JP5463173B2 - 角速度検出装置 - Google Patents
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Description
2 メタルコア基板
3 半導体素子
4 キャップ
5 樹脂
6 ビア配線
7 導体パターン
8 コントロールユニット
9 信号処理素子
10 パッド
11 内部配線
12 エンジンルーム壁
13 リード端子
14 実装基板
15 角速度検出装置
16 貫通穴
17 ゲル
18 配線層
19 地面
20 接着剤
21 ボンディングワイヤ
22 導電性接合材
23 ホルダ
24 はんだボール
25 基板ホルダ
Claims (11)
- コアメタル層と配線層とを有するメタルコア基板と、
角速度を検出するための半導体素子と、
前記配線層上に設けられる金属製のキャップと、
前記配線層の表面に設けられ、グランド側に接続される導体と、
前記キャップと前記メタルコア基板とで形成される中空室と、
前記中空室の外側をモールドする樹脂と、を備え、
前記配線層は、前記中空室内に前記コアメタル層の一部を露出するキャビティを有し、
前記キャビティにより露出されるコアメタル層上に前記半導体素子を固定し、
前記キャップは、前記導体と導電性接続材料で接続されることを特徴とする角速度検出装置。 - コアメタル層と配線層とを有するメタルコア基板と、
角速度を検出するための半導体素子と、
前記半導体素子からの信号を処理する処理手段と、
前記配線層上に設けられる金属製のキャップと、
前記配線層の表面に設けられ、グランド側に接続される導体と、
前記キャップと前記メタルコア基板とで形成される中空室と、
前記中空室の外側をモールドする樹脂と、を備え、
前記配線層は、前記中空室内に前記コアメタル層の一部を露出するキャビティを有し、
前記キャビティにより露出されるコアメタル層上に信号処理素子を固定し、
前記処理手段上に前記半導体素子を固定し、
前記キャップは、前記導体と導電性接続材料で接続されることを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1に記載の角速度検出装置において、
前記キャビティにより露出されるコアメタル層上に、前記半導体素子からの信号を処理する処理手段を備えたことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記導体は半導体素子を囲うように設けられていることを特徴とする角速度検出素子。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記中空室内を不活性ガス雰囲気にすることを特徴とする角速度検出素子。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記半導体素子を吸湿性のゲルで覆ったことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記キャップと前記メタルコア基板の接合部のみを樹脂で覆ったことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記コアメタル層に1ヶ所以上設けられた貫通穴内にビア配線が設けられ、前記メタルコア基板の裏面側に設けたパッドから前記半導体素子の信号を取り出すことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1または2に記載の角速度検出装置において、
前記パッドに接合されたリード端子から前記半導体素子の信号を取り出すことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項9に記載の角速度検出装置において、
前記パッドに形成されたはんだボールから前記半導体素子の信号を取り出すことを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の角速度検出装置において、
前記中空室内に加速度を検出する為の加速度検出素子を備えたことを特徴とする角速度検出装置。
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