JP5460309B2 - ノズル形成装置及びその形成方法 - Google Patents
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Description
光ビーム発生源と、前記光ビームの光路上に設置され、前記光ビームを複数に分割する第
1及び第2のアレイレンズと、前記第2のアレイレンズの出射側の光路上に設置され、前
記複数に分割された光ビームを集光して重ね合わせるコンデンサレンズと、前記コンデン
サレンズの出射側の光路上に設置され、前記重ね合わされた光ビームを整形するマスクと
、前記マスクの出射側の光路上に設置され、前記整形された光ビームに集光角を与える投
影レンズと、前記光ビーム発生源と前記投影レンズとの光路間において、前記投影レンズ
から出射されるX,Y方向の前記光ビームの集光角を均一にする集光角調整手段と、を備
え、前記第1及び第2のアレイレンズは、第1のシリンドリカルアレイレンズと第2のシ
リンドリカルアレイレンズとをそれぞれ有しており、前記第1のシリンドリカルアレイレ
ンズと前記第2のシリンドリカルアレイレンズのレンズの配列方向が、前記光ビームの出
射方向から見て垂直に交わるように配置されていることを特徴としている。
生源からノズル形成用のオリフィスプレートに向けて出射された前記光ビームを、第1の
シリンドリカルアレイレンズと第2のシリンドリカルアレイレンズとを有し、前記第1の
シリンドリカルアレイレンズと前記第2のシリンドリカルアレイレンズのレンズの配列方
向が、前記光ビームの出射方向から見て垂直に交わるように配置されている第1及び第2
のアレイレンズにより複数の光ビームに分割する工程と、前記分割された複数の光ビーム
をコンデンサレンズにより集光して重ね合わせる工程と、前記重ね合わされた光ビームを
マスクにより整形する工程と、前記整形された光ビームを投影レンズにより集光角を持た
せ、前記オリフィスプレートに照射する工程と、前記光ビーム発生源と前記投影レンズの
光路間に設置した集光角調整手段により、前記投影レンズから出射されるX,Y方向の前
記光ビームの集光角を均一にする工程とを含むことを特徴としている。
まず、本発明の第1実施形態に係るノズル形成装置について、図1乃至図3を参照して説明する。本実施形態は、第1及び第2のアレイレンズに集光角を調整するために集光角調整手段を設け、第1及び第2のアレイレンズなどの加工精度のバラツキにより、オリフィスプレート上においてX,Y方向の光ビームの集光角が異なるのを防止するようにしたものである。図1は、本発明の第1実施形態に係るノズル形成装置の構成を模式的に示す斜視図、図2の(a)は、図1のノズル形成装置を上面(X方向)から眺めた模式図、(b)は側面(Y方向)から眺めた模式図である。
次に、本発明の第2実施形態に係るノズル形成装置について、図4を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段としての偏心レンズ23を第1及び第2のアレイレンズ21、22の最外郭に設置した点で第1実施形態と異なり、その他の構成部分については、同様の構成を有している。従って、図4には、第1実施形態と異なる第1及び第2のアレイレンズ21、22の構成部分のみを示し、以下の説明においては、第1実施形態と同様の構成部分については、詳細説明を省略して異なる構成部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態に係るノズル形成装置について、図5及び図6を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段としてのシリンドリカルレンズ33を、第1のアレイレンズ31の入射側の光路上に設置した点で第1実施形態とは異なり、その他の構成部分については、同様の構成を有している。従って、図5には、第1実施形態と異なる第1及び第2のアレイレンズ31、32とシリンドリカルレンズ33との構成部分のみを示し、以下の説明においては、第1実施形態と同様の構成部分については、詳細説明を省略し、異なる構成部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態に係るノズル形成装置について、図7を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段として異なる径のレンズ43を、第1及び第2アレイレンズ41、42の最外郭に設置した点で第1実施形態とは異なり、その他の構成部分については、同様の構成を有している。従って、図7には、第1実施形態と異なる第1及び第2のアレイレンズ41、42と異なる径のレンズ43との構成部分のみを示し、以下の説明においては、第1実施形態と同様の構成部分については、詳細説明を省略し、異なる構成部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態に係るノズル形成装置について、図8を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段としてのシリンドリカルレンズ51をリレーレンズ5の入射側の光路上に設置し、第1及び第2のアレイレンズ31、32を第3実施形態と同様に構成した点で第1実施形態とは異なり、その他の構成部分については、同様の構成を有している。従って、以下の説明においては、第1及び第3実施形態と同様の構成部分については、詳細説明を省略し、異なる構成部分についてのみ説明する。
本発明の第6実施形態に係るノズル形成装置について、図9を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段としてのアパーチャ61を第1のアレイレンズ31の入射側の光路上に設置し、第1及び第2のアレイレンズ31、32を第3実施形態と同様に構成した点で第1実施形態とは異なり、その他の構成部分については、同様の構成を有している。従って、以下の説明においては、第1及び第3実施形態と同様の構成部分については、詳細説明を省略し、異なる構成部分についてのみ説明する。
本発明の第7実施形態に係るノズル形成装置について、図10を参照して説明する。本実施形態は、集光角調整手段として第1及び第2のアレイレンズ31、32を光ビームの光路を中心に相対的に回転させた点で第3実施形態とは異なり、構成部分については、同様の構成を有している。従って、以下の説明においては、第3実施形態と同様の構成部分を省略し、集光角調整手段についてのみ説明する。
2,21,31,41,102…第1のアレイレンズ
3,22,32,42,103…第2のアレイレンズ
4,104…コンデンサレンズ
5,105…リレーレンズ
6,106…マスク
7,107…投影レンズ
8,108…オリフィスプレート
8a、108a…オリフィスプレートの表面
8b、108b…オリフィスプレートの裏面
10,20,30,40,50,60,70,200…ノズル形成装置
2a,3a,21a,22a,31a,32a,41a,42a…第1のシリンドリカルアレイレンズ
2b,3b,21b,22b,31b,32b,41b,42b…第2のシリンドリカルアレイレンズ
11…スペーサ
23…偏心レンズ
33,51…凹型シリンドリカルレンズ
43…異なる径のレンズ
61…アパーチャ
R…入射瞳面
T1、T2…回転方向
Claims (9)
- 光ビームを出射する光ビーム発生源と、
前記光ビームの光路上に設置され、前記光ビームを複数に分割する第1及び第2のアレ
イレンズと、
前記第2のアレイレンズの出射側の光路上に設置され、前記複数に分割された光ビーム
を集光して重ね合わせるコンデンサレンズと、
前記コンデンサレンズの出射側の光路上に設置され、前記重ね合わされた光ビームを整
形するマスクと、
前記マスクの出射側の光路上に設置され、前記整形された光ビームに集光角を与える投
影レンズと、
前記光ビーム発生源と前記投影レンズとの光路間において、前記投影レンズから出射さ
れるX,Y方向の前記光ビームの集光角を均一にする集光角調整手段と、
を備え、
前記第1及び第2のアレイレンズは、第1のシリンドリカルアレイレンズと第2のシリ
ンドリカルアレイレンズとをそれぞれ有しており、前記第1のシリンドリカルアレイレン
ズと前記第2のシリンドリカルアレイレンズのレンズの配列方向が、前記光ビームの出射
方向から見て垂直に交わるように配置されていることを特徴とするノズル形成装置。 - 前記集光角調整手段はスペーサであり、前記スペーサが前記第1及び第2のアレイレン
ズの最外郭のレンズ間に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置
。 - 前記集光角調整手段は偏心レンズであり、前記偏心レンズが前記第1及び第2のアレイ
レンズの最外郭に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置。 - 前記集光角調整手段は、凹又は凸型のシリンドリカルレンズであり、前記シリンドリカ
ルレンズが前記第1のアレイレンズの入射側の光路上、又は前記第2のアレイレンズと前
記コンデンサレンズの間の光路上に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズ
ル形成装置。 - 前記集光角調整手段は、前記アレイレンズを構成するシリンドリカルレンズよりも径大
のシリンドリカルレンズであり、前記径大のシリンドリカルレンズが前記第1及び第2の
アレイレンズの最外郭に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置
。 - 更に、前記コンデンサレンズと前記マスクの間の光路上にリレーレンズが設置され、
前記集光角調整手段は、凹又は凸型のシリンドリカルレンズであり、前記シリンドリカ
ルレンズが前記コンデンサレンズと前記リレーレンズの間の光路上、又は前記リレーレン
ズと前記マスクの間に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置。 - 前記集光角調整手段は楕円形の孔を有するアパーチャであり、前記アパーチャが前記第
1のアレイレンズの入射側の光路上、又は前記第2のアレイレンズと前記コンデンサレン
ズの間の光路上に設置されていることを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置。 - 前記集光角調整手段は、前記光ビームの光路を中心に相対的に回転させられた前記第1
及び第2のアレイレンズからなり、前記第1及び第2のアレイレンズはX又はY方向に対
して回転角を有することを特徴とする請求項1記載のノズル形成装置。 - 光ビーム発生源からノズル形成用のオリフィスプレートに向けて出射された前記光ビー
ムを、第1のシリンドリカルアレイレンズと第2のシリンドリカルアレイレンズとを有し
、前記第1のシリンドリカルアレイレンズと前記第2のシリンドリカルアレイレンズのレ
ンズの配列方向が、前記光ビームの出射方向から見て垂直に交わるように配置されている
第1及び第2のアレイレンズにより複数の光ビームに分割する工程と、
前記分割された複数の光ビームをコンデンサレンズにより集光して重ね合わせる工程と
、
前記重ね合わされた光ビームをマスクにより整形する工程と、
前記整形された光ビームを投影レンズにより集光角を持たせ、前記オリフィスプレート
に照射する工程と、
前記光ビーム発生源と前記投影レンズの光路間に設置した集光角調整手段により、前記
投影レンズから出射されるX,Y方向の前記光ビームの集光角を均一にする工程と、
を含むことを特徴とするノズル形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009298499A JP5460309B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | ノズル形成装置及びその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009298499A JP5460309B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | ノズル形成装置及びその形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011136499A JP2011136499A (ja) | 2011-07-14 |
JP5460309B2 true JP5460309B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=44348408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009298499A Active JP5460309B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | ノズル形成装置及びその形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5460309B2 (ja) |
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Family Cites Families (3)
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JP2001150686A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Toshiba Tec Corp | インクジェットプリンタヘッド製造方法 |
JP2008254327A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Sharp Corp | レーザー加工方法、およびそれを用いたノズルプレート製造方法ならびにインクジェットヘッド |
-
2009
- 2009-12-28 JP JP2009298499A patent/JP5460309B2/ja active Active
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