JP5482401B2 - The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape, the manufacturing method of an optical element, and the manufacturing method of a secondary process sheet | seat. - Google Patents

The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape, the manufacturing method of an optical element, and the manufacturing method of a secondary process sheet | seat. Download PDF

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Description

本発明は、ナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a fine surface irregularity having a nano buckling shape.

近年、光学効果を発現させる技術の例として、反射光同士の干渉やこの反射光の分散を用いて立体画像や特殊な装飾画像あるいは特殊な色の変化などを表現し得るホログラムや回折格子、また、光学特性の異なる薄膜を光学的に適当な多層に重ねることによって見る角度により色の変化(所謂、カラーシフト)を生じる多層薄膜、等の技術が利用されている。 In recent years, as an example of a technique for producing an optical effect, a hologram or a diffraction grating that can express a stereoscopic image, a special decoration image, or a special color change by using interference between reflected lights or dispersion of the reflected light, Techniques such as a multilayer thin film that changes color (so-called color shift) depending on the viewing angle by stacking thin films having different optical characteristics on optically appropriate multilayers are used.

また、色の変化については、光の波長によって光自体の性質が異なることに由来しているが、材料自体による特定波長の色光の吸収に頼ることなく、材料や構造に起因して色を呈し、また色が変化する構造色の現象がある。
例えば、独特の艶やかなクジャクやモルフォチョウの羽や翅の構造色は、微細な構造が回折格子と同等の役割をすることによって生じている。このような光学現象としては、多層膜干渉、薄膜干渉、屈折、分散、光散乱、Mie散乱、回折、回折格子、等が挙げられる。これらには、真空蒸着やスパッタリング等の真空成膜技術で形成された膜厚1μm以下の光学薄膜が利用されることが多い。
In addition, the color change originates from the fact that the nature of the light itself differs depending on the wavelength of the light, but it shows a color due to the material and structure without relying on the absorption of colored light of a specific wavelength by the material itself. In addition, there is a phenomenon of structural color that changes color.
For example, the unique gorgeous peacocks and morpho butterfly wings and wings have a structural color caused by the fine structure playing the same role as the diffraction grating. Examples of such optical phenomena include multilayer film interference, thin film interference, refraction, dispersion, light scattering, Mie scattering, diffraction, diffraction grating, and the like. For these, an optical thin film having a thickness of 1 μm or less formed by a vacuum film forming technique such as vacuum deposition or sputtering is often used.

最近、回折格子に係る凹凸パターンとしては、セキュリティー用途等の製品の性能を向上させるべく、数十nm〜数百nm程度の微細な凹凸を有し、かつピッチが平行に形成されているものの要求が多くあり、このような要求に対応できる微細凹凸パターン製品の開発が強く望まれている。 Recently, as a concavo-convex pattern related to a diffraction grating, in order to improve the performance of products such as security applications, there is a demand for fine concavo-convex of about several tens of nm to several hundreds of nm and having a pitch formed in parallel. Therefore, development of a fine concavo-convex pattern product that can meet such requirements is strongly desired.

例えば、特許文献1には、第一樹脂層、第二樹脂層、微細な凹凸パターンを備えた金属の反射薄膜層からなる装飾フィルムが開示されているが、加熱して膨張し、加熱を止めて可逆的に収縮する際に、二層の樹脂層上に金属層を設けている構成のため、面内で均一な応力がかかりにくく、凹凸パターン構造の均一性が損なわれる。さらに、加熱膨張した後に引っ張り応力を利用して収縮させる方法で製造するので、ピッチ及びアスペクト比の制御が非常に困難である。
また、特許文献2には、凹凸パターンによって形成された格子が設けられた層を有するデバイスが開示されており、凹凸パターンの形成方法が二光束干渉法によって記録する方法や電子ビームにより描画する方法が挙げられているが、これらの方法ではピッチ及びアスペクト比の制御及び均等なピッチの構造の形成が可能ではあるものの、微細凹凸構造を作成するのに膨大な作業時間とコストがかかり好ましくない。
特許文献3、特許文献4及び特許文献5には、表面に微細凹凸パターンを有するフィルム及び製造方法が開示されているが、微細凹凸パターンの凸部は、面内にランダムに配向されているため凹凸パターン構造の均一性に劣る。
上記のことから、従来の技術では、凹凸パターンのピッチ及びアスペクト比の制御、ピッチを均等にすることを達成できるナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体を得ることは困難であった。
For example, Patent Document 1 discloses a decorative film composed of a first resin layer, a second resin layer, and a metal reflective thin film layer having a fine concavo-convex pattern. When reversibly shrinking, the metal layer is provided on the two resin layers, so that it is difficult to apply a uniform stress in the surface, and the uniformity of the uneven pattern structure is impaired. Furthermore, since it manufactures by the method of contracting using a tensile stress after it heat-expands, control of a pitch and an aspect-ratio is very difficult.
Further, Patent Document 2 discloses a device having a layer provided with a grating formed by a concavo-convex pattern, and a method for forming the concavo-convex pattern is a recording method using a two-beam interference method or a drawing method using an electron beam. However, although these methods can control the pitch and aspect ratio and form a structure with an equal pitch, it is not preferable because it requires enormous work time and cost to create a fine concavo-convex structure.
Patent Document 3, Patent Document 4 and Patent Document 5 disclose a film having a fine concavo-convex pattern on the surface and a manufacturing method, but the convex portions of the fine concavo-convex pattern are randomly oriented in the plane. The uniformity of the uneven pattern structure is inferior.
From the above, it has been difficult to obtain a fine surface uneven body having a nano buckling shape capable of achieving control of the pitch and aspect ratio of the uneven pattern and equalizing the pitch with the conventional technique.

特開2000−117885号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-117885 特開2009−78418号公報JP 2009-78418 A WO2007/097454号公報WO 2007/097454 特開2008−201029号公報JP 2008-201029 A 特開2008−279597号公報JP 2008-279597 A

本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、ナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体を簡便に、大面積でかつ大量に製造できる製造方法を提供することを目的とする。特に、微細な凹凸パターンを有し、凹凸パターンのピッチ及び深さの制御ができ、ピッチの均等性に優れたナノバックリング形状を有するナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法を提供する。 This invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the manufacturing method which can manufacture the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape easily in a large area and in large quantities. In particular, there is provided a method for producing a surface fine concavo-convex body having a nano buckling shape having a fine concavo-convex pattern, which can control the pitch and depth of the concavo-convex pattern, and which has a nano buckling shape excellent in pitch uniformity. To do.

本発明は、以下の態様を包含する。
[1] 熱収縮性フィルム基材を加熱収縮して変形率1%以上となるようにする工程と、熱収縮性フィルムからなる樹脂製の基材の少なくとも片面に、平滑な硬質層を少なくとも一層以上設けて積層シートを形成する工程と、該積層シートを、基材の樹脂Tg℃以上の温度で加熱収縮することにより少なくとも該硬質層を蛇行変形させる工程とを含むことを特徴とするナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。
The present invention includes the following aspects.
[1] A step of heat-shrinking the heat-shrinkable film substrate to obtain a deformation ratio of 1% or more, and at least one smooth hard layer on at least one surface of the resin-made substrate made of the heat-shrinkable film. A nano back comprising: a step of forming a laminated sheet by providing the above; and a step of meanderingly deforming at least the hard layer by heat-shrinking the laminated sheet at a temperature equal to or higher than the resin Tg ° C. of the substrate. A method for producing a surface fine concavo-convex body having a ring shape.

[2] 熱収縮性フィルム基材を加熱収縮して変形率1%以上となるようにする工程と、熱収縮性フィルムからなる樹脂製の基材の少なくとも片面に、平滑な硬質層を少なくとも一層以上設けて積層シートを形成する工程と、該積層シートを、基材の樹脂Tg℃より低い温度から毎分0.1〜10℃の上昇割合で加熱収縮することにより少なくとも該硬質層を蛇行変形させる工程とを含むことを特徴とするナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [2] A step of heating and shrinking the heat-shrinkable film substrate so that the deformation rate becomes 1% or more, and at least one smooth hard layer on at least one surface of the resin-made substrate made of the heat-shrinkable film. The step of forming the laminated sheet by providing the above, and at least the hard layer is meandered by heat shrinking the laminated sheet at a rate of 0.1 to 10 ° C. per minute from a temperature lower than the resin Tg ° C. of the base material A method for producing a fine surface irregularity body having a nano buckling shape.

[3] 硬質層が樹脂からなる[1]または[2]に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [3] The method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to [1] or [2], wherein the hard layer is made of a resin.

[4] 硬質層が金属又は金属化合物からなる[1]または[2]に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [4] The method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to [1] or [2], wherein the hard layer is made of a metal or a metal compound.

[5] 前記硬質層が、ポリビニルアルコール、ポリスチレン、アクリル樹脂、スチレン−アクリル共重合体、スチレン−アクリロニトリル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂である[1]または[2]に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [5] The hard layer is made of polyvinyl alcohol, polystyrene, acrylic resin, styrene-acrylic copolymer, styrene-acrylonitrile copolymer, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyethersulfone, or fluororesin. The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has the nano buckling shape as described in [1] or [2] which is at least 1 sort (s) of resin chosen from the group which consists of .

[6] 前記硬質層が、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化銅、酸化インジウム、酸化カドミウム、酸化鉛、酸化ケイ素、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、ガリウムヒ素、酸化ニオブよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属化合物である[1]または[2]に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [6] The hard layer is made of titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, magnesium oxide, tin oxide, copper oxide, indium oxide, cadmium oxide, lead oxide, silicon oxide, barium fluoride, calcium fluoride, magnesium fluoride, The method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to [1] or [2], which is at least one metal compound selected from the group consisting of zinc sulfide, gallium arsenide, and niobium oxide .

[7] 前記硬質層が、金、アルミニウム、銀、炭素、銅、ゲルマニウム、インジウム、マグネシウム、ニオブ、パラジウム、鉛、白金、シリコン、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛、ビスマスよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属である[1]または[2]に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [7] At least the hard layer is selected from the group consisting of gold, aluminum, silver, carbon, copper, germanium, indium, magnesium, niobium, palladium, lead, platinum, silicon, tin, titanium, vanadium, zinc, and bismuth. The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has a nano buckling shape as described in [1] or [2] which is 1 type of metal .

[8] 前記硬質層の表面に、最頻ピッチが0.05μmを超え1μm以下、凹凸の深さが最頻ピッチを100%とした際の5%以上で、かつ配向度が0.25以下でピッチが略均等である凹凸パターンを形成する[1]〜[7]のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 [8] On the surface of the hard layer, the most frequent pitch is 0 . An uneven pattern having a pitch that is greater than 05 μm and 1 μm or less , the depth of the unevenness is 5% or more when the most frequent pitch is 100%, the orientation degree is 0.25 or less, and the pitch is substantially uniform [1] to The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has a nano buckling shape as described in any one of [7].

[9] [1]〜[8]のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、未硬化の硬化性樹脂を塗工する工程と、該硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 [9] A step of obtaining a surface fine unevenness by the method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to any one of [1] to [8], and the surface fine unevenness obtained . A step of applying an uncured curable resin to the surface on which the nano buckling shape is formed, and a step of peeling the cured coating film from the surface fine irregularities after curing the curable resin. The manufacturing method of the optical element which has these.

[10] [1]〜[8]のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該熱可塑性樹脂を前記表面微細凹凸体に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、冷却したシート状の熱可塑性樹脂を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 [10] A step of obtaining a surface fine unevenness by the method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to any one of [1] to [8], and the surface fine unevenness obtained . A step of bringing a sheet-like thermoplastic resin into contact with the surface on which the nano buckling shape is formed, and a step of heating and softening the thermoplastic resin while pressing it against the surface fine irregularities , and then cooling. And a step of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the surface fine irregularities .

[11] [1]〜[8]のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離して2次工程シートを作製する工程と、該2次工程シートの、前記表面微細凹凸体のナノバックリング形状と接していた側の面に、未硬化の硬化性樹脂を塗工する工程と、該硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程シートから剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 [11] A step of obtaining a surface fine unevenness by the method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to any one of [1] to [8], and the surface fine unevenness obtained . The step of laminating the nano buckling shape transfer material on the surface on which the nano buckling shape is formed, and peeling the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape from the surface fine irregularities 2 A step of producing a next process sheet, a step of applying an uncured curable resin to the surface of the secondary process sheet that is in contact with the nano buckling shape of the surface fine irregularities, and the curing And a step of peeling the cured coating film from the secondary process sheet after curing the functional resin.

[12] [1]〜[8]のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離して2次工程シートを作製する工程と、該2次工程シートの、前記表面微細凹凸体のナノバックリング形状と接していた側の面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該熱可塑性樹脂を2次工程シートに押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、冷却したシート状の熱可塑性樹脂を2次工程シートから剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。
[13] 工程シート原版の表面形状が転写され、該転写された表面形状を未硬化の硬化性樹脂に転写するための2次工程シートの製造方法であって、
請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体を工程シート原版として該表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する2次工程シートの製造方法。
[14] 工程シート原版の表面形状が転写され、該転写された表面形状を加熱して軟化させた熱可塑性樹脂に転写するための2次工程シートの製造方法であって、
請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体を工程シート原版として該表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する2次工程シートの製造方法。
[12] A step of obtaining a surface fine unevenness by the method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to any one of [1] to [8], and the surface fine unevenness obtained . The step of laminating the nano buckling shape transfer material on the surface on which the nano buckling shape is formed, and peeling the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape from the surface fine irregularities 2 A step of producing a next step sheet, a step of contacting the sheet of the second step sheet with the nano buckling shape of the surface fine irregularities, and the thermoplastic A method for manufacturing an optical element, comprising: a step of cooling a resin while pressing the resin against a secondary process sheet, followed by cooling; and a process of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the secondary process sheet.
[13] A method for producing a secondary process sheet for transferring a surface shape of a process sheet original plate and transferring the transferred surface shape to an uncured curable resin,
The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and using the obtained surface fine unevenness | corrugation body as a process sheet | seat original plate, A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface of the surface fine irregularities formed with the nano buckling shape, and the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape A process for producing a secondary process sheet having a process of peeling from a sheet.
[14] A process for producing a secondary process sheet for transferring a surface shape of a process sheet precursor to a thermoplastic resin obtained by heating and softening the transferred surface shape,
The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and using the obtained surface fine unevenness | corrugation body as a process sheet | seat original plate, A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface of the surface fine irregularities formed with the nano buckling shape, and the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape A process for producing a secondary process sheet having a process of peeling from a sheet.

本発明のナノバックリング形状を有するシートは、回折格子や構造色体の光学素子あるいは液晶配向用の基板として好適に利用できる。また、本発明のナノバックリング形状を有するシートは、波状の凹凸パターンを有する光学素子を製造するための型として使用される光学素子製造シートとしても好適に利用できる。本発明の光学素子製造用工程シートを用いることにより、ナノバックリング形状を有するシートと同等の平均ピッチ及び平均深さのナノバックリング形状を有する光学素子を簡便にかつ大量に製造できるものである。また、凹凸パターンの配向度が低いナノバックリング形状を有するシートを簡便にかつ大量に製造できるものである。 The sheet | seat which has the nano buckling shape of this invention can be utilized suitably as a diffraction grating, the optical element of a structural color body, or the board | substrate for liquid crystal alignment. Moreover, the sheet | seat which has the nano buckling shape of this invention can be utilized suitably also as an optical element manufacturing sheet used as a type | mold for manufacturing the optical element which has a wavy uneven | corrugated pattern. By using the process sheet for producing an optical element of the present invention, an optical element having a nano buckling shape having an average pitch and an average depth equivalent to that of a sheet having a nano buckling shape can be produced easily and in large quantities. . Moreover, the sheet | seat which has a nano buckling shape with low orientation degree of an uneven | corrugated pattern can be manufactured simply and in large quantities.

本発明のナノバックリング形状を有するシートの一実施形態の一部を拡大して示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view which expands and shows a part of one embodiment of a sheet which has the nano buckling shape of the present invention. 図1のナノバックリング形状を有するシートを、凹凸パターンの形成方向と直交方向に切断した際の断面図である。It is sectional drawing when the sheet | seat which has the nano buckling shape of FIG. 1 is cut | disconnected in the orthogonal direction with the formation direction of an uneven | corrugated pattern. 凹凸パターンの表面を走査プローブ顕微鏡(NanoScope III)により撮影して得た画像の、グレースケール変換画像である。It is a gray scale conversion image of the image obtained by image | photographing the surface of an uneven | corrugated pattern with a scanning probe microscope (NanoScope III). 図3の画像をフーリエ変換した画像である。It is the image which carried out the Fourier transform of the image of FIG. 図4の画像における円環の中心からの距離に対する輝度をプロットしたグラフである。5 is a graph plotting luminance with respect to the distance from the center of the ring in the image of FIG. 4. 図4の画像における補助線L上の輝度をプロットしたグラフである。Is a graph plotting the luminance on the auxiliary line L 3 in the image of FIG. 本発明のナノバックリング形状を有するシートの製造方法の一実施形態における積層シートを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the lamination sheet in one Embodiment of the manufacturing method of the sheet | seat which has a nano buckling shape of this invention. 本発明のナノバックリング形状を有するシートを用いた光学素子の製造方法の一例を説明する図である。It is a figure explaining an example of the manufacturing method of the optical element using the sheet | seat which has a nano buckling shape of this invention. 比較例1における凹凸パターンの表面を原子間力顕微鏡(ナノスコープ III)により撮影して得た画像の、グレースケール変換画像である。It is a gray scale conversion image of the image obtained by image | photographing the surface of the uneven | corrugated pattern in the comparative example 1 with atomic force microscope (nanoscope III). 図9の画像をフーリエ変換した画像である。It is the image which carried out the Fourier transform of the image of FIG. 図10の画像における円環の中心からの距離に対する輝度をプロットしたグラフである。It is the graph which plotted the brightness | luminance with respect to the distance from the center of the ring in the image of FIG. 図10の画像における補助線L上の輝度をプロットしたグラフである。Is a graph plotting the luminance on the auxiliary line L 5 in the image of FIG. 10.

(ナノバックリング形状を有するシート)
本発明のナノバックリング形状を有するシートの一実施形態について説明する。
ここで、ナノバックリング形状を有するシートとは、フィルム基材の片面上に設けてある硬質層を略一方向に圧縮させることによって蛇行変形して得られるシートまたはその形状が転写されたシートである。
また、ナノバックリング形状を有するシートのナノバックリング形状とは、フィルム基材の片面上に設けてある硬質層を略一方向に圧縮させることによって硬質層を設けてある表面上に特徴的に得られる表面形状である。
図1及び図2に、本実施形態のナノバックリング形状を有するシートを示す。本実施形態のナノバックリング形状を有するシート10は、フィルム基材11と、フィルム基材11の片面に設けられた硬質層12とを備え、硬質層12が凹凸パターン12aを有するものである。
(Sheet with nano buckling shape)
One embodiment of a sheet having a nano buckling shape of the present invention will be described.
Here, the sheet having a nano buckling shape is a sheet obtained by meandering deformation by compressing a hard layer provided on one side of a film base material in substantially one direction or a sheet to which the shape is transferred. is there.
In addition, the nano buckling shape of a sheet having a nano buckling shape is characteristically on the surface on which the hard layer is provided by compressing the hard layer provided on one side of the film base material in approximately one direction. The surface shape obtained.
1 and 2 show a sheet having a nano buckling shape according to this embodiment. The sheet | seat 10 which has the nano buckling shape of this embodiment is provided with the film base material 11 and the hard layer 12 provided in the single side | surface of the film base material 11, and the hard layer 12 has the uneven | corrugated pattern 12a.

ナノバックリング形状を有するシート10の凹凸パターン12a(ここでいう、ナノバックリング形状とは凹凸パターン12aのことである)は、略一方向に沿った波状の凹凸を有し、その波状の凹凸が蛇行しているものである。また、本実施形態の凹凸パターン12aの凸部の先端は丸みを帯びている。 The concave / convex pattern 12a of the sheet 10 having a nano buckling shape (here, the nano buckling shape is the concave / convex pattern 12a) has a wavy unevenness substantially along one direction. Is meandering. Further, the tip of the convex portion of the concavo-convex pattern 12a of this embodiment is rounded.

基材11を構成するフィルムの樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、スチレン−ブタジエンブロック共重合体等のポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリジメチルシロキサン等のシリコーン樹脂、フッ素樹脂、ABS樹脂、ポリアミド、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリシクロオレフィンなどの樹脂が挙げられる。 Examples of the resin of the film constituting the substrate 11 include polyesters such as polyethylene terephthalate, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polystyrene resins such as styrene-butadiene block copolymers, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polydimethyl. Examples thereof include silicone resins such as siloxane, fluororesins, ABS resins, polyamides, acrylic resins, polycarbonates, and polycycloolefins.

基材11の厚みは0.3〜500μmであることが好ましい。基材11の厚みが0.3μm以上であれば、ナノバックリング形状を有するシート10が破れにくくなり、500μm以下であれば、ナノバックリング形状を有するシート10を容易に薄型化できる。また、基材11を支持するために、厚さ5〜500μmの樹脂製の支持体を設けてもよい。   The thickness of the base material 11 is preferably 0.3 to 500 μm. If the thickness of the base material 11 is 0.3 μm or more, the sheet 10 having a nano buckling shape is not easily broken, and if it is 500 μm or less, the sheet 10 having a nano buckling shape can be easily thinned. Moreover, in order to support the base material 11, you may provide the resin-made support bodies of thickness 5-500 micrometers.

硬質層12を構成する樹脂(以下、第2の樹脂という。)のガラス転移温度Tgと、基材11を構成する樹脂(以下、第1の樹脂という。)のガラス転移温度Tgとの差(Tg−Tg)は10℃以上であり、20℃以上であることが好ましく、30℃以上であることがより好ましい。(Tg−Tg)の差が10℃以上であることにより、TgとTgの間の温度で容易に加工できる。TgとTgの間の温度を加工温度とすると、基材11のヤング率が硬質層12のヤング率より高くなる条件で加工でき、その結果、硬質層12に凹凸パターン12aを容易に形成できる。
また、Tgが400℃を超えるような樹脂を使用することは経済性の面から必要に乏しく、Tgが−150℃より低い樹脂は存在しないことから、(Tg−Tg)は550℃以下であることが好ましく、200℃以下であることがより好ましい。
ナノバックリング形状を有するシート10を製造する際の加工温度における基材11と硬質層12とのヤング率の差は、凹凸パターン12aを容易に形成できることから、0.01〜300GPaであることが好ましく、0.1〜10GPaであることがより好ましい。
ここでいう加工温度は、例えば、後述するナノバックリング形状を有するシートの製造方法における熱収縮時の加熱温度のことである。また、ヤング率は、JIS K 7113−1995に準拠して測定した値である。
The resin constituting the hard layer 12 (hereinafter, referred to as a second resin.) And the glass transition temperature Tg 2 of the resin constituting the substrate 11 (hereinafter, referred to as a first resin.) Between the glass transition temperature Tg 1 of The difference (Tg 2 −Tg 1 ) is 10 ° C. or higher, preferably 20 ° C. or higher, and more preferably 30 ° C. or higher. By the difference (Tg 2 -Tg 1) is 10 ° C. or more, it can be easily processed at a temperature between Tg 2 and Tg 1. When the temperature between Tg 2 and Tg 1 is the processing temperature, the substrate 11 can be processed under the condition that the Young's modulus of the base material 11 is higher than the Young's modulus of the hard layer 12, and as a result, the uneven pattern 12 a can be easily formed on the hard layer 12. it can.
In addition, it is not necessary to use a resin having a Tg 2 exceeding 400 ° C. from the viewpoint of economic efficiency, and there is no resin having a Tg 1 lower than −150 ° C., so (Tg 2 -Tg 1 ) is 550. It is preferably not higher than ° C., more preferably not higher than 200 ° C.
The difference in Young's modulus between the base material 11 and the hard layer 12 at the processing temperature when the sheet 10 having the nano buckling shape is manufactured can be 0.01 to 300 GPa because the uneven pattern 12a can be easily formed. Preferably, it is 0.1-10 GPa.
The processing temperature here is, for example, the heating temperature at the time of thermal shrinkage in the method for producing a sheet having a nano buckling shape to be described later. The Young's modulus is a value measured according to JIS K 7113-1995.

第1の樹脂のガラス転移温度Tgは−150〜300℃であることが好ましく、−120〜200℃であることがより好ましい。ガラス転移温度Tgが−150℃より低い樹脂は存在せず、第1の樹脂のガラス転移温度Tgが300℃以下であれば、ナノバックリング形状を有するシート10を製造する際の加工温度(TgとTgの間の温度)に容易に加熱することができるためである。 The glass transition temperature Tg 1 of the first resin is preferably −150 to 300 ° C., more preferably −120 to 200 ° C. If there is no resin having a glass transition temperature Tg 1 lower than −150 ° C. and the glass transition temperature Tg 1 of the first resin is 300 ° C. or less, the processing temperature when producing the sheet 10 having a nano buckling shape This is because it can be easily heated to (temperature between Tg 2 and Tg 1 ).

ナノバックリング形状を有するシート10を製造する際の加工温度における第1の樹脂のヤング率は0.01〜100MPaであることが好ましく、0.1〜10MPaであることがより好ましい。第1の樹脂のヤング率が0.01MPa以上であれば、基材11として使用可能な硬さであり、100MPa以下であれば、硬質層12が変形する際に同時に追従して変形可能な軟らかさである。 The Young's modulus of the first resin at the processing temperature when manufacturing the sheet 10 having a nano buckling shape is preferably 0.01 to 100 MPa, and more preferably 0.1 to 10 MPa. If the Young's modulus of the first resin is 0.01 MPa or more, it is a hardness that can be used as the base material 11, and if it is 100 MPa or less, it is soft enough to follow and deform simultaneously when the hard layer 12 is deformed. That's it.

第2の樹脂のガラス転移温度Tgは40〜400℃であることが好ましく、80〜250℃であることがより好ましい。第2の樹脂のガラス転移温度Tgが40℃以上であれば、ナノバックリング形状を有するシート10を製造する際の加工温度を室温またはそれ以上にすることができて有用であり、ガラス転移温度Tgが400℃を超えるような樹脂を第2の樹脂として使用することは経済性の面から必要性に乏しいためである。 Preferably has a glass transition temperature Tg 2 of the second resin is 40 to 400 ° C., and more preferably 80 to 250 ° C.. If the glass transition temperature Tg 2 of the second resin is 40 ° C. or higher, the processing temperature when manufacturing the sheet 10 having the nano buckling shape can be made room temperature or higher, which is useful. the temperature Tg 2 is a resin in excess of 400 ° C. as the second resin is for poor necessity from the viewpoint of economy.

ナノバックリング形状を有するシート10を製造する際の加工温度における第2の樹脂のヤング率は0.01〜300GPaであることが好ましく、0.1〜10GPaであることがより好ましい。第2の樹脂のヤング率が0.01GPa以上であれば、第1の樹脂の加工温度におけるヤング率より充分な硬さが得られ、凹凸パターン12aが形成された後、凹凸パターンを維持するのに充分な硬さであり、ヤング率が300GPaを超えるような樹脂を第2の樹脂として使用することは経済性の面から必要性に乏しいためである。 The Young's modulus of the second resin at the processing temperature when producing the sheet 10 having a nano buckling shape is preferably 0.01 to 300 GPa, more preferably 0.1 to 10 GPa. If the Young's modulus of the second resin is 0.01 GPa or more, sufficient hardness is obtained from the Young's modulus at the processing temperature of the first resin, and the concavo-convex pattern is maintained after the concavo-convex pattern 12a is formed. It is because it is scarcely necessary to use a resin having a sufficient hardness and a Young's modulus exceeding 300 GPa as the second resin from the viewpoint of economy.

第1の樹脂の種類にもよるが、第2の樹脂としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリスチレン、アクリル樹脂、スチレン−アクリル共重合体、スチレン−アクリロニトリル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂などを使用することができる。これらの中でも、防汚機能を兼ね備えた点で、フッ素樹脂が好ましい。
第2の樹脂は単独でも併用でもよく、配向度を低くするためには樹脂を単独にすることが好ましい。
Depending on the type of the first resin, examples of the second resin include polyvinyl alcohol, polystyrene, acrylic resin, styrene-acrylic copolymer, styrene-acrylonitrile copolymer, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, and polyethylene. Naphthalate, polycarbonate, polyethersulfone, fluororesin and the like can be used. Among these, a fluororesin is preferable in that it has an antifouling function.
The second resin may be used alone or in combination, and it is preferable to use the resin alone in order to lower the degree of orientation.

硬質層12が、金属または金属化合物からなる場合、金属としては、ヤング率が過剰に高くならず、より容易に凹凸パターン12aが形成することから、金、アルミニウム、銀、炭素、銅、ゲルマニウム、インジウム、マグネシウム、ニオブ、パラジウム、鉛、白金、シリコン、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛、ビスマスよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属であることが好ましい。ここでいう金属は、半金属も含む。
金属化合物としては、同様の理由から、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化銅、酸化インジウム、酸化カドミウム、酸化鉛、酸化ケイ素、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、ガリウムヒ素、酸化ニオブよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属化合物であることが好ましい。
When the hard layer 12 is made of a metal or a metal compound, the metal does not have an excessively high Young's modulus, and the concavo-convex pattern 12a can be easily formed. Therefore, gold, aluminum, silver, carbon, copper, germanium, It is preferably at least one metal selected from the group consisting of indium, magnesium, niobium, palladium, lead, platinum, silicon, tin, titanium, vanadium, zinc, and bismuth. The metal here includes a semi-metal.
For the same reason, the metal compounds include titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, magnesium oxide, tin oxide, copper oxide, indium oxide, cadmium oxide, lead oxide, silicon oxide, barium fluoride, calcium fluoride, fluoride. It is preferably at least one metal compound selected from the group consisting of magnesium, zinc sulfide, gallium arsenide, and niobium oxide.

なお、硬質層12が金属からなる場合には、層表面が空気酸化されて空気酸化膜が形成されることがあるが、本発明では、そのような金属層の表面が空気酸化された層も、金属からなる層とみなす。 When the hard layer 12 is made of metal, the surface of the layer may be air oxidized to form an air oxide film. However, in the present invention, the surface of such a metal layer may be air oxidized. It is considered as a layer made of metal.

硬質層12が、樹脂からなる場合、硬質層12の厚みは、0.001μmを超え0.5μm以下であることが好ましく、0.005〜0.2μmであることがより好ましい。硬質層の厚みが0.001μmを超え0.5μm以下であれば、後述のようにナノバックリング形状を有するシートを容易に製造できる。 When the hard layer 12 consists of resin, it is preferable that the thickness of the hard layer 12 exceeds 0.001 micrometer, and is 0.5 micrometer or less, and it is more preferable that it is 0.005-0.2 micrometer. If the thickness of the hard layer is more than 0.001 μm and 0.5 μm or less, a sheet having a nano buckling shape can be easily produced as described later.

硬質層12が、金属または金属化合物からなる場合、硬質層12の厚みは、0.0001μmを超え0.1μm以下であることが好ましく、0.001μm〜0.07μmであることがより好ましい。硬質層の厚みが0.0001μmを超え0.1μm以下であれば、後述のようにナノバックリング形状を有するシートを容易に製造できる。
また、基材11と硬質層12との間には、密着性の向上より微細な構造を形成することを目的として、プライマー層を形成してもよい。
When the hard layer 12 is made of a metal or a metal compound, the thickness of the hard layer 12 is preferably more than 0.0001 μm and 0.1 μm or less, and more preferably 0.001 μm to 0.07 μm. If the thickness of the hard layer is more than 0.0001 μm and 0.1 μm or less, a sheet having a nano buckling shape can be easily produced as described later.
In addition, a primer layer may be formed between the base material 11 and the hard layer 12 for the purpose of forming a finer structure than improving adhesion.

ナノバックリング形状を有するシート10の凹凸パターン12aの最頻ピッチAは0.05μmを超え1μm以下、好ましくは0.1μmを超え0.9μm以下である。最頻ピッチAが0.05μm未満である場合及び1μmを超える場合には、回折格子や構造色体の光学素子あるいは液晶配向用の基板としての性能が得られにくくなる。 The most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a of the sheet 10 having a nano buckling shape is more than 0.05 μm and 1 μm or less, preferably more than 0.1 μm and 0.9 μm or less. When the most frequent pitch A is less than 0.05 μm or more than 1 μm, it is difficult to obtain performance as a diffraction grating, an optical element of a structural color body, or a substrate for liquid crystal alignment.

凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBは最頻ピッチAを100%とした際の5%以上(すなわち、アスペクト比0.05以上)であり、20%以上(すなわち、アスペクト比0.2以上)であることが好ましい。平均深さBが最頻ピッチAを100%とした際の5%未満であると、回折格子や構造色体の光学素子あるいは液晶配向用の基板としての性能が得られにくくなり、ナノバックリング形状を有するシート10を光学素子製造用工程シート原版として用いても、回折格子や構造色体の光学素子あるいは液晶配向用の基板としての性能を得ることが困難になる。
また、平均深さBは、凹凸パターン12aを容易に形成できる点から、好ましくは最頻ピッチAを100%とした際の90%以下(すなわち、アスペクト比0.9以下)であり、より好ましくは80%以下(すなわち、アスペクト比0.8以下)である。
ここで、底部12bとは、凹凸パターン12aの凹部の極小点であり、平均深さBは、凹凸パターン形成シート10を長さ方向に沿って切断した断面(図2参照)を見た際の、凹凸パターン形成シート10全体の面方向と平行な基準線Lから各凸部の頂部までの長さB,B,B・・・の平均値(BAV)と、基準線Lから各凹部の底部までの長さb,b,b・・・の平均値(bAV)との差(bAV−BAV)のことである。
前記凸部の頂部および前記凹部の底部は、硬質層12における基材11側と反対側の面に接するものである。
平均深さBを測定する方法としては、原子間力顕微鏡により撮影した凹凸パターンの断面の画像にて各底部の深さを測定し、それらの平均値を求める方法などが採られる。
The average depth B of the bottom 12b of the concavo-convex pattern 12a is 5% or more when the most frequent pitch A is 100% (that is, an aspect ratio of 0.05 or more), and 20% or more (that is, an aspect ratio of 0.2). Or more). When the average depth B is less than 5% when the most frequent pitch A is 100%, it becomes difficult to obtain the performance as an optical element of a diffraction grating, a structural color body, or a substrate for liquid crystal alignment. Even if the sheet 10 having a shape is used as an optical element manufacturing process sheet master, it is difficult to obtain performance as a diffraction grating, an optical element of a structural color body, or a substrate for liquid crystal alignment.
In addition, the average depth B is preferably 90% or less (that is, an aspect ratio of 0.9 or less) when the most frequent pitch A is 100% from the viewpoint that the uneven pattern 12a can be easily formed. Is 80% or less (that is, the aspect ratio is 0.8 or less).
Here, the bottom portion 12b is a minimum point of the concave portion of the concave / convex pattern 12a, and the average depth B is obtained when a cross section (see FIG. 2) obtained by cutting the concave / convex pattern forming sheet 10 along the length direction is seen. The average value (B AV ) of the lengths B 1 , B 2 , B 3 ... From the reference line L 1 parallel to the surface direction of the entire concavo-convex pattern forming sheet 10 to the top of each convex portion, and the reference line L It is the difference (b AV −B AV ) from the average value (b AV ) of the lengths b 1 , b 2 , b 3 ... From 1 to the bottom of each recess.
The top part of the convex part and the bottom part of the concave part are in contact with the surface of the hard layer 12 opposite to the substrate 11 side.
As a method of measuring the average depth B, a method of measuring the depth of each bottom by using a cross-sectional image of a concavo-convex pattern photographed by an atomic force microscope and obtaining an average value thereof is employed.

回折格子や構造色体等の光学素子体が得られるようになる点では、凹凸パターン12aが蛇行せず、隣り合った凸部同士のピッチが凹凸パターン12aの方向に沿って均等であることが好ましい。ここで、凹凸パターン12aの配向のばらつきのことを配向度という。配向度が大きいほど、配向がばらついている。この配向度は、以下の方法で求められる。
まず、表面光学顕微鏡により凹凸パターンの上面を撮影し、その画像をグレースケールのファイル(例えば、tiff形式等)に変換する。グレースケールのファイルの画像(図3参照)では、白度が低いところ程、凹部の底部が深い(白度が高いところ程、凸部の頂部が高い)ことを表している。次いで、グレースケールのファイルの画像をフーリエ変換する。図4にフーリエ変換後の画像を示す。図4の画像の中心から両側に広がる白色部分は凹凸パターン12aのピッチおよび向きの情報が含まれる。
次いで、図4の画像の中心から水平方向に補助線Lを引き、その補助線上の輝度をプロット(図5参照)する。図5のプロットの横軸はピッチの逆数を、縦軸は頻度を表し、頻度が最大となる値Xの逆数が凹凸パターン12aの最頻ピッチを表す。
次いで、図4において、補助線Lと値Xの部分にて直交する補助線Lを引き、その補助線L上の輝度をプロット(図6参照)する。ただし、図6の横軸は、各種の凹凸構造との比較を可能にするため、Xの値で割った数値とする。図6の横軸は、凹凸の形成方向(図3における上下方向)に対する傾きの程度を示す指標(配向性)を、縦軸は頻度を表す。図6のプロットにおけるピークの半値幅W(頻度が最大値の半分になる高さでのピークの幅)が凹凸パターンの配向度を表す。半値幅Wが大きい程、蛇行してピッチがばらついていることを表す。
In order to obtain an optical element body such as a diffraction grating or a structural color body, the concave / convex pattern 12a does not meander, and the pitch between adjacent convex portions is uniform along the direction of the concave / convex pattern 12a. preferable. Here, the variation in the orientation of the concavo-convex pattern 12a is called the orientation degree. The greater the degree of orientation, the more the orientation varies. This degree of orientation is determined by the following method.
First, the top surface of the concavo-convex pattern is photographed with a surface optical microscope, and the image is converted into a grayscale file (for example, a tiff format). In the grayscale file image (see FIG. 3), the lower the whiteness, the deeper the bottom of the concave portion (the higher the whiteness, the higher the top of the convex portion). Next, the image of the grayscale file is Fourier transformed. FIG. 4 shows an image after Fourier transform. The white part extending from the center of the image in FIG. 4 to both sides includes information on the pitch and orientation of the concavo-convex pattern 12a.
Then, pull the extension line L 2 in the horizontal direction from the center of the image of FIG. 4, plotted (see FIG. 5) the luminance of the auxiliary line. The horizontal axis of the plot of FIG. 5 represents the reciprocal of the pitch, the vertical axis represents the frequency, and the reciprocal of the value X at which the frequency is maximum represents the most frequent pitch of the concavo-convex pattern 12a.
Then, in FIG. 4, the auxiliary line L 3 perpendicular at portions of the auxiliary line L 2 and the value X pull, its plotting the luminance on the auxiliary line L 3 (see FIG. 6). However, the horizontal axis of FIG. 6 is a numerical value divided by the value of X to enable comparison with various uneven structures. The horizontal axis in FIG. 6 represents an index (orientation) indicating the degree of inclination with respect to the direction of unevenness formation (vertical direction in FIG. 3), and the vertical axis represents frequency. The half width W 1 of the peak in the plot of FIG. 6 (the width of the peak at the height at which the frequency is half of the maximum value) represents the degree of orientation of the uneven pattern. As the half width W 1 is larger, indicating that the variations in the pitch meanders.

上記配向度は0.25以下であることが好ましい。配向度が0.25以下であれば、凹凸パターン12aのピッチのばらつきが小さいため、該ナノバックリング形状を有するシートおよび該ナノバックリング形状を有するシートを工程シート原版として用いて得た光学素子体の回折格子や構造色体としての性能がより高くなる。配向度を0.25以下にするためには、凹凸パターン形成シート製造の際に必要な圧縮応力の作用のさせ方を適宜選択すればよい。 The degree of orientation is preferably 0.25 or less. If the degree of orientation is 0.25 or less, the unevenness of the pitch of the concavo-convex pattern 12a is small. Therefore, the sheet having the nano buckling shape and the optical element obtained using the sheet having the nano buckling shape as a process sheet original plate The performance of the body as a diffraction grating or a structural color body becomes higher. In order to set the degree of orientation to 0.25 or less, a method of applying a compressive stress necessary for manufacturing the concavo-convex pattern forming sheet may be appropriately selected.

なお、上記のようにフーリエ変換を利用して求めた凹凸パターンの最頻ピッチは平均ピッチと同等となる。 Note that the most frequent pitch of the concavo-convex pattern obtained using the Fourier transform as described above is equivalent to the average pitch.

硬質層12を構成する第2の樹脂のガラス転移温度Tgと、基材11を構成する第1の樹脂のガラス転移温度Tgとの差(Tg−Tg)が10℃以上である本発明のナノバックリング形状を有するシート10は、後述するナノバックリング形状を有するシートの製造方法により得られるため、簡便に製造できる。
また、本発明者が調べた結果、凹凸パターン12aの最頻ピッチAが0.05μmを超え1μm以下、凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBが前記最頻ピッチAを100%とした際の5%以上である場合には、本発明のナノバックリング形状を有するシート10は、回折格子や構造色等の光学素子として利用できることが判明した。
The glass transition temperature Tg 2 of the second resin constituting the hard layer 12, the difference between the glass transition temperature Tg 1 of the first resin constituting the substrate 11 (Tg 2 -Tg 1) is at 10 ° C. or higher Since the sheet 10 having a nano buckling shape of the present invention is obtained by a method for producing a sheet having a nano buckling shape to be described later, it can be easily produced.
Further, as a result of investigation by the present inventor, when the mode pitch A of the concavo-convex pattern 12a exceeds 0.05 μm and is 1 μm or less, the average depth B of the bottom 12b of the concavo-convex pattern 12a sets the mode pitch A to 100%. It was found that the sheet 10 having the nano buckling shape of the present invention can be used as an optical element such as a diffraction grating or a structural color.

なお、本発明のナノバックリング形状を有するシートは、上述した実施形態に限定されない。例えば、本発明の凹凸パターン形成シートの凹凸パターンの凸部の先端が尖っていても構わない。さらには、硬質層は片方の面に設けても良いが、両面に設けてもよい。さらに、硬質層は、一層以上設けてよく、硬質層が樹脂のみ、金属または金属化合物のみ、金属層と樹脂層が混合して積層されていても構わない。 In addition, the sheet | seat which has a nano buckling shape of this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, the tip of the convex part of the concavo-convex pattern of the concavo-convex pattern forming sheet of the present invention may be sharp. Furthermore, the hard layer may be provided on one side, but may be provided on both sides. Further, one or more hard layers may be provided. The hard layer may be a resin alone, a metal or a metal compound alone, and a metal layer and a resin layer may be mixed and laminated.

(ナノバックリング形状を有するシートの製造方法)
本発明のナノバックリング形状を有するシートの製造方法の一実施形態について説明する。
本実施形態のナノバックリング形状を有するシートの製造方法は、樹脂製の基材である加熱収縮性フィルム11を加熱収縮させる工程(以下、第1の工程という。)と、樹脂製の基材である加熱収縮性フィルム11の片面に、表面が平滑な樹脂、金属または金属化合物からなる硬質層13(以下、表面平滑硬質層13という。)を設けて積層シート10aを形成する工程(以下、第2の工程という。)と、積層シート10aの少なくとも表面平滑硬質層13を蛇行変形させる工程(以下、第3の工程という。)とを有する方法である。
ここで、表面平滑硬質層13とは、JIS B0601に記載の中心線平均粗さ0.1μm以下の層である。
この方法では、表面平滑硬質層13を、第1の樹脂よりガラス転移温度が10℃以上高い第2の樹脂、金属または金属化合物で構成する。表面平滑硬質層13を、第1の樹脂よりガラス転移温度が10℃以上高い第2の樹脂、金属または金属化合物で構成することにより、圧縮した際に基材11を変形させながら表面平滑硬質層13が波状に折れ曲がり蛇行変形して、凹凸パターン12aを容易に形成できる。
(Method for producing a sheet having a nano buckling shape)
An embodiment of a method for producing a sheet having a nano buckling shape of the present invention will be described.
The manufacturing method of the sheet | seat which has the nano buckling shape of this embodiment is a process (henceforth a 1st process) which heat-shrinks the heat-shrinkable film 11 which is a resin-made base material, and a resin-made base material. A step of forming a laminated sheet 10a by providing a hard layer 13 (hereinafter referred to as a surface smooth hard layer 13) made of a resin, metal or metal compound having a smooth surface on one side of the heat-shrinkable film 11 which is A second step) and a step of meandering deformation of at least the surface smooth hard layer 13 of the laminated sheet 10a (hereinafter referred to as a third step).
Here, the smooth surface hard layer 13 is a layer having a center line average roughness of 0.1 μm or less as described in JIS B0601.
In this method, the surface smooth hard layer 13 is composed of a second resin, metal, or metal compound that has a glass transition temperature of 10 ° C. or more higher than that of the first resin. The surface smooth hard layer 13 is made of a second resin, metal or metal compound whose glass transition temperature is 10 ° C. or more higher than that of the first resin, so that the surface smooth hard layer 13 is deformed while being compressed. 13 is bent in a wave shape and meanderingly deformed, and the concave / convex pattern 12a can be easily formed.

[第1の工程]
第1の工程にて、加熱収縮性フィルム11aを熱収縮させる。加熱収縮性フィルム11aを加熱収縮させる際の加熱方法としては、熱風、蒸気または熱水中に通す方法等が挙げられ、中でも、均一に収縮させることができることから、熱水に通す方法が好ましい。
加熱収縮性フィルム11aを熱収縮させる際の加熱温度は、使用する加熱収縮性フィルムの種類および第3の工程の目的とする凹凸パターン12aのピッチならびに底部12bの深さに応じて適宜選択することが好ましい。
[First step]
In the first step, the heat-shrinkable film 11a is heat-shrinked. Examples of the heating method for heat-shrinking the heat-shrinkable film 11a include a method of passing it through hot air, steam, or hot water. Among them, a method of passing it through hot water is preferable because it can be uniformly shrunk.
The heating temperature when the heat-shrinkable film 11a is heat-shrinked is appropriately selected according to the type of the heat-shrinkable film to be used, the pitch of the concave / convex pattern 12a intended for the third step, and the depth of the bottom 12b. Is preferred.

加熱収縮性フィルム11aとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート系シュリンクフィルム、ポリスチレン系シュリンクフィルム、ポリオレフィン系シュリンクフィルム、ポリ塩化ビニル系シュリンクフィルムなどを用いることができる。
シュリンクフィルムの中でも、50〜70%収縮するものが好ましい。50〜70%収縮するシュリンクフィルムを用いれば、変形率を50%以上にでき、凹凸パターン12aの最頻ピッチAが0.05μmを超え1μm以下、凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBが最頻ピッチAを100%とした際の5%以上のナノバックリング形状を有するシート10を容易に製造できる。さらには、凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBが最頻ピッチAを100%とした際の100%以上のナノバックリング形状を有するシート10も容易に製造できる。
ここで、変形率とは、(変形前の長さ−変形後の長さ)/(変形前の長さ)×100(%)のことである。あるいは、(変形した長さ)/(変形前の長さ)×100(%)のことである。
本発明の第1の工程では、加熱収縮性フィルム11aを変形率1%以上収縮することが好ましい。さらには、5%以上が好ましい。加熱収縮性フィルム11aを前記範囲で熱収縮することにより、凹凸パターン12aの配向度を0.25以下にできる。
しかし、加熱収縮性フィルム11aを変形率1%以下で収縮すると、配向度が0.25を超えることがある。
As the heat-shrinkable film 11a, for example, a polyethylene terephthalate shrink film, a polystyrene shrink film, a polyolefin shrink film, a polyvinyl chloride shrink film, or the like can be used.
Among shrink films, those that shrink by 50 to 70% are preferable. If a shrink film that shrinks by 50 to 70% is used, the deformation rate can be 50% or more, the most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a is more than 0.05 μm and 1 μm or less, and the average depth B of the bottom 12b of the concavo-convex pattern 12a is The sheet 10 having a nano buckling shape of 5% or more when the most frequent pitch A is 100% can be easily manufactured. Furthermore, the sheet 10 having a nano buckling shape with an average depth B of the bottom portion 12b of the concavo-convex pattern 12a of 100% or more when the most frequent pitch A is 100% can be easily manufactured.
Here, the deformation rate is (length before deformation−length after deformation) / (length before deformation) × 100 (%). Alternatively, (deformed length) / (length before deformation) × 100 (%).
In the first step of the present invention, the heat-shrinkable film 11a is preferably shrunk at a deformation rate of 1% or more. Furthermore, 5% or more is preferable. By heat-shrinking the heat-shrinkable film 11a within the above range, the degree of orientation of the concavo-convex pattern 12a can be made 0.25 or less.
However, when the heat-shrinkable film 11a is shrunk at a deformation rate of 1% or less, the degree of orientation may exceed 0.25.

[第2の工程]
第2の工程にて、加熱収縮性フィルム11aの片面に表面平滑硬質層13を設けて積層シート10aを形成する方法としては、例えば、加熱収縮性フィルム11aの片面に、第2の樹脂の溶液または分散液をスピンコーターやバーコーター等により塗工し、溶媒を乾燥させる方法、加熱収縮性フィルム11aの片面に、あらかじめ作製した表面平滑硬質層13を積層する方法、加熱収縮性フィルム11aの片面に、金属や金属化合物を蒸着させる方法などが挙げられる。
[Second step]
In the second step, as a method of forming the laminated sheet 10a by providing the surface smooth hard layer 13 on one side of the heat-shrinkable film 11a, for example, a solution of the second resin on one side of the heat-shrinkable film 11a is used. Alternatively, the dispersion is applied by a spin coater, a bar coater or the like, and the solvent is dried. The method of laminating the surface smooth hard layer 13 prepared in advance on one side of the heat-shrinkable film 11a, one side of the heat-shrinkable film 11a. In addition, a method of vapor-depositing a metal or a metal compound can be used.

[第3の工程]
第3の工程にて、加熱収縮性フィルム11aを熱収縮させることにより、表面平滑硬質層13に、収縮方向に対して垂直方向に波状の凹凸パターン12aを形成させて、硬質層12を得る。
加熱収縮性フィルム11aを加熱収縮させる際の加熱方法としては、熱風、蒸気または熱水中に通す方法等が挙げられ、中でも、均一に収縮させることができることから、熱水に通す方法が好ましい。
加熱収縮性フィルム11aを熱収縮させる際の加熱温度は、使用する加熱収縮性フィルムの種類および目的とする凹凸パターン12aのピッチならびに底部12bの深さに応じて適宜選択することが好ましい。
[Third step]
In the third step, the heat-shrinkable film 11a is thermally contracted to form a wavy uneven pattern 12a in the direction perpendicular to the shrinking direction on the surface smooth hard layer 13, thereby obtaining the hard layer 12.
Examples of the heating method for heat-shrinking the heat-shrinkable film 11a include a method of passing it through hot air, steam, or hot water. Among them, a method of passing it through hot water is preferable because it can be uniformly shrunk.
The heating temperature when the heat-shrinkable film 11a is heat-shrinked is preferably selected as appropriate according to the type of heat-shrinkable film to be used, the pitch of the target concavo-convex pattern 12a, and the depth of the bottom 12b.

本発明では、表面平滑硬質層13が樹脂からなる場合、厚さを、0.001μmを超え0.5μm以下、好ましくは0.005〜0.2μmとする。表面平滑硬質層13の厚さを前記範囲にすることにより、凹凸パターン12aの最頻ピッチAを、確実に0.05μmを超え1μm以下にできる。
しかし、表面平滑硬質層13の厚さが0.001μm以下であると最頻ピッチAが0.05μm以下になることがあり、0.5μmを超えると、最頻ピッチAが1μmを超えることがある。
また、本発明では、表面平滑硬質層13を、加熱収縮性フィルムを構成する樹脂(第1の樹脂)よりガラス転移温度が10℃以上高い樹脂(第2の樹脂)で構成する。第1の樹脂のガラス転移温度と第2の樹脂のガラス転移温度が前記関係にあることにより、凹凸パターン12aの最頻ピッチAを、確実に0.05μmを超え1μm以下にできる。
表面平滑硬質層13の厚さは連続的に変化していても構わない。表面平滑硬質層14の厚さが連続的に変化している場合には、圧縮後に形成される凹凸パターン12aのピッチおよび深さが連続的に変化するようになる。
In the present invention, when the surface smooth hard layer 13 is made of a resin, the thickness is more than 0.001 μm and 0.5 μm or less, preferably 0.005 to 0.2 μm. By setting the thickness of the smooth surface hard layer 13 in the above range, the most frequent pitch A of the concave-convex pattern 12a can surely exceed 0.05 μm and be 1 μm or less.
However, if the thickness of the surface smooth hard layer 13 is 0.001 μm or less, the mode pitch A may be 0.05 μm or less, and if it exceeds 0.5 μm, the mode pitch A may exceed 1 μm. is there.
Moreover, in this invention, the surface smooth hard layer 13 is comprised with resin (2nd resin) whose glass transition temperature is 10 degreeC or more higher than resin (1st resin) which comprises a heat-shrinkable film. When the glass transition temperature of the first resin and the glass transition temperature of the second resin are in the above relationship, the most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a can surely exceed 0.05 μm and be 1 μm or less.
The thickness of the surface smooth hard layer 13 may change continuously. When the thickness of the smooth surface hard layer 14 is continuously changed, the pitch and depth of the uneven pattern 12a formed after compression are continuously changed.

この製造方法では、より容易に凹凸パターン12aを形成できることから、硬質層が樹脂からなる場合、表面平滑硬質層13のヤング率を0.01〜300GPaにすることが好ましく、0.1〜10GPaにすることがより好ましい。
ここで、ヤング率は、JIS Z 2280−1993の「金属材料の高温ヤング率試験方法」にて温度を23℃に変更して測定した値である。硬質層が金属化合物からなる場合も同様である。
In this manufacturing method, since the concavo-convex pattern 12a can be formed more easily, when the hard layer is made of a resin, the Young's modulus of the surface smooth hard layer 13 is preferably 0.01 to 300 GPa, and is preferably 0.1 to 10 GPa. More preferably.
Here, the Young's modulus is a value measured by changing the temperature to 23 ° C. according to “High Temperature Young's Modulus Test Method for Metal Materials” of JIS Z 2280-1993. The same applies when the hard layer is made of a metal compound.

表面平滑硬質層13が金属または金属化合物からなる場合、厚さは0.0001μmを超え0.1μm以下、好ましくは0.001〜0.07μmとする。表面平滑硬質層13の厚さを前記範囲とすることにより、凹凸パターン12aの最頻ピッチAを、確実に0.05μmを超え1μm以下にできる。しかし、表面平滑硬質層13の厚さが0.0001μm未満であると最頻ピッチAが0.05μm以下になることがあり、0.1μmを超えると、最頻ピッチAが1μmを超えることがある。
また、表面平滑硬質層13の厚さは連続的に変化していても構わない。表面平滑硬質層14の厚さが連続的に変化している場合には、圧縮後に形成される凹凸パターン12aのピッチおよび深さが連続的に変化するようになる。
When the surface smooth hard layer 13 is made of a metal or a metal compound, the thickness exceeds 0.0001 μm and is 0.1 μm or less, preferably 0.001 to 0.07 μm. By setting the thickness of the surface smooth hard layer 13 in the above range, the most frequent pitch A of the concave-convex pattern 12a can surely exceed 0.05 μm and be 1 μm or less. However, if the thickness of the surface smooth hard layer 13 is less than 0.0001 μm, the mode pitch A may be 0.05 μm or less, and if it exceeds 0.1 μm, the mode pitch A may exceed 1 μm. is there.
Moreover, the thickness of the surface smooth hard layer 13 may change continuously. When the thickness of the smooth surface hard layer 14 is continuously changed, the pitch and depth of the uneven pattern 12a formed after compression are continuously changed.

硬質層が、樹脂及び金属または金属化合物からなる場合、積層シート10aを変形させる際には、表面平滑硬質層13を5%以上の変形率で変形させることが好ましい。表面平滑硬質層13を5%以上の変形率で変形させれば、凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBを、容易に最頻ピッチAを100%とした際の5%以上にできる。
さらには、表面平滑硬質層13を20%以上の変形率で変形させることがより好ましい。
When the hard layer is made of a resin and a metal or a metal compound, when the laminated sheet 10a is deformed, it is preferable to deform the surface smooth hard layer 13 at a deformation rate of 5% or more. If the surface smooth hard layer 13 is deformed at a deformation rate of 5% or more, the average depth B of the bottom 12b of the concavo-convex pattern 12a can easily be 5% or more when the most frequent pitch A is 100%.
Furthermore, it is more preferable to deform the surface smooth hard layer 13 at a deformation rate of 20% or more.

この製造方法において、より容易に凹凸パターン12aを形成できることから、硬質層が金属または金属化合物からなる場合、表面平滑硬質層14のヤング率を0.1〜500GPaにすることが好ましく、1〜150GPaにすることがより好ましい。
表面平滑硬質層13のヤング率を前記範囲にするためには、表面平滑硬質層14を、金、アルミニウム、銀、炭素、銅、ゲルマニウム、インジウム、マグネシウム、ニオブ、パラジウム、鉛、白金、シリコン、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛、ビスマスよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属で構成することが好ましい。または、表面平滑硬質層14を、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化銅、酸化インジウム、酸化カドミウム、酸化鉛、酸化ケイ素、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、ガリウムヒ素よりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属化合物で構成することが好ましい。
In this manufacturing method, since the uneven pattern 12a can be more easily formed, when the hard layer is made of a metal or a metal compound, the Young's modulus of the surface smooth hard layer 14 is preferably 0.1 to 500 GPa, preferably 1 to 150 GPa. More preferably.
In order to make the Young's modulus of the surface smooth hard layer 13 in the above range, the surface smooth hard layer 14 is made of gold, aluminum, silver, carbon, copper, germanium, indium, magnesium, niobium, palladium, lead, platinum, silicon, It is preferably composed of at least one metal selected from the group consisting of tin, titanium, vanadium, zinc, and bismuth. Alternatively, the surface smooth hard layer 14 is made of titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, magnesium oxide, tin oxide, copper oxide, indium oxide, cadmium oxide, lead oxide, silicon oxide, barium fluoride, calcium fluoride, magnesium fluoride. , Zinc sulfide, and gallium arsenide. It is preferable to use at least one metal compound selected from the group consisting of gallium arsenide.

この製造方法では、表面平滑硬質層13の厚さが薄いほど、表面平滑硬質層13のヤング率が低いほど、凹凸パターン12aの最頻ピッチAが小さくなり、基材の変形率が高いほど、平均深さBが深くなる。したがって、凹凸パターン12aを所定の最頻ピッチA、平均深さBにするためには、前記条件を適宜選択する必要がある。 In this manufacturing method, the thinner the surface smooth hard layer 13 is, the lower the Young's modulus of the surface smooth hard layer 13 is, the smaller the most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a is, and the higher the deformation rate of the substrate is, The average depth B becomes deeper. Therefore, in order to set the concave / convex pattern 12a to the predetermined mode A and the average depth B, it is necessary to appropriately select the above conditions.

以上説明したナノバックリング形状を有するシートの製造方法では、表面平滑硬質層13が樹脂からなる場合、表面硬質層13を構成する第2の樹脂が加熱収縮性フィルム11aを構成する第1の樹脂よりガラス転移温度が10℃以上高いため、第1の樹脂のガラス転移温度と第2の樹脂のガラス転移温度の間の温度では、表面平滑硬質層13のヤング率が加熱収縮性フィルム11aより高くなる。その上、表面平滑硬質層13の厚さを0.001μmを超え0.5μm以下としているため、第1の樹脂のガラス転移温度と第2の樹脂のガラス転移温度の間の温度で加工した際には、表面平滑硬質層13は厚みを増すよりも、折り畳まれるようになる。
また、表面平滑硬質層13が金属または金属化合物からなる場合、表面硬質層13が、加熱圧縮性フィルム11aより硬い表面平滑硬質層13を熱圧縮した際に、厚みを増すよりも、折り畳まれるようになる。
さらに、表面平滑硬質層13は加熱収縮性フィルム11aに樹脂、金属または金属化合物などで積層されているため、加熱収縮性フィルム11aの収縮による応力が全体に均一にかかる。したがって、本発明によれば、表面平滑硬質層13を折り畳むように変形させて、光拡散体として性能に優れた凹凸パターン形成シート10を簡便に、かつ、大面積で製造できる。
しかも、この製造方法によれば、容易に、凹凸パターン12aの最頻ピッチAを、0.05μmを超え1μm以下、凹凸パターン12aの底部12bの平均深さBを、最頻ピッチAを100%とした際の5%以上にできる。
In the manufacturing method of the sheet | seat which has the nano buckling shape demonstrated above, when the surface smooth hard layer 13 consists of resin, 2nd resin which comprises the surface hard layer 13 is 1st resin which comprises the heat-shrinkable film 11a. Since the glass transition temperature is higher by 10 ° C. or more, the Young's modulus of the surface smooth hard layer 13 is higher than that of the heat-shrinkable film 11a at a temperature between the glass transition temperature of the first resin and the glass transition temperature of the second resin. Become. In addition, since the thickness of the surface smooth hard layer 13 is more than 0.001 μm and 0.5 μm or less, when processed at a temperature between the glass transition temperature of the first resin and the glass transition temperature of the second resin. In other words, the surface smooth hard layer 13 can be folded rather than increased in thickness.
Moreover, when the surface smooth hard layer 13 consists of a metal or a metal compound, when the surface hard layer 13 hard-presses the surface smooth hard layer 13 harder than the heat compressible film 11a, it is folded rather than increasing thickness. become.
Further, since the surface smooth hard layer 13 is laminated on the heat-shrinkable film 11a with resin, metal, metal compound, or the like, the stress due to the shrinkage of the heat-shrinkable film 11a is uniformly applied to the entire surface. Therefore, according to the present invention, the uneven surface pattern forming sheet 10 having excellent performance as a light diffuser can be produced easily and in a large area by deforming the surface smooth hard layer 13 so as to be folded.
Moreover, according to this manufacturing method, the most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a is easily set to more than 0.05 μm and not more than 1 μm, the average depth B of the bottom portion 12b of the concavo-convex pattern 12a is set to 100%. It can be 5% or more.

本発明では、加熱開始温度がTg℃よりも低い温度から上昇する。好ましくは(Tg−30)℃から0.1〜10℃/分上昇する割合で加熱収縮することにより、凹凸パターン12aの配向度が0.25以下となる。10℃/分より大きい割合で温度を上昇させると、配向度が0.25より大きくなる場合がある。また0.1℃/分より小さい割合で温度を上昇させることは、加熱に時間がかかりすぎるため効率が悪い。 In the present invention, the heating start temperature rises from a temperature lower than Tg ° C. Preferably, the degree of orientation of the concavo-convex pattern 12a becomes 0.25 or less by heat-shrinking at a rate rising from (Tg-30) ° C. by 0.1 to 10 ° C./min. When the temperature is increased at a rate greater than 10 ° C./min, the degree of orientation may be greater than 0.25. Further, increasing the temperature at a rate smaller than 0.1 ° C./min is inefficient because heating takes too much time.

また、以下の工程により凹凸パターン12aの平均深さBを、最頻ピッチAを100%とした際の300%にすることができる。
加熱収縮性フィルム11aをあらかじめ収縮させた後、加熱収縮性フィルム11aに加熱収縮性フィルム11aよりガラス転移温度が低いプライマー樹脂層を塗工し、該プライマー樹脂層の上に表面硬質平滑層13を設けた積層シートを形成する。該積層シートを加熱収縮させることによりナノバックリング形状を有するシートを形成する。
加熱収縮後の加熱収縮性フィルム11aを積層シートから剥離し、別の加熱収縮性フィルムを貼り合せ、積層シートを形成する。この積層シートを加熱収縮させることにより、加熱収縮性フィルム1枚分を加熱収縮させた場合より、平均深さBを大きくすることが可能である。この工程を複数回繰り返すことで、凹凸パターン12aの平均深さBを、最頻ピッチAを100%とした際の300%にすることができる。
Moreover, the average depth B of the uneven | corrugated pattern 12a can be 300% when the most frequent pitch A is set to 100% by the following processes.
After shrinking the heat-shrinkable film 11a in advance, a primer resin layer having a glass transition temperature lower than that of the heat-shrinkable film 11a is applied to the heat-shrinkable film 11a, and the surface hard smooth layer 13 is formed on the primer resin layer. The provided laminated sheet is formed. A sheet having a nano buckling shape is formed by heat shrinking the laminated sheet.
The heat-shrinkable film 11a after heat shrinkage is peeled from the laminated sheet, and another heat-shrinkable film is bonded to form a laminated sheet. By heat-shrinking this laminated sheet, the average depth B can be increased as compared with the case where one heat-shrinkable film is heat-shrinked. By repeating this step a plurality of times, the average depth B of the concavo-convex pattern 12a can be 300% when the most frequent pitch A is 100%.

また、ナノバックリング形状を有するシートの第一の工程及び第二の工程を含む製造方法としては、下記(1)および(2)の方法を適用することもできる。

(1)基材11の片面の全部に、表面平滑硬質層13を設けて積層シート10aを形成し、積層シート10a全体を表面に沿った一方向に圧縮する方法。
基材11のガラス転移温度が室温未満の場合、積層シート10aの圧縮は室温で行い、基材11のガラス転移温度が室温以上の場合、積層シート10aの圧縮は、基材11のガラス転移温度以上、平面平滑硬質層14のガラス転移温度未満で行う。
(2)基材11の片面の全部に、表面平滑硬質層14を設けて積層シート10aを形成し、積層シート10aを一方向に延伸し、延伸方向に対する直交方向を収縮させて、表面平滑硬質層13を表面に沿った一方向に圧縮する方法。
基材11のガラス転移温度が室温未満の場合、積層シート10aの延伸は室温で行い、基材11のガラス転移温度が室温以上の場合、積層シート10aの延伸は、基材11のガラス転移温度以上、平面平滑硬質層14のガラス転移温度未満で行う。
Moreover, as a manufacturing method including the first step and the second step of the sheet having a nano buckling shape, the following methods (1) and (2) can be applied.

(1) A method of forming the laminated sheet 10a by providing the surface smooth hard layer 13 on one side of the substrate 11 and compressing the entire laminated sheet 10a in one direction along the surface.
When the glass transition temperature of the base material 11 is less than room temperature, the lamination sheet 10a is compressed at room temperature. When the glass transition temperature of the base material 11 is room temperature or more, the compression of the lamination sheet 10a is the glass transition temperature of the base material 11. This is performed at a temperature lower than the glass transition temperature of the flat smooth hard layer 14.
(2) The surface smooth hard layer 14 is provided on the entire surface of the substrate 11 to form the laminated sheet 10a, the laminated sheet 10a is stretched in one direction, and the direction orthogonal to the stretching direction is contracted to thereby smooth the surface smooth hard. A method of compressing layer 13 in one direction along the surface.
When the glass transition temperature of the substrate 11 is lower than room temperature, the lamination sheet 10a is stretched at room temperature. When the glass transition temperature of the substrate 11 is equal to or higher than room temperature, the lamination sheet 10a is stretched at the glass transition temperature of the substrate 11. This is performed at a temperature lower than the glass transition temperature of the flat smooth hard layer 14.

(1)の方法において、積層シート10aを形成する方法としては、例えば、基材11の片面に、樹脂の溶液または分散液をスピンコーターやバーコーター等により塗工し、溶媒を乾燥させる方法などが挙げられる。 In the method (1), as a method of forming the laminated sheet 10a, for example, a resin solution or dispersion liquid is applied to one surface of the substrate 11 by a spin coater or a bar coater, and the solvent is dried. Is mentioned.

積層シート10a全体を表面に沿った一方向に圧縮する方法としては、例えば、積層シート10aの一端部とその反対側の端部とを、万力等により挟んで圧縮する方法などが挙げられる。 Examples of the method for compressing the entire laminated sheet 10a in one direction along the surface include a method of compressing the laminated sheet 10a by sandwiching one end portion of the laminated sheet 10a and the opposite end portion thereof with a vise or the like.

(2)の方法において、積層シート10aを一方向に延伸する方法としては、例えば、積層シート10aの一端部とその反対側の端部とを、引っ張って延伸する方法などが挙げられる。
(2)の方法における表面平滑硬質層13においても、(1)の方法で用いるものと同様の成分を用いることができ、同様の厚さとすることができる。また、積層シート10aの形成方法は、(1)の方法と同様に、基材11の片面に樹脂の溶液または分散液を塗工し、溶媒を乾燥させる方法を適用できる。
In the method (2), examples of the method of stretching the laminated sheet 10a in one direction include a method of stretching one end of the laminated sheet 10a and the opposite end thereof.
Also in the surface smooth hard layer 13 in the method (2), the same components as those used in the method (1) can be used, and the same thickness can be obtained. Moreover, the formation method of the lamination sheet 10a can apply the method of applying the resin solution or dispersion liquid to the single side | surface of the base material 11, and drying a solvent similarly to the method of (1).

本発明のナノバックリング形状を有するシートは、片面または両面に他の層を備えてもよい。例えば、ナノバックリング形状を有するシートの、凹凸パターン12aが形成されている側の面に、その面の汚れを防止するために、フッ素樹脂またはシリコーン樹脂を主成分として含有する厚さ1〜5nm程度の防汚層を備えてもよい。
また、基材11側の面には、透明樹脂製あるいはガラス製の支持体が備えられていてもよい。
さらに、基材11側の面に粘着剤層が形成されていてもよく、機能性を適宜持たせるために色素を含んでもよい。
The sheet | seat which has the nano buckling shape of this invention may be equipped with another layer on one side or both surfaces. For example, the thickness of 1 to 5 nm containing a fluororesin or silicone resin as a main component on the surface of the sheet having a nano buckling shape on the surface on which the concave / convex pattern 12a is formed in order to prevent the surface from being stained. A degree of antifouling layer may be provided.
Further, a transparent resin or glass support may be provided on the surface of the substrate 11 side.
Furthermore, a pressure-sensitive adhesive layer may be formed on the surface on the substrate 11 side, and a dye may be included to appropriately provide functionality.

(ナノバックリング形状を有するシート製造用工程シート原版およびナノバックリング形状を有するシートの製造方法)
本発明のナノバックリング形状を有するシート製造用工程シート原版(以下、工程シート原版という。)は、上述した凹凸パターン12aを備えるものであり、凹凸パターン12aを、以下に示すような方法で他の素材に転写し、該工程シート原版と同等の最頻ピッチおよび平均深さの凹凸パターンが表面に形成されたナノバックリング形状を有するシートを大面積で大量に製造するための型として用いてもよい。
工程シート原版には、ナノバックリング形状を有するシート10を支持するための樹脂製または金属製の支持体をさらに備えてもよい。
(Process sheet precursor for producing a sheet having a nano buckling shape and a method for producing a sheet having a nano buckling shape)
The process sheet original plate for producing a sheet having a nano buckling shape of the present invention (hereinafter referred to as a process sheet original plate) includes the above-described uneven pattern 12a, and the uneven pattern 12a can be obtained by a method as described below. Used as a mold for producing a large amount of a sheet having a nano buckling shape having a concavo-convex pattern having the most frequent pitch and average depth formed on the surface equivalent to that of the process sheet original plate. Also good.
The process sheet original plate may further include a resin or metal support for supporting the sheet 10 having a nano buckling shape.

工程シート原版を用いてナノバックリング形状を有するシートを製造する具体的な方法としては、例えば、下記(a)〜(c)の方法が挙げられる。
(a)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の電離放射線硬化性樹脂を塗工する工程と、電離放射線を照射して前記硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を工程シート原版から剥離する工程とを有する方法。ここで、電離放射線とは、通常、紫外線または電子線のことであるが、本発明では、可視光線、X線、イオン線等も含む。
(b)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の液状熱硬化性樹脂を塗工する工程と、加熱して前記液状熱硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を工程シート原版から剥離する工程とを有する方法。
(c)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該シート状の熱可塑性樹脂を工程シート原版に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、その冷却したシート状の熱可塑性樹脂を工程シート原版から剥離する工程とを有する方法。
Specific examples of the method for producing a sheet having a nano buckling shape using the process sheet original plate include the following methods (a) to (c).
(A) Step of applying an uncured ionizing radiation curable resin to the surface of the process sheet original plate on which the concavo-convex pattern is formed, and curing the curable resin by irradiating with ionizing radiation and then curing the coating And a step of peeling the film from the process sheet original plate. Here, the ionizing radiation is usually ultraviolet rays or electron beams, but in the present invention, it includes visible rays, X-rays, ion rays and the like.
(B) A step of applying an uncured liquid thermosetting resin to the surface on which the concave and convex pattern of the process sheet original plate is formed, and a coating film cured by heating and curing the liquid thermosetting resin. And a step of peeling from the process sheet original plate.
(C) A step of bringing a sheet-shaped thermoplastic resin into contact with the surface of the process sheet original plate on which the concave / convex pattern is formed, and heating and softening the sheet-shaped thermoplastic resin while pressing the sheet-shaped thermoplastic resin against the process sheet original plate And a step of cooling, and a step of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the step sheet precursor.

また、工程シート原版を用いて2次工程用成形物を作製し、その2次工程用成形物を用いてナノバックリング形状を有するシートを製造することもできる。2次工程用成形物としては、例えば、2次工程シートが挙げられる。また、2次工程用成形物としては、工程シート原版を丸めて円筒の内側に貼り付け、その円筒の内側にロールを挿入した状態でめっきし、円筒からロールを取り出して得ためっきロールが挙げられる。
2次工程用成形物を用いる具体的な方法としては、下記(d)〜(f)の方法が挙げられる。
In addition, a molded article for the secondary process can be produced using the process sheet original plate, and a sheet having a nano buckling shape can be produced using the molded article for the secondary process. Examples of the molded product for the secondary process include a secondary process sheet. In addition, as the molded product for the secondary process, there is a plating roll obtained by rolling the process sheet original plate and sticking it on the inside of the cylinder, plating with the roll inserted inside the cylinder, and taking out the roll from the cylinder. It is done.
Specific methods using the molded product for the secondary process include the following methods (d) to (f).

(d)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、ニッケル等の金属めっきを行って、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を工程シート原版から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、次いで、2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、未硬化の電離放射線硬化性樹脂を塗工する工程と、電離放射線を照射して前記硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(e)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を工程シート原版から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、該2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、未硬化の液状熱硬化性樹脂を塗工する工程と、加熱により該樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(f)工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を工程シート原版から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、該2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該シート状の熱可塑性樹脂を2次工程用成形物に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、その冷却したシート状の
熱可塑性樹脂を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(D) A step of performing metal plating such as nickel on the surface of the process sheet original plate on which the concave / convex pattern is formed, and laminating a plating layer (material for transferring the concave / convex pattern), and peeling the plating layer from the process sheet original plate. Then, a step of producing a metal molded product for the secondary process, and then a step of applying an uncured ionizing radiation curable resin to the surface on the side that has been in contact with the concave-convex pattern of the molded product for the secondary process And a step of irradiating ionizing radiation to cure the curable resin, and then peeling the cured coating film from the molded product for the secondary process.
(E) A step of laminating a plating layer (a material for transferring a concavo-convex pattern) on the surface of the process sheet original plate on which the concavo-convex pattern is formed, and peeling the plating layer from the process sheet original plate for a metal secondary process. The step of producing a molded product, the step of applying an uncured liquid thermosetting resin to the surface that was in contact with the concave-convex pattern of the molded product for the secondary process, and the resin was cured by heating. And a step of peeling the cured coating film from the molded product for the secondary process.
(F) A step of laminating a plating layer (uneven pattern transfer material) on the surface of the process sheet original plate on which the concave / convex pattern is formed, and peeling the plating layer from the process sheet original plate for a metal secondary process A step of producing a molded product, a step of bringing a sheet-shaped thermoplastic resin into contact with the surface of the molded product for the secondary process that has been in contact with the concave-convex pattern, and a secondary process of the sheet-shaped thermoplastic resin. A method comprising: a step of cooling after being softened by heating while pressing the molded product, and a step of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the molded product for the secondary process.

(a)の方法の具体例について説明する。図8に示すように、まず、ウェブ状の工程シート原版110の凹凸パターン112aが形成された面に、コーター120により未硬化の液状電離放射線硬化性樹脂112cを塗工する。次いで、該硬化性樹脂を塗工した工程シート原版110を、ロール130を通すことにより押圧して、前記硬化性樹脂を工程シート原版110の凹凸パターン112a内部に充填する。その後、電離放射線照射装置140により電離放射線を照射して、硬化性樹脂を架橋・硬化させる。そして、硬化後の電離放射線硬化性樹脂を工程シート原版110から剥離させることにより、ウェブ状のナノバックリング形状を有するシート150を製造することができる。 A specific example of the method (a) will be described. As shown in FIG. 8, first, an uncured liquid ionizing radiation curable resin 112 c is applied by a coater 120 to the surface of the web-shaped process sheet original plate 110 on which the uneven pattern 112 a is formed. Next, the process sheet original plate 110 coated with the curable resin is pressed by passing through a roll 130, and the curable resin is filled into the concave and convex pattern 112 a of the process sheet original plate 110. Thereafter, ionizing radiation is irradiated by the ionizing radiation irradiation device 140 to crosslink and cure the curable resin. And the sheet | seat 150 which has a web-like nano buckling shape can be manufactured by peeling the ionizing radiation curable resin after hardening from the process sheet | seat original plate 110. FIG.

(a)の方法において、工程シート原版の凹凸パターンが形成された面には、離型性を付与する目的で、未硬化の電離放射線硬化性樹脂塗工前に、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等からなる層を1〜10nm程度の厚さで設けてもよい。
工程シート原版の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の電離放射線硬化性樹脂を塗工するコーターとしては、Tダイコーター、ロールコーター、バーコーター等が挙げられる。
未硬化の電離放射線硬化性樹脂としては、エポキシアクリレート、エポキシ化油アクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステル、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ビニル/アクリレート、ポリエン/アクリレート、シリコンアクリレート、ポリブタジエン、ポリスチリルメチルメタクリレート等のプレポリマー、脂肪族アクリレート、脂環式アクリレート、芳香族アクリレート、水酸基含有アクリレート、アリル基含有アクリレート、グリシジル基含有アクリレート、カルボキシ基含有アクリレート、ハロゲン含有アクリレート等のモノマーの中から選ばれる1種類以上の成分を含有するものが挙げられる。未硬化の電離放射線硬化性樹脂は溶媒等で希釈することが好ましい。
また、未硬化の電離放射線硬化性樹脂には、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等を添加してもよい。
未硬化の電離放射線硬化性樹脂を紫外線により硬化する場合には、未硬化の電離放射線硬化性樹脂にアセトフェノン類、ベンゾフェノン類等の光重合開始剤を添加することが好ましい。
In the method (a), for the purpose of imparting releasability to the surface on which the uneven pattern of the process sheet original plate is formed, before coating with an uncured ionizing radiation curable resin, from a silicone resin, a fluororesin or the like. The layer to be formed may be provided with a thickness of about 1 to 10 nm.
Examples of the coater for applying an uncured ionizing radiation curable resin to the surface of the process sheet original plate on which the uneven pattern is formed include a T-die coater, a roll coater, and a bar coater.
Uncured ionizing radiation curable resins include epoxy acrylate, epoxidized oil acrylate, urethane acrylate, unsaturated polyester, polyester acrylate, polyether acrylate, vinyl / acrylate, polyene / acrylate, silicon acrylate, polybutadiene, and polystyrylmethyl methacrylate. 1 type selected from monomers such as prepolymers such as aliphatic acrylate, alicyclic acrylate, aromatic acrylate, hydroxyl group-containing acrylate, allyl group-containing acrylate, glycidyl group-containing acrylate, carboxy group-containing acrylate, halogen-containing acrylate, etc. The thing containing the above component is mentioned. The uncured ionizing radiation curable resin is preferably diluted with a solvent or the like.
Moreover, you may add a fluororesin, a silicone resin, etc. to uncured ionizing radiation curable resin.
When the uncured ionizing radiation curable resin is cured by ultraviolet rays, it is preferable to add a photopolymerization initiator such as acetophenones and benzophenones to the uncured ionizing radiation curable resin.

未硬化の液状電離放射線硬化性樹脂を塗工した後には、樹脂、ガラス等からなる基材を貼り合わせてから電離放射線を照射してもよい。電離放射線の照射は、基材、工程シート原版の電離放射線透過性を有するいずれか一方から行えばよい。 After coating the uncured liquid ionizing radiation curable resin, the substrate may be irradiated with ionizing radiation after a substrate made of resin, glass or the like is bonded. Irradiation with ionizing radiation may be performed from any one of the base material and the process sheet original plate having ionizing radiation transparency.

硬化後の電離放射線硬化性樹脂のシートの厚みは0.1〜100μm程度とすることが好ましい。硬化後の電離放射線硬化性樹脂のシートの厚みが0.1μm以上であれば、充分な強度を確保でき、100μm以上であれば、充分な可撓性を確保できる。 The thickness of the ionizing radiation curable resin sheet after curing is preferably about 0.1 to 100 μm. If the thickness of the ionizing radiation curable resin sheet after curing is 0.1 μm or more, sufficient strength can be secured, and if it is 100 μm or more, sufficient flexibility can be secured.

上記図8に示す方法では、工程シート原版がウェブ状であったが、枚葉のシートであってもよい。枚葉のシートを用いる場合、枚葉のシートを平板状の型として使用するスタンプ法、枚葉のシートをロールに巻きつけて円筒状の型として使用するロールインプリント法等を適用できる。また、射出成形機の型の内側に枚葉の工程シート原版を配置させてもよい。 In the method shown in FIG. 8, the process sheet original plate is a web-like shape, but it may be a sheet. In the case of using a single sheet, a stamp method using a single sheet as a flat plate mold, a roll imprint method using a single sheet wound around a roll as a cylindrical mold, and the like can be applied. Moreover, you may arrange | position the sheet | seat process sheet | seat original plate inside the type | mold of an injection molding machine.

(b),(e)の方法において、液状熱硬化性樹脂としては、例えば、未硬化の、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。
また、(b)の方法における硬化温度は、工程シート原版のガラス転移温度より低いことが好ましい。硬化温度が工程シート原版のガラス転移温度以上であると、硬化時に工程シート原版の凹凸パターンが変形するおそれがあるからである。
In the methods (b) and (e), examples of the liquid thermosetting resin include uncured melamine resin, urethane resin, and epoxy resin.
The curing temperature in the method (b) is preferably lower than the glass transition temperature of the process sheet original plate. This is because if the curing temperature is equal to or higher than the glass transition temperature of the process sheet precursor, the uneven pattern of the process sheet precursor may be deformed during curing.

(c),(f)の方法において、熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル等が挙げられる。
シート状の熱可塑性樹脂を2次工程用成形物に押圧する際の圧力は1〜100MPaであることが好ましい。押圧時の圧力が1MPa以上であれば、凹凸パターンを高い精度で転写させることができ、100MPa以下であれば、過剰な加圧を防ぐことができる。
また、(c)の方法における熱可塑性樹脂の加熱温度は、工程シート原版のガラス転移温度より低いことが好ましい。加熱温度が工程シート原版のガラス転移温度以上であると、加熱時に工程シート原版の凹凸パターンが変形するおそれがあるからである。
加熱後の冷却温度としては、凹凸パターンを高い精度で転写させることができることから、熱可塑性樹脂のガラス転移温度未満であることが好ましい。
In the methods (c) and (f), examples of the thermoplastic resin include acrylic resin, polyolefin, polyester, and the like.
The pressure when pressing the sheet-like thermoplastic resin against the molded product for the secondary process is preferably 1 to 100 MPa. If the pressure at the time of pressing is 1 MPa or more, the concavo-convex pattern can be transferred with high accuracy, and if it is 100 MPa or less, excessive pressurization can be prevented.
Moreover, it is preferable that the heating temperature of the thermoplastic resin in the method (c) is lower than the glass transition temperature of the process sheet original plate. This is because if the heating temperature is equal to or higher than the glass transition temperature of the process sheet precursor, the uneven pattern of the process sheet precursor may be deformed during heating.
The cooling temperature after heating is preferably less than the glass transition temperature of the thermoplastic resin because the uneven pattern can be transferred with high accuracy.

(a)〜(c)の方法の中でも、加熱を省略でき、工程シート原版の凹凸パターンの変形を防止できる点で、電離放射線硬化性樹脂を使用する(a)の方法が好ましい。 Among the methods (a) to (c), the method (a) using an ionizing radiation curable resin is preferable in that heating can be omitted and deformation of the concavo-convex pattern of the process sheet original plate can be prevented.

(d)〜(f)の方法においては、金属製の2次工程用成形物の厚さを50〜500μm程度とすることが好ましい。金属製の2次工程用成形物の厚さが50μm以上であれば、2次工程用成形物が充分な強度を有し、500μm以下であれば、充分な可撓性を確保できる。
(d)〜(f)の方法では、熱による変形が小さい金属製シートを工程シートとして用いるため、凹凸パターン形成シート用の材料として、電離放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも使用できる。
In the methods (d) to (f), it is preferable that the thickness of the metallic secondary process molded product is about 50 to 500 μm. If the thickness of the metal secondary process molded product is 50 μm or more, the secondary process molded product has sufficient strength, and if it is 500 μm or less, sufficient flexibility can be secured.
In the methods (d) to (f), a metal sheet that is not easily deformed by heat is used as a process sheet. Therefore, as a material for the concavo-convex pattern forming sheet, an ionizing radiation curable resin, a thermosetting resin, or a thermoplastic resin is used. Either can be used.

なお、(d)〜(f)では工程シート原版の凹凸パターンを金属に転写させて2次工程用成形物を得たが、樹脂に転写させて2次工程用成形物を得てもよい。その場合に使用できる樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリスルホン、(a)の方法で使用する電離放射線硬化性樹脂などが挙げられる。電離放射線硬化性樹脂を用いる場合には、(a)の方法と同様に、電離放射線硬化性樹脂の塗工、硬化、剥離を順次行って、2次工程用成形物を得る。 In addition, in (d)-(f), the uneven | corrugated pattern of the process sheet | seat original plate was transcribe | transferred to the metal, and the molding for secondary processes was obtained, However, you may transcribe | transfer to resin and may obtain the molding for secondary processes. Examples of the resin that can be used in this case include polycarbonate, polyacetal, polysulfone, and ionizing radiation curable resin used in the method (a). When using an ionizing radiation curable resin, similarly to the method (a), the ionizing radiation curable resin is sequentially applied, cured, and peeled to obtain a molded product for the secondary process.

上述のようにして得たナノバックリング形状を有するシートには、凹凸パターンの形成された面と反対の面に粘着剤層を設けても構わない。
また、工程シート原版として用いたナノバックリング形状を有するあるいは2次工程用成形物を剥離せずに保護層として用い、ナノバックリング形状を有するシートの使用直前に保護層を剥離してもよい。
The sheet having a nano buckling shape obtained as described above may be provided with a pressure-sensitive adhesive layer on the surface opposite to the surface on which the concavo-convex pattern is formed.
Further, the nano buckling shape used as the process sheet original plate may be used as a protective layer without peeling off the molded product for the secondary process, and the protective layer may be peeled off immediately before use of the sheet having the nano buckling shape. .

本発明のナノバックリング形状を有するシートは、上述の工程に沿って容易にかつ再現性よく製造できる。しかも、得られたフィルムの硬質層の表面には、回折格子として機能する微細な凹凸パターンのピッチが均一に形成されていて、ほぼ均一な虹彩模様を発現できるようになる。 The sheet | seat which has the nano buckling shape of this invention can be manufactured easily and with sufficient reproducibility along the above-mentioned process. In addition, the surface of the hard layer of the obtained film is formed with a uniform pitch pattern of fine concavo-convex patterns functioning as a diffraction grating, so that a substantially uniform iris pattern can be expressed.

本発明のナノバックリング形状を有するシートは、外観特性を生かして糸、包装材料、壁紙、ポスター、ラベル、衣料やベルト及び釣竿、ボタン、イヤリング、ペンダント等に用いることができる。また、複雑な組み合わせパターンにより、意匠、偽造防止分野のマーク、ラベル、包装材料等に用いることができる。他にセキュリティデバイスに組みこんで、通常の印刷とは異なる目視効果を備え、かつコピーなどによる偽造を防止できる有価証券、銀行券、身分証明書、クレジットカード等のセキュリティ性の求められる印刷物に用いることができる。
The sheet having a nano buckling shape of the present invention can be used for yarns, packaging materials, wallpaper, posters, labels, clothing and belts, fishing rods, buttons, earrings, pendants and the like by making use of appearance characteristics. Moreover, it can be used for a design, a mark in the field of anti-counterfeiting, a label, a packaging material, etc. by a complicated combination pattern. In addition, it can be incorporated into security devices and used for printed matters requiring security such as securities, banknotes, identification cards, credit cards, etc. that have a visual effect different from normal printing and can prevent counterfeiting by copying. be able to.

以下の例におけるヤング率は、引張り試験機(テスター産業社製TE−7001)を用い、JIS K 7113−1995に準拠して測定した値である。特に温度を記載していない場合には、23℃における値である。 The Young's modulus in the following examples is a value measured according to JIS K 7113-1995 using a tensile tester (TE-7001 manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.). In particular, when the temperature is not described, the value is at 23 ° C.

(実施例1)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)を、80℃で1分間加熱することにより、加熱前の長さの85%に熱収縮させ(すなわち、変形率15%で変形させ)、該基材の片面に、アルミニウムを厚さが8nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを40℃から1分/℃上昇の割合で85℃まで加熱することにより、加熱前の長さの60%に熱収縮させ(すなわち、変形率25%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
Example 1
By heating a heat-shrinkable film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa in a uniaxial direction (Hippet LX-60S manufactured by Mitsubishi Plastics, glass transition temperature 70 ° C.) at 80 ° C. for 1 minute, Heat shrink to 85% of the length before heating (ie, deform at a deformation rate of 15%), and vacuum deposit aluminum to a thickness of 8 nm on one side of the substrate to form a hard layer Thus, a laminated sheet was obtained.
Next, the laminated sheet is heated from 40 ° C. to 85 ° C. at a rate of 1 minute / ° C. to heat shrink to 60% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 25%) and hard A sheet having a wavy nano buckling shape in which the layer has a periodicity along a direction orthogonal to the shrinking direction was obtained.

(実施例2)
硬質層のアルミニウムを12nmになるように真空蒸着した以外は実施例1と同様にしてナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Example 2)
A sheet having a nano buckling shape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the hard layer aluminum was vacuum-deposited to 12 nm.

(実施例3)
硬質層のアルミニウムを20nmになるように真空蒸着した以外は実施例1と同様にしてナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Example 3)
A sheet having a nano buckling shape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the hard layer aluminum was vacuum-deposited to 20 nm.

(実施例4)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)を、80℃で1分間加熱することにより、加熱前の長さの85%に熱収縮させ(すなわち、変形率15%で変形させ)、該基材の片面に、アルミニウムを厚さが12nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを80℃で1分間加熱することにより、加熱前の長さの60%に熱収縮させ(すなわち、変形率25%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Example 4)
By heating a heat-shrinkable film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa in a uniaxial direction (Hippet LX-60S manufactured by Mitsubishi Plastics, glass transition temperature 70 ° C.) at 80 ° C. for 1 minute, Heat shrink to 85% of the length before heating (ie, deform at a deformation rate of 15%), and vacuum deposit aluminum to a thickness of 12 nm on one side of the substrate to form a hard layer Thus, a laminated sheet was obtained.
Next, the laminated sheet is heated at 80 ° C. for 1 minute to cause heat shrinkage to 60% of the length before heating (that is, deformation at a deformation rate of 25%), and the hard layer is orthogonal to the shrinking direction. A sheet having a wavy nano buckling shape having periodicity along the direction was obtained.

(実施例5)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)を、80℃で1分間加熱することにより、加熱前の長さの85%に熱収縮させ(すなわち、変形率15%で変形させ)、該基材の片面に、トルエンに希釈したポリメチルメタクリレート(ポリマーソース株式会社製P4831−MMA、ガラス転移温度100℃)を厚さが50nmになるようにバーコーターにより塗工し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを40℃から1分/℃上昇の割合で85℃まで加熱することにより、加熱前の長さの60%に熱収縮させ(すなわち、変形率25%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
なお、ポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルムおよび該ポリメチルメタクリレートの80℃におけるヤング率はそれぞれ50MPa、1GPaであった。
(Example 5)
By heating a heat-shrinkable film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa in a uniaxial direction (Hippet LX-60S manufactured by Mitsubishi Plastics, glass transition temperature 70 ° C.) at 80 ° C. for 1 minute, Heat-shrink to 85% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 15%), and polymethylmethacrylate diluted with toluene on one side of the base material (P4831-MMA manufactured by Polymer Sauce Co., Ltd., glass transition) (Temperature 100 ° C.) was applied by a bar coater so as to have a thickness of 50 nm, and a hard layer was formed to obtain a laminated sheet.
Next, the laminated sheet is heated from 40 ° C. to 85 ° C. at a rate of 1 minute / ° C. to heat shrink to 60% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 25%) and hard A sheet having a wavy nano buckling shape in which the layer has a periodicity along a direction orthogonal to the shrinking direction was obtained.
The Young's modulus at 80 ° C. of the polyethylene terephthalate heat-shrinkable film and the polymethyl methacrylate was 50 MPa and 1 GPa, respectively.

(実施例6)
実施例1で得たナノバックリング形状を有するシートを工程シートの原版として用いて、以下のようにしてナノバックリング形状を有するシートを得た。
すなわち、工程シート原版の凹凸パターンが形成された面にエポキシアクリレート系プレポリマー、2−エチルヘキシルアクリレート及びベンゾフェノン系光重合開始剤を含む未硬化の紫外線硬化性樹脂組成物を塗工した。
次いで、未硬化の紫外線硬化性樹脂組成物の塗膜の工程シート原版と接していない面に、厚さ50μmのトリアセチルセルロースフィルムを重ね合わせ、押圧した。
次いで、トリアセチルセルロースフィルムの上から紫外線を照射し、未硬化の紫外線硬化樹脂を硬化させ、その硬化物を工程シート原版から剥離し、ナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Example 6)
Using the sheet having the nano buckling shape obtained in Example 1 as the original plate of the process sheet, a sheet having the nano buckling shape was obtained as follows.
That is, an uncured ultraviolet curable resin composition containing an epoxy acrylate prepolymer, 2-ethylhexyl acrylate and a benzophenone photopolymerization initiator was applied to the surface of the process sheet original plate on which the uneven pattern was formed.
Next, a 50 μm-thick triacetyl cellulose film was superimposed on the surface of the uncured ultraviolet curable resin composition coating film that was not in contact with the process sheet original plate and pressed.
Subsequently, ultraviolet rays were irradiated from above the triacetyl cellulose film to cure the uncured ultraviolet curable resin, and the cured product was peeled off from the process sheet original plate to obtain a sheet having a nano buckling shape.

(実施例7)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)を、75℃で1分間加熱することにより、加熱前の長さの96%に熱収縮させ(すなわち、変形率4%で変形させ)、該基材の片面に、アルミニウムを厚さが20nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを40℃から1分/℃上昇の割合で85℃まで加熱することにより、加熱前の長さの66%に熱収縮させ(すなわち、変形率30%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Example 7)
By heating a heat-shrinkable film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa in a uniaxial direction (Hispet LX-60S manufactured by Mitsubishi Plastics, glass transition temperature 70 ° C.) at 75 ° C. for 1 minute, Heat shrink to 96% of the length before heating (ie, deform at a deformation rate of 4%), and vacuum deposit aluminum to a thickness of 20 nm on one side of the substrate to form a hard layer Thus, a laminated sheet was obtained.
Next, the laminate sheet is heated from 40 ° C. to 85 ° C. at a rate of 1 minute / ° C., so that it is thermally shrunk to 66% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 30%), and hard A sheet having a wavy nano buckling shape in which the layer has a periodicity along a direction orthogonal to the shrinking direction was obtained.

(比較例1)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)の片面に、アルミニウムを厚さが12nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを40℃から1分/℃上昇の割合で85℃まで加熱することにより、加熱前の長さの60%に熱収縮させ(すなわち、変形率40%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Comparative Example 1)
Aluminum shrinks to a thickness of 12 nm on one side of a polyethylene terephthalate heat shrinkable film (Mitsubishi Resin HXIPET LX-60S, glass transition temperature 70 ° C.) having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa. As described above, vacuum deposition was performed to form a hard layer to obtain a laminated sheet.
Next, the laminate sheet is heated from 40 ° C. to 85 ° C. at a rate of 1 minute / ° C., so that it is thermally shrunk to 60% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 40%). A sheet having a wavy nano buckling shape in which the layer has a periodicity along a direction orthogonal to the shrinking direction was obtained.

(比較例2)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)の片面に、アルミニウムを厚さが20nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを85℃で1分加熱することにより、加熱前の長さの60%に熱収縮させ(すなわち、変形率40%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Comparative Example 2)
Aluminum is 20 nm in thickness on one side of a polyethylene terephthalate heat shrinkable film (Mitsubishi Resin HXIPET LX-60S, glass transition temperature 70 ° C.) having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa. As described above, vacuum deposition was performed to form a hard layer to obtain a laminated sheet.
Next, the laminated sheet is heated at 85 ° C. for 1 minute to cause heat shrinkage to 60% of the length before heating (ie, deformation at a deformation rate of 40%), and the hard layer is orthogonal to the shrinking direction. A sheet having a wavy nano buckling shape having periodicity along the direction was obtained.

(比較例3)
一軸方向に熱収縮する厚さ50μmでヤング率3GPaのポリエチレンテレフタレート製加熱収縮性フィルム(三菱樹脂株式会社製ヒシペットLX−60S、ガラス転移温度70℃)の片面に、アルミニウムを厚さが12nmになるように真空蒸着し、硬質層を形成して積層シートを得た。
次いで、その積層シートを40℃から1分/℃上昇の割合で80℃まで加熱することにより、加熱前の長さの50%に熱収縮させ(すなわち、変形率50%で変形させ)、硬質層が、収縮方向に対して直交方向に沿って周期的を有する波状のナノバックリング形状を有するシートを得た。
(Comparative Example 3)
Aluminum shrinks to a thickness of 12 nm on one side of a polyethylene terephthalate heat shrinkable film (Mitsubishi Resin HXIPET LX-60S, glass transition temperature 70 ° C.) having a thickness of 50 μm and a Young's modulus of 3 GPa. As described above, vacuum deposition was performed to form a hard layer to obtain a laminated sheet.
Next, the laminated sheet is heated from 40 ° C. to 80 ° C. at a rate of 1 minute / ° C. to heat shrink to 50% of the length before heating (ie, deformed at a deformation rate of 50%), and hard A sheet having a wavy nano buckling shape in which the layer has a periodicity along a direction orthogonal to the shrinking direction was obtained.

(評価方法)
実施例1〜7および比較例1〜3のナノバックリング形状を有するシートの上面を、原子間力顕微鏡(日本ビーコ社製ナノスコープIII)により撮影した。
実施例1〜7および比較例1〜3のナノバックリング形状を有するシートでは、原子間力顕微鏡の画像にて凹凸パターンの深さを10箇所で測定し、それらを平均して平均深さを求めた。
また、凹凸パターンの最頻ピッチおよび配向度を以下のようにして求めた。
まず、原子間力顕微鏡により凹凸パターンの上面を撮影し、撮影して得た画像をグレースケールのファイルに変換した(図3、図9参照)。次いでグレースケールのファイル画像をフーリエ変換する。図4、図10にフーリエ変換後の画像を示す。次いで、図4、図10の画像の中心から水平方向にそれぞれ補助線L、Lを引き、その補助線上の輝度をプロット(図5、図11参照)し、縦軸の数値が最大となる横軸の値X、Yの逆数を最頻ピッチとした。次いで、図4、図10において、補助線L、Lと値X、Yの部分にて直交する補助線L、L上の輝度をプロット(図6、図12参照)する。そして、図6及び図12のプロットにおけるピークの半値幅W及、Wより凹凸パターンの配向度を求めた。最頻ピッチおよび配向度の値を表1に示す。
(Evaluation method)
The upper surface of the sheet | seat which has the nano buckling shape of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3 was image | photographed with the atomic force microscope (Nippon Beeco Nanoscope III).
In the sheet | seat which has the nano buckling shape of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3, the depth of an uneven | corrugated pattern is measured in 10 places with the image of an atomic force microscope, and those are averaged and average depth is obtained. Asked.
Further, the most frequent pitch and the degree of orientation of the concavo-convex pattern were determined as follows.
First, the top surface of the concavo-convex pattern was photographed with an atomic force microscope, and the photographed image was converted into a grayscale file (see FIGS. 3 and 9). The grayscale file image is then Fourier transformed. 4 and 10 show images after Fourier transform. Next, auxiliary lines L 2 and L 4 are drawn in the horizontal direction from the centers of the images in FIGS. 4 and 10, respectively, and the luminance on the auxiliary lines is plotted (see FIGS. 5 and 11). The reciprocal of values X and Y on the horizontal axis is the most frequent pitch. Next, in FIGS. 4 and 10, the luminances on the auxiliary lines L 3 and L 6 orthogonal to the auxiliary lines L 2 and L 4 at the portions of the values X and Y are plotted (see FIGS. 6 and 12). Then, to determine the degree of orientation of the peak half width W 1及, W 2 from the uneven pattern of the plot of FIG. 6 and FIG. 12. Table 1 shows the values of the most frequent pitch and the degree of orientation.

Figure 0005482401
Figure 0005482401

積層シートの表面平滑硬質層を折り畳むように変形させ、金属または金属化合物及び樹脂からなる層を積層した実施例1〜5および7では、ナノバックリング形状を有するシートを容易に製造できた。
さらに、実施例1〜5および7のナノバックリング形状を有するシートは、凹凸パターンの最頻ピッチが0.05μmを超え1μm以下で、底部の平均深さが前記最頻ピッチを100%とした際の5%以上かつ、配向度が0.25以下となりナノバックリング形状を有するシートとして適したものであった。実施例1〜5および7にて、上記のような最頻ピッチ、平均深さおよび配向度が得られたのは、あらかじめ基材を1%以上収縮させ、表面平滑硬質層を、硬質層が樹脂の場合は0.001を超え0.5μm以下で、硬質層が金属または金属化合物の場合は0.0001μmを超え0.1μm以下でそれぞれ設け、(Tg−30)℃から0.1〜10℃/分上昇する割合で加熱収縮し、変形率を5%以上としたためである。
また、実施例1で得た凹凸パターンを有するシートを工程シートとして用いた実施例6の製造方法によれば、凹凸パターンを有するシートと同等の最頻ピッチ、平均深さおよび配向度の凹凸パターンを有するナノバックリング形状を有するシートを簡便に製造できた。
In Examples 1 to 5 and 7 in which the surface smooth hard layer of the laminated sheet was deformed so as to be folded and a layer made of a metal or a metal compound and a resin was laminated, a sheet having a nano buckling shape could be easily produced.
Further, in the sheets having the nano buckling shapes of Examples 1 to 5 and 7, the most frequent pitch of the concavo-convex pattern was more than 0.05 μm and not more than 1 μm, and the average depth of the bottom was 100% of the most frequent pitch. 5% or more and the degree of orientation was 0.25 or less, which was suitable as a sheet having a nano buckling shape. In Examples 1 to 5 and 7, the mode pitch, the average depth, and the degree of orientation as described above were obtained by shrinking the base material by 1% or more in advance, In the case of resin, it is more than 0.001 and not more than 0.5 μm, and in the case where the hard layer is a metal or metal compound, it is provided more than 0.0001 μm and not more than 0.1 μm, and (Tg-30) ° C. This is because heat shrinkage occurs at a rate of increase of ° C./min, and the deformation rate is set to 5% or more.
Moreover, according to the manufacturing method of Example 6 using the sheet | seat which has the uneven | corrugated pattern obtained in Example 1 as a process sheet, the uneven | corrugated pattern of the most frequent pitch, average depth, and orientation degree equivalent to the sheet | seat which has an uneven | corrugated pattern. The sheet | seat which has a nano buckling shape which has can be manufactured simply.

これに対し、比較例1および3では、基材の収縮を行なかったため、得られたナノバックリング形状を有するシートの配向度は0.25を超えていた。
On the other hand, in Comparative Examples 1 and 3, since the base material was contracted, the degree of orientation of the obtained sheet having the nano buckling shape exceeded 0.25.

10 ナノバックリング形状を有するシート
10a 積層シート
11 基材
11a 加熱収縮性フィルム
12 硬質層
12a 凹凸パターン
12b 底部
13 表面平滑硬質層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sheet | seat which has nano buckling shape 10a Laminated sheet 11 Base material 11a Heat-shrinkable film 12 Hard layer 12a Concavity and convexity pattern 12b Bottom part 13 Surface smooth hard layer

Claims (14)

熱収縮性フィルム基材を加熱収縮して変形率1%以上となるようにする工程と、熱収縮性フィルムからなる樹脂製の基材の少なくとも片面に、平滑な硬質層を少なくとも一層以上設けて積層シートを形成する工程と、該積層シートを、基材の樹脂Tg℃以上の温度で加熱収縮することにより少なくとも該硬質層を蛇行変形させる工程とを含むことを特徴とするナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。   A step of heat-shrinking the heat-shrinkable film substrate to achieve a deformation rate of 1% or more, and at least one smooth hard layer is provided on at least one surface of the resin-made substrate made of the heat-shrinkable film. A nano buckling shape comprising: a step of forming a laminated sheet; and a step of meandering and deforming at least the hard layer by heat-shrinking the laminated sheet at a temperature equal to or higher than the resin Tg ° C. of the substrate. The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has. 熱収縮性フィルム基材を加熱収縮して変形率1%以上となるようにする工程と、熱収縮性フィルムからなる樹脂製の基材の少なくとも片面に、平滑な硬質層を少なくとも一層以上設けて積層シートを形成する工程と、該積層シートを、基材の樹脂Tg℃より低い温度から毎分0.1〜10℃の上昇割合で加熱収縮することにより少なくとも該硬質層を蛇行変形させる工程とを含むことを特徴とするナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。   A step of heat-shrinking the heat-shrinkable film substrate to achieve a deformation rate of 1% or more, and at least one smooth hard layer is provided on at least one surface of the resin-made substrate made of the heat-shrinkable film. A step of forming a laminated sheet, and a step of meanderingly deforming at least the hard layer by heat-shrinking the laminated sheet at a rate of 0.1 to 10 ° C. per minute from a temperature lower than the resin Tg ° C. of the substrate. The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape characterized by including this. 硬質層が樹脂からなる請求項1または2に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。   The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has a nano buckling shape of Claim 1 or 2 which a hard layer consists of resin. 硬質層が金属又は金属化合物からなる請求項1または2に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。   The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape of Claim 1 or 2 which a hard layer consists of a metal or a metal compound. 前記硬質層が、ポリビニルアルコール、ポリスチレン、アクリル樹脂、スチレン−アクリル共重合体、スチレン−アクリロニトリル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂である請求項1または2に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 The hard layer is selected from the group consisting of polyvinyl alcohol, polystyrene, acrylic resin, styrene-acrylic copolymer, styrene-acrylonitrile copolymer, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyethersulfone, and fluororesin. The method for producing a fine surface irregularity having a nano buckling shape according to claim 1 , wherein the method is at least one selected resin . 前記硬質層が、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化銅、酸化インジウム、酸化カドミウム、酸化鉛、酸化ケイ素、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、ガリウムヒ素、酸化ニオブよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属化合物である請求項1または2に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 The hard layer is made of titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, magnesium oxide, tin oxide, copper oxide, indium oxide, cadmium oxide, lead oxide, silicon oxide, barium fluoride, calcium fluoride, magnesium fluoride, zinc sulfide, The method for producing a fine surface irregularity having a nano buckling shape according to claim 1 or 2, wherein the method is at least one metal compound selected from the group consisting of gallium arsenide and niobium oxide . 前記硬質層が、金、アルミニウム、銀、炭素、銅、ゲルマニウム、インジウム、マグネシウム、ニオブ、パラジウム、鉛、白金、シリコン、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛、ビスマスよりなる群から選ばれる少なくとも1種の金属である請求項1または2に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 The hard layer is at least one selected from the group consisting of gold, aluminum, silver, carbon, copper, germanium, indium, magnesium, niobium, palladium, lead, platinum, silicon, tin, titanium, vanadium, zinc, and bismuth. 3. The method for producing a surface fine unevenness having a nano buckling shape according to claim 1 or 2, wherein the surface fine unevenness is a metal . 前記硬質層の表面に、最頻ピッチが0.05μmを超え1μm以下、凹凸の深さが最頻ピッチを100%とした際の5%以上で、かつ配向度が0.25以下でピッチが略均等である凹凸パターンを形成する請求項1〜7のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法。 On the surface of the hard layer, the most frequent pitch is 0 . An uneven pattern having a pitch of approximately equal to 5 μm and a depth of 1 μm or less , an unevenness depth of 5% or more when the most frequent pitch is 100%, and an orientation degree of 0.25 or less is formed. The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation which has the nano buckling shape as described in any one of Claims 7. 請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、未硬化の硬化性樹脂を塗工する工程と、該硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and the nano buckling shape of the obtained surface fine unevenness | corrugation body An optical element comprising: a step of applying an uncured curable resin to the surface on which the surface is formed ; and a step of separating the cured coating film from the surface fine irregularities after curing the curable resin. Production method. 請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該熱可塑性樹脂を前記表面微細凹凸体に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、冷却したシート状の熱可塑性樹脂を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and the nano buckling shape of the obtained surface fine unevenness | corrugation body A step of bringing a sheet-like thermoplastic resin into contact with the surface on which the surface is formed, a step of heating and softening the thermoplastic resin while pressing it against the fine surface irregularities, and a cooling sheet shape And a step of peeling the thermoplastic resin from the surface fine irregularities . 請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離して2次工程シートを作製する工程と、該2次工程シートの、前記表面微細凹凸体のナノバックリング形状と接していた側の面に、未硬化の硬化性樹脂を塗工する工程と、該硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程シートから剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and the nano buckling shape of the obtained surface fine unevenness | corrugation body A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface on which the surface is formed and a nano buckling shape transfer material laminated in a nano buckling shape are peeled from the surface fine irregularities to produce a secondary process sheet A step of applying an uncured curable resin to a surface of the secondary process sheet that is in contact with the nano buckling shape of the surface fine irregularities , and curing the curable resin. And a step of peeling the cured coating film from the secondary process sheet. 請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離して2次工程シートを作製する工程と、該2次工程シートの、前記表面微細凹凸体のナノバックリング形状と接していた側の面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該熱可塑性樹脂を2次工程シートに押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、冷却したシート状の熱可塑性樹脂を2次工程シートから剥離する工程とを有する光学素子の製造方法。 The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and the nano buckling shape of the obtained surface fine unevenness | corrugation body A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface on which the surface is formed and a nano buckling shape transfer material laminated in a nano buckling shape are peeled from the surface fine irregularities to produce a secondary process sheet A step of bringing the sheet-like thermoplastic resin into contact with the surface of the secondary step sheet that is in contact with the nano buckling shape of the fine surface irregularities, and the step of bringing the thermoplastic resin into the secondary step. A method for producing an optical element, comprising: a step of cooling while softening by pressing against a sheet, and a step of cooling; and a step of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the secondary process sheet. 工程シート原版の表面形状が転写され、該転写された表面形状を未硬化の硬化性樹脂に転写するための2次工程シートの製造方法であって、A method for producing a secondary process sheet for transferring a surface shape of a process sheet original plate and transferring the transferred surface shape to an uncured curable resin,
請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体を工程シート原版として該表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する2次工程シートの製造方法。  The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and using the obtained surface fine unevenness | corrugation body as a process sheet | seat original plate, A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface of the surface fine irregularities formed with the nano buckling shape, and the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape A process for producing a secondary process sheet having a process of peeling from a sheet.
工程シート原版の表面形状が転写され、該転写された表面形状を加熱して軟化させた熱可塑性樹脂に転写するための2次工程シートの製造方法であって、A method for producing a secondary process sheet for transferring a surface shape of a process sheet original plate to a thermoplastic resin obtained by heating and softening the transferred surface shape,
請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法により、表面微細凹凸体を得る工程と、得られた表面微細凹凸体を工程シート原版として該表面微細凹凸体の、ナノバックリング形状が形成された面に、ナノバックリング形状転写用材料を積層する工程と、ナノバックリング形状に積層したナノバックリング形状転写用材料を前記表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する2次工程シートの製造方法。  The process of obtaining a surface fine unevenness | corrugation body by the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which has a nano buckling shape as described in any one of Claims 1-8, and using the obtained surface fine unevenness | corrugation body as a process sheet | seat original plate, A step of laminating a nano buckling shape transfer material on the surface of the surface fine irregularities formed with the nano buckling shape, and the nano buckling shape transfer material laminated in the nano buckling shape A process for producing a secondary process sheet having a process of peeling from a sheet.
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