JP5457651B2 - 超音波モータ - Google Patents
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Description
次に、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧電振動子の斜視図である。この圧電振動子1は、圧電セラミックスから形成されており、分極方向は、図1に示す座標軸のz軸方向に一致している。また、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向は、x軸と平行であり、圧電振動子1のx軸方向の長さはLである。また、圧電振動子1が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向は、y軸と平行であり、圧電振動子1のy軸方向の長さ(厚さ)はdである。
本実施形態では、圧電振動子は、単板セラミックスを使用した。この単板セラミックスを、20.0mm×12.8mm×3.0mmに加工した後、20.0mm×12.8mmの一面に2行2列の4分割、その裏面には全面に銀電極を印刷塗布し、850℃で焼付けを行なった。その後、120℃のシリコンオイル中で、2kV/mmの電界強度で一様に分極処理して圧電振動子を作製した。摺動チップは、球状アルミナセラミックスを半球化したものを使用した。
1a チップ
1b 圧電基板
2 被駆動体
4a 電極
4b 電極
5a 交流電圧源
5b 交流電圧源
10 超音波モータ
Claims (3)
- 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとした場合、
前記圧電振動子は、d/Lの値が0.55から0.65の範囲に収まるように形成されており、
前記圧電振動子のいずれか一方の主面上に2行2列に形成された4枚の電極と、
前記4枚の電極のうち、対角に位置する2枚の電極同士をそれぞれ電気的に接続し、2組の電極部を形成する接続部と、
前記2組の電極部のうちの一方に対して、交流電圧を印加して前記圧電振動子を駆動させる第1の交流電圧源と、
前記2組の電極部のうちの他方に対して、前記第1の交流電圧源による交流電圧の位相とはπ/2ずれた交流電圧を印加して前記圧電振動子を駆動させる第2の交流電圧源と、を備えることを特徴とする超音波モータ。 - 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとした場合、
前記圧電振動子は、d/Lの値が0.55から0.65の範囲に収まるように形成されており、
前記圧電振動子のいずれか一方の主面上に2行2列に形成された4枚の電極と、
前記4枚の電極のうち、対角に位置する2枚の電極同士をそれぞれ電気的に接続し、2組の電極部を形成する接続部と、
前記2組の電極部のうちの一方に対して交流電圧を印加して前記圧電振動子を駆動させる交流電圧源と、を備え、
前記2組の電極部のうちの他方を開放状態とすることを特徴とする超音波モータ。 - 前記圧電振動子は、d/Lの値が実質的に0.63となるように形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波モータ。
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