JP5447535B2 - 超音波振動装置 - Google Patents
超音波振動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5447535B2 JP5447535B2 JP2011547590A JP2011547590A JP5447535B2 JP 5447535 B2 JP5447535 B2 JP 5447535B2 JP 2011547590 A JP2011547590 A JP 2011547590A JP 2011547590 A JP2011547590 A JP 2011547590A JP 5447535 B2 JP5447535 B2 JP 5447535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- support
- ultrasonic vibration
- tip
- support part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 31
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 14
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 4
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000088 plastic resin Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
図1は、特許文献3に係る超音波振動装置の断面図である。ケースの円筒形状の側壁1と天板2とは一体に形成されている。天板2付近の側壁1の外領域には溝3が設けられていて、溝3には柔軟性充填材8が充填されている。溝3が形成されていることにより、天板2付近の側壁1の厚みが薄くなっていて、この部分が支持部4として天板2を支えている。また、天板2は支持部4によって内領域5と外領域6とに区分されている。
また、特許文献2,3の超音波振動装置では、使用目的によってはサイドローブが必ずしも充分には小さくはない。
ここで、特許文献2,3に示されている超音波振動装置の振動状態の例を図2に示す。天板2の内領域と外領域は、支持部4が振動の節となって、同位相で振動する。なお、特許文献3の超音波振動装置は、支持部4の厚み及び溝の幅寸法を調整して、振動の節がケース側壁に位置するようにしているが、振動部の全体(全面)が前後にピストン運動するわけではない。
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部の根元部は固定され、
前記支持部は、先端部と根元部との間に屈折部を有する、ことを特徴としている。
図3(A)は、第1の実施形態に係る超音波振動装置101に備えられる、振動部及び支持部の断面図である。図3(B)は超音波振動装置101全体の断面図、図3(C)は超音波振動装置101の斜視図である。
ケース11の内部には充填材15が充填されている。この充填材15と圧電素子17との間には空間が形成されていて、この空間内で圧電素子17が対向する、充填材15の面に吸音材16が配置されている。圧電素子17の一方面に形成されている電極は振動部12に電気的に導通している。圧電素子17の他方面に形成されている電極に配線材18が接続されている。また、支持部14に配線材19が接続されている。これらの配線材18,19は充填材15で充填されている箇所を通って外部へ引き出されている。
ケース11及び充填材15は、振動部12の内側を封止する封止材としても作用する。ケース11は例えばシリコーンゴムやウレタンゴムのような成型ゴム、プラスチック樹脂、金属など、定まった形状を保つものであればよい。特に、成型ゴム、プラスチック樹脂などであれば、高い封止性及び塗装信頼性が得られる。
図4(A)は、第2の実施形態に係る超音波振動装置102に備えられる、振動部及び支持部の断面図である。図4(B)は超音波振動装置102全体の断面図である。
超音波振動装置102は、振動部12、圧電素子17、支持部14、ケース11、充填材15、吸音材16、及びダンピング材13を備えている。
図5は、第3の実施形態に係る超音波振動装置に備えられる、振動部及び支持部の断面図である。円板状の振動部12を支持する支持部14は、その先端部141が振動部12の同心円に沿った位置を支持する。支持部14の根元部142は、この例では平面状に連続している。支持部14の先端部141と根元部142との間には屈折部143が形成されている。振動部12の内面の同心位置に圧電素子17が接着されている。
図7は、第4の実施形態に係る超音波振動装置に備えられる振動部及び支持部の断面図である。円板状の振動部12を支持する支持部14は、その先端部141が振動部12の同心円に沿った位置を支持する。支持部14の根元部142は、この例では平面状に連続している。支持部14の先端部141と根元部142との間に屈折部143が形成されている。振動部12の内面の同心位置に圧電素子17が接着されている。振動部12の外周には、内面方向に折り曲げられた筒部121が形成されている。
図10(A)は、第5の実施形態に係る超音波振動装置に備えられる、振動部、支持部及びケースの断面図である。円板状の振動部12を支持する支持部14は、その先端部141が振動部12の同心円に沿った位置を支持する。支持部14の根元部142は、この例では円筒状のケース11に連続している。支持部14の先端部141と根元部142との間に屈折部143が形成されている。振動部12の内面の同心位置には圧電素子17が接着されている。
図11は、第6の実施形態に係る超音波振動装置106Aの断面図である。
第5の実施形態で図10(B)に示した超音波振動装置105と異なるのは、ケース11を支持部14とは別体にした点である。すなわち、支持部14の根元部142は、錘として作用するケース11に接合されている。
この例では、ケース11の内部で、且つ支持部14の根元部142が接合される位置に錘20が配置されている。
図13は、第7の実施形態に係る超音波振動装置107の断面図である。
第5の実施形態で図10(B)に示した超音波振動装置106と異なり、振動部12の外周に、内面方向に折り曲げられた筒部121が形成されている。このように、振動部12の外周に筒部121を形成したことにより、振動部12の外周とケース11との間の隙間が狭くなり、振動部12の外周とケース11との間に生じる空間の封止性が増す。
図14は、第8の実施形態に係る超音波振動装置108Aの断面図である。
支持部14の先端部141は振動部12の同心円に沿った位置を支持する。支持部14の根元部142は円柱状の錘21に一体化されている。支持部14の先端部141と根元部142との間に屈折部143が形成されている。この第8の実施形態では、錘21が支持部14を固定する固定部に相当する。このように錘は、周囲ではなく中央に設けてもよい。
A=15.5mm、B=6mm、C=0mm、D=0mm (錘無し)
A=15.5mm、B=6mm、C=8mm、D=7mm (錘有り)
このように、錘を設けることによって、約4dBも音圧が高くなる。
図18は、第9の実施形態に係る超音波振動装置に備えられる、振動部及び支持部の断面図である。第8の実施形態で図14に示した超音波振動装置108Aと異なり、振動部12の外周に、内面方向に折り曲げられた筒部121が形成されている。
図21(A)において、曲線MLaは第9の実施形態に係る超音波振動装置109のメインローブの特性、曲線MLdは特許文献1の超音波振動装置のメインローブの特性をそれぞれ示している。(特許文献1の超音波振動装置のサイドローブについては図示を略している。)このように、振動部12の内領域と外領域が同位相で振動することにより、メインローブの幅は鋭くなる。
図22は第10の実施形態に係る超音波振動装置110の断面図である。
超音波振動装置110は、振動部12、圧電素子17C,17R、支持部14、錘21、ケース11、充填材15、吸音材16を備えている。
図23は第11の実施形態に係る超音波振動装置111の断面図である。
超音波振動装置111は、振動部12、圧電素子17、支持部14、錘21、ケース11、及び充填材15を備えている。支持部14の屈折部143は鈍角に折り曲がった形状である。屈折部の屈折角は直角に限らず、図23に示したように鈍角であってもよいし、鋭角であってもよい。
図24(A)は第12の実施形態に係る超音波振動装置112の正面図、図24(B)は図24(A)におけるA−Aでの断面図である。第1〜第11の各実施形態で示した例では、支持部14の先端部141は振動部12の同心円の全周に沿った位置を支持するようにした。これに対し、第12の実施形態に係る超音波振動装置112では、支持部14の先端部141は振動部12の同心円の一部に沿った位置を支持する。図24(B)において支持部14の断面形状に現れているように、この例では、圧電素子17を挟んで対向する二箇所で、振動部12の同心円の一部に沿った位置を支持する。
以上の各実施形態では、二つの面が交わる部分で、支持部の屈折部が構成されたが、本発明は、これに限られない。支持部の先端部と根元部との間に湾曲した屈折部が構成されていてもよい。
OC…外領域
11…ケース
12…振動部
13…ダンピング材
14…支持部
14A…円筒状部分
14B…円板状部分
15…充填材
16…吸音材
17…圧電素子
17C,17R…圧電素子
18,19…配線材
20,21…錘
31…弾性体
101〜112…超音波振動装置
121…筒部
141…先端部
142…根元部
143…屈折部
Claims (10)
- 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、を備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部は、先端部と根元部との間に予め屈折した屈折部を有し、
前記支持部は、前記先端部から前記根元部までのうち、前記根元部で固定されていることを特徴とする、超音波振動装置。 - 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、前記支持部を固定する固定部とを備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部は、先端部と根元部との間に予め屈折した屈折部を有し、
前記支持部は、前記先端部から前記根元部までのうち、前記根元部で前記固定部に固定されていることを特徴とする、超音波振動装置。 - 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、を備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部の根元部は固定され、
前記支持部は、先端部と根元部との間に屈折部を有し、
前記支持部の根元部が固定される部位に前記振動部より重い錘が設けられたことを特徴とする、超音波振動装置。 - 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、前記支持部を固定する固定部とを備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部の根元部は前記固定部に固定され、
前記支持部は、先端部と根元部との間に屈折部を有し、
前記支持部の根元部が固定される部位に前記振動部より重い錘が設けられたことを特徴とする、超音波振動装置。 - 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、を備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部の根元部は固定され、
前記支持部は、先端部と根元部との間に屈折部を有し、
前記支持部が支持する前記振動部の位置は、前記振動部の外縁よりも内側の位置で、非連続な複数箇所であることを特徴とする、超音波振動装置。 - 円板状の振動部と、前記振動部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記振動部を支持する筒状の支持部と、前記支持部を固定する固定部とを備えた超音波振動装置であって、
前記支持部の先端部は前記振動部の外縁よりも内側の位置を支持し、
前記支持部の根元部は前記固定部に固定され、
前記支持部は、先端部と根元部との間に屈折部を有し、
前記支持部が支持する前記振動部の位置は、前記振動部の外縁よりも内側の位置で、非連続な複数箇所であることを特徴とする、超音波振動装置。 - 前記振動部は同心円に沿った位置で区分される内領域と外領域の2つの領域を備え、前記振動部の内領域と外領域が同位相で振動する振動モードを有する、請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波振動装置。
- 前記錘は前記振動部より比重の高い物質で構成された、請求項3又は4に記載の超音波振動装置。
- 前記錘は前記固定部又は固定部の一部で構成された、請求項4に記載の超音波振動装置。
- 前記振動部の外周は、前記振動部の内面方向に折り曲げられて筒部が形成されている、請求項1乃至9の何れかに記載の超音波振動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011547590A JP5447535B2 (ja) | 2009-12-25 | 2010-12-22 | 超音波振動装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009296361 | 2009-12-25 | ||
JP2009296361 | 2009-12-25 | ||
JP2011547590A JP5447535B2 (ja) | 2009-12-25 | 2010-12-22 | 超音波振動装置 |
PCT/JP2010/073118 WO2011078218A1 (ja) | 2009-12-25 | 2010-12-22 | 超音波振動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011078218A1 JPWO2011078218A1 (ja) | 2013-05-09 |
JP5447535B2 true JP5447535B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=44195745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011547590A Active JP5447535B2 (ja) | 2009-12-25 | 2010-12-22 | 超音波振動装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5447535B2 (ja) |
KR (1) | KR101422819B1 (ja) |
CN (1) | CN102665940B (ja) |
WO (1) | WO2011078218A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101903020B1 (ko) | 2017-07-13 | 2018-10-01 | 삼성중공업 주식회사 | 초음파 방오 장치 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102380626B (zh) * | 2011-08-19 | 2013-01-02 | 清华大学 | 一种辅助金刚石刀具超精密切削的超声椭圆振动机构 |
KR101491509B1 (ko) * | 2011-10-04 | 2015-02-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 초음파 센서 및 그 제조방법 |
KR101454908B1 (ko) * | 2013-01-29 | 2014-10-27 | 주식회사 일진글로벌 | 초음파 센서 및 그 제조방법 |
CN105358263B (zh) * | 2013-07-03 | 2017-05-17 | 奥林巴斯株式会社 | 超声波振动器件、超声波振动器件的制造方法以及超声波医疗装置 |
WO2015166749A1 (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | 株式会社村田製作所 | 吸入装置 |
KR101630262B1 (ko) * | 2015-07-13 | 2016-06-14 | 이상준 | 음파 진동을 이용한 콜드 브루 커피 추출 장치 |
IT201600131844A1 (it) | 2016-12-28 | 2018-06-28 | St Microelectronics Srl | Trasduttore ultrasonico piezoelettrico microlavorato (pmut) e metodo di fabbricazione del pmut |
JP6665820B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2020-03-13 | 株式会社デンソー | 超音波出力装置 |
FR3069945A1 (fr) * | 2017-08-07 | 2019-02-08 | Iem Sarl | Capteur piezoelectrique specialement concu pour equiper une borne de detection de vehicule en stationnement et borne de detection equipee d'un tel capteur |
JP6962470B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2021-11-05 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
WO2020003573A1 (ja) | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 株式会社村田製作所 | 振動装置及び光学検出装置 |
WO2020003572A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 株式会社村田製作所 | 振動装置及び光学検出装置 |
US11865581B2 (en) | 2018-11-21 | 2024-01-09 | Stmicroelectronics S.R.L. | Ultrasonic MEMS acoustic transducer with reduced stress sensitivity and manufacturing process thereof |
JPWO2021005922A1 (ja) * | 2019-07-08 | 2021-01-14 | ||
JP7415847B2 (ja) * | 2020-08-17 | 2024-01-17 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス |
IT202000024466A1 (it) * | 2020-10-16 | 2022-04-16 | St Microelectronics Srl | Trasduttore ultrasonico microlavorato piezoelettrico con oscillazioni libere ridotte |
CN117941377A (zh) * | 2021-11-08 | 2024-04-26 | 株式会社村田制作所 | 超声波换能器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294995A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 防滴型超音波送信器 |
JP2001016694A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-19 | Denso Corp | 超音波センサ |
JP2001078296A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2004097851A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波振動装置 |
WO2008065959A1 (fr) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transducteur à ultrasons |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2152613Y (zh) * | 1993-03-04 | 1994-01-12 | 武汉水利电力学院 | 气隙增谐型气介超声换能器 |
JP3324593B2 (ja) * | 1999-10-28 | 2002-09-17 | 株式会社村田製作所 | 超音波振動装置 |
JP2002204497A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 超音波センサ |
CN2757934Y (zh) * | 2004-12-17 | 2006-02-15 | 张和清 | 一种超声波换能器 |
CN101602049A (zh) * | 2009-06-29 | 2009-12-16 | 黎达荣 | 一种振动装置 |
-
2010
- 2010-12-22 WO PCT/JP2010/073118 patent/WO2011078218A1/ja active Application Filing
- 2010-12-22 CN CN201080058198.9A patent/CN102665940B/zh active Active
- 2010-12-22 KR KR1020127016280A patent/KR101422819B1/ko active IP Right Grant
- 2010-12-22 JP JP2011547590A patent/JP5447535B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294995A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 防滴型超音波送信器 |
JP2001016694A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-19 | Denso Corp | 超音波センサ |
JP2001078296A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2004097851A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波振動装置 |
WO2008065959A1 (fr) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transducteur à ultrasons |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101903020B1 (ko) | 2017-07-13 | 2018-10-01 | 삼성중공업 주식회사 | 초음파 방오 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120086362A (ko) | 2012-08-02 |
CN102665940A (zh) | 2012-09-12 |
JPWO2011078218A1 (ja) | 2013-05-09 |
CN102665940B (zh) | 2015-08-12 |
WO2011078218A1 (ja) | 2011-06-30 |
KR101422819B1 (ko) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5447535B2 (ja) | 超音波振動装置 | |
JP4086091B2 (ja) | 超音波トランスデューサ | |
JP5387697B2 (ja) | 超音波振動装置 | |
KR101064922B1 (ko) | 초음파 센서 | |
JP5522100B2 (ja) | 超音波センサ | |
JP5460738B2 (ja) | 超音波センサおよび超音波センサの取り付け方法 | |
KR19980079513A (ko) | 초음파송수신기 | |
WO2016175327A1 (ja) | 超音波センサ | |
JP5522311B2 (ja) | 超音波センサおよびその製造方法 | |
KR100789764B1 (ko) | 초음파 송수파기 | |
JPWO2007091609A1 (ja) | 超音波センサ | |
GB2486561A (en) | Piezoelectric sound transducer | |
JP5414427B2 (ja) | 超音波送受信器 | |
JP2012033989A (ja) | 超音波センサ | |
WO2014132492A1 (ja) | 超音波センサ | |
JP6692892B2 (ja) | ハウジングおよびこのハウジングに配置されたダイヤフラムエレメントを有する音響センサ | |
JP2008306315A (ja) | 超音波送受波器 | |
JP7435282B2 (ja) | 超音波トランスデューサ | |
JPWO2017141402A1 (ja) | 超音波送受信装置、壁部材、および、壁部材への超音波センサの取付方法 | |
JP4768684B2 (ja) | 超音波センサ | |
JP2020072323A (ja) | 超音波センサ | |
JP2019114960A (ja) | 超音波センサー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5447535 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |