JP5446510B2 - 半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5446510B2 JP5446510B2 JP2009154277A JP2009154277A JP5446510B2 JP 5446510 B2 JP5446510 B2 JP 5446510B2 JP 2009154277 A JP2009154277 A JP 2009154277A JP 2009154277 A JP2009154277 A JP 2009154277A JP 5446510 B2 JP5446510 B2 JP 5446510B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- coordinate system
- scale
- physical scale
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
先ず、第1の実施形態について説明する。図1(a)は、実施形態に用いられる欠陥検査装置の構造を示すブロック図であり、図1(b)は、実施形態に用いられる欠陥レビュー装置(欠陥撮影装置)の構造を示すブロック図である。
次に、第2の実施形態について説明する。図7A乃至図7Dは、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
基板の半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛を形成する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第1の座標系を作成する工程と、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
前記第1の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第2の座標系を作成する工程と、
前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第2の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記物理目盛として、格子状の溝を形成することを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
前記第1の座標系を作成する工程の前に、前記欠陥検査装置内において光学的に前記物理目盛を検出する工程を有することを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
前記第2の座標系を作成する工程の前に、前記欠陥撮影装置内において光学的に前記物理目盛を検出する工程を有することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛が形成された基板に対し、前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第1の座標系を作成する工程と、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
前記第1の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第2の座標系を作成する工程と、
前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第2の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の管理方法。
半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛が形成された基板に対し、前記物理目盛を用いて座標系を作成する座標系作成手段と、
前記素子形成面に存在する欠陥を検出する欠陥検出手段と、
前記座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する情報を作成する欠陥位置情報作成手段と、
を有することを特徴とする欠陥検査装置。
光学的に前記物理目盛を検出する目盛検出手段を有することを特徴とする付記6に記載の欠陥検査装置。
半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛が形成された基板に対し、前記物理目盛を用いて座標系を作成する座標系作成手段と、
前記素子形成面の前記座標系上における、外部から入力された欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う撮影手段と、
を有することを特徴とする欠陥撮影装置。
光学的に前記物理目盛を検出する目盛検出手段を有することを特徴とする付記8に記載の欠陥検査装置。
前記物理目盛として、格子状の突起状の構造物を形成することを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
欠陥のサイズを見積もる工程を有し、
前記欠陥のサイズが所定値以下である場合、
半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛が形成された基板に対し、前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第1の座標系を作成する工程と、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
前記第1の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第2の座標系を作成する工程と、
前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第2の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う工程と、
を有し、
前記欠陥のサイズが前記所定値を超えている場合、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
この検出結果に基づいて、前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の撮影を行う工程と、
を有することを特徴とする欠陥管理方法。
11:制御部
12:欠陥検出部
13:目盛検出部
20:欠陥レビュー装置(欠陥撮影装置)
21:制御部
22:撮影部
23:目盛検出部
Claims (4)
- 基板の半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛を形成する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第1の座標系を作成する工程と、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
前記第1の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第2の座標系を作成する工程と、
前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第2の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う工程と、
を有し、
前記物理目盛として、格子状の溝、格子状に配列した複数の穴、または格子状の突起状構造物、を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の座標系を作成する工程の前に、前記欠陥検査装置内において光学的に前記物理目盛を検出する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の座標系を作成する工程の前に、前記欠陥撮影装置内において光学的に前記物理目盛を検出する工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛が形成された基板に対し、前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第1の座標系を作成する工程と、
前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する工程と、
前記第1の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する工程と、
前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第2の座標系を作成する工程と、
前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第2の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う工程と、
を有し、
前記物理目盛は、格子状の溝、格子状に配列した複数の穴、または格子状の突起状構造物、であることを特徴とする半導体装置の管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154277A JP5446510B2 (ja) | 2009-06-29 | 2009-06-29 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154277A JP5446510B2 (ja) | 2009-06-29 | 2009-06-29 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011009662A JP2011009662A (ja) | 2011-01-13 |
JP5446510B2 true JP5446510B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=43565935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009154277A Expired - Fee Related JP5446510B2 (ja) | 2009-06-29 | 2009-06-29 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5446510B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5126917B1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-01-23 | レーザーテック株式会社 | 欠陥座標測定装置、欠陥座標測定方法、マスクの製造方法、及び基準マスク |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4745380B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2011-08-10 | 株式会社日立製作所 | レビューsem |
-
2009
- 2009-06-29 JP JP2009154277A patent/JP5446510B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011009662A (ja) | 2011-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102235580B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 검사를 위한 결함 마킹 | |
TWI517210B (zh) | Pattern evaluation method and pattern evaluation device | |
JP4165871B2 (ja) | 位置検出方法、位置検出装置及び露光装置 | |
KR20190052721A (ko) | 반도체 웨이퍼 검사용 3차원 이미징 | |
JP6637375B2 (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
JP5479782B2 (ja) | 欠陥画像処理装置、欠陥画像処理方法、半導体欠陥分類装置および半導体欠陥分類方法 | |
US6453063B1 (en) | Automatic focused ion beam imaging system and method | |
JP6170707B2 (ja) | 検査方法および検査装置 | |
JP2007096292A (ja) | 偏光リソグラフィーのためのオーバーレイターゲット | |
TWI732657B (zh) | 半導體晶圓檢測方法及其系統 | |
JP2010086925A (ja) | パターンマッチング方法、及び画像処理装置 | |
JP5414921B2 (ja) | 検出装置及び方法、露光装置、デバイス製造方法 | |
JP5470008B2 (ja) | 設計データを利用した欠陥レビュー装置および欠陥検査システム | |
JP5446510B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法 | |
TW202209390A (zh) | 用於帶電粒子束檢測中之多層結構之影像增強 | |
JP4596968B2 (ja) | 半導体装置の不良箇所観察のためのシリコン基板加工方法及び不良箇所特定方法 | |
US10770298B2 (en) | Automatic inspection device and method of laser processing equipment | |
JP2003203959A (ja) | 半導体ウェーハ表層結晶欠陥観察用試料とその作製方法 | |
JP6878247B2 (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 | |
JP2006343101A (ja) | 半導体装置の不良箇所観察のためのサンプル作製方法 | |
JP6202521B2 (ja) | シリコンウエハ及び配線形成方法 | |
KR102350548B1 (ko) | 웨이퍼 검사 방법 | |
JP2005019544A (ja) | マーク位置検出方法 | |
JP2005116561A (ja) | テンプレート作成方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
JP2006179702A (ja) | レジストパターンの欠陥検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5446510 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |