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４を示す。   FIG. 5 is a view shown for explaining the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly in the present embodiment. FIG. 5A shows a fiber assembly laminated sheet 18 composed of the flexible base material 16 and the fiber assembly 10, and FIG. 5B shows the fiber assembly 10 before being covered with a conductor. 5 (c) shows a conductor-coated fiber assembly 12 in which the conductor surface is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from one sheet surface, and FIG. 5 (d) shows the one sheet surface and Shows the conductor coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the conductor coated fiber assembly 12 from the other sheet surface.

［実施形態３］
図６は、実施形態３に係る導電体被覆装置１００ｂの断面模式図である。実施形態２に係る導電体被覆装置１００ａでは、製造された導電体被覆繊維集合体１４がそのまま巻き取り側ロール１０８に巻き取られるが、本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｂでは、製造された導電体被覆繊維集合体１４は、可撓性基材２０が接合された導電体被覆繊維集合体積層シート２２の状態で巻き取り側ロール１０８に巻き取られる。こうして巻き取り側ロール１０８で巻き取られた導電体被覆繊維集合体１４は、その層間に可撓性基材２０が存在するため、巻き取り側ロール１０８を保管又は運搬する際、導電体被覆繊維集合体１４のシート同士の接触がなく、導電体被覆繊維集合体１４から導電体被覆が剥離するのが抑えられる。 [Embodiment 3]
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the conductor coating apparatus 100b according to the third embodiment. In the conductor coating apparatus 100a according to the second embodiment, the manufactured conductor-coated fiber assembly 14 is wound as it is on the winding side roll 108, but is manufactured in the conductor coating apparatus 100b according to the present embodiment. The conductor-covered fiber assembly 14 is wound around the winding-side roll 108 in the state of the conductor-covered fiber assembly laminated sheet 22 to which the flexible substrate 20 is bonded. The conductor-coated fiber assembly 14 wound up by the winding-side roll 108 in this manner has the flexible base material 20 between the layers. Therefore, when the winding-side roll 108 is stored or transported, the conductor-coated fiber assembly 14 is used. There is no contact between the sheets of the aggregate 14, and the conductor coating is prevented from peeling from the conductor-coated fiber aggregate 14.

本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｂを用いた導電体被覆繊維集合体積層シート２２の製造方法は、以下の工程によって行われる。まず、実施形態２と同様な製造工程を経て、導電体被覆繊維集合体１４は真空蒸着室１２０から搬出される。つぎに、導電体被覆繊維集合体１４は、送りローラ１０４を経由し、送りローラ１４２,１４４の間を通過した後、基材繰り出し機構である繰り出し側ロール１６０から送り出された可撓性基材２０と共に送りローラ１０４，１０４の間を通過しながら、基材接合機構（不図示）によって可撓性基材２０に接合される。そして、導電体被覆繊維集合体積層シート２２は、巻き取り側ロール１０８に巻き取られる。   The manufacturing method of the conductor covering fiber assembly lamination sheet 22 using the conductor covering device 100b according to the present embodiment is performed by the following steps. First, the conductor coated fiber assembly 14 is unloaded from the vacuum deposition chamber 120 through the same manufacturing process as in the second embodiment. Next, the conductor coated fiber assembly 14 passes through the feed roller 104 and passes between the feed rollers 142 and 144, and then is sent from the feed-side roll 160 which is a base material feed mechanism. The substrate 20 is joined to the flexible substrate 20 by a substrate bonding mechanism (not shown) while passing between the feed rollers 104 and 104 together with the roller 20. Then, the conductor-coated fiber assembly laminated sheet 22 is wound around the winding-side roll 108.

図７は、本実施形態における導電体被覆繊維集合体積層シートの製造工程を説明するために示す図である。図７（ａ）は、可撓性基材１６と繊維集合体１０からなる繊維集合体積層シート１８を示し、図７（ｂ）は、導電体で被覆される前の繊維集合体１０を示し、図７（ｃ）は、一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２を示し、図７（ｄ）は、上記一方のシート面とは異なる他方のシート面から導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４を示し、図７（ｅ）は、可撓性基材２０と導電体被覆繊維集合体１４からなる導電体被覆繊維集合体積層シート２２を示す。   Drawing 7 is a figure shown in order to explain the manufacturing process of the conductor covering fiber aggregate lamination sheet in this embodiment. FIG. 7A shows a fiber assembly laminated sheet 18 composed of the flexible base material 16 and the fiber assembly 10, and FIG. 7B shows the fiber assembly 10 before being covered with a conductor. 7 (c) shows a conductor-coated fiber assembly 12 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from one sheet surface, and FIG. 7 (d) shows the one sheet surface and FIG. 7E shows the conductor-coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the conductor-coated fiber assembly 12 from the other sheet surface, and FIG. 7E shows the flexible substrate 20 and the conductor. The conductor covering fiber assembly lamination sheet 22 which consists of the covering fiber assembly 14 is shown.

［実施形態４］
図８は、実施形態４に係る導電体被覆装置１００ｃの断面模式図である。実施形態３に係る導電体被覆装置１００ｂでは、繊維集合体積層シート１８から可撓性基材１６が剥離された繊維集合体１０の状態で真空蒸着室１１０に搬入されるが、本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｃでは、繊維集合体積層シート１８が真空蒸着室１１０に搬入され、繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された後、真空蒸着室１１０の外で導電体被覆繊維集合体積層シート１９から可撓性基材１６が剥離される。このため、冷却ローラ１０６ａに金属蒸気１１４に起因する金属が付着しにくくなり、冷却ローラ１０６ａの洗浄回数を減らせる。 [Embodiment 4]
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the conductor coating apparatus 100c according to the fourth embodiment. In the conductor coating apparatus 100b according to the third embodiment, the flexible substrate 16 is peeled off from the fiber assembly laminated sheet 18 and is carried into the vacuum deposition chamber 110 in the state of the fiber assembly 10. In such a conductor coating apparatus 100 c, the fiber assembly laminated sheet 18 is carried into the vacuum deposition chamber 110, the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10, and then the conductor-coated fibers outside the vacuum deposition chamber 110. The flexible base material 16 is peeled from the assembly laminated sheet 19. For this reason, the metal resulting from the metal vapor 114 is less likely to adhere to the cooling roller 106a, and the number of cleanings of the cooling roller 106a can be reduced.

本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｃを用いた導電体被覆繊維集合体積層シート２２の製造方法は、以下の工程によって行われる。まず、繊維集合体積層シート１８が巻き付けられた繰り出し側ロール１０２が矢印方向に回転すると、繊維集合体積層シート１８は送りローラ機構１３０に進む。そして、繊維集合体積層シート１８は、送りローラ１３２,１３４の間を通過し、送りローラ１０４を経由して、冷却ローラ１０６ａに密着した状態で減圧雰囲気の真空蒸着室１１０内に進む。   The manufacturing method of the conductor covering fiber assembly lamination sheet 22 using the conductor covering device 100c according to the present embodiment is performed by the following steps. First, when the feeding-side roll 102 around which the fiber assembly laminated sheet 18 is wound rotates in the arrow direction, the fiber assembly laminated sheet 18 advances to the feed roller mechanism 130. Then, the fiber assembly laminated sheet 18 passes between the feed rollers 132 and 134 and proceeds to the vacuum deposition chamber 110 in a reduced pressure atmosphere through the feed roller 104 and in close contact with the cooling roller 106a.

真空蒸着室１１０内では、真空蒸着ユニット１１２から蒸発した金属蒸気１１４に、繊維集合体積層シート１８を構成する繊維集合体１０がさらされ、金属蒸気１１４は繊維集合体１０の繊維表面で冷却されて金属被膜となる。なお、遮蔽板１１６が金属蒸気１１４を遮ることによって、繊維集合体１０の所望の個所が金属蒸気１１４にさらされるようになっている。こうして、一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２と可撓性基材１６からなる導電体被覆繊維集合体積層シート１９が製造される。   In the vacuum deposition chamber 110, the fiber assembly 10 constituting the fiber assembly laminated sheet 18 is exposed to the metal vapor 114 evaporated from the vacuum deposition unit 112, and the metal vapor 114 is cooled on the fiber surface of the fiber assembly 10. It becomes a metal film. The shielding plate 116 shields the metal vapor 114 so that a desired portion of the fiber assembly 10 is exposed to the metal vapor 114. Thus, a conductor-coated fiber assembly laminated sheet 19 comprising the conductor-coated fiber assembly 12 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from one sheet surface and the flexible substrate 16 is manufactured. .

つづいて、冷却ローラ１０６ａを通過した導電体被覆繊維集合体積層シート１９は、真空蒸着室１１０から搬出され、送りローラ１０４を経由した後、送りローラ１０４，１０４の間を通過しながら、金属刃等の剥離機構（不図示）によって可撓性基材１６と導電体被覆繊維集合体１２に分離される。その後は、実施形態３と同様な工程を経て、両方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４が可撓性基材２０に接合された導電体被覆繊維集合体積層シート２２が製造される。   Subsequently, the conductor-coated fiber assembly laminated sheet 19 that has passed through the cooling roller 106 a is unloaded from the vacuum deposition chamber 110, passes through the feed roller 104, and then passes between the feed rollers 104, 104, while the metal blade The flexible base material 16 and the conductor-coated fiber assembly 12 are separated by a peeling mechanism (not shown). Thereafter, through the same process as in the third embodiment, the conductor-coated fiber assembly 14 in which the conductor is coated on the fiber surface of the fiber assembly 10 from both sheet surfaces is joined to the flexible substrate 20. The conductor-coated fiber assembly laminated sheet 22 is manufactured.

図９は、本実施形態における導電体被覆繊維集合体積層シートの製造工程を説明するために示す図である。図９（ａ）は、可撓性基材１６と繊維集合体１０からなる繊維集合体積層シート１８を示し、図９（ｂ）は、可撓性基材１６と一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２からなる繊維集合体積層シート１９を示し、図９（ｃ）は、上記一方のシート面から繊維集合体１０の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１２を示し、図９（ｄ）は、上記一方のシート面とは異なる他方のシート面から導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面に導電体が被覆された導電体被覆繊維集合体１４を示し、図９（ｅ）は、可撓性基材２０と導電体被覆繊維集合体１４からなる導電体被覆繊維集合体積層シート２２を示す。   FIG. 9 is a view for explaining the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly laminated sheet in the present embodiment. 9A shows a fiber assembly laminated sheet 18 composed of the flexible base material 16 and the fiber assembly 10, and FIG. 9B shows a fiber assembly from the flexible base material 16 and one sheet surface. FIG. 9C shows a fiber surface of the fiber assembly 10 from the one sheet surface, showing a fiber assembly laminated sheet 19 made of the conductor-coated fiber assembly 12 in which the fiber surface of the body 10 is coated with a conductor. FIG. 9D shows a conductor coated fiber assembly 12 coated with a conductor on the fiber surface of the conductor coated fiber assembly 12 from the other sheet surface different from the one sheet surface. FIG. 9E shows a conductor-coated fiber assembly laminated sheet 22 composed of a flexible base material 20 and the conductor-coated fiber assembly 14.

［実施形態５］
図１０は、実施形態５に係る導電体被覆装置１００ｄの断面模式図である。本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｄと実施形態１に係る導電体被覆装置１００との主な相違点は、繰り出し側ロール１０２及び巻き取り側ロール１０８の位置と、冷却ローラ１０６ａ,１０６ｂ間を進行する導電体被覆繊維集合体１２の位置である。本実施形態における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程は、実施形態１における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程とほぼ同じである。 [Embodiment 5]
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a conductor coating apparatus 100d according to the fifth embodiment. The main difference between the conductor coating apparatus 100d according to the present embodiment and the conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment is that the positions of the feeding side roll 102 and the winding side roll 108 and between the cooling rollers 106a and 106b are as follows. This is the position of the conductor-coated fiber assembly 12 that travels. The manufacturing process of the conductor coated fiber assembly 14 in the present embodiment is almost the same as the manufacturing process of the conductor coated fiber assembly 14 in the first embodiment.

［実施形態６］
図１１は、実施形態６に係る導電体被覆装置１００ｅを説明するために示す図である。図１１（ａ）は、実施形態６に係る導電体被覆装置１００ｅの断面模式図であり、図１１（ｂ）は、導電体被覆装置１００ｅの反転部１８０の内部を示す図である。導電体被覆装置１００ｅは反転機構を有し、この反転機構は、ローラ１７０，１７０と、反転部１８０と、ローラ１７２，１７２とを備える。導電体被覆装置１００ｅでは、真空蒸着室１１０で金属被覆された導電体被覆繊維集合体１２の一方のシート面１２ｂを下に、他方のシート面１２ａを上にした状態で、導電体被覆繊維集合体１２が送りローラ１７０，１７０に進む。 [Embodiment 6]
FIG. 11 is a diagram for explaining the conductor coating apparatus 100e according to the sixth embodiment. FIG. 11A is a schematic cross-sectional view of the conductor coating apparatus 100e according to the sixth embodiment, and FIG. 11B is a diagram illustrating the inside of the reversing unit 180 of the conductor coating apparatus 100e. The conductor coating apparatus 100e includes a reversing mechanism, and the reversing mechanism includes rollers 170 and 170, a reversing unit 180, and rollers 172 and 172. In the conductor coating apparatus 100e, the conductor-coated fiber assembly with the one sheet surface 12b of the conductor-coated fiber assembly 12 metal-coated in the vacuum deposition chamber 110 facing down and the other sheet surface 12a facing up. The body 12 advances to the feed rollers 170, 170.

そして、導電体被覆繊維集合体１２は、送りローラ１７０，１７０を通過した後、ねじられながら進行して反転部１８０で上下のシート面が反転される。そして、真空蒸着室１１０で金属被覆された導電体被覆繊維集合体１２の一方のシート面１２ｂを上に、他方のシート面１２ａを下にして送りローラ１７２，１７２に進む。送りローラ１７２，１７２を通過した導電体被覆繊維集合体１２は、送りローラ１０４を経由して真空蒸着室１２０に搬入される。   Then, after passing through the feed rollers 170, 170, the conductor-coated fiber assembly 12 advances while being twisted, and the upper and lower sheet surfaces are reversed by the reversing unit 180. Then, the sheet advances to the feed rollers 172 and 172 with one sheet surface 12b of the conductor-coated fiber assembly 12 metal-coated in the vacuum deposition chamber 110 facing up and the other sheet surface 12a facing down. The conductor-coated fiber assembly 12 that has passed through the feed rollers 172 and 172 is carried into the vacuum deposition chamber 120 via the feed roller 104.

本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｅと実施形態１に係る導電体被覆装置１００との主な相違点は、真空蒸着室１１０,１２０間で導電体被覆繊維集合体１２のシート面を反転させる手法である。導電体被覆装置１００ｅは反転部１８０で導電体被覆繊維集合体１２のシート面を反転させるため、真空蒸着室１１０,１２０間における導電体被覆繊維集合体１２の移動距離を導電体被覆装置１００より短くできる。このため、導電体被覆装置の小型化が可能となる。   The main difference between the conductor coating apparatus 100e according to the present embodiment and the conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment is that the sheet surface of the conductor coated fiber assembly 12 is reversed between the vacuum deposition chambers 110 and 120. It is a technique. Since the conductor coating device 100e reverses the sheet surface of the conductor coated fiber assembly 12 by the reversing unit 180, the movement distance of the conductor coated fiber assembly 12 between the vacuum deposition chambers 110 and 120 is greater than that of the conductor coating device 100. Can be shortened. For this reason, the conductor coating apparatus can be miniaturized.

導電体被覆繊維集合体１２のシート面の反転方法を除き、本実施形態における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程は、実施形態１における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程とほぼ同じである。なお、ローラ１７０，１７０と、ローラ１７２，１７２との間に、互いに４５ーねじれた関係にある３組の方向変換ローラが配設されていてもよい。   Except for the method of reversing the sheet surface of the conductor-coated fiber assembly 12, the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly 14 in this embodiment is substantially the same as the process of manufacturing the conductor-coated fiber assembly 14 in the first embodiment. is there. In addition, between the rollers 170 and 170 and the rollers 172 and 172, three sets of direction changing rollers that are 45-twisted with each other may be disposed.

［実施形態７］
図１２は、実施形態７に係る導電体被覆装置１００ｆの断面模式図である。本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｆでは、スパッタリングユニット１１２ａ，１２２aによるプラズマ１１４ａ，１２４aを用いて繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２に金属を被覆しており、真空蒸着ユニット１１２，１２２から蒸発した金属蒸気１１４，１２４を用いて繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２に金属を被覆している実施形態１に係る導電体被覆装置１００等と相違する。繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２の金属被覆の手法を除き、本実施形態における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程は、実施形態１における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程とほぼ同じである。 [Embodiment 7]
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of a conductor coating apparatus 100f according to the seventh embodiment. In the conductor coating apparatus 100f according to this embodiment, the fiber assembly 10 and the conductor-coated fiber assembly 12 are coated with metal using plasma 114a and 124a generated by the sputtering units 112a and 122a. This is different from the conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment in which the metal assembly 114 and the conductor-coated fiber assembly 12 are coated with metal vapors 114 and 124 evaporated from 122. Except for the technique of metal coating of the fiber assembly 10 and the conductor-coated fiber assembly 12, the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly 14 in the present embodiment is the same as the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly 14 in the first embodiment. Is almost the same.

［実施形態８］
図１３は、実施形態８に係る導電体被覆装置１００ｇの断面模式図である。本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｇでは、冷却プレート１０７ａ，１０７ｂを用いて繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２に金属被覆している点が、冷却ローラ１０６ａ，１０６ｂを用いて繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２に金属被覆している実施形態１に係る導電体被覆装置１００等と相違する。繊維集合体１０及び導電体被覆繊維集合体１２の金属被覆の手段を除き、本実施形態における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程は、実施形態７における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程とほぼ同じである。 [Eighth embodiment]
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of a conductor coating apparatus 100g according to the eighth embodiment. In the conductor coating apparatus 100g according to this embodiment, the fiber aggregate 10 and the conductor-coated fiber assembly 12 are metal-coated using the cooling plates 107a and 107b. This is different from the conductor coating apparatus 100 according to the first embodiment in which the aggregate 10 and the conductor-coated fiber aggregate 12 are coated with metal. Except for the metal coating means of the fiber assembly 10 and the conductor-coated fiber assembly 12, the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly 14 in the present embodiment is the same as the manufacturing process of the conductor-coated fiber assembly 14 in the seventh embodiment. Is almost the same.

［実施形態９］
図１４は、実施形態９に係る導電体被覆装置１００ｈの断面模式図である。本実施形態に係る導電体被覆装置１００ｈは、エレクトロスピニング装置２００を備える。したがって、導電体被覆工程の直前に繊維集合体１０の製造工程を行える。このため、樹脂原料から導電体被覆繊維集合体１４を連続的に製造できる。エレクトロスピニング装置２００を備える点を除き、本実施形態における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程は、実施形態２における導電体被覆繊維集合体１４の製造工程とほぼ同じである。 [Embodiment 9]
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of a conductor coating apparatus 100h according to the ninth embodiment. The conductor coating apparatus 100h according to this embodiment includes an electrospinning apparatus 200. Therefore, the manufacturing process of the fiber assembly 10 can be performed immediately before the conductor coating process. For this reason, the conductor covering fiber assembly 14 can be continuously manufactured from the resin raw material. Except for the point provided with the electrospinning apparatus 200, the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly 14 in this embodiment is substantially the same as the manufacturing process of the conductor covering fiber assembly 14 in Embodiment 2.

導電体被覆装置１００を用いて、以下の工程で得られた繊維集合体に、金属を被覆して導電体被覆繊維集合体を製造した。まず、ポリエステル繊維の不織布からなる長尺の可撓性基材１６を準備した。可撓性基材１６の厚さは２００μｍであり、１ｍ２当たりの質量は５０ｇであった。つぎに、エレクトロスピニング装置２００を用いて、エレクトロスピニング法によって可撓性基材１６上にポリウレタンからなる繊維集合体１０を製造した。 Using the conductor coating apparatus 100, the fiber assembly obtained in the following steps was coated with metal to produce a conductor-coated fiber assembly. First, the elongate flexible base material 16 which consists of a nonwoven fabric of a polyester fiber was prepared. The thickness of the flexible substrate 16 was 200 μm, and the mass per 1 m 2 was 50 g. Next, the fiber assembly 10 made of polyurethane was manufactured on the flexible substrate 16 by the electrospinning method using the electrospinning apparatus 200.

繊維集合体１０の厚さは１０μｍであり、１ｍ２当たりの質量は５ｇであった。また、繊維集合体１０を構成するポリマー繊維の平均直径は３００ｎｍであった。ここで、ポリマー繊維の平均直径は、電子顕微鏡写真に写っている多数のポリマー繊維における測定個所を無作為に１００点抽出し、その個所における繊維幅を測定し、測定された繊維幅を平均することよって算出した。 The thickness of the fiber assembly 10 was 10 μm, and the mass per 1 m 2 was 5 g. Moreover, the average diameter of the polymer fiber which comprises the fiber assembly 10 was 300 nm. Here, as for the average diameter of the polymer fibers, 100 measurement points in a large number of polymer fibers shown in the electron micrograph are extracted at random, and the fiber widths at the positions are measured, and the measured fiber widths are averaged. It was calculated accordingly.

つづいて、導電体被覆装置１００を用いて、一方のシート面から上記工程で得られた繊維集合体の繊維表面に銀が被覆された導電体被覆繊維集合体１２を製造し、さらに、上記一方のシート面とは異なる他方のシート面から導電体被覆繊維集合体１２の繊維表面に銀が被覆された導電体被覆繊維集合体１４を製造した。導電体被覆繊維集合体１４の断面顕微鏡写真を撮影して銀の厚さを数個所計測したところ、銀の厚さはいずれも約５０ｎｍであった。   Subsequently, using the conductor coating apparatus 100, a conductor-coated fiber assembly 12 in which silver is coated on the fiber surface of the fiber assembly obtained in the above step from one sheet surface is manufactured. A conductor-covered fiber assembly 14 in which the fiber surface of the conductor-covered fiber assembly 12 was coated with silver was produced from the other sheet surface different from the sheet surface. When a cross-sectional micrograph of the conductor-coated fiber assembly 14 was taken and the thickness of the silver was measured at several places, the thickness of the silver was about 50 nm.

以上、本発明の導電体被覆装置を各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、次のような変形も可能である。   As mentioned above, although the conductor coating apparatus of this invention was demonstrated based on each embodiment, this invention is not limited to this, For example, the following deformation | transformation is also possible.

（１）各実施形態においては、エレクトロスピニング法を用いて繊維集合体１０を形成するが、例えば、メルトブロウン法によって繊維集合体１０を形成してもよい。   (1) In each embodiment, although the fiber assembly 10 is formed using an electrospinning method, the fiber assembly 10 may be formed by a melt blown method, for example.

（２）各実施形態のエレクトロスピニング装置２００においては、繊維集合体の原料樹脂を溶媒に溶解して液体としているが、例えば、繊維集合体の原料樹脂を加熱して液体としてもよい。   (2) In the electrospinning apparatus 200 of each embodiment, the fiber assembly raw resin is dissolved in a solvent to form a liquid, but for example, the fiber aggregate raw resin may be heated to be a liquid.

（３）各実施形態のエレクトロスピニング装置２００においては、可撓性基材１６上に繊維集合体１０を形成し、繊維集合体積層シート１８の状態で巻き取るが、例えば、可撓性基材１６上に繊維集合体１０を形成した後、エレクトロスピニング装置２００内で可撓性基材１６から繊維集合体１０を剥離し、可撓性基材１６と繊維集合体１０とをそれぞれ巻き取ってもよい。   (3) In the electrospinning apparatus 200 of each embodiment, the fiber assembly 10 is formed on the flexible substrate 16 and wound in the state of the fiber assembly laminated sheet 18. After forming the fiber assembly 10 on 16, the fiber assembly 10 is peeled from the flexible base material 16 in the electrospinning apparatus 200, and the flexible base material 16 and the fiber assembly 10 are wound up respectively. Also good.

１０…繊維集合体、１２，１４…導電体被覆繊維集合体、１６，２０…可撓性基材、１８…繊維集合体積層シート、１９，２２…導電体被覆繊維集合体積層シート、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ，１００ｅ，１００ｆ，１００ｇ，１００ｈ，９１０…導電体被覆装置、１０２，１６０…繰り出し側ロール、１０４，１３２，１３４，１４２，１４４…送りローラ、１０６ａ，１０６ｂ…冷却ローラ、１０７ａ，１０７ｂ…冷却プレート、１０８，１５０…巻き取り側ロール、１１０，１２０…真空蒸着室、１１０ａ，１１０ｂ，１２０ａ，１２０ｂ…スパッタ室、１１２，１２２…真空蒸着ユニット、１１２ａ，１１２ｂ，１２２ａ，１２２ｂ…スパッタリングユニット、１１４，１２４…金属蒸気、１１４ａ，１１４ｂ，１２４ａ，１２４ｂ…プラズマ、１８０…反転部、２００…エレクトロスピニング装置、２２０…樹脂原料タンク、２２２…バルブ、２２４…ノズル、２２６…対向電極、２２８…高圧電源、２３０…樹脂原料液体   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Fiber assembly, 12, 14 ... Conductor covering fiber assembly, 16, 20 ... Flexible base material, 18 ... Fiber assembly lamination sheet, 19, 22 ... Conductor coating fiber assembly lamination sheet, 100, 100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f, 100g, 100h, 910 ... Conductor coating device, 102, 160 ... Feeding side roll, 104, 132, 134, 142, 144 ... Feed roller, 106a, 106b ... Cooling roller 107a, 107b ... Cooling plate, 108, 150 ... Winding roll, 110, 120 ... Vacuum deposition chamber, 110a, 110b, 120a, 120b ... Sputter chamber, 112, 122 ... Vacuum deposition unit, 112a, 112b, 122a, 122b ... Sputtering unit, 114, 124 ... Metal vapor, 114a, 114 , 124a, 124b ... plasma, 180 ... reversing unit, 200 ... electrospinning apparatus, 220 ... resin material tank, 222 ... valve, 224 ... nozzle, 226 ... counter electrode, 228 ... high voltage power supply, 230 ... resin material liquid

Claims (5)

処理室内に、  In the processing chamber,
基材と、この基材表面に形成された繊維集合体とを有するシートを繰り出す繰り出し機構と、  A feeding mechanism for feeding out a sheet having a substrate and a fiber aggregate formed on the surface of the substrate;
繊維表面に導電体が被覆された前記繊維集合体を巻き取る巻き取り機構と、  A winding mechanism for winding up the fiber assembly in which the conductor is coated on the fiber surface;
前記繰り出し機構と前記巻き取り機構との間に配置され、前記繊維集合体における一方のシート面からその繊維表面に導電体を被覆する第１導電体被覆室と、  A first conductor coating chamber disposed between the feeding mechanism and the winding mechanism, and covering a fiber surface from one sheet surface of the fiber assembly to the fiber surface;
前記第１導電体被覆室と前記巻き取り機構との間に配置され、前記一方のシート面と異なる他方のシート面から、前記第１導電体被覆室で得られた導電体被覆繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第２導電体被覆室とを有する導電体被覆装置であって、  The conductor coated fiber assembly disposed between the first conductor coating chamber and the winding mechanism, and obtained from the other sheet surface different from the one sheet surface, in the first conductor coating chamber. A conductor coating device having a second conductor coating chamber for coating a conductor on a fiber surface,
前記繰り出し機構と前記第１導電体被覆室との間に配置され、前記繊維集合体から前記基材を剥離する剥離機構と、  A peeling mechanism that is disposed between the feeding mechanism and the first conductor coating chamber, and peels the base material from the fiber assembly;
前記剥離機構で剥離された基材を巻き取る基材巻き取り機構とをさらに有することを特徴とする導電体被覆装置。  A conductor coating apparatus, further comprising a substrate winding mechanism that winds up the substrate peeled by the peeling mechanism. 処理室内に、  In the processing chamber,
基材と、この基材表面に形成された繊維集合体とを有するシートを繰り出す繰り出し機構と、  A feeding mechanism for feeding out a sheet having a substrate and a fiber aggregate formed on the surface of the substrate;
繊維表面に導電体が被覆された前記繊維集合体を巻き取る巻き取り機構と、  A winding mechanism for winding up the fiber assembly in which the conductor is coated on the fiber surface;
前記繰り出し機構と前記巻き取り機構との間に配置され、前記繊維集合体における一方のシート面からその繊維表面に導電体を被覆する第１導電体被覆室と、  A first conductor coating chamber disposed between the feeding mechanism and the winding mechanism, and covering a fiber surface from one sheet surface of the fiber assembly to the fiber surface;
前記第１導電体被覆室と前記巻き取り機構との間に配置され、前記一方のシート面と異なる他方のシート面から、前記第１導電体被覆室で得られた導電体被覆繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第２導電体被覆室とを有する導電体被覆装置であって、  The conductor coated fiber assembly disposed between the first conductor coating chamber and the winding mechanism, and obtained from the other sheet surface different from the one sheet surface, in the first conductor coating chamber. A conductor coating device having a second conductor coating chamber for coating a conductor on a fiber surface,
前記第１導電体被覆室と前記第２導電体被覆室との間に配置され、前記繊維集合体から前記基材を剥離する剥離機構と、  A peeling mechanism disposed between the first conductor coating chamber and the second conductor coating chamber, and peeling the base material from the fiber assembly;
前記剥離機構で剥離された基材を巻き取る基材巻き取り機構とをさらに有することを特徴とする導電体被覆装置。  A conductor coating apparatus, further comprising a substrate winding mechanism that winds up the substrate peeled by the peeling mechanism. 請求項１又は２に記載の導電体被覆装置において、
前記第２導電体被覆室と前記巻き取り機構との間に、基材を繰り出す基材繰り出し機構と、前記基材繰り出し機構から繰り出された基材を前記第２導電体被覆室から搬出された導電体被覆繊維集合体に接合する基材接合機構とを有することを特徴とする導電体被覆装置。 In the conductor coating device according to claim 1 or 2 ,
Between the second conductor coating chamber and the winding mechanism, a substrate feeding mechanism for feeding the substrate, and a substrate fed from the substrate feeding mechanism was unloaded from the second conductor coating chamber. And a base material joining mechanism for joining the conductor-coated fiber assembly. 処理室内に、  In the processing chamber,
繊維集合体から構成されたシートを繰り出す繰り出し機構と、  A feeding mechanism for feeding out a sheet composed of a fiber assembly;
前記シートを巻き取る巻き取り機構と、  A winding mechanism for winding the sheet;
前記繰り出し機構と前記巻き取り機構との間に配置され、前記シートにおける一方のシート面から前記繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第１導電体被覆室と、  A first conductor coating chamber that is disposed between the feeding mechanism and the winding mechanism, and covers a conductor on a fiber surface of the fiber assembly from one sheet surface of the sheet;
前記第１導電体被覆室と前記巻き取り機構との間に配置され、前記シートにおける前記一方のシート面と異なる他方のシート面から、前記第１導電体被覆室で得られた導電体被覆繊維集合体の繊維表面に導電体を被覆する第２導電体被覆室とを有する導電体被覆装置であって、  Conductor-coated fiber disposed between the first conductor coating chamber and the winding mechanism and obtained in the first conductor coating chamber from the other sheet surface different from the one sheet surface of the sheet A conductor coating device having a second conductor coating chamber for coating the conductor on the fiber surface of the assembly,
前記第１導電体被覆室と前記第２導電体被覆室との間に配置され、前記シートを進行させながらねじることによってシート面を反転させる反転機構をさらに有することを特徴とする導電体被覆装置。  A conductor coating apparatus further comprising a reversing mechanism that is disposed between the first conductor coating chamber and the second conductor coating chamber and reverses the sheet surface by twisting while the sheet is being advanced. . 請求項１〜４のいずれかに記載の導電体被覆装置において、
前記処理室内を減圧状態に保持する減圧手段をさらに有することを特徴とする導電体被覆装置。 In the conductor coating device according to any one of claims 1 to 4 ,
The conductor coating apparatus further comprising a pressure reducing means for holding the processing chamber in a reduced pressure state.
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