JP5463529B2 - 電界効果トランジスタの製造方法 - Google Patents
電界効果トランジスタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5463529B2 JP5463529B2 JP2009140583A JP2009140583A JP5463529B2 JP 5463529 B2 JP5463529 B2 JP 5463529B2 JP 2009140583 A JP2009140583 A JP 2009140583A JP 2009140583 A JP2009140583 A JP 2009140583A JP 5463529 B2 JP5463529 B2 JP 5463529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- gan
- region
- mosfet
- compound semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 28
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 claims description 26
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 151
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 30
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 13
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7835—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with asymmetrical source and drain regions, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/1025—Channel region of field-effect devices
- H01L29/1029—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1033—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure
- H01L29/1037—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure and non-planar channel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66522—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with an active layer made of a group 13/15 material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7834—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with a non-planar structure, e.g. the gate or the source or the drain being non-planar
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Description
図1は本発明の実施の形態1に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET100は、サファイア、SiC、Siなどからなる基板101上に、AlN層とGaN層を交互に積層して形成したバッファ層102と、p−GaN層103が形成されている。さらに、p−GaN層103の一部に、n+−GaN領域105、106が形成され、p−GaN層103上の一部にn−−GaN層104が形成されている。さらに、n+−GaN領域105、106上に、それぞれソース電極109、ドレイン電極110が形成されている。また、p−GaN層103およびn−−GaN層104上に、SiO2膜107が形成されている。また、SiO2膜107上に、ゲート電極108が形成されている。また、n−−GaN層104は、一端部がn+−GaN領域106に隣接し、他の一端部がゲート電極108のドレイン電極110側にオーバーラップするように形成され、RESURF層として機能する。
図5は本発明の実施の形態2に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET200は、MOSFET100と同様に、基板201上に、バッファ層202と、p−GaN層203が形成されている。さらに、p−GaN層203の一部に、n+−GaN領域205、206が形成され、p−GaN層203上の一部にn−−GaN層204が形成されている。さらに、ソース電極209、ドレイン電極210、SiO2膜207、ゲート電極208が形成されている。n−−GaN層204は、一端部がn+−GaN領域206に隣接し、他の一端部がゲート電極208のドレイン電極210側にオーバーラップするように形成され、RESURF層として機能する。
図6は本発明の実施の形態3に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET300は、MOSFET100と同様に、基板301上に、バッファ層302と、p−GaN層303が形成されている。さらに、p−GaN層303の一部に、n+−GaN領域305、306が形成されている。さらに、ソース電極309、ドレイン電極310、SiO2膜307、ゲート電極308が形成されている。しかし、MOSFET100とは異なり、n+−GaN領域306上にn+−AlGaN層313が形成されている。さらに、p−GaN層303上に、一端部がn+−AlGaN層313に隣接し、他の一端部がゲート電極308のドレイン電極310側にオーバーラップするようにAlGaN層304が形成されている。
図7は本発明の実施の形態4に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET400は、MOSFET100と同様に、基板401上に、バッファ層402と、p−GaN層403が形成されているが、MOSFET100〜300と異なり、n−−GaN層404の一部にn+−GaN領域406が形成されている。また、ゲート電極408のオーバーラップするn−−GaN層404の端部上には、SiO2からなる電界緩和用のフィールド酸化膜407aが形成されている。また、SiO2膜407上には、SiO2からなる層間絶縁膜414が形成されている。このMOSFET400も、RESURF層であるn−−GaN層404がエピタキシャル成長により形成されているので、電子移動度が高く、リーク電流が小さく、オン抵抗が低いMOSFETとなる。
図10は本発明の実施の形態5に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET500は、MOSFET400と同様に、基板501上に、バッファ層502と、p−GaN層503が形成されており、n−−GaN層504の一部にn+−GaN領域506が形成されており、また、電界緩和用のフィールド酸化膜507aおよび層間絶縁膜514が形成されている。さらに、MOSFET200と同様に、n−−GaN層504は、n−−GaN層504aと、n−−GaN層504bとの2層から構成され、n−−GaN層504bのシート抵抗はn−−GaN層504aのシート抵抗よりも高くなっている。したがって、MOSFET500は、MOSFET200と同様に、より耐圧性が高いものとなる。
図11は本発明の実施の形態6に係るMOSFETの断面概略図である。このMOSFET600は、基板601上に、バッファ層602と、i−GaN層603が形成されている。さらに、i−GaN層603の一部に、n+−GaN領域605、606が形成され、n+−GaN領域605、606のそれぞれに隣接するように、AlGaN層615、604が形成されている。なお、AlGaN層604、615間には、i−GaN層603に到る深さの溝616が形成されている。さらに、ソース電極609、ドレイン電極610、SiO2膜607、ゲート電極608、層間絶縁膜614が形成されている。
101〜601 基板
102〜602 バッファ層
103〜503 p−GaN層
104、204、204a、204b、404、504、504a、504b n−−GaN層
105〜605、106〜606 n+−GaN領域
107〜607、111、112 SiO2膜
108〜608 ゲート電極
109〜609 ソース電極
110〜610 ドレイン電極
304、604、615 AlGaN層
313 n+−AlGaN層
407a、507a フィールド酸化膜
414〜614 層間絶縁膜
603 i−GaN層
616 溝
Claims (3)
- MOS構造を有する電界効果トランジスタの製造方法であって、
基板上にp型窒化化合物半導体層を形成するp型層形成工程と、
前記p型窒化化合物半導体層上にn型窒化化合物半導体層をエピタキシャル成長するエピタキシャル成長工程と、
前記n型窒化化合物半導体層の一端部がゲート電極を形成する領域のドレイン電極を形成する領域側にオーバーラップするように該n型窒化化合物半導体層を成型し、電界緩和層を形成する電界緩和層形成工程と、
前記p型窒化化合物半導体層または前記電界緩和層のソース電極および前記ドレイン電極を形成する領域にイオン注入を行い、前記n型窒化化合物半導体層よりもキャリア濃度が高いn型コンタクト領域を形成するコンタクト領域形成工程と、
を含むことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記電界緩和層は、前記ドレイン電極を形成する領域側から前記ゲート電極を形成する領域側にむかって段階的または連続的に抵抗が高くなるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタの製造方法。
- 前記電界緩和層は、前記ドレイン電極を形成する領域側から前記ゲート電極を形成する領域側にむかって段階的または連続的に層厚が薄くなるように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US6049308P | 2008-06-11 | 2008-06-11 | |
US61/060,493 | 2008-06-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009302541A JP2009302541A (ja) | 2009-12-24 |
JP5463529B2 true JP5463529B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=41559690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009140583A Active JP5463529B2 (ja) | 2008-06-11 | 2009-06-11 | 電界効果トランジスタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5463529B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101856722B1 (ko) * | 2010-09-22 | 2018-05-10 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 파워 절연 게이트형 전계 효과 트랜지스터 |
JP6493032B2 (ja) * | 2015-07-03 | 2019-04-03 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
EP3439026B1 (en) * | 2016-03-31 | 2023-03-08 | Tohoku University | Semiconductor device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5915164A (en) * | 1995-12-28 | 1999-06-22 | U.S. Philips Corporation | Methods of making high voltage GaN-A1N based semiconductor devices |
WO2003071607A1 (fr) * | 2002-02-21 | 2003-08-28 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Transistor a effet de champ gan |
JP2005159117A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Toshiba Corp | 窒化物系半導体装置 |
JP2006286953A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Eudyna Devices Inc | 半導体装置およびその製造方法 |
US7419892B2 (en) * | 2005-12-13 | 2008-09-02 | Cree, Inc. | Semiconductor devices including implanted regions and protective layers and methods of forming the same |
-
2009
- 2009-06-11 JP JP2009140583A patent/JP5463529B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009302541A (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5487615B2 (ja) | 電界効果半導体装置及びその製造方法 | |
JP5355888B2 (ja) | キャップ層および埋込みゲートを有する窒化物ベースのトランジスタを作製する方法 | |
JP6050579B2 (ja) | 保護層および低損傷陥凹部を備える窒化物ベースのトランジスタならびにその製作方法 | |
JP4940557B2 (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5785153B2 (ja) | 補償型ゲートmisfet及びその製造方法 | |
KR100967779B1 (ko) | 화합물 반도체 장치 및 그것을 이용한 도허티 증폭기 | |
JP5190923B2 (ja) | GaNをチャネル層とする窒化物半導体トランジスタ及びその作製方法 | |
KR101092467B1 (ko) | 인헨스먼트 노말리 오프 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법 | |
JP5355959B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよび電界効果トランジスタの製造方法 | |
JP2010045343A (ja) | 半導体デバイス | |
JP2008235613A (ja) | 半導体装置 | |
JP4134575B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5390983B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよび電界効果トランジスタの製造方法 | |
JP3709437B2 (ja) | GaN系ヘテロ接合電界効果トランジスタ及びその特性を制御する方法 | |
US9117755B2 (en) | Method for fabricating semiconductor device | |
JP5463529B2 (ja) | 電界効果トランジスタの製造方法 | |
JP2007165590A (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP2011210785A (ja) | 電界効果トランジスタ、およびその製造方法 | |
JP2009246205A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP3690594B2 (ja) | ナイトライド系化合物半導体の電界効果トランジスタ | |
JP2008227432A (ja) | 窒化物化合物半導体素子およびその製造方法 | |
US8350293B2 (en) | Field effect transistor and method of manufacturing the same | |
JP6650867B2 (ja) | ヘテロ接合電界効果型トランジスタの製造方法 | |
JP2010245240A (ja) | ヘテロ接合型電界効果半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010165783A (ja) | 電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131210 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131224 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5463529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |