JP5470036B2 - Working device and working device cover - Google Patents

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Description

本発明は、フレームの延伸方向に移動可能な作業ヘッドを有するガントリー型の作業装置に関し、前記作業ヘッドのメンテナンス作業を容易にする作業装置および作業装置用カバーに関する。
なお、本明細書における「液材」には、溶剤、水溶液といった低粘度の液体から、グリス、接着材といった粘稠状体に至る広範な粘性範囲に含まれる液体材料のことであり、フィラー、固体粒子を含む液体材料を含み、銀ペースト、半田ペーストといったペースト状の流動体が含まれる。
また、本明細書における「吐出」には、液材をノズルから離間する前にワークに接触させるタイプの吐出および液材をノズルから離間した後にワークに接触させるタイプの吐出が含まれる。The present invention relates to a gantry-type work apparatus having a work head movable in the extending direction of a frame, and relates to a work apparatus and a work apparatus cover that facilitate maintenance work of the work head.
The “liquid material” in the present specification refers to a liquid material included in a wide viscosity range from a low-viscosity liquid such as a solvent or an aqueous solution to a viscous material such as grease or an adhesive, and a filler, A liquid material containing solid particles is included, and paste-like fluids such as silver paste and solder paste are included.
In addition, the term “discharge” in this specification includes a type of discharge in which the liquid material is brought into contact with the work before being separated from the nozzle and a type of discharge in which the liquid material is brought into contact with the work after being separated from the nozzle.

ワークが載置されるテーブルと、作業ヘッドを有するフレーム（ビームまたはガントリーフレームとも言う。）を有する作業装置があり、一般にガントリー型作業装置と呼ばれる。作業ヘッドと相対動するワークに対して所望の作業を行うためのガントリー型の作業装置としては、例えば、液晶表示パネルの製造におけるシール剤を塗布する装置、太陽電池パネルのパターニング装置、半導体デバイスの欠陥検査装置等がある。
この種の装置は、ワークの大型化に伴い装置本体そのものが大型化される傾向にあり、例えば、第８世代と呼ばれる液晶表示パネル用のガラス基板のサイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍであり、作業装置はこれを載置できるワークテーブルを備える必要がある。There is a working device having a table on which a work is placed and a frame (also referred to as a beam or a gantry frame) having a working head, and is generally called a gantry type working device. Examples of the gantry-type work apparatus for performing a desired work on the work moving relative to the work head include, for example, an apparatus for applying a sealant in the manufacture of a liquid crystal display panel, a patterning apparatus for a solar cell panel, a semiconductor device There are defect inspection devices.
This type of apparatus has a tendency to increase the size of the apparatus body itself as the workpiece becomes larger. For example, the size of a glass substrate for a liquid crystal display panel called 8th generation is 2160 mm × 2400 mm, and the working apparatus is It is necessary to provide a work table on which this can be placed.

門型構造のガントリー型液材塗布装置としては、例えば特許文献１に、ペーストパターンが形成される基板を保持する基板保持機構が一方方向にのみ移動可能に保持され、基板上にペーストを塗布する塗布ヘッドをそれぞれ備え、前記塗布ヘッドを前記基板の移動方向に対して直角方向に移動可能に構成したヘッド支持機構を２組設け、一方のヘッド支持機構は架台に固定し、他方のヘッド支持機構は前記基板の移動方向に移動可能に構成する装置が開示されている。   As a gantry-type liquid material coating apparatus having a portal structure, for example, in Patent Document 1, a substrate holding mechanism that holds a substrate on which a paste pattern is formed is held movably only in one direction, and paste is applied onto the substrate. Two sets of head support mechanisms each provided with a coating head and configured to move the coating head in a direction perpendicular to the moving direction of the substrate are provided, one head supporting mechanism is fixed to a gantry, and the other head supporting mechanism Discloses an apparatus configured to be movable in the moving direction of the substrate.

また、特許文献２には、テーブル上に搭載した基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画するペースト塗布機において、基板のペーストパターンが塗布描画される面に平行な面内で一方向に移動可能で、かつこの一方向とは異なる方向に伸延するフレームと、フレームに配列されて、フレームの伸延方向に移動可能にリニアモータが設けられ、かつペースト収納筒とこのペースト収納筒に充填されたペーストを吐出するペースト吐出口を有するノズルとが設けられた複数の塗布ヘッドと、ペースト吐出口がテーブルに搭載された基板に対向する範囲内で、テーブルに対してフレームを移動させるとともに、フレームに対して複数の塗布ヘッドを移動させながら、複数の塗布ヘッドのペースト吐出口からペーストを吐出させる制御をする制御手段とを備え、複数の塗布ヘッドによって基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画する構成の装置が開示されている。
特許第３７０１８８２号公報 特開２００３−２２５６０６号公報 In Patent Document 2, in a paste coating machine that applies and draws a paste pattern of a desired shape on a substrate mounted on a table, the substrate moves in one direction within a plane parallel to the surface on which the paste pattern is applied and drawn. A frame extending in a direction different from this one direction, a linear motor arranged in the frame and movable in the frame extending direction, and filled in the paste storage cylinder and the paste storage cylinder A plurality of coating heads provided with nozzles having paste discharge ports for discharging paste, and the frame is moved with respect to the table within a range where the paste discharge ports face the substrate mounted on the table, and the frame Control to discharge paste from the paste discharge ports of multiple application heads while moving multiple application heads And a control unit, device configurations for applying drawing a paste pattern of the desired shape on a substrate is disclosed by a plurality of coating heads.
Japanese Patent No. 3701882 JP 2003-225606 A

特許文献１の装置に例示される装置のように、作業ヘッドがフレームの内側に取り付けられたガントリー型装置では、フレームを移動する作業ヘッドが常に架台の内側に位置するため、作業ヘッドをメンテナンスするためには、作業者が手を大きく伸ばしたりして作業を行う必要があった。特に、フレームに複数のヘッドを有するマルチヘッドタイプの装置においては、架台の外からは作業ヘッドに手が届かないものもあり、メンテナンスのために架台上に乗り上がって作業を行わざるを得ない場合もあった。
しかしながら、架台上にはワークが載置されるテーブル等が配置されるため、作業者がその付近ないしはその上方でメンテナンス作業を行うことは好ましくない。特に、高いクリーン度が要求される装置においては、テーブル付近等でのメンテナンスは好ましくなく、場合によってはテーブル等をシート等を被せて作業を行わなくてはならなかった。In a gantry-type device in which the work head is attached to the inside of the frame like the device exemplified in the device of Patent Document 1, the work head that moves the frame is always located inside the frame, and therefore the work head is maintained. In order to do this, it was necessary for the operator to perform work with a large reach. In particular, in a multi-head type device having a plurality of heads in a frame, there are things that cannot reach the work head from the outside of the gantry, and it is necessary to work on the gantry for maintenance. There was a case.
However, since a table or the like on which the workpiece is placed is arranged on the gantry, it is not preferable for the worker to perform maintenance work near or above the work table. In particular, in an apparatus that requires a high degree of cleanliness, maintenance near the table or the like is not preferable, and in some cases, the table or the like must be covered with a sheet or the like.

また、装置本体がカバー内に配置される場合には、より課題は深刻であった。メンテナンスに際しては、カバー内に作業者が上半身を乗り入れてメンテナンスを行う必要があるが、作業性が悪く、クリーンな環境を要する装置内にほこりやゴミといったパーティクルや人体から生じる発塵物を持ち込むため好ましくなく、また、メンテナンス作業中に工具等の接触や落下によりテーブル等を破損させるという問題もあった。
しかも、メンテナンス時に生じたパーティクルがカバー内に滞留してしまい、かえってクリーン性が損なわれるという問題もあった。Further, when the apparatus main body is disposed in the cover, the problem is more serious. For maintenance, it is necessary for the operator to put the upper body into the cover for maintenance, but because workability is poor and dust and dust generated from the human body such as dust and dust are brought into the device that requires a clean environment. There is also a problem that the table or the like is damaged due to contact or dropping of the tool or the like during the maintenance work.
In addition, there is a problem that the particles generated during the maintenance stay in the cover and the cleanliness is deteriorated.

上記課題を鑑み、本発明は、作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる、作業装置および作業装置用カバーを提供することを目的とする。   In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a working device and a working device cover that can be easily maintained without impairing cleanliness.

作業ヘッドのメンテナンス性を向上させるための一つの解決手段としては、作業ヘッドをフレームの外側に取り付けることが考えられる。しかしながら、作業ヘッドをフレームの外側に取り付けたフレームを複数設けた構造の装置の場合、各フレームを可動に構成し、一のフレームの作業中、他のフレームが作業を邪魔しないように、夫々の作動を制御する必要が生ずる。   As one solution for improving the maintainability of the work head, it is conceivable to attach the work head to the outside of the frame. However, in the case of an apparatus having a structure in which a plurality of frames with work heads attached to the outside of the frame are provided, each frame is configured to be movable so that the other frame does not interfere with the work during the work of one frame. There is a need to control operation.

そこで、発明者は、フレームが固定された構造や、作業ヘッドを構成する部品の全部または一部がフレームの内側に取り付けられた構造においても、メンテナンス性を良好とすべく、フレームを架台の外方に延出し、作業ヘッドを架台の外方に位置される新規な構造を開発した。フレームを架台の外方に延出させる態様としては、フレームの両端を架台の外側に延出させる態様も考えられるが、メンテナンス作業を一箇所で行えることを考慮すると、フレームの片側のみを延出させるのが好ましい。特にカバー内に装置本体を配置する場合には、カバーの開口部の数を最小限にすることができるので好ましい。   Therefore, the inventor has attached the frame to the outside of the gantry in order to improve the maintainability even in a structure in which the frame is fixed or a structure in which all or a part of the parts constituting the work head are attached to the inside of the frame. A new structure has been developed that extends to the outside and the working head is located outside the mount. As an aspect of extending the frame to the outside of the pedestal, an aspect in which both ends of the frame are extended to the outside of the pedestal can be considered, but considering that maintenance work can be performed in one place, only one side of the frame is extended. It is preferable to do so. In particular, when the apparatus main body is arranged in the cover, it is preferable because the number of openings in the cover can be minimized.

また、上記の構造では、架台に乗り上げて作業が不要となったため、フレームの高さ自体を作業者の作業しやすい位置に構成することが可能であり、設計の自由度が高まるという有利な効果をも奏する。作業性を考慮して、メンテナンスエリアで作業ヘッドを上下可動としたり、作業ヘッドを取り外し可能に構成してもよい。   Further, in the above structure, since it is no longer necessary to work on the gantry, it is possible to configure the height of the frame itself at a position where it is easy for the operator to work, and the advantageous effect of increasing the degree of freedom in design. Also play. In consideration of workability, the work head may be movable up and down in the maintenance area, or the work head may be removable.

また、作業装置カバーで覆う構成においても、作業ヘッドがメンテナンスエリアに位置する際（以下、「メンテナンス位置」という場合がある。）、その近傍に開口用扉を設けることにより、作業ヘッドのメンテナンスを容易に行うことが可能である。   Also, in the structure covered with the work device cover, when the work head is located in the maintenance area (hereinafter sometimes referred to as “maintenance position”), the work head is maintained by providing an opening door in the vicinity thereof. It can be done easily.

以上の特徴を備える、本発明の作業装置は次のように構成されている。
すなわち、第１の発明は、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する複数の作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された前記複数の作業ヘッドとを備え、前記複数の作業ヘッドには、液材を吐出する液材吐出ヘッドが含まれること、前記フレームは、前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、かつ、前記作業ヘッドの全てを前記架台の外縁よりも外側に移動可能な長さに構成されること、前記作業ヘッドは、一のフレームのみに支持されること、前記フレームの側面であって前記架台の中央側に取り付けられること、かつ、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であること、前記架台の側方かつ前記架台の外縁よりも外側に延出する前記フレームの正面に立って、前記架台の外縁よりも外側に移動した前記作業ヘッドに対するメンテナンスを行うことが可能であることを特徴とする作業装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記フレームは、一端が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、他端が前記架台の外縁からはみ出さないように構成されることを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記フレームが複数あることを特徴とする。
第４の発明は、第３の発明において、隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設されることを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成されることを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明において、前記作業ヘッドが前記架台の外縁よりも外側に移動した状態で、前記ワークの搬入および／または搬出を行うように制御する制御部をさらに備えることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明に係る作業装置を覆うカバー（３０）を備える作業装置であって、該カバーは、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部に移動した前記作業ヘッドの近傍に開口扉を有することを特徴とする。
第８の発明は、第７の発明において、前記開口扉は、前記カバーの内部に作業者が進入可能に構成されることを特徴とする。
第９の発明は、第７または８の発明において、前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと、前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする。
第１０の発明は、第９の発明において、前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を備えることを特徴とする。
第１１の発明は、第７または８の発明において、前記架台が位置する作業エリアを、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を有することを特徴とする。
第１２の発明は、第１ないし１０のいずれかの発明において、前記フレームは、前記架台に配設された複数の支持体により床面と離間して支持されることを特徴とする。
第１３の発明は、第１ないし１２のいずれかの発明において、液晶パネル製造工程において用いられる作業装置であることを特徴とする。
第１４の発明は、第２の発明に係る作業装置を覆う略Ｌ字形状のカバーであって、前記フレームの前記架台から延出した端部に移動した前記作業ヘッドと対向する開口扉と、前記架台が位置する作業エリアを、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を備えることを特徴とする作業装置用カバーである。
第１５の発明は、第１４の発明において、前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする。 The working device of the present invention having the above features is configured as follows.
That is, the first invention is a working device for performing a desired work on a work placed on a table by relatively moving a table provided on the gantry and a plurality of work heads facing the table. A plurality of supports disposed on the gantry, a frame supported by the support and extended in a first direction, and the plurality of frames disposed on the frame so as to be movable in the first direction . A plurality of work heads, the plurality of work heads including a liquid material discharge head for discharging a liquid material, the frame is configured to extend outward from an outer edge of the gantry, and the work The length of the head is configured to be movable outside the outer edge of the gantry, the working head is supported by only one frame, the side surface of the frame, and the center side of the gantry To be attached to the One movement is movable outside the outer edge of the platform, standing in front of the frame which extend outward from the side and the outer edge of the frame of the frame, outside the outer edge of the frame The working device is capable of performing maintenance on the working head .
According to a second aspect, in the first aspect, the frame is configured such that one end extends outside the outer edge of the gantry and the other end is configured not to protrude from the outer edge of the gantry. Features.
A third invention is characterized in that in the first or second invention, there are a plurality of the frames.
A fourth invention is characterized in that, in the third invention, work heads of adjacent frames are arranged to face each other.
According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions, the support is configured to be movable in a second direction different from the first direction.
A sixth invention is the control unit according to any one of the first to fifth inventions, wherein the work head is controlled so as to carry in and / or carry out the work in a state where the work head has moved to the outside of the outer edge of the gantry. Is further provided.
7th invention is a working device provided with the cover (30) which covers the working device which concerns on any 1st thru | or 6th invention, Comprising: This cover is extended outside the outer edge of the said mount frame of the said flame | frame. characterized in that it have the opening doors in the vicinity of the working head has moved to the end.
In an eighth aspect based on the seventh aspect , the opening door is configured such that an operator can enter the cover.
According to a ninth invention, in the seventh or eighth invention, the inside of the cover includes a maintenance area where a portion of the frame extending outward from an outer edge of the frame is located, and a work area where the frame is located An inner wall having a partition and a head passage is provided.
A tenth aspect of the invention is characterized in that in the ninth aspect of the invention, there is provided a pressure adjusting mechanism that makes the working area a positive pressure as compared with the maintenance area.
In an eleventh aspect of the invention according to the seventh or eighth aspect of the present invention, the work area in which the gantry is located is adjusted to a positive pressure compared to a maintenance area in which a portion of the frame that extends outward from the outer edge of the gantry is located. It has a pressure mechanism.
A twelfth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to tenth aspects, the frame is supported apart from the floor surface by a plurality of supports disposed on the gantry.
A thirteenth invention is characterized in that, in any one of the first to twelfth inventions, the working device is used in a liquid crystal panel manufacturing process.
A fourteenth aspect of the invention is a substantially L-shaped cover that covers the working device according to the second aspect of the invention, and is an open door that faces the working head that has moved to an end portion that extends from the frame of the frame; A work device cover comprising a pressure adjusting mechanism that makes the work area where the frame is located a positive pressure compared to a maintenance area where a portion of the frame extending outward from the outer edge of the frame is located. is there.
In a fifteenth aspect based on the fourteenth aspect, the inside of the cover is divided into a maintenance area in which a portion of the frame extending outward from the outer edge of the frame is located and a work area in which the frame is located. An inner wall having a passage opening is provided.

本発明によれば、作業装置の作業ヘッドのメンテナンスが容易となり、しかも、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる。
また、フレームを可動としたり、作業ヘッドを設ける位置を工夫するなどの制限が無いため、設計の自由度を高めることができる。According to the present invention, the maintenance of the working head of the working device is facilitated, and the maintenance can be performed without impairing the cleanliness.
Moreover, since there is no restriction such as making the frame movable or devising the position where the work head is provided, the degree of freedom in design can be increased.

実施例１に係る液材塗布装置の斜視図である。1 is a perspective view of a liquid material application device according to Embodiment 1. FIG. 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for explaining a state in which the working head is retracted in the liquid material coating apparatus according to the first embodiment. 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避させた状態を説明するための正面図である。FIG. 6 is a front view for explaining a state in which the working head is retracted in the liquid material coating apparatus according to the first embodiment. 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避させた状態を説明するための平面図である。FIG. 6 is a plan view for explaining a state in which the working head is retracted in the liquid material coating apparatus according to the first embodiment. 実施例１に係る液材塗布装置を収納したカバーの斜視図である。1 is a perspective view of a cover that houses a liquid material application device according to Embodiment 1. FIG. 実施例１に係るカバーの背面図である。2 is a rear view of the cover according to Embodiment 1. FIG. 実施例２に係る液材塗布装置の斜視図である。6 is a perspective view of a liquid material coating apparatus according to Embodiment 2. FIG. 実施例２に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための斜視図である。In the liquid material coating device which concerns on Example 2, it is a perspective view for demonstrating the state which retracted the work head. 実施例２に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための平面図である。In the liquid material coating device which concerns on Example 2, it is a top view for demonstrating the state which retracted the work head. 実施例２に係る液材塗布装置を収納したカバーの斜視図である。6 is a perspective view of a cover that houses a liquid material application device according to Embodiment 2. FIG. 実施例２に係る液材塗布装置において、扉を開放した状態を説明するための斜視図である。In the liquid material coating device which concerns on Example 2, it is a perspective view for demonstrating the state which opened the door. 実施例２に係る液材塗布装置を収納したカバーに設けられた内壁の一態様を説明するための図面である。6 is a view for explaining an aspect of an inner wall provided in a cover that houses a liquid material application apparatus according to a second embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

図面に用いた主な凡例を以下に示す。
１ 架台／２ 支持体／３ 固定フレーム／４ 固定子／５ 可動子／６ 作業ヘッド／７ Ｙモータ／８ Ｙガイドレール（Ｙ方向スライドベース）／９ Ｙスライダー／１０ Ｘモータ／１１ Ｘガイドレール（Ｘ方向スライドベース）／１２ 作業テーブル／２１ 可動フレーム／２２ フレーム用スライドベース／２３ 可動支持体（スライダー）／３０ カバー／３１〜３３ 扉／３４〜３６ 開口部／３７ 非常停止ボタン／３８ 操作パネル／４０ 作業エリア／５０ 内壁（仕切パネル）／５１ ヘッド通過口／６０ メンテナンスエリアThe main legend used in the drawing is shown below.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base / 2 Support body / 3 Fixed frame / 4 Stator / 5 Movable element / 6 Working head / 7 Y motor / 8 Y guide rail (Y direction slide base) / 9 Y slider / 10 X motor / 11 X guide rail (X direction slide base) / 12 work table / 21 movable frame / 22 frame slide base / 23 movable support (slider) / 30 cover / 31-33 door / 34-36 opening / 37 emergency stop button / 38 operation Panel / 40 Work area / 50 Inner wall (partition panel) / 51 Head passage / 60 Maintenance area

本発明を実施するための最良の形態の作業装置は、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する複数の作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸された複数のフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする。   The working device according to the best mode for carrying out the present invention moves a table provided on a gantry and a plurality of work heads facing the table to perform a desired work on a work placed on the table. A plurality of supports disposed on the gantry, a plurality of frames supported by the support and extended in a first direction, and the frame in a first direction. An end of the frame extending outward from the outer edge of the gantry, and the working head is movable outward from the outer edge of the gantry. It is characterized by being.

前記作業ヘッドは、構成部品の全部または一部がフレームの内側に配設され、隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設され、リニアモータや回転モータ等の駆動源により、位置制御することが可能である。
作業ヘッドとしては、例えば、エアー圧力によって貯留容器に貯留された液材を加圧してノズル先端から吐出された液材をワークに付着させて塗布する吐出装置、貯留容器に貯留された液材の上方に貯留容器の内壁面に密着して摺動するプランジャーを急速に移動停止させることにより、ノズル先端から液材を離間させた後にワーク表面に塗布する飛滴装置、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置などである。同種の装置を複数配設してもよいし、異なる種類の装置を組み合わせて配設してしてもよい。The working head has all or a part of the components arranged inside the frame, the working heads of adjacent frames are arranged facing each other, and the position is controlled by a drive source such as a linear motor or a rotary motor. Is possible.
As the working head, for example, the liquid material stored in the storage container by air pressure is applied to the workpiece by applying the liquid material discharged from the nozzle tip to the work, and the liquid material stored in the storage container. By rapidly stopping the plunger that slides in close contact with the inner wall surface of the storage container upward, the droplet material is applied to the work surface after separating the liquid material from the nozzle tip, An inspection apparatus that inspects at least one of a height, a width, a cross-sectional area, and a defect of a drawn shape drawn in a linear shape. A plurality of devices of the same type may be arranged, or different types of devices may be arranged in combination.

前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成され、一以上のフレームを第二の方向に移動自在とする。
作業装置に高いクリーン度が要求される場合には、作業装置をカバーで覆うのが好ましい。カバーで覆う構成においても、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部の近傍に開口扉を設けることで、メンテナンス作業を容易に行うことが可能である。
また、フレームが移動しないタイプの作業装置においては、カバーの内部に作業者が進入可能に構成された開口扉を設け、作業性を確保してもよい。The support is configured to be movable in a second direction different from the first direction, and makes one or more frames movable in the second direction.
When the work device requires a high degree of cleanness, it is preferable to cover the work device with a cover. Even in the configuration covered with the cover, it is possible to easily perform maintenance work by providing an opening door in the vicinity of the end portion of the frame that extends outward from the outer edge of the frame.
Further, in a working device in which the frame does not move, an opening door configured to allow an operator to enter may be provided inside the cover to ensure workability.

以上の構成を有する本発明の最良の形態の装置は、例えば、液晶パネル製造工程において、液晶漏出を防止するシール材の塗布に用いられる。ガラス基板から複数枚のパネルを作成する、いわゆる多面取り工法においては、一枚のガラス基板から、例えば、４面（２×２）、９面（３×３）、２０面（４×５）等、複数のパネルが作成されるが、ここではパネル単位にシール材による長方形パターンが描画形成される。例えば、４×５のパネルを一枚のガラス基板から作成する場合には、５つの塗布ヘッドを配設し、１行目の５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画し、１行目の塗布が終了した後は、２行目以降の塗布位置に塗布ヘッドを移動し、同様に５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画する。
但し、本発明の技術思想は、上記のような塗布装置に限定されず、いわゆるガントリー型の作業装置であれば適用可能である。The apparatus of the best mode of the present invention having the above configuration is used, for example, for applying a sealing material for preventing liquid crystal leakage in a liquid crystal panel manufacturing process. In the so-called multi-sided construction method for creating a plurality of panels from a glass substrate, for example, four surfaces (2 × 2), nine surfaces (3 × 3), and twenty surfaces (4 × 5) from one glass substrate. In this example, a rectangular pattern made of a sealing material is drawn and formed for each panel. For example, when a 4 × 5 panel is formed from a single glass substrate, five coating heads are arranged, and five patterns in the first row are drawn simultaneously by the five coating heads. After the application is completed, the application head is moved to the application position on the second and subsequent lines, and similarly, five patterns are simultaneously drawn by the five application heads.
However, the technical idea of the present invention is not limited to the coating apparatus as described above, and can be applied to any so-called gantry type working apparatus.

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。   Hereinafter, the details of the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

《構造》
本実施例の液材塗布装置は、図１〜図４に示すように、ワークが載置されるテーブル１２を有する架台１と、架台１上に固設された一対の支持体２と、支持体２に支持され、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断する固定フレーム３とを備える。
固定フレーム３の側面には、固定子４が配設されており、固定子４には可動子５を介して複数の作業ヘッド６がＸ方向に移動自在に取り付けられている。作業ヘッド６は、図示しない公知の駆動機構により、Ｚ方向に移動自在に構成されている。"Construction"
As shown in FIGS. 1 to 4, the liquid material coating apparatus of the present embodiment includes a gantry 1 having a table 12 on which a work is placed, a pair of supports 2 fixed on the gantry 1, and a support. And a fixed frame 3 that is supported by the body 2 and that crosses the lateral direction (X direction) of the gantry 1.
A stator 4 is disposed on a side surface of the fixed frame 3, and a plurality of work heads 6 are attached to the stator 4 via a movable element 5 so as to be movable in the X direction. The work head 6 is configured to be movable in the Z direction by a known drive mechanism (not shown).

テーブル１２は、Ｘガイドレール１１によりＸ方向に移動自在に構成されている。また、テーブル１２は、Ｘガイドレール１１の下方に配設されたＹスライダー９およびＹガイドレール８によりＹ方向に移動自在に構成されている。なお、テーブル１２に、ワークをθ軸方向に移動させて所定の角度に位置決めするためのθ回転機構を設けてもよい。
Ｘ方向およびＹ方向のガイドレールとしては、リニアモータ用マグネットおよび直動ガイドを備える構成が例示されるが、この構成に限定されず、例えば、スライドベースにモータとモータに連動して回転するボールねじを備え、スライダーにボールねじの回転に連動して直進移動するナットを備える構成としてもよい。The table 12 is configured to be movable in the X direction by the X guide rail 11. The table 12 is configured to be movable in the Y direction by a Y slider 9 and a Y guide rail 8 disposed below the X guide rail 11. The table 12 may be provided with a θ rotation mechanism for moving the workpiece in the θ axis direction and positioning it at a predetermined angle.
Examples of the X-direction and Y-direction guide rails include a configuration including a linear motor magnet and a linear motion guide. However, the configuration is not limited to this configuration. For example, a ball that rotates in conjunction with a motor and a motor on a slide base. A screw may be provided, and the slider may be provided with a nut that moves linearly in conjunction with the rotation of the ball screw.

本実施例の液材塗布装置は、図５および図６に示すように、略Ｌ字形状のカバー３０内に配置される。
カバー３０は、ゴミやほこりがワークに付着するのを防ぐための閉空間であり、背面にはワークを搬入出する開口部３３が、正面には装置本体をメンテナンスするための開口部３４および扉３１ａ、３１ｂ、並びに、作業ヘッド６をメンテナンスするための扉３２が設けられている。また、カバー３０の正面のパネルには、図示しない主制御部を操作するための操作パネル３８が設けられている。カバー３０を構成する各パネルのうち、一対の取手が設けられているものは開閉することができる。
略Ｌ字形状のカバー３０は、扉３２の対向位置にフレーム３の架台１から延出した部分が位置するよう構成されている。このフレーム３の架台１から延出した部分は、作業ヘッド６のメンテナンス時における作業ヘッド６のメンテナンス位置を構成している。すなわち、作業ヘッド６のメンテナンス時には、図３および図４に示すように、作業ヘッド６が固定フレーム３の架台１から延出した部分に位置し、この際に作業ヘッド６が扉３２と対向するようにカバー３０は構成されている。
なお、一つのフレーム３に搭載される作業ヘッド６の数は適宜増減することができるが、全ての作業ヘッド６が架台１の外縁より外側に移動できるように構成することが好ましい。As shown in FIGS. 5 and 6, the liquid material coating apparatus of the present embodiment is disposed in a substantially L-shaped cover 30.
The cover 30 is a closed space for preventing dust and dust from adhering to the work, and an opening 33 for carrying in and out the work is provided on the back surface, and an opening 34 and a door for maintaining the apparatus main body on the front surface. 31a, 31b and a door 32 for maintaining the work head 6 are provided. An operation panel 38 for operating a main control unit (not shown) is provided on the front panel of the cover 30. Among the panels constituting the cover 30, those provided with a pair of handles can be opened and closed.
The substantially L-shaped cover 30 is configured such that a portion extending from the gantry 1 of the frame 3 is located at a position facing the door 32. The portion of the frame 3 extending from the gantry 1 constitutes the maintenance position of the work head 6 when the work head 6 is maintained. That is, at the time of maintenance of the work head 6, the work head 6 is located at a portion extending from the mount 1 of the fixed frame 3 as shown in FIGS. 3 and 4, and at this time, the work head 6 faces the door 32. Thus, the cover 30 is configured.
Although the number of work heads 6 mounted on one frame 3 can be increased or decreased as appropriate, it is preferable that all the work heads 6 can be moved outward from the outer edge of the gantry 1.

図４および図６において、一点鎖線で示したのは、作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を区切る内壁５０である。内壁６０には、作業ヘッド６が往復するためのヘッド通過口５１が設けられている。内壁５０およびヘッド通過口５１は、本実施例の態様に限定されないが、少なくとも作業ヘッド６が作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を移動するのを妨げないような態様で設置する。この内壁５０で、フレーム３の架台１から延出した部分と、架台１とを区切ることにより、メンテナンスエリア６０で発生する粉麈等のパーティクルが、作業エリア４０に進入することを最小限にすることができ、これにより品質劣化の問題を解消し、歩留まりを向上させることができる。   In FIG. 4 and FIG. 6, an inner wall 50 that divides the work area 40 and the maintenance area 60 is shown by a one-dot chain line. The inner wall 60 is provided with a head passage port 51 through which the work head 6 reciprocates. The inner wall 50 and the head passage port 51 are not limited to the mode of the present embodiment, but are installed in a mode that does not prevent at least the work head 6 from moving between the work area 40 and the maintenance area 60. By separating the portion extending from the frame 1 of the frame 3 and the frame 1 with the inner wall 50, particles such as powder dust generated in the maintenance area 60 are prevented from entering the work area 40. Thus, the problem of quality deterioration can be solved and the yield can be improved.

本実施例では、作業エリア４０にファン機構を設け、上部から下部に向かってクリーンなエアーを常流させている。これによりほこり等の不要物がカバー３０の下部から外部に排出されるため、カバー３０内に不要物が残留せず、常にクリーンな環境下で塗布作業が行うことができる。この際、空気清浄機を併用すること、或いは、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等のフィルターを介して外気を作業エリアに取り込むことが好ましい。
また、作業エリア４０をメンテナンスエリア６０と比べ陽圧とすることにより、作業エリア４０からメンテナンスエリア６０へ向かうエアの流れを形成することができる。この流れが、メンテナンスエリア６０で発生したパーティクルが作業エリア４０に進入することを防ぐ役割をする。In the present embodiment, a fan mechanism is provided in the work area 40 to allow clean air to flow normally from the upper part toward the lower part. As a result, unnecessary materials such as dust are discharged from the lower portion of the cover 30 to the outside, so that unnecessary materials do not remain in the cover 30 and the coating operation can be performed always in a clean environment. At this time, it is preferable to use an air cleaner in combination or to take outside air into the work area through a filter such as HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter).
In addition, by setting the work area 40 to a positive pressure compared to the maintenance area 60, it is possible to form an air flow from the work area 40 toward the maintenance area 60. This flow serves to prevent particles generated in the maintenance area 60 from entering the work area 40.

また、カバー３０の好ましい態様としては、ＳＵＳやアルミフレーム等による金属枠に金属製の壁または透過性の樹脂等の壁で構成されるものが例示される。樹脂製の壁は、クリア（無色透明）、黄、濃茶、赤、ダークグレー、スモーク（灰色）の場合など様々であるが、使用する液材の用途（例えば、紫外線を嫌う場合等）に応じて最適なものを選択して利用することができる。図６中、斜線部分は透明である。   Moreover, as a preferable aspect of the cover 30, the thing comprised by walls, such as a metal wall or transparent resin, in the metal frame by SUS, an aluminum frame, etc. is illustrated. Resin walls vary in the case of clear (colorless and transparent), yellow, dark brown, red, dark gray, smoke (gray), etc., but depending on the application of the liquid material used (for example, when hating ultraviolet rays) You can select and use the most suitable one. In FIG. 6, the shaded area is transparent.

カバー３０の下方部には、図示しない通信用ソケットが設けられており、ネットワークケーブルを介してＰＣ等の外部端末と接続することにより、装置の遠隔操作を可能としている。操作パネル３８より操作を行うこともできるが、正面または側面のパネルを開いてのメンテナンス作業中に、操作パネル３８を操作することは困難であるため、遠隔操作が効果的である。携帯型の専用端末をネットワーク接続して遠隔操作を行ってもよいし、無線ＬＡＮ等の通信装置を搭載して無線により遠隔操作できるようにしてもよい。   A communication socket (not shown) is provided at the lower part of the cover 30, and the apparatus can be remotely operated by connecting to an external terminal such as a PC via a network cable. Although the operation can be performed from the operation panel 38, it is difficult to operate the operation panel 38 during the maintenance work with the front or side panel opened, and therefore remote operation is effective. A portable dedicated terminal may be connected to the network for remote operation, or a communication device such as a wireless LAN may be installed so that it can be remotely operated wirelessly.

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面の開口部３３からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、作業ヘッド６は、図３および図４に示す待避位置（メンテナンス位置と同じ位置）に移動しており、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部がＸ方向スライドベース１１およびＹ方向スライドベース８を可動してテーブルを移動し、可動子５を可動して作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動機構により作業ヘッド６を下降させ、ワークへの液材塗布を行う。この際、Ｘ方向スライドベース１１およびＹ方向スライドベース８によりワークと作業ヘッド６を相対移動させて所望する形状に描画することができる。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。作業ヘッド６の移動完了後、開口部３３より自動搬送機がワークを搬出する。≪Operation≫
A workpiece is loaded from the opening 33 on the back surface by an automatic transfer machine such as a robot, and the workpiece is placed on the table 12. At this time, the work head 6 is moved to the retracted position (the same position as the maintenance position) shown in FIGS. 3 and 4 so as not to prevent the work from being carried in.
When the work is placed on the table 12, the main control unit (not shown) moves the table by moving the X-direction slide base 11 and the Y-direction slide base 8, and moves the mover 5 to move the work head 6 to the work. The working head 6 is lowered by a Z-direction moving mechanism provided in the working head 6 to apply the liquid material to the workpiece. At this time, the workpiece and the work head 6 can be moved relative to each other by the X-direction slide base 11 and the Y-direction slide base 8 to draw a desired shape.
After the application work is completed, the work head 6 moves again to the retracted position so as not to prevent the work from being carried out. After the movement of the work head 6 is completed, the automatic transfer machine carries out the workpiece from the opening 33.

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、作業ヘッド６をメンテナンス位置に移動し、カバー３０の扉３２を開放して行う。図３および図４に示すように、メンテナンス位置では、作業ヘッド６が固定フレーム３の端部に寄っており、扉３２により構成された開口部から作業ヘッド６が容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
メンテナンス用の扉の位置および枚数は適宜変更することが可能である。例えば、固定フレーム３の背面側にも作業ヘッド６を移動自在に取り付ける構成の場合、カバー３０の背面側に扉３２と対向する扉を設ける構成とすることができる。Maintenance work on the work head 6 is performed by moving the work head 6 to the maintenance position and opening the door 32 of the cover 30. As shown in FIGS. 3 and 4, in the maintenance position, the work head 6 is close to the end of the fixed frame 3, and is located in a range where the work head 6 can easily reach from the opening formed by the door 32. Therefore, maintenance work such as replacement of consumables can be easily performed.
The position and number of maintenance doors can be changed as appropriate. For example, when the work head 6 is movably attached to the back side of the fixed frame 3, a door facing the door 32 can be provided on the back side of the cover 30.

《構造》
本実施例の液材塗布装置は、図７〜図９に示すように、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断する固定フレーム３と、同じく架台１のＸ方向を横断する可動フレーム２１を備える。
固定フレーム３は、実施例１と同様に、架台１上に固設された一対の支持体２に支持される。可動フレーム２１は、フレーム用スライドベース２２に配設された一対の可動支持体２３に支持され、Ｙ方向に移動自在に構成されている。なお、固定フレーム３を可動に構成してもよい。
固定フレーム３および可動フレーム２１は、各フレームの内側面に設けられた固定子４が配設されており、固定子４には可動子５を介して複数の作業ヘッド６がＸ方向に移動自在に取り付けられている。作業ヘッド６は、実施例１と同様の構成であり、Ｚ方向に移動自在に構成されている。
テーブル１２は、Ｙガイドレール８によりＹ方向に移動自在に構成されており、作業ヘッド６とテーブル１２を相対移動させることができる。
内壁５０は、少なくとも固定フレーム３の作業ヘッド６および可動フレーム２１の作業ヘッド６が作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を移動するのを妨げないような態様で設置する。ここで、上記の作業ヘッド６が作業エリア４０からメンテナンスエリア６０へ移動する時間帯は、可動フレーム２１がメンテナンス時の待機位置に位置する時間である。したがって、可動フレーム２１がメンテナンス時の待機位置に位置しない時間帯には、作業エリア４０とメンテナンスエリア６０との空間的なつながりを最小限とすることがパーティクルの侵入防止等の観点からは好ましい。例えば、図１２に示すように、メンテナンス時の待機位置のヘッド６の位置に対応する箇所のみ、ヘッド６が通過するための空間を設けることが開示される。なお、本発明の技術思想にはヘッド通過口５１の形状が動的に変化する態様も含まれる。"Construction"
As shown in FIGS. 7 to 9, the liquid material applicator of this embodiment includes a fixed frame 3 that traverses the lateral direction (X direction) of the gantry 1 and a movable frame 21 that also traverses the X direction of the gantry 1. Is provided.
As in the first embodiment, the fixed frame 3 is supported by a pair of supports 2 fixed on the gantry 1. The movable frame 21 is supported by a pair of movable supports 23 disposed on the frame slide base 22 and is configured to be movable in the Y direction. Note that the fixed frame 3 may be configured to be movable.
The fixed frame 3 and the movable frame 21 are provided with a stator 4 provided on the inner surface of each frame, and a plurality of work heads 6 are movable in the X direction via the movable element 5 on the stator 4. Is attached. The working head 6 has the same configuration as that of the first embodiment and is configured to be movable in the Z direction.
The table 12 is configured to be movable in the Y direction by the Y guide rail 8, and the working head 6 and the table 12 can be moved relative to each other.
The inner wall 50 is installed in a manner that does not prevent at least the work head 6 of the fixed frame 3 and the work head 6 of the movable frame 21 from moving between the work area 40 and the maintenance area 60. Here, the time zone during which the work head 6 moves from the work area 40 to the maintenance area 60 is a time during which the movable frame 21 is located at the standby position during maintenance. Therefore, in the time zone when the movable frame 21 is not positioned at the standby position for maintenance, it is preferable from the viewpoint of preventing intrusion of particles and the like to minimize the spatial connection between the work area 40 and the maintenance area 60. For example, as shown in FIG. 12, it is disclosed that a space for allowing the head 6 to pass is provided only at a position corresponding to the position of the head 6 at the standby position during maintenance. The technical idea of the present invention includes a mode in which the shape of the head passage opening 51 is dynamically changed.

本実施例の液材塗布装置は、図１０および図１１に示すように、方形状のカバー３０内に配置される（なお、内壁５０は図示省略）。
カバー３０は、背面にワークを搬入出する開口部３３が、正面には開口部３５およびそれを構成する扉３３ａ、３３ｂが設けられている。また、実施例と同様に、非常停止ボタン３７と図示しない主制御部を操作するための操作パネル３８が設けられており、カバー３０を構成する各パネルのうち、一対の取手が設けられているものは開閉することができる。
本実施例のカバー３０は、正面に足下まで伸びる縦長の長方形の扉３３ａ、３３ｂが設けられており、これらを観音開きすることで、作業者が中に入ることもできる。また、扉３３ａ、３３ｂの近傍には、固定フレーム３および可動フレーム２１の架台１から延出した部分が位置するよう構成されている。各フレームの架台１から延出した部分は、内壁５０に形成されたヘッド通過口５１から扉３３ａ、３３ｂ側へ延出されており、内壁５０を取り外さなくとも、メンテナンスを行うことができる。As shown in FIGS. 10 and 11, the liquid material application device of the present embodiment is disposed in a rectangular cover 30 (the inner wall 50 is not shown).
The cover 30 is provided with an opening 33 for loading and unloading a workpiece on the back surface, and an opening 35 and doors 33a and 33b constituting the opening 35 on the front surface. Similarly to the embodiment, an operation panel 38 for operating the emergency stop button 37 and a main control unit (not shown) is provided, and a pair of handles among the panels constituting the cover 30 is provided. Things can be opened and closed.
The cover 30 of the present embodiment is provided with vertically long rectangular doors 33a and 33b extending to the feet on the front surface, and an operator can enter the door by opening the doors. Moreover, it is comprised so that the part extended from the mount frame 1 of the fixed frame 3 and the movable frame 21 may be located in the vicinity of the doors 33a and 33b. The portion of each frame that extends from the gantry 1 extends from the head passage opening 51 formed in the inner wall 50 to the doors 33a and 33b, so that maintenance can be performed without removing the inner wall 50.

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面の開口部３３からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、図９に示すように、可動フレーム２１は架台１の外縁近傍に移動し、作業ヘッド６は待避位置（メンテナンス位置と同じ位置）に移動することで、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部が、フレーム用スライドベース２２、可動子５およびＹ方向スライドベース８を可動して、作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動機構により作業ヘッド６を下降させ、ワークへの液材塗布を行う。この際、可動子５およびＹ方向スライドベース８によりワークと作業ヘッド６を相対移動させて所望する形状に描画することができる。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように可動フレーム２１および作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。可動フレーム２１および作業ヘッド６の移動完了後、開口部３３より自動搬送機がワークを搬出する。≪Operation≫
A workpiece is loaded from the opening 33 on the back surface by an automatic transfer machine such as a robot, and the workpiece is placed on the table 12. At this time, as shown in FIG. 9, the movable frame 21 moves to the vicinity of the outer edge of the gantry 1, and the work head 6 moves to the retracted position (the same position as the maintenance position) so as not to prevent the loading of the workpiece. It has become.
When the work is placed on the table 12, the main control unit (not shown) moves the frame slide base 22, the movable element 5 and the Y-direction slide base 8 to bring the work head 6 to a desired position facing the work. The work head 6 is lowered by a Z-direction moving mechanism provided in the work head 6 to apply the liquid material to the workpiece. At this time, the work and the working head 6 can be moved relative to each other by the movable element 5 and the Y-direction slide base 8 so that a desired shape can be drawn.
After the application work is completed, the movable frame 21 and the work head 6 are moved again to the retracted position so as not to prevent the work from being carried out. After the movement of the movable frame 21 and the work head 6 is completed, the automatic transfer machine carries out the workpiece from the opening 33.

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、作業ヘッド６をメンテナンス位置に移動し、カバー３０の扉３３ａ、３３ｂを開放して行う。図９に示すように、メンテナンス位置では、作業ヘッド６が固定フレーム３および可動フレーム２１の端部に寄っており、扉３３ａ、３３ｂにより構成された開口部３５から作業ヘッド６が容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
本実施例においても、メンテナンス用の扉の位置および枚数は適宜変更することが可能である。例えば、固定フレーム３および／または可動フレーム２１の背面側に作業ヘッド６を移動自在に取り付ける構成の場合、カバー３０の側面（すなわち、扉３３ａ、３３ｂの設けられた面と隣接する面）にメンテナンス用の扉を設ける構成とすることができる。この構成においては、架台１よりも扉３３ａ、３３ｂに近い側にメンテナンス用の扉を設けると、メンテナンス時の作業位置を集中できるので好ましい。Maintenance work on the work head 6 is performed by moving the work head 6 to the maintenance position and opening the doors 33a and 33b of the cover 30. As shown in FIG. 9, in the maintenance position, the work head 6 is close to the ends of the fixed frame 3 and the movable frame 21, and the work head 6 can be easily reached from the opening 35 formed by the doors 33a and 33b. Therefore, maintenance work such as replacement of consumables can be easily performed.
Also in the present embodiment, the position and number of maintenance doors can be changed as appropriate. For example, when the work head 6 is movably attached to the back side of the fixed frame 3 and / or the movable frame 21, maintenance is performed on the side surface of the cover 30 (that is, the surface adjacent to the surface provided with the doors 33a and 33b). For example, a door may be provided. In this configuration, it is preferable to provide a maintenance door on the side closer to the doors 33a and 33b than the gantry 1 because the work position at the time of maintenance can be concentrated.

本発明は、液材吐出ヘッド以外の作業ヘッドを搭載した作業装置にも適用することができる。例えば、ワーク上に塗布されたＵＶ接着剤を硬化させるためのＵＶ光源を有するＵＶ照射ヘッド、または、ワーク表面の汚れ、傷若しくは液材により描画された塗布線の良否を判定・検査するためのセンサ類若しくはＣＣＤ等のカメラを具備した検査ヘッドを搭載した作業装置が挙げられる。
また、本発明は、ドリル等の刃具を有する加工装置を具備した加工ヘッドを搭載した作業装置にも適用可能である。
また、本発明は、ワーク上に形成されたシール材による長方形パターン内に液晶を滴下する作業装置にも適用可能である。The present invention can also be applied to a working apparatus equipped with a working head other than the liquid material discharge head. For example, for determining / inspecting the quality of a UV irradiation head having a UV light source for curing a UV adhesive applied on a work, or a coated line drawn by dirt, scratches or liquid material on the work surface. Examples thereof include a working apparatus equipped with an inspection head equipped with a sensor or a camera such as a CCD.
The present invention can also be applied to a working device equipped with a machining head equipped with a machining device having a cutting tool such as a drill.
The present invention can also be applied to a working device that drops liquid crystal in a rectangular pattern formed by a sealing material formed on a workpiece.

Claims (15)

架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する複数の作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、
前記架台に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された前記複数の作業ヘッドとを備え、
前記複数の作業ヘッドには、液材を吐出する液材吐出ヘッドが含まれること、
前記フレームは、前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、かつ、前記作業ヘッドの全てを前記架台の外縁よりも外側に移動可能な長さに構成されること、
前記作業ヘッドは、一のフレームのみに支持されること、前記フレームの側面であって前記架台の中央側に取り付けられること、かつ、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であること、
前記架台の側方かつ前記架台の外縁よりも外側に延出する前記フレームの正面に立って、前記架台の外縁よりも外側に移動した前記作業ヘッドに対するメンテナンスを行うことが可能であることを特徴とする作業装置。 A working device for performing a desired work on a work placed on a table by relatively moving a table provided on a gantry and a plurality of work heads facing the table,
A plurality of supports disposed on the gantry, a frame supported by the support and extended in a first direction, and the plurality of operations disposed on the frame so as to be movable in the first direction. With a head,
The plurality of work heads include a liquid material discharge head for discharging a liquid material,
The frame is configured to extend outward from the outer edge of the gantry, and is configured to have a length that allows all of the working head to move outward from the outer edge of the gantry.
The working head is Rukoto is supported only on one frame, it is mounted on the center side of the frame and a side of said frame and is movable outwardly from the outer edge of the frame,
It is possible to perform maintenance on the work head that has moved to the outside of the outer edge of the frame while standing on the front side of the frame that extends to the side of the frame and to the outside of the outer edge of the frame. Working equipment. 前記フレームは、一端が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、他端が前記架台の外縁からはみ出さないように構成されることを特徴とする請求項１の作業装置。   The working device according to claim 1, wherein the frame is configured such that one end extends outward from the outer edge of the gantry and the other end is configured not to protrude from the outer edge of the gantry. 前記フレームが複数あることを特徴とする請求項１または２の作業装置。 Working apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the frame is plural. 隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設されることを特徴とする請求項３の作業装置。 4. The working apparatus according to claim 3 , wherein the working heads of adjacent frames are arranged to face each other. 前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの作業装置。 The support can be any of the working device of claims 1 to 4, characterized in that it is configured to be movable in a second direction different from the first direction. 前記作業ヘッドが前記架台の外縁よりも外側に移動した状態で、前記ワークの搬入および／または搬出を行うように制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかの作業装置。 In a state in which the working head is moved outside the outer edge of the frame, of any one of claims 1 to 5, characterized by further comprising a control unit for controlling to perform loading and / or unloading of the workpiece Work equipment. 請求項１ないし６のいずれかの作業装置を覆うカバー（３０）を備える作業装置であって、該カバーは、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部に移動した前記作業ヘッドの近傍に開口扉を有することを特徴とする作業装置。 A work device comprising a cover (30) covering the work device according to any one of claims 1 to 6 , wherein the cover is moved to an end portion of the frame that extends outward from an outer edge of the frame. A working device having an open door near the head. 前記開口扉は、前記カバーの内部に作業者が進入可能に構成されることを特徴とする請求項７の作業装置。 The working device according to claim 7 , wherein the opening door is configured to allow an operator to enter the inside of the cover. 前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと、前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする請求項７または８の作業装置。 The inside of the cover is divided into a maintenance area where a portion of the frame extending outward from an outer edge of the frame is located and a work area where the frame is located, and an inner wall having a head passage opening is provided. The working device according to claim 7 or 8 . 前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を備えることを特徴とする請求項９の作業装置。 The work apparatus according to claim 9 , further comprising a pressure adjusting mechanism that makes the work area have a positive pressure compared to the maintenance area. 前記架台が位置する作業エリアを、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を有することを特徴とする請求項７または８の作業装置。 Claim 7 or 8, characterized in that it has a pressure regulating mechanism that positive pressure compared to the maintenance area to the work area of the frame is located, said extending therefrom portion outside the outer edge of the frame of the frame located Work equipment. 前記フレームは、前記架台に配設された複数の支持体により床面と離間して支持されることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかの作業装置。 The frame may be any of the working device of claims 1 to 10, characterized in that it is supported spaced apart from the floor by a plurality of supports disposed on said frame. 液晶パネル製造工程において用いられる作業装置であることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかの作業装置。The working device according to claim 1, wherein the working device is used in a liquid crystal panel manufacturing process. 請求項２の作業装置を覆う略Ｌ字形状のカバーであって、
前記フレームの前記架台から延出した端部に移動した前記作業ヘッドと対向する開口扉と、
前記架台が位置する作業エリアを、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと比べ陽圧とする調圧機構を備えることを特徴とする作業装置用カバー。 A substantially L-shaped cover that covers the working device according to claim 2 ,
An opening door facing the work head moved to the end of the frame extending from the gantry;
A working device cover, comprising: a pressure adjusting mechanism that makes a work area in which the frame is located a positive pressure compared to a maintenance area in which a portion of the frame that extends outward from an outer edge of the frame is located. 前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする請求項１４の作業装置用カバー。The inside of the cover is divided into a maintenance area where a portion extending outside the outer edge of the frame of the frame is located and a work area where the frame is located, and an inner wall having a head passage opening is provided. The work device cover according to claim 14.
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