JP5464943B2 - 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 - Google Patents
表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5464943B2 JP5464943B2 JP2009189864A JP2009189864A JP5464943B2 JP 5464943 B2 JP5464943 B2 JP 5464943B2 JP 2009189864 A JP2009189864 A JP 2009189864A JP 2009189864 A JP2009189864 A JP 2009189864A JP 5464943 B2 JP5464943 B2 JP 5464943B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- standard piece
- cross
- groove
- grooves
- sectional shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 99
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 45
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 16
- 230000004044 response Effects 0.000 description 37
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 15
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 11
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/30—Bars, blocks, or strips in which the distance between a pair of faces is fixed, although it may be preadjustable, e.g. end measure, feeler strip
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Description
まず、第1の課題は、測定機の性能評価に要する作業時間及び作業負担である。
第2の課題は、性能評価の信頼性である。
以上のような実情を踏まえ、本発明は、測定機の性能評価に要する作業時間の短縮と作業負担の軽減を実現する技術を提供することを課題とする。
本発明の第2の態様は、第1の態様に記載の標準片において、断面形状の所定方向の長さは、所定方向に隣接する所定数の溝毎に減少する標準片を提供する。
本発明の第5の態様は、第4の態様に記載の標準片において、前記断面形状の前記深さは、前記断面内で、前記所定方向に隣接する前記所定数の前記溝毎に減少する標準片を提供する。
本発明の第8の態様は、第1の態様に記載の標準片において、前記溝の各々では、前記所定方向に対する前記溝の最大傾斜角度が前記直線方向で異なる標準片を提供する。
本発明の第9の態様は、第8の態様に記載の標準片において、前記溝の各々では、前記所定方向に対する前記溝の最大傾斜角度が前記直線方向で漸減する標準片を提供する。
本発明の第11の態様は、第6の態様に記載の標準片において、複数の前記測定領域を有し、前記所定方向に対する前記断面形状の前記輪郭線の前記最大傾斜角度は、前記測定領域毎に異なる標準片を提供する。
本発明の第13の態様は、第1の態様乃至第12の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記断面形状は、正弦波形状である標準片を提供する。
本発明の第14の態様は、第1の態様乃至第12の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記断面形状は、円弧形状である標準片を提供する。
本発明の第16の態様は、第1の態様乃至第15の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記所定方向は、前記標準片の表面に平行な方向であり、前記断面は、前記表面と直交する面である標準片を提供する。
本発明の第17の態様は、表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片であって、所定方向に複数の溝を含む測定領域を有し、前記溝の各々は、前記所定方向に沿った断面で単純な断面形状を呈し、前記断面形状の前記所定方向の長さは、前記所定方向に隣接する所定数の前記溝毎に異なり、前記断面内で前記所定方向と直交する方向を深さ方向とするとき、前記断面形状の前記深さ方向の長さは、前記所定方向に並んだ前記複数の前記溝で一定である標準片を提供する。
本発明の第20の態様は、第19の態様に記載の標準片において、前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に異なる標準片を提供する。
本発明の第21の態様は、第20の態様に記載の標準片において、前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に漸減する標準片を提供する。
本発明の第22の態様は、第17の態様に記載の標準片において、同心円状の前記複数の前記溝を含む前記測定領域を有するとき、前記所定方向は、前記同心円の径方向と一致する標準片を提供する。
本発明の第24の態様は、第17の態様に記載の標準片において、複数の前記測定領域を有し、前記断面形状の前記深さは、前記測定領域毎に異なる標準片を提供する。
本発明の第25の態様は、第24の態様に記載の標準片において、前記測定領域の各々が互いに平行に形成された前記複数の直線状の前記溝を含むとき、前記所定方向は、前記溝の直線方向と直交する方向であり、前記複数の前記測定領域は、前記直線方向に並んでいる標準片を提供する。
本発明の第26の態様は、第17の態様乃至第25の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記断面形状は、正弦波形状である標準片を提供する。
本発明の第27の態様は、第17の態様乃至第25の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記断面形状は、円弧形状である標準片を提供する。
本発明の第28の態様は、第17の態様乃至第25の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記断面形状は、多角形形状である標準片を提供する。
本発明の第29の態様は、第17の態様乃至第28の態様のいずれか1つに記載の標準片において、前記所定方向は、前記標準片の表面に平行な方向であり、前記断面は、前記表面と直交する面である標準片を提供する。
本実施例に係る標準片15では、X方向に並んだ溝の断面形状の幅と深さは、共に一定ではない。
標準片15の材料及び加工方法は、実施例1に係る標準片10と同様であるので、ここでは説明を省略する。
また、本実施例に係る標準片も、実施例1の場合と同様に、Y方向(直線方向)に平行な直線状の溝の代わりに、同心円状の複数の溝を含んでもよい。
標準片19の材料及び加工方法は、実施例1に係る標準片10と同様であるので、ここでは説明を省略する。
次に、各溝の断面形状を示すfnを微分し、各溝の最大傾きmnを算出する。式(2)で表される標準片の各溝の最大傾きmnは、以下の式(3)で表される。
また、本実施例に係る標準片も、実施例1の場合と同様に、Y方向(直線方向)に平行な直線状の溝の代わりに、同心円状の複数の溝を含んでもよい。
標準片23の材料及び加工方法は、実施例1に係る標準片10と同様であるので、ここでは説明を省略する。
つまり、各溝の断面形状を示す関数gnは、条件式(4)から以下の条件式(6)のように修正される。
標準片27の材料及び加工方法は、実施例1に係る標準片10と同様であるので、ここでは説明を省略する。
標準片28の材料及び加工方法は、実施例1に係る標準片10と同様であるので、ここでは説明を省略する。
なお、実施例1から実施例6では、標準片の表面Sに溝、つまり、凹状のパターンを形成した場合について説明したが、特にこれに限られない。標準片の表面Sに突起、つまり凸状のパターンを形成した場合でも同様の効果を得ることができる。
1−1’、2−2’、3−3’、4−4’、5−5’、6−6’、7−7’・・・断面
S・・・表面
FL・・・平面部
R、R1、R2、R3・・・測定領域
Claims (29)
- 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片であって、
所定方向に複数の溝を含む測定領域を有し、
前記溝の各々は、前記所定方向に沿った断面で単純な断面形状を呈し、
前記断面形状の前記所定方向の長さは、前記所定方向に隣接する所定数の前記溝毎に異なり、
前記複数の溝は、前記断面に直交する方向と平行に形成された直線状の溝であり、
前記断面内で前記所定方向と直交する方向を深さ方向とし、前記断面に直交する方向を直線方向とするとき、
前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項1に記載の標準片において、
前記断面形状の前記所定方向の長さは、前記所定方向に隣接する前記所定数の前記溝毎に減少することを特徴とする標準片。 - 請求項1または請求項2に記載の標準片において、
前記断面形状の前記深さは、前記断面内で、前記所定方向に並んだ前記複数の前記溝で一定であることを特徴とする標準片。 - 請求項1または請求項2に記載の標準片において、
前記断面形状の前記深さは、前記断面内で、前記所定方向に隣接する前記所定数の前記溝毎に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項4に記載の標準片において、
前記断面形状の前記深さは、前記断面内で、前記所定方向に隣接する前記所定数の前記溝毎に減少することを特徴とする標準片。 - 請求項4または請求項5に記載の標準片において、
前記所定方向に対する前記断面形状の輪郭線の最大傾斜角度は、前記所定方向に並んだ前記複数の前記溝で一定であることを特徴とする標準片。 - 請求項1に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に漸減することを特徴とする標準片。 - 請求項1に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記所定方向に対する前記溝の最大傾斜角度が前記直線方向で異なることを特徴とする標準片。 - 請求項8に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記所定方向に対する前記溝の最大傾斜角度が前記直線方向で漸減することを特徴とする標準片。 - 請求項3に記載の標準片において、
複数の前記測定領域を有し、
前記断面形状の前記深さは、前記測定領域毎に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項6に記載の標準片において、
複数の前記測定領域を有し、
前記所定方向に対する前記断面形状の前記輪郭線の前記最大傾斜角度は、前記測定領域毎に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項10または請求項11に記載の標準片において、
前記測定領域の各々が互いに平行に形成された前記複数の直線状の前記溝を含むとき、
前記所定方向は、前記溝の直線方向と直交する方向であり、
前記複数の前記測定領域は、前記直線方向に並んでいることを特徴とする標準片。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、正弦波形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、円弧形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、多角形形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項1乃至請求項15のいずれか1項に記載の標準片において、
前記所定方向は、前記標準片の表面に平行な方向であり、
前記断面は、前記表面と直交する面であることを特徴とする標準片。 - 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片であって、
所定方向に複数の溝を含む測定領域を有し、
前記溝の各々は、前記所定方向に沿った断面で単純な断面形状を呈し、
前記断面形状の前記所定方向の長さは、前記所定方向に隣接する所定数の前記溝毎に異なり、
前記断面内で前記所定方向と直交する方向を深さ方向とするとき、
前記断面形状の前記深さ方向の長さは、前記所定方向に並んだ前記複数の前記溝で一定であることを特徴とする標準片。 - 請求項17に記載の標準片において、
前記断面形状の前記所定方向の長さは、前記所定方向に隣接する前記所定数の前記溝毎に減少することを特徴とする標準片。 - 請求項17に記載の標準片において、
互いに平行に形成された前記複数の直線状の前記溝を含む前記測定領域を有するとき、
前記所定方向は、前記溝の直線方向と直交する方向であることを特徴とする標準片。 - 請求項19に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項20に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記溝の深さが前記直線方向に漸減することを特徴とする標準片。 - 請求項17に記載の標準片において、
同心円状の前記複数の前記溝を含む前記測定領域を有するとき、
前記所定方向は、前記同心円の径方向と一致することを特徴とする標準片。 - 請求項22に記載の標準片において、
前記溝の各々では、前記溝の深さが前記同心円の円周方向に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項17に記載の標準片において、
複数の前記測定領域を有し、
前記断面形状の前記深さは、前記測定領域毎に異なることを特徴とする標準片。 - 請求項24に記載の標準片において、
前記測定領域の各々が互いに平行に形成された前記複数の直線状の前記溝を含むとき、
前記所定方向は、前記溝の直線方向と直交する方向であり、
前記複数の前記測定領域は、前記直線方向に並んでいることを特徴とする標準片。 - 請求項17乃至請求項25のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、正弦波形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項17乃至請求項25のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、円弧形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項17乃至請求項25のいずれか1項に記載の標準片において、
前記断面形状は、多角形形状であることを特徴とする標準片。 - 請求項17乃至請求項28のいずれか1項に記載の標準片において、
前記所定方向は、前記標準片の表面に平行な方向であり、
前記断面は、前記表面と直交する面であることを特徴とする標準片。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009189864A JP5464943B2 (ja) | 2009-08-19 | 2009-08-19 | 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 |
EP10008304.7A EP2287561B1 (en) | 2009-08-19 | 2010-08-09 | Material measures for use in evaluating performance of measuring instrument for measuring surface texture |
US12/853,762 US8539814B2 (en) | 2009-08-19 | 2010-08-10 | Material measures for use in evaluating performance of measuring instrument for measuring surface texture |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009189864A JP5464943B2 (ja) | 2009-08-19 | 2009-08-19 | 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011043340A JP2011043340A (ja) | 2011-03-03 |
JP5464943B2 true JP5464943B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=43234212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009189864A Active JP5464943B2 (ja) | 2009-08-19 | 2009-08-19 | 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8539814B2 (ja) |
EP (1) | EP2287561B1 (ja) |
JP (1) | JP5464943B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5399934B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2014-01-29 | 株式会社小坂研究所 | 複合表面粗さ標準片 |
KR101953445B1 (ko) * | 2016-12-27 | 2019-02-28 | 이슬기 | 입체감을 갖는 설계용 패턴자 |
DE102020108407B4 (de) * | 2020-03-26 | 2023-03-16 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Kalibriernormal zur Geometrieeinmessung eines taktil oder/und optisch arbeitenden Messsystems, Verfahren zur Kalibrierung sowie Koordinatenmessgerät |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2715830A (en) * | 1952-07-12 | 1955-08-23 | Gen Motors Corp | Specimen for calibrating surface roughness measuring apparatus |
US3087246A (en) * | 1960-09-15 | 1963-04-30 | Doall Co | Determining reference plane for surface plate inspection |
US4236823A (en) * | 1978-09-18 | 1980-12-02 | Rca Corporation | Diffractometer for measuring signal depth and width |
US4364663A (en) * | 1980-11-17 | 1982-12-21 | Caterpillar Tractor Co. | Surface roughness gauge and method |
US5109609A (en) * | 1990-08-02 | 1992-05-05 | Gunnar Anderson | Ball-point surface checking device and method |
JPH0517501U (ja) * | 1991-08-22 | 1993-03-05 | ローム株式会社 | 軸長チエツク用ゲージ |
US5567864A (en) * | 1993-02-04 | 1996-10-22 | Sunward Technologies, Inc. | Method and apparatus for calibration of a transducer flying height measurement instrument |
EP0628809A1 (en) * | 1993-06-07 | 1994-12-14 | International Business Machines Corporation | Calibration standard for 2-D and 3-D profilometry in the sub-nanometer range and method of producing it |
DE69427522T2 (de) * | 1994-04-11 | 2002-03-28 | Ibm | Kalibrierungsnorm für einen Profilometer und Verfahren zu seiner Produktion |
US5520769A (en) * | 1994-12-07 | 1996-05-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for measuring concentration of dopant within a semiconductor substrate |
US5671541A (en) * | 1995-09-01 | 1997-09-30 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Accuracy verification devices for coordinate measuring machines |
US5941143A (en) * | 1995-11-16 | 1999-08-24 | University Of Kentucky Research Foundation | Method of assessing chip breakability performance |
DE19651029C2 (de) * | 1996-12-09 | 1999-12-02 | Ibm | Kalibrierstandard für Profilometer und Herstellverfahren |
US5955654A (en) * | 1997-08-07 | 1999-09-21 | Vlsi Standards, Inc. | Calibration standard for microroughness measuring instruments |
JP3298473B2 (ja) * | 1997-09-12 | 2002-07-02 | 日本電気株式会社 | 探針形状適合判定及び表面形状の測定方法 |
US6591658B1 (en) * | 2000-10-25 | 2003-07-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | Carbon nanotubes as linewidth standards for SEM & AFM |
US6869480B1 (en) * | 2002-07-17 | 2005-03-22 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Method for the production of nanometer scale step height reference specimens |
DE10318762B3 (de) * | 2003-04-25 | 2004-12-23 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Herstellung von Prüfkörpern |
JP4323212B2 (ja) * | 2003-05-08 | 2009-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラム、この校正プログラムを記録した記録媒体および表面性状測定機 |
US7096711B2 (en) * | 2004-05-12 | 2006-08-29 | Veeco Instruments Inc. | Methods of fabricating structures for characterizing tip shape of scanning probe microscope probes and structures fabricated thereby |
JP4689988B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2011-06-01 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の校正標本 |
JP2006177713A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Kyoto Univ | 形状測定機の検査・校正アーティファクト |
US20070148792A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-06-28 | Marx David S | Wafer measurement system and apparatus |
US7797991B2 (en) * | 2007-10-18 | 2010-09-21 | Texas Instruments Incorporated | Rocking Y-shaped probe for critical dimension atomic force microscopy |
-
2009
- 2009-08-19 JP JP2009189864A patent/JP5464943B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-09 EP EP10008304.7A patent/EP2287561B1/en active Active
- 2010-08-10 US US12/853,762 patent/US8539814B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110041593A1 (en) | 2011-02-24 |
EP2287561B1 (en) | 2014-10-01 |
EP2287561A1 (en) | 2011-02-23 |
US8539814B2 (en) | 2013-09-24 |
JP2011043340A (ja) | 2011-03-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8698891B2 (en) | Object thickness and surface profile measurements | |
KR101011203B1 (ko) | 3차원 형상 측정 방법 | |
US7483807B2 (en) | Form measuring device, form measuring method, form analysis device, form analysis program, and recording medium storing the program | |
JP5464943B2 (ja) | 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 | |
US20140107958A1 (en) | Calibration apparatus, calibration method, and measurement apparatus | |
JP6119981B2 (ja) | 校正治具および光干渉測定装置の校正方法 | |
JP2019531487A (ja) | 光学導波路の屈曲及び/またはひずみを決定するための方法 | |
JP4316643B2 (ja) | 形状測定装置,形状測定方法 | |
Takushima et al. | On-machine multi-directional laser displacement sensor using scanning exposure method for high-precision measurement of metal-works | |
JP4323267B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、形状解析装置、形状解析プログラムおよび記録媒体 | |
Marinello et al. | Development and analysis of a software tool for stitching three-dimensional surface topography data sets | |
US10295336B2 (en) | Element provided with portion for position determination and measuring method | |
JP5098174B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2018004543A (ja) | 形状解析プログラム | |
JP2013160742A (ja) | 回折格子を用いた3次元干渉計参照面の校正方法、および3次元干渉計 | |
JP2006177713A (ja) | 形状測定機の検査・校正アーティファクト | |
KR20180021568A (ko) | 핸들을 포함하는 테이퍼 게이지 | |
US11852464B2 (en) | Chromatic confocal sensor with imaging capability for 6-axis spatial allocation calibration | |
JP6052953B2 (ja) | 三次元測定機、てこ式プローブの位置情報および姿勢情報を取得する方法 | |
JP7390239B2 (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP2007225428A (ja) | 傾斜角検出器 | |
CN115790399A (zh) | 基于双位移传感器的弹头长度测量方法 | |
Zhang et al. | Drill flank measurement and flank/flute intersection determination | |
Fotowicz | Practical application of an analytical method for calculating a coverage interval | |
Tran | Qualification of a Coherence Scanning Interferometer for Calibration of Step Height Standards. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140121 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5464943 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |