JP5446403B2

JP5446403B2 - Conveyance direction changing device and levitating conveyance system

Info

Publication number: JP5446403B2
Application number: JP2009093026A
Authority: JP
Inventors: 敏彦中川; 芳幸和田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-04-07
Filing date: 2009-04-07
Publication date: 2014-03-19
Anticipated expiration: 2029-04-07
Also published as: CN101857141B; CN101857141A; JP2010245336A; TW201036897A; TWI403449B

Description

本発明は、第１浮上搬送装置から例えばガラス基板等の基板を受け取って第２浮上搬送装置へ送り出す際に、基板の搬送方向を第１搬送方向（第１浮上搬送装置の搬送方向）から第１搬送方向に直交する第２搬送方向（第２浮上搬送装置の搬送方向）へ転換する搬送方向転換装置等に関する。 In the present invention, when a substrate such as a glass substrate is received from the first levitation conveyance device and sent out to the second levitation conveyance device, the substrate conveyance direction is changed from the first conveyance direction (the conveyance direction of the first levitation conveyance device) to the first. The present invention relates to a transfer direction changing device that changes in a second transfer direction (the transfer direction of the second levitation transfer device) orthogonal to the one transfer direction.

近年、クリーン搬送の分野においては、搬送方向転換装置について種々の開発が行われており、搬送方向転換装置の先行技術として特許文献１に示すものがある。 In recent years, in the field of clean conveyance, various developments have been made on a conveyance direction changing device, and there is one disclosed in Patent Document 1 as a prior art of a conveyance direction changing device.

先行技術に係る搬送方向転換装置は、第１浮上搬送装置と第２浮上搬送装置との中継領域に配設されており、方向転換装置本体を具備している。また、方向転換装置本体には、圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットが設けられており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。 The transfer direction changing apparatus according to the prior art is disposed in a relay area between the first levitation transfer apparatus and the second levitation transfer apparatus, and includes a direction change apparatus main body. In addition, the direction changing device main body is provided with a plurality of levitation units that use the pressure of compressed air (air) to levitate the substrate to the reference levitation height position. A nozzle for ejecting air is formed.

方向転換装置本体には、複数の方向転換用ローラユニットが配設されており、複数の方向転換用ローラユニットは、第１浮上搬送装置から基板を受け取ったり、第２浮上搬送装置に基板を送り出したりするものである。そして、各方向転換用ローラユニットの具体的な構成は、次のようになる。 The direction changing device main body is provided with a plurality of direction changing roller units. The plurality of direction changing roller units receive the substrate from the first levitation conveyance device or send the substrate to the second levitation conveyance device. It is something to do. And the specific structure of each roller unit for direction change is as follows.

即ち、方向転換装置本体には、方向転換用ローラケースが設けられており、この方向転換用ローラケースの上側は、開口されてあって、方向転換用ローラケースの下面には、方向転換用吸引穴が形成されている。また、方向転換用ローラケースの下面には、方向転換用吸引穴から方向転換用ローラケース内の空気を吸引する吸引ファンが設けられており、方向転換用吸引ファンを稼動したり又は方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることにより、方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。更に、方向転換用ローラケース内には、基板の裏面を直接的に支持する方向転換用ローラが軸心（方向転換用ローラの軸心）周りに回転可能に設けられており、方向転換用ローラケース内の適宜位置には、方向転換用ローラを回転させる方向転換用回転モータが設けられている。 That is, the direction changing device body is provided with a direction changing roller case, and the upper side of the direction changing roller case is opened, and the direction changing suction case is formed on the lower surface of the direction changing roller case. A hole is formed. Further, a suction fan for sucking air in the direction changing roller case from the direction changing suction hole is provided on the lower surface of the direction changing roller case, and the direction changing suction fan is operated or used for changing the direction. By stopping the operation state of the suction fan, the inside of the direction changing roller case can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state. Further, a direction changing roller for directly supporting the back surface of the substrate is provided in the direction changing roller case so as to be rotatable about an axis (axis of the direction changing roller). A direction changing rotary motor that rotates the direction changing roller is provided at an appropriate position in the case.

ここで、具体的な構成は省略するが、方向転換用ローラの高さ位置は、高さ変更アクチュエータの駆動により、基準の浮上高さ位置と同じ支持高さ位置と、この支持高さ位置よりも低い待避高さ位置とに変更可能である。また、方向転換用ローラの姿勢は、姿勢変更アクチュエータの駆動により、軸心（方向転換用ローラの軸心）が第２搬送方向に平行な第１ローラ姿勢と、軸心が第１搬送方向に平行な第２ローラ姿勢とに変更可能である。 Here, although the specific configuration is omitted, the height position of the direction changing roller is driven by the height change actuator, and the same height as the reference flying height position is determined from the support height position. Can be changed to a lower retracted height position. Further, the orientation of the direction changing roller is determined by driving the orientation changing actuator so that the axial center (the axial center of the direction changing roller) is parallel to the second conveying direction and the axial center is in the first conveying direction. It can be changed to a parallel second roller attitude.

従って、各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置に、各方向転換用ローラの姿勢を第１ローラ姿勢に保ちつつ、各吸引用ファンを稼動して各方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各方向転換用浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、方向転換用回転モータの駆動により複数の方向転換用ローラを第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取ることができる。 Therefore, each suction fan is operated while keeping the height position of each direction changing roller at the support height position and the posture of each direction changing roller in the first roller position, and the inside of each direction changing roller case. Is switched from the normal pressure state to the negative pressure state. Then, while the compressed air is ejected from the nozzle of each direction changing floating unit, the plurality of direction changing rollers are rotated around the axis parallel to the second conveying direction by driving the direction changing rotary motor. Thus, the substrate can be received from the first levitating and conveying device by the plurality of direction changing roller units while sufficiently ensuring the contact pressure between the back surface of the substrate and the direction changing roller.

複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取った後に、方向転換用回転モータの駆動を停止すると共に、各吸引用ファンの稼動状態を停止して各第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態から常圧状態に切り替える。次に、各高さ変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置から待避高さ位置に変更して、各姿勢変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの姿勢を第１ローラ姿勢から第２ローラ姿勢に変更する。更に、各高さ変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの高さ位置を待避高さ位置から支持高さ位置に変更して、各吸引用ファンを稼動して各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、方向転換用回転モータの駆動により複数の方向転換用ローラを第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、基板の搬送方向を第１搬送方向から第２搬送方向に転換して、複数の方向転換用ローラユニットによって第２浮上搬送装置へ基板を送り出すことができる。 After receiving the substrate from the first levitating and conveying device by the plurality of direction changing roller units, the driving of the direction changing rotary motor is stopped, and the operation state of each suction fan is stopped and each second direction changing roller is stopped. The inside of the case is switched from a negative pressure state to a normal pressure state. Next, the height position of each direction changing roller is changed from the support height position to the retracted height position by driving each height changing actuator, and the posture of each direction changing roller is changed by driving each position changing actuator. The first roller attitude is changed to the second roller attitude. Further, each height changing actuator is driven to change the height position of each direction changing roller from the retracted height position to the supporting height position, and each suction fan is operated to each second direction changing roller case. Is switched from normal pressure to negative pressure. Then, while the compressed air is ejected from the nozzles of each levitation unit, the plurality of direction changing rollers are rotated around the axis parallel to the first transport direction by driving the direction changing rotary motor. Thus, while ensuring a sufficient contact pressure between the back surface of the substrate and the direction changing roller, the substrate conveying direction is changed from the first conveying direction to the second conveying direction, and a plurality of direction changing roller units are used. 2 The substrate can be sent out to the levitation transfer device.

特開２００８−２５４９１８号公報JP 2008-254918 A

ところで、前述のように、先行技術に係る搬送方向転換装置にあっては、複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから第２浮上搬送装置に送り出す前に、各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置から待避高さ位置に変更する動作、各方向転換用ローラの姿勢を第１ローラ姿勢から第２ローラ姿勢に変更する動作、及び各方向転換用ローラの高さ位置を待避高さ位置から支持高さ位置に変更する動作が必要になる。そのため、基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間（作業時間）が長くなり、基板の浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができないという問題がある。 By the way, as described above, in the transport direction changing device according to the prior art, before receiving the substrate from the first levitation transport device by the plurality of direction changing roller units and before sending it out to the second levitation transport device, Operation for changing the height position of the direction changing roller from the support height position to the retracted height position, operation for changing the posture of each direction changing roller from the first roller posture to the second roller posture, and for each direction changing An operation for changing the height position of the roller from the retracted height position to the support height position is required. Therefore, there is a problem that the transport time (working time) in which the substrate is floated and transported in the first transport direction and floated and transported in the second transport direction becomes long, and the work efficiency related to the floating transport of the substrate cannot be sufficiently increased. .

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の搬送方向転換装置等を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a transport direction changing device and the like having a novel configuration that can solve the above-described problems.

本発明の第１の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備し、各第１方向転換用ローラケース及び各第２方向転換用ローラケースは、各第１方向転換用ローラケースの内部を、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る前に常圧状態から負圧状態に切り替えると共に、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取った後であってかつ前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す前に負圧状態から常圧状態に切り替えるように動作させられ、各第２方向転換用ローラケースの内部を、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取った後であってかつ前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す前に常圧状態から負圧状態に切り替えるように動作させられ、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更することなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことを要旨とする。 According to a first aspect of the present invention, a substrate is received from a first levitation transport device that floats and transports the substrate in a first transport direction (transports in a floated state), and the substrate is orthogonal to the first transport direction. In the transfer direction changing device that changes the transfer direction of the substrate from the first transfer direction to the second transfer direction when sending the substrate to the second levitating transfer device that floats and transfers in the second transfer direction, A plurality of levitation units provided on the upper surface for ejecting levitation gas to levitate the substrate to a reference levitation height position using the pressure of the levitation gas; and the first transfer to the direction changing device main body A first direction changing roller case which is arranged along a direction and whose upper side is open and whose inside can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state, and the second conveyance in the first direction changing roller case Parallel to direction A first direction changing roller provided rotatably around the center and supporting the back surface of the substrate, wherein the height position of the first direction changing roller is lower than the reference flying height position; A plurality of first direction changing roller units for receiving a substrate from the first levitating and conveying device; and a first direction changing rotary actuator for rotating the first direction changing rollers in the plurality of first direction changing roller units; A second direction changing roller case which is disposed in the direction changing device main body along the second conveying direction, and whose upper side is opened and whose inside can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state, and the second A second direction changing roller provided in the direction changing roller case so as to be rotatable around an axis parallel to the first conveying direction and supporting the back surface of the substrate; The height position is lower than the reference flying height position, and the plurality of second direction changing roller units that send out the substrate to the second floating conveying device, and the plurality of second direction changing roller units, A second direction changing rotary actuator for rotating the second direction changing roller, and each first direction changing roller case and each second direction changing roller case is provided by each of the first direction changing roller cases. The interior is switched from a normal pressure state to a negative pressure state before receiving the substrate from the first levitation transfer device, and after receiving the substrate from the first levitation transfer device and to the second levitation transfer device. be operated to switch to normal pressure from the negative pressure state before sending out, the inside of each second diverting roller case, after receiving a substrate from said first levitation transportation device And is operated so as to switch from a normal pressure state to a negative pressure state before sending the substrate to the second levitation transfer device, and the height positions of the first direction changing roller and the second direction changing roller are set. The gist of the invention is that the substrate is received from the first levitation transfer device and then sent out to the second levitation transfer device without change .

なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、同様に、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。また、「支持する」とは、直接的に支持することの他に、間接的に支持することも含む意であって、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。 In the specification and claims of the present application, “provided” means not only directly provided but also indirectly provided via an interposed member such as a bracket. Similarly, “arranged” means not only directly disposed but also indirectly disposed via an interposed member such as a bracket. Further, “support” means not only direct support but also indirectly support. “Floating gas” means compressed air (air), argon gas, nitrogen gas. Etc.

第１の特徴によると、各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態に保ちつつ、各第１方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記第１方向転換用回転アクチュエータの駆動により複数の前記第１方向転換用ローラを前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と前記第２方向転換用ローラとの間に隙間を形成する一方、基板の裏面と前記第１方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、複数の前記第１方向転換用ローラユニットによって前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ることができる。 According to the first feature, the inside of each first direction changing roller case is switched from the normal pressure state to the negative pressure state while keeping the inside of each second direction changing roller case in a normal pressure state. Then, a plurality of the first direction changing rollers are rotated around an axis parallel to the second conveying direction by driving the first direction changing rotary actuator while ejecting the floating gas from the nozzle of each floating unit. Let Accordingly, a gap is formed between the back surface of the substrate and the second direction changing roller, while the contact pressure between the back surface of the substrate and the first direction changing roller is sufficiently secured, and the plurality of the first The substrate can be received from the first levitating and conveying device by the one-direction changing roller unit.

複数の前記第１方向転換用ローラユニットによって基板を受け取った後に、前記第１方向転換用回転アクチュエータの駆動を停止すると共に、各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に、各第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態から常圧状態にそれぞれ切り替える。そして、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記第２方向転換用回転アクチュエータの駆動により複数の前記第２方向転換用ローラを前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と前記第１方向転換用ローラとの間に隙間を形成する一方、基板の裏面と前記第２方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向に転換して、複数の前記第２方向転換用ローラユニットによって前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出すことができる。 After receiving the substrate by the plurality of first direction changing roller units, the driving of the first direction changing rotary actuator is stopped and the inside of each second direction changing roller case is changed from the normal pressure state to the negative pressure state. In addition, the inside of each first direction changing roller case is switched from the negative pressure state to the normal pressure state. Then, a plurality of second direction changing rollers are rotated around an axis parallel to the first transport direction by driving the second direction changing rotary actuator while jetting the floating gas from the nozzle of each floating unit. Let Thereby, while forming a clearance gap between the back surface of a board | substrate and the said 1st direction change roller, while ensuring sufficient contact pressure of the back surface of a board | substrate and the said 2nd direction change roller, the conveyance direction of a board | substrate Can be transferred from the first transfer direction to the second transfer direction, and the substrate can be sent out to the second levitating transfer apparatus by the plurality of second direction changing roller units.

要するに、各第１方向転換用ローラケース内に前記第１方向転換用ローラが前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース内に前記第２方向転換用ローラが前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ及び各第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっているため、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更したり、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの姿勢を変更したりすることなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことができる。 In short, the first direction changing roller is provided in each first direction changing roller case so as to be rotatable around an axis parallel to the second conveying direction, and the second direction changing roller case has the first direction changing roller case. Two direction changing rollers are provided to be rotatable around an axis parallel to the first transport direction, and the height positions of the first direction changing rollers and the second direction changing rollers are the reference flying heights. Since the position is lower than the position, the height positions of the first direction changing roller and the second direction changing roller are changed, and the postures of the first direction changing roller and the second direction changing roller are changed. Without changing the position, the substrate can be sent to the second levitating and conveying apparatus after receiving the substrate from the first levitating and conveying apparatus.

本発明の第２の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備し、各第１方向転換用ローラユニットは、前記第１方向転換用ローラケースに形成された第１方向転換用吸引穴から前記第１方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファン、及び前記第１方向転換用ローラケースの前記第１方向転換用吸引穴を開閉する第１方向転換用シャッタを備え、前記第１方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっており、各第２方向転換用ローラユニットは、前記第２方向転換用ローラケースに形成された第２方向転換用吸引穴から前記第２方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファン、及び前記第２方向転換用ローラケースの前記第２方向転換用吸引穴を開閉する第２方向転換用シャッタを備え、前記第２方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを要旨とする。
本発明の第３の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送システムにおいて、基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、基板を前記第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置と前記第２浮上搬送装置との中継領域に配設され、第１又は第２の特徴からなる搬送方向転換装置と、を具備したことを要旨とする。 According to a second aspect of the present invention, a substrate is received from a first levitation transport device that floats and transports a substrate in the first transport direction, and the substrate is levitated and transported in a second transport direction orthogonal to the first transport direction. In the transfer direction changing device that changes the transfer direction of the substrate from the first transfer direction to the second transfer direction when the substrate is sent to the second levitating transfer device, the substrate is provided on the direction changing device main body, and the floating gas is supplied to the upper surface. A plurality of levitation units that form a nozzle to be ejected and levitate the substrate to a reference levitation height position using the pressure of the levitation gas; and are disposed along the first transport direction in the direction changing device main body, A first direction changing roller case that is open on the upper side and that can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state, and an axis that is parallel to the second conveying direction in the first direction changing roller case. Provided to be rotatable And a first direction changing roller for supporting the back surface of the substrate, wherein a height position of the first direction changing roller is lower than the reference flying height position, A plurality of first direction changing roller units that receive the substrate, a first direction changing rotary actuator that rotates the first direction changing rollers in the plurality of first direction changing roller units, and the direction changing device main body. In the second direction changing roller case disposed along the second conveying direction, the upper side being opened and the inside being switchable between a negative pressure state and a normal pressure state, and the second direction changing roller case A second direction changing roller provided rotatably around an axis parallel to the first transport direction and supporting the back surface of the substrate, wherein the height position of the second direction changing roller is the reference floating A plurality of second direction changing roller units that send the substrate to the second levitating and conveying device, and the second direction changing roller in the plurality of second direction changing roller units. Each of the first direction changing roller units from a first direction changing suction hole formed in the first direction changing roller case. A first direction changing suction fan for sucking air in the roller case; and a first direction changing shutter for opening and closing the first direction changing suction hole of the first direction changing roller case; The inside of the first direction changing roller case can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state by an opening / closing operation by the changing shutter, and each second direction changing roller unit can be switched. A second direction changing suction fan for sucking air in the second direction changing roller case from a second direction changing suction hole formed in the second direction changing roller case, and the second direction. A second direction change shutter that opens and closes the second direction change suction hole of the change direction roller case, and the inside of the second direction change roller case is in a negative pressure state by the opening and closing operation by the second direction change shutter; The gist is that it can be switched between the normal pressure state and
According to a third aspect of the present invention, in the levitation transport system, the substrate is levitated and conveyed in a first conveyance direction, and is levitated and conveyed in a second conveyance direction orthogonal to the first conveyance direction. A first levitation conveyance device that floats and conveys in a direction; a second levitation conveyance device that is disposed in the vicinity of the first levitation conveyance device and floats and conveys a substrate in the second conveyance direction; and the first levitation conveyance device; The gist of the present invention is that it includes a transfer direction changing device that is disposed in a relay area with the second levitation transfer device and has the first or second feature.

ここで、前記第１浮上搬送装置又は前記第２浮上搬送装置の構成の中に前記搬送方向転換装置が含まれていても構わない。 Here, the conveyance direction changing device may be included in the configuration of the first levitation conveyance device or the second levitation conveyance device.

なお、第２の特徴においても、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。 Note that the second feature also exhibits the same effect as that of the first feature.

本発明によれば、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更したり、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの姿勢を変更したりすることなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことができるため、基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間を短縮することができ、基板の浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができる。 According to the present invention, height positions of the first direction changing roller and the second direction changing roller are changed, and postures of the first direction changing roller and the second direction changing roller are changed. Since the substrate can be sent to the second levitation transfer device after receiving the substrate from the first levitation transfer device, the substrate is levitated and transferred in the first transfer direction and then levitated in the second transfer direction. The conveyance time for conveyance can be shortened, and the work efficiency regarding the floating conveyance of the substrate can be sufficiently enhanced.

本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図である。It is a top view of the levitation conveyance system concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図である。It is a top view of the conveyance direction change apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図２におけるIII-III線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the III-III line in FIG. 図２におけるIV-IV線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the IV-IV line in FIG. 図１におけるV-V線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VV line in FIG. 図１におけるVI-VI線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VI-VI line in FIG. 本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の断面図であって、図２におけるIII-III線に沿った断面図に相当する図である。It is sectional drawing of the conveyance direction change apparatus which concerns on the modification of embodiment of this invention, Comprising: It is a figure corresponded in sectional drawing along the III-III line in FIG. 本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の断面図であって、図２におけるIII-III線に沿った断面図に相当する図である。It is sectional drawing of the conveyance direction change apparatus which concerns on the modification of embodiment of this invention, Comprising: It is a figure corresponded in sectional drawing along the III-III line in FIG.

本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the drawings, “FF” indicates the forward direction, “FR” indicates the backward direction, “L” indicates the left direction, and “R” indicates the right direction.

図１に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送システム１は、クリーン搬送の分野で用いられ、例えばガラス基板等の基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１（本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）して、第１搬送方向Ｄ１に対して直交する第２搬送方向Ｄ２（本発明の実施形態にあっては、前後方向）へ浮上搬送するシステムである。そして、浮上搬送システム１について概説すると、次のようになる。 As shown in FIG. 1, a levitating transfer system 1 according to an embodiment of the present invention is used in the field of clean transfer. For example, a substrate W such as a glass substrate is moved in a first transfer direction D1 (in the embodiment of the present invention). Is levitated and conveyed in the left-right direction (conveyed in a levitated state) and then levitated in the second conveyance direction D2 (in the embodiment of the present invention, the front-rear direction) perpendicular to the first conveyance direction D1. It is a transport system. An outline of the levitation conveyance system 1 is as follows.

即ち、浮上搬送システム１は、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送する第１浮上搬送装置３を具備しており、この第１浮上搬送装置３の近傍には、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送する第２浮上搬送装置５が配設されている。そして、第１浮上搬送装置３の下流側（搬出側）と第２浮上搬送装置５の上流側（搬入側）との中継領域（中間領域）には、搬送方向転換装置７が配設されており、この搬送方向転換装置７は、第１浮上搬送装置３から基板Ｗを受け取って第２浮上搬送装置５へ基板Ｗを送り出す際に、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ転換するものである。 That is, the levitation transport system 1 includes a first levitation transport device 3 that levitates and transports the substrate W in the first transport direction D1, and the substrate W is transported in the vicinity of the first levitation transport device 3. A second levitation transport device 5 that levitates and transports in the direction D2 is provided. A transfer direction changing device 7 is disposed in a relay region (intermediate region) between the downstream side (carrying-out side) of the first levitation transfer device 3 and the upstream side (carry-in side) of the second levitation transfer device 5. The transport direction changing device 7 changes the transport direction of the substrate W from the first transport direction D1 to the second transport direction when receiving the substrate W from the first levitation transport device 3 and sending the substrate W to the second levitation transport device 5. It changes to the conveyance direction D2.

浮上搬送システム１の第１浮上搬送装置３の具体的な構成は、次のようになる。 The specific configuration of the first levitation conveyance device 3 of the levitation conveyance system 1 is as follows.

即ち、図１及び図５に示すように、第１浮上搬送装置３は、第１搬送方向Ｄ１へ延びた第１搬送装置本体９を具備しており、この第１搬送装置本体９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、第１搬送装置本体９には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数のチャンバー１１が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されており（各列の下流側のチャンバー１１のみを図示）、各チャンバー１１の下面には、チャンバー１１内に圧縮空気を供給する供給ファン１３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。 That is, as shown in FIGS. 1 and 5, the first levitation transport device 3 includes a first transport device body 9 extending in the first transport direction D1, and the first transport device body 9 is levitated. This constitutes a part of the system base of the transport system 1. Further, the first transfer device main body 9 includes a plurality of chambers 11 for storing compressed air (air) as a floating gas along the first transfer direction D1 (in the embodiment of the present invention, 2 (Only the chambers 11 on the downstream side of each row are shown), and a supply fan 13 for supplying compressed air into the chambers 11 is provided on the lower surface of each chamber 11 (according to the embodiment of the present invention). In this case, a fan filter unit is provided.

各チャンバー１１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット１５が設けられており、換言すれば、第１搬送装置本体９には、複数の浮上ユニット１５が複数のチャンバー１１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット１５の内部は、チャンバー１１に連通してあって、各浮上ユニット１５は、チャンバー１１を介して供給ファン１３に接続されている。そして、各浮上ユニット１５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル１５ｎが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット１５の上面と基板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の圧力溜まり層（空気溜まり層）Ｔを生成するため、各ノズル１５ｎは、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１５の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット１５の中心側）へ傾斜するようになっている。 The upper surface of each chamber 11 is provided with a hollow floating unit 15 that floats the substrate W to a reference flying height position LP using the pressure of the compressed air. In FIG. 9, a plurality of floating units 15 are provided via a plurality of chambers 11. Here, the interior of each levitation unit 15 communicates with the chamber 11, and each levitation unit 15 is connected to the supply fan 13 via the chamber 11. A frame-like nozzle 15n for ejecting compressed air is formed on the upper surface of each floating unit 15 along the planar view shape of the floating unit 15, and the upper surface of each floating unit 15 and the back surface of the substrate W are In order to generate a pressure reservoir layer (air reservoir layer) T having a substantially uniform pressure therebetween, each nozzle 15n is arranged in a vertical direction (a direction perpendicular to the upper surface of the levitation unit 15 as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-182563). ) To the center side of the unit (the center side of the floating unit 15).

なお、枠状のノズル１５ｎが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されるの代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されるようにしても構わない。 It should be noted that a plurality of slit-shaped or round hole-shaped nozzles are formed along the planar view shape of the floating unit 15 instead of the frame-shaped nozzles 15n being formed along the planar view shape of the floating unit 15. It doesn't matter.

第１搬送装置本体９には、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ搬送する複数の第１搬送用ローラユニット１７が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている（各列の下流側の第１搬送用ローラユニット１７のみを図示）。そして、各第１搬送用ローラユニット１７の具体的な構成は、次のようになる。 In the first transport apparatus main body 9, a plurality of first transport roller units 17 that transport the substrate W in the first transport direction D1 are arranged in a line along the first transport direction D1 (in the embodiment of the present invention). (Only the first transport roller unit 17 on the downstream side of each row is shown). The specific configuration of each first transport roller unit 17 is as follows.

即ち、第１搬送装置本体９には、第１搬送用ローラケース１９が設けられており、この第１搬送用ローラケース１９の上側は、開口（開放）されてあって、第１搬送用ローラケース１９の下面には、第１搬送用吸引穴１９ｈが形成されている。また、第１搬送用ローラケース１９の下面には、第１搬送用吸引穴１９ｈから第１搬送用ローラケース１９内の空気を吸引する第１搬送用吸引ファン２１が設けられており、第１搬送用吸引ファン２１を稼動したり又は第１搬送用吸引ファン２１の稼動状態を停止したりすることにより、第１搬送用ローラケース１９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 That is, the first transport device main body 9 is provided with a first transport roller case 19, and the upper side of the first transport roller case 19 is opened (opened), and the first transport roller case 19 is opened. A first transfer suction hole 19 h is formed on the lower surface of the case 19. Further, on the lower surface of the first transfer roller case 19, a first transfer suction fan 21 for sucking the air in the first transfer roller case 19 from the first transfer suction hole 19h is provided. By operating the transport suction fan 21 or stopping the operation state of the first transport suction fan 21, the inside of the first transport roller case 19 can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state. It has become.

第１搬送用ローラケース１９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第１搬送用ローラ２３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、この第１搬送用ローラ２３は、第１搬送用ローラケース１９の最上部に対して上方向へ突出しており、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰは、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第１搬送用ローラケース１９の適宜位置には、第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる第１搬送用回転モータ（第１搬送用回転アクチュエータの一例）２５が設けられており、この第１搬送用回転モータ２５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第１搬送用連動機構２７を介して第１搬送用ローラ２３の回転軸に連動連結してある。 A first transport roller 23 that directly supports the back surface of the substrate W is provided in the first transport roller case 19 so as to be rotatable about an axis parallel to the second transport direction D2. Here, the first conveying roller 23 protrudes upward with respect to the uppermost portion of the first conveying roller case 19, and the height position SP of the first conveying roller 23 is a reference flying height. It is lower than the position LP. Then, at an appropriate position of the first conveyance roller case 19, a first conveyance rotation motor (of the first conveyance rotation actuator) that rotates the first conveyance roller 23 around an axis parallel to the second conveyance direction D2. (Example) 25 is provided, and the output shaft of the first transport rotary motor 25 is connected to the rotation shaft of the first transport roller 23 via the first transport interlock mechanism 27 comprising a pair of pulleys and a timing belt. They are linked together.

なお、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰを基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くする代わりに、基準の浮上高さ位置ＬＰと同じにしても構わなく、第１搬送用ローラユニット１７の一部を構成する第１搬送用回転モータ２５を省略して、第１搬送装置本体９の適宜位置に複数の第１搬送用ローラユニット１７における第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる別の第１搬送用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。 Instead of making the height position SP of the first conveying roller 23 lower than the reference flying height position LP, the first conveying roller unit 17 may be the same as the reference flying height position LP. The first transport rotary motor 25 that constitutes a part of the first transport device main body 9 is omitted, and the first transport roller 23 in the plurality of first transport roller units 17 is placed in the second transport direction D2 at an appropriate position of the first transport device body 9. Another first rotation motor for rotation that rotates around an axis parallel to the axis may be provided.

浮上搬送システム１の第２浮上搬送装置５の具体的な構成は、次のようになる。 The specific configuration of the second levitation conveyance device 5 of the levitation conveyance system 1 is as follows.

即ち、図１及び図６に示すように、第１浮上搬送装置３の近傍には、第２搬送方向Ｄ２へ延びた第２搬送装置本体２９が配設されており、この第２搬送装置本体２９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、第２搬送装置本体２９には、圧縮空気を収容する複数のチャンバー３１が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されており（各列の上流側のチャンバー３１のみを図示）、各チャンバー３１の下面には、チャンバー３１内に圧縮空気を供給する供給ファン３３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。 That is, as shown in FIGS. 1 and 6, a second transport device body 29 extending in the second transport direction D <b> 2 is disposed in the vicinity of the first levitation transport device 3, and this second transport device body. Reference numeral 29 denotes a part of the system base of the levitation conveyance system 1. In the second transfer device body 29, a plurality of chambers 31 for storing compressed air are arranged in a row (two rows in the embodiment of the present invention) along the second transfer direction D2. (Only the chambers 31 on the upstream side of each row are shown), and a supply fan 33 for supplying compressed air into the chambers 31 (a fan filter unit in the embodiment of the present invention) is provided on the lower surface of each chamber 31 Is provided.

各チャンバー３１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット３５が設けられており、換言すれば、第２搬送装置本体２９には、複数の浮上ユニット３５が複数のチャンバー３１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット３５の内部は、チャンバー３１に連通してあって、各浮上ユニット３５は、チャンバー３１を介して供給ファン３３に接続されている。そして、各浮上ユニット３５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル３５ｎが浮上ユニット３５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット３５のノズル３５ｎは、浮上ユニット１５のノズル１５ｎと略同じ構成を有している。 The upper surface of each chamber 31 is provided with a hollow levitation unit 35 that levitates the substrate W to a reference levitation height position LP by using the pressure of compressed air. In FIG. 29, a plurality of floating units 35 are provided via a plurality of chambers 31. Here, the interior of each levitation unit 35 communicates with the chamber 31, and each levitation unit 35 is connected to the supply fan 33 via the chamber 31. A frame-like nozzle 35n for ejecting compressed air is formed on the top surface of each floating unit 35 along the plan view shape of the floating unit 35. The nozzle 35n of each floating unit 35 is It has substantially the same configuration as the nozzle 15n.

第２搬送装置本体２９には、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ搬送する複数の第２搬送用ローラユニット３７が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている（各列の上流側の第２搬送用ローラユニット３７のみを図示）。そして、各第２搬送用ローラユニット３７の具体的な構成は、次のようになる。 In the second transport apparatus main body 29, a plurality of second transport roller units 37 that transport the substrate W in the second transport direction D2 are arranged in a row along the second transport direction D2 (in the embodiment of the present invention). (Only the second transport roller unit 37 on the upstream side of each row is shown). The specific configuration of each second transport roller unit 37 is as follows.

即ち、第２搬送装置本体２９には、第２搬送用ローラケース３９が設けられており、この第２搬送用ローラケース３９の上側は、開口されてあって、第２搬送用ローラケース３９の下面には、第２搬送用吸引穴３９ｈが形成されている。また、第２搬送用ローラケース３９の下面には、第２搬送用吸引穴３９ｈから第２搬送用ローラケース３９内の空気を吸引する第２搬送用吸引ファン４１が設けられており、第２搬送用吸引ファン４１を稼動したり又は第２搬送用吸引ファン４１の稼動状態を停止したりすることにより、第２搬送用ローラケース３９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 That is, the second transport device main body 29 is provided with a second transport roller case 39, and the upper side of the second transport roller case 39 is opened so that the second transport roller case 39 A second transfer suction hole 39h is formed on the lower surface. Further, on the lower surface of the second transfer roller case 39, a second transfer suction fan 41 that sucks air in the second transfer roller case 39 from the second transfer suction hole 39h is provided. By operating the transport suction fan 41 or stopping the operation state of the second transport suction fan 41, the inside of the second transport roller case 39 can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state. It has become.

第２搬送用ローラケース３９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第２搬送用ローラ４３が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第２搬送用ローラ４３は、第２搬送用ローラケース３９の最上部に対して上方向へ突出しており、第２搬送用ローラ４３の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第２搬送用ローラケース３９の適宜位置には、第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる第２搬送用回転モータ（第２搬送用回転アクチュエータの一例）４５が設けられており、この第２搬送用回転モータ４５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第２搬送用連動機構４７を介して第２搬送用ローラ４３の回転軸に連動連結してある。 A second transport roller 43 that directly supports the back surface of the substrate W is provided in the second transport roller case 39 so as to be rotatable around an axis parallel to the first transport direction D1. Here, the second conveyance roller 43 protrudes upward with respect to the uppermost portion of the second conveyance roller case 39, and the height position SP of the second conveyance roller 43 is set to the first conveyance roller 23. It is the same as the height position SP, and is lower than the reference flying height position LP. Then, at an appropriate position of the second conveyance roller case 39, a second conveyance rotation motor (rotating the second conveyance rotation actuator) rotates the second conveyance roller 43 around an axis parallel to the first conveyance direction D1. One example) 45 is provided, and the output shaft of the second transport rotary motor 45 is connected to the rotation shaft of the second transport roller 43 via a second transport interlocking mechanism 47 comprising a pair of pulleys and a timing belt. They are linked together.

なお、第２搬送用ローラ４３の高さ位置ＳＰを基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くする代わりに、基準の浮上高さ位置ＬＰと同じにしても構わなく、第２搬送用ローラユニット３７の一部を構成する第２搬送用回転モータ４５を省略して、第２搬送装置本体２９の適宜位置に複数の第２搬送用ローラユニット３７における第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる別の第２搬送用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。 Instead of making the height position SP of the second conveying roller 43 lower than the reference flying height position LP, the second conveying roller unit 37 may be the same as the reference flying height position LP. The second transport rotary motor 45 constituting a part of the second transport roller main body 29 is omitted, and the second transport roller 43 in the plurality of second transport roller units 37 is placed in the first transport direction D1. Another second transfer rotary motor that rotates around an axis parallel to the axis may be provided.

浮上搬送システム１の搬送方向転換装置７の具体的な構成は、次のようになる。 The specific configuration of the transfer direction changing device 7 of the levitation transfer system 1 is as follows.

即ち、図１から図４に示すように、第１浮上搬送装置３と第２浮上搬送装置５の中継領域には、方向転換装置本体４９が配設されており、この方向転換装置本体４９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、方向転換装置本体４９には、圧縮空気を収容する複数（本発明の実施形態にあっては、４つ）のチャンバー５１が略均等に配設されており、各チャンバー５１の下面には、チャンバー５１内に圧縮空気を供給する供給ファン５３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。 That is, as shown in FIGS. 1 to 4, a direction changing device main body 49 is disposed in the relay area of the first levitation conveying device 3 and the second levitation conveying device 5. A part of the system base of the levitation conveyance system 1 is configured. The direction changing device main body 49 is provided with a plurality of (in the embodiment of the present invention, four) chambers 51 for accommodating compressed air. A supply fan 53 (a fan filter unit in the embodiment of the present invention) for supplying compressed air into the chamber 51 is provided.

各チャンバー５１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット５５が設けられており、換言すれば、方向転換装置本体４９には、複数の浮上ユニット５５が複数のチャンバー５１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット５５の内部は、チャンバー５１に連通してあって、各浮上ユニット５５は、チャンバー５１を介して供給ファン５３に接続されている。そして、各浮上ユニット５５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル５５ｎが浮上ユニット５５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット５５のノズル５５ｎは、浮上ユニット１５のノズル１５ｎと略同じ構成を有している。 On the upper surface of each chamber 51, there is provided a hollow floating unit 55 that floats the substrate W to the reference flying height position LP using the pressure of compressed air. In other words, the direction changing device main body 49 A plurality of levitation units 55 are provided via a plurality of chambers 51. Here, the interior of each levitation unit 55 communicates with the chamber 51, and each levitation unit 55 is connected to the supply fan 53 via the chamber 51. A frame-like nozzle 55n for ejecting compressed air is formed on the top surface of each floating unit 55 along the plan view of the floating unit 55. The nozzle 55n of each floating unit 55 It has substantially the same configuration as the nozzle 15n.

方向転換装置本体４９には、第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取る複数の第１方向転換用ローラユニット５７が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている。そして、各第１方向転換用ローラユニット５７の具体的な構成は、次のようになる。 In the direction changing device main body 49, a plurality of first direction changing roller units 57 that receive the substrate W from the downstream side of the first floating conveying device 3 are arranged in a row along the first conveying direction D1 (in the embodiment of the present invention). In that case, they are arranged in two rows. The specific configuration of each first direction changing roller unit 57 is as follows.

即ち、方向転換装置本体４９には、第１方向転換用ローラケース５９が設けられており、この第１方向転換用ローラケース５９の上側は、開口されてあって、第１方向転換用ローラケース５９の下面には、第１方向転換用吸引穴５９ｈが形成されている。また、第１方向転換用ローラケース５９の下面には、第１方向転換用吸引穴５９ｈから第１方向転換用ローラケース５９内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファン６１が設けられており、第１方向転換用吸引ファン６１を稼動したり又は第１方向転換用吸引ファン６１の稼動状態を停止したりすることにより、第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 That is, the direction changing device main body 49 is provided with a first direction changing roller case 59. The upper side of the first direction changing roller case 59 is opened, and the first direction changing roller case 59 is opened. A first direction changing suction hole 59 h is formed on the lower surface of 59. A first direction changing suction fan 61 is provided on the lower surface of the first direction changing roller case 59 to suck air in the first direction changing roller case 59 from the first direction changing suction hole 59h. The first direction change suction fan 61 is operated or the operation state of the first direction change suction fan 61 is stopped, so that the inside of the first direction change roller case 59 is kept in a negative pressure state. It is possible to switch to the pressure state.

第１方向転換用ローラケース５９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第１方向転換用ローラ６３は、第１方向転換用ローラケース５９の最上部に対して上方向へ突出しており、第１方向転換用ローラ６３の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第１方向転換用ローラケース５９の適宜位置には、第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる第１方向転換用回転モータ（第１方向転換用回転アクチュエータの一例）６５が設けられており、この第１方向転換用回転モータ６５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第１方向転換用連動機構６７を介して第１方向転換用ローラ６３の回転軸に連動連結してある。 In the first direction changing roller case 59, a first direction changing roller 63 that directly supports the back surface of the substrate W is provided to be rotatable around an axis parallel to the second transport direction D2. Here, the first direction changing roller 63 protrudes upward with respect to the uppermost portion of the first direction changing roller case 59, and the height position SP of the first direction changing roller 63 is the first transport. It is the same as the height position SP of the roller 23, and is lower than the reference flying height position LP. Then, at an appropriate position of the first direction changing roller case 59, a first direction changing rotary motor (first direction changing rotation motor) that rotates the first direction changing roller 63 around an axis parallel to the second transport direction D2. An example of a rotary actuator for use) 65 is provided, and an output shaft of the first direction changing rotary motor 65 is provided with a first direction changing via a first direction changing interlocking mechanism 67 including a pair of pulleys and a timing belt. It is linked to the rotation shaft of the roller 63 for use.

なお、第１方向転換用ローラユニット５７の一部を構成する第１方向転換用回転モータ６５を省略して、方向転換装置本体４９の適宜位置に複数の第１方向転換用ローラユニット５７における第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる別の第１方向転換用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。 Note that the first direction changing rotary motor 65 that constitutes a part of the first direction changing roller unit 57 is omitted, and the first direction changing roller units 57 in the plurality of first direction changing roller units 57 are arranged at appropriate positions of the direction changing device main body 49. Another first direction changing rotary motor or the like that rotates the one direction changing roller 63 around an axis parallel to the second transport direction D2 may be provided.

方向転換装置本体４９には、第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出す複数の第２方向転換用ローラユニット６９が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている。そして、各第２方向転換用ローラユニット６９の具体的な構成は、次のようになる。 In the direction changing device main body 49, a plurality of second direction changing roller units 69 for sending the substrate W to the upstream side of the second levitating and conveying device 5 are arranged in a row along the second conveying direction D2 (in the embodiment of the present invention). In that case, they are arranged in two rows. The specific configuration of each second direction changing roller unit 69 is as follows.

即ち、方向転換装置本体４９には、第２方向転換用ローラケース７１が設けられており、この第２方向転換用ローラケース７１の上側は、開口されてあって、第２方向転換用ローラケース７１の下面には、第２方向転換用吸引穴７１ｈが形成されている。また、第２方向転換用ローラケース７１の下面には、第２方向転換用吸引穴７１ｈから第２方向転換用ローラケース７１内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファン７３が設けられており、第２方向転換用吸引ファン７３を稼動したり又は第２方向転換用吸引ファン７３の稼動状態を停止したりすることにより、第２方向転換用ローラケース７１の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 That is, the direction changing device main body 49 is provided with a second direction changing roller case 71. The upper side of the second direction changing roller case 71 is opened, and the second direction changing roller case 71 is opened. A second direction changing suction hole 71 h is formed on the lower surface of 71. Further, a second direction changing suction fan 73 for sucking air in the second direction changing roller case 71 from the second direction changing suction hole 71h is provided on the lower surface of the second direction changing roller case 71. The second direction changing suction fan 73 is operated or the operation state of the second direction changing suction fan 73 is stopped, so that the inside of the second direction changing roller case 71 is kept in a negative pressure state. It is possible to switch to the pressure state.

第２方向転換用ローラケース７１内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第２方向転換用ローラ７５は、第２方向転換用ローラケース７１の最上部に対して上方向へ突出しており、第２方向転換用ローラ７５の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第２方向転換用ローラケース７１の適宜位置には、第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる第２方向転換用回転モータ（第２方向転換用回転アクチュエータの一例）７７が設けられており、この第２方向転換用回転モータ７７の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第２方向転換用連動機構７９を介して第２方向転換用ローラ７５の回転軸に連動連結してある。 In the second direction changing roller case 71, a second direction changing roller 75 that directly supports the back surface of the substrate W is provided to be rotatable around an axis parallel to the first transport direction D1. Here, the second direction changing roller 75 protrudes upward with respect to the uppermost portion of the second direction changing roller case 71, and the height position SP of the second direction changing roller 75 is the first transport. It is the same as the height position SP of the roller 23, and is lower than the reference flying height position LP. At a suitable position of the second direction change roller case 71, a second direction change rotation motor (second direction change) that rotates the second direction change roller 75 around an axis parallel to the first transport direction D1. 77) is provided, and the output shaft of the second direction changing rotary motor 77 is changed to the second direction via a second direction changing interlock mechanism 79 comprising a pair of pulleys and a timing belt. It is linked to the rotation shaft of the roller 75 for use.

なお、第２方向転換用ローラユニット６９の一部を構成する第２方向転換用回転モータ７７を省略して、方向転換装置本体４９の適宜位置に複数の第２方向転換用ローラユニット６９における第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる別の第２方向転換用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。 Note that the second direction changing rotary motor 77 constituting a part of the second direction changing roller unit 69 is omitted, and the second direction changing roller units 69 in the plurality of second direction changing roller units 69 are disposed at appropriate positions of the direction changing device main body 49. Another second direction changing rotary motor that rotates the two direction changing roller 75 around an axis parallel to the first conveying direction D1 may be provided.

方向転換装置本体４９の右側の適宜位置には、反射型光電センサ８１が設けられており、この反射型光電センサ８１は、投光した信号光の反射を監視することにより、複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ったことを検出するものである。また、反射型光電センサ８１は、第１方向転換用吸引ファン６１、第１方向転換用回転モータ６５、第２方向転換用吸引ファン７３、及び第２方向転換用回転モータ７７等を制御するコントローラ（図示省略）に電気的に接続されている。 A reflection type photoelectric sensor 81 is provided at an appropriate position on the right side of the direction changing device main body 49. The reflection type photoelectric sensor 81 monitors the reflection of the projected signal light to thereby detect a plurality of first directions. The conversion roller unit 57 detects that the substrate W has been received from the downstream side of the first levitation transport device 3. The reflective photoelectric sensor 81 is a controller that controls the first direction changing suction fan 61, the first direction changing rotary motor 65, the second direction changing suction fan 73, the second direction changing rotary motor 77, and the like. (Not shown) is electrically connected.

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。 Then, the effect | action and effect of embodiment of this invention are demonstrated.

各供給ファン１３を稼動して各浮上ユニット１５のノズル１５ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各第１搬送用吸引ファン２１を稼動して各第１搬送用ローラケース１９の内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、各第１搬送用回転モータ２５の駆動により各第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第１搬送用ローラ２３との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送することができる。 Each supply fan 13 is operated, and compressed air is ejected from the nozzle 15n of each levitation unit 15. Further, each first transport suction fan 21 is operated to appropriately switch the inside of each first transport roller case 19 from the normal pressure state to the negative pressure state, and each first transport rotation motor 25 is driven to each The first conveyance roller 23 is rotated around an axis parallel to the second conveyance direction D2. Thereby, the substrate W can be levitated and conveyed in the first conveyance direction D1 while sufficiently ensuring the contact pressure between the back surface of the substrate W and the plurality of first conveyance rollers 23.

基板Ｗが第１浮上搬送装置３の下流側の所定位置を通過する前に、各第２方向転換用ローラケース７１の内部を常圧状態に保ちつつ、各第１方向転換用吸引ファン６１を稼動して各第１方向転換用ローラケース５９の内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各供給ファン５３を稼動して各浮上ユニット５５のノズル５５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、各第１方向転換用回転モータ６５の駆動により各第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と第２方向転換用ローラ７５との間に隙間（図３参照）を形成する一方、基板Ｗの裏面と第１方向転換用ローラ６３との接触圧を十分に確保しつつ、複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ることができる。 Before the substrate W passes through a predetermined position on the downstream side of the first levitation transfer device 3, the first direction changing suction fans 61 are maintained while maintaining the inside of each second direction changing roller case 71 at normal pressure. It operates to switch the inside of each first direction changing roller case 59 from the normal pressure state to the negative pressure state. Then, each supply fan 53 is operated to eject compressed air from the nozzle 55n of each floating unit 55, and each first direction changing roller 63 is driven in the second transport direction by driving each first direction changing rotation motor 65. Rotate around an axis parallel to D2. As a result, a gap (see FIG. 3) is formed between the back surface of the substrate W and the second direction changing roller 75, while sufficient contact pressure between the back surface of the substrate W and the first direction changing roller 63 is secured. However, the substrate W can be received from the downstream side of the first levitation transfer device 3 by the plurality of first direction changing roller units 57.

複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって基板Ｗを受け取った後に（換言すれば、反射型光電センサ８１から検出信号が出力されると）、第１方向転換用回転モータ６５の駆動を停止すると共に、各第２方向転換用吸引ファン７３を稼動して各第２方向転換用ローラケース７１の内部を常圧状態から負圧状態に、各第１方向転換用吸引ファン６１の稼動状態を停止して各第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態から常圧状態にそれぞれ切り替える。そして、各浮上ユニット５５のノズル５５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第２方向転換用回転モータ７７の駆動により複数の第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と第１方向転換用ローラ６３との間に隙間（図４参照）を形成する一方、基板Ｗの裏面と第２方向転換用ローラ７５との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２に転換して、複数の第２方向転換用ローラユニット６９によって第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出すことができる。 After receiving the substrate W by the plurality of first direction changing roller units 57 (in other words, when a detection signal is output from the reflective photoelectric sensor 81), the driving of the first direction changing rotary motor 65 is stopped. At the same time, each second direction changing suction fan 73 is operated to change the inside of each second direction changing roller case 71 from the normal pressure state to the negative pressure state, and the operation state of each first direction changing suction fan 61 is stopped. Then, the inside of each first direction changing roller case 59 is switched from the negative pressure state to the normal pressure state. Then, while the compressed air is ejected from the nozzles 55n of the levitation units 55, the plurality of second direction changing rollers 75 are driven around the axis parallel to the first conveying direction D1 by driving the second direction changing rotary motor 77. Rotate. As a result, a gap (see FIG. 4) is formed between the back surface of the substrate W and the first direction changing roller 63, while sufficient contact pressure between the back surface of the substrate W and the second direction changing roller 75 is secured. However, the transfer direction of the substrate W is changed from the first transfer direction D1 to the second transfer direction D2, and the substrate W is sent to the upstream side of the second levitation transfer device 5 by the plurality of second direction changing roller units 69. be able to.

複数の第２方向転換用ローラユニット６９によって第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出す前又は送り出す際に、各供給ファン３３を稼動して各浮上ユニット３５のノズル３５ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各第２搬送用吸引ファン４１を稼動して各第２搬送用ローラケース３９の内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、各第２搬送用回転モータ４５の駆動により各第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第２搬送用ローラ４３との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送することができる。 Before or when the substrate W is sent to the upstream side of the second levitation transport device 5 by the plurality of second direction changing roller units 69, each supply fan 33 is operated to supply compressed air from the nozzle 35n of each levitation unit 35. Erupt. Further, each second transport suction fan 41 is operated to appropriately switch the inside of each second transport roller case 39 from a normal pressure state to a negative pressure state, and each second transport rotary motor 45 is driven to The second transport roller 43 is rotated around an axis parallel to the first transport direction D1. Thereby, the substrate W can be levitated and conveyed in the second conveyance direction D2 while sufficiently ensuring the contact pressure between the back surface of the substrate W and the plurality of second conveyance rollers 43.

要するに、各第１方向転換用ローラケース５９内に第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース７１内に第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ６３及び各第２方向転換用ローラ７５の高さ位置が基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっているため、第１方向転換用ローラ６３及び第２方向転換用ローラ７５の高さ位置を変更したり、第１方向転換用ローラ６３及び第２方向転換用ローラ７５の姿勢を変更したりすることなく、第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ってから第２浮上搬送装置５の上流側に送り出すことができる。 In short, the first direction changing roller 63 is provided in each first direction changing roller case 59 so as to be rotatable around an axis parallel to the second conveying direction D2, and in each second direction changing roller case 71. The second direction changing roller 75 is rotatably provided around an axis parallel to the first conveying direction D1, and the height positions of the first direction changing rollers 63 and the second direction changing rollers 75 are set as a reference. Since it is lower than the flying height position LP, the height positions of the first direction changing roller 63 and the second direction changing roller 75 are changed, or the first direction changing roller 63 and the second direction changing roller are changed. Without changing the posture of the roller 75, the substrate W can be received from the downstream side of the first levitation transport device 3 and then sent to the upstream side of the second levitation transport device 5.

従って、本発明の実施形態によれば、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送して、第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送する搬送時間を短縮することができ、基板Ｗの浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができる。 Therefore, according to the embodiment of the present invention, it is possible to shorten the transport time for the substrate W to be floated and transported in the first transport direction D1 and to be floated and transported in the second transport direction D2. Efficiency can be increased sufficiently.

（変形例）
本発明の実施形態の変形例について図７及び図８を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。 (Modification)
The modification of embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG.7 and FIG.8. In the drawings, “FF” indicates the forward direction, “FR” indicates the backward direction, “L” indicates the left direction, and “R” indicates the right direction.

図７及び図８に示すように、各第１方向転換用ローラケース５９には、第１方向転換用ローラケース５９の第１方向転換用吸引穴５９ｈを開閉する第１方向転換用シャッタ８３が設けられている。また、各第１方向転換用ローラケース５９の適宜位置には、第１方向転換用シャッタ８３の開閉動作（開放方向へ移動）させるロッドレス型の第１方向転換用開閉シリンダ（第１方向転換用開閉アクチュエータの一例）８５が設けられており、各第１方向転換用開閉シリンダ８５は、開閉方向へ移動可能な可動子８７を備えてあって、各第１方向転換用開閉シリンダ８５における可動子８７は、第１方向転換用シャッタ８３の適宜位置に連結してある。そして、第１方向転換用シャッタ８３による開閉動作によって、第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 As shown in FIGS. 7 and 8, each first direction changing roller case 59 has a first direction changing shutter 83 that opens and closes the first direction changing suction hole 59 h of the first direction changing roller case 59. Is provided. Further, a rodless type first direction changing opening / closing cylinder (first direction changing opening / closing cylinder) for opening / closing (moving in the opening direction) the first direction changing shutter 83 is provided at an appropriate position of each first direction changing roller case 59. An example of an opening / closing actuator) 85 is provided, and each first direction changing opening / closing cylinder 85 includes a mover 87 movable in the opening / closing direction, and each mover in each first direction changing opening / closing cylinder 85 is provided. 87 is connected to an appropriate position of the first direction changing shutter 83. The inside of the first direction changing roller case 59 can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state by an opening / closing operation by the first direction changing shutter 83.

同様に、各第２方向転換用ローラケース７１には、第２方向転換用ローラケース７１の第２方向転換用吸引穴７１ｈを開閉する第２方向転換用シャッタ８９が設けられている。また、各第２方向転換用ローラケース７１の適宜位置には、第２方向転換用シャッタ８９の開閉動作させるロッドレス型の第２方向転換用開閉シリンダ（第２方向転換用開閉アクチュエータの一例）９１が設けられており、各第２方向転換用開閉シリンダ９１は、開閉方向へ移動可能な可動子９３を備えてあって、各第２方向転換用開閉シリンダ９１における可動子８７は、第２方向転換用シャッタ８９の適宜位置に連結してある。そして、第２方向転換用シャッタ８９による開閉動作によって、第２方向転換用ローラケース７１の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。 Similarly, each second direction changing roller case 71 is provided with a second direction changing shutter 89 that opens and closes the second direction changing suction hole 71 h of the second direction changing roller case 71. Further, a rodless second direction change opening and closing cylinder (an example of a second direction change opening and closing actuator) 91 for opening and closing the second direction changing shutter 89 is provided at an appropriate position of each second direction changing roller case 71. Each of the second direction changing open / close cylinders 91 includes a mover 93 movable in the open / close direction, and each of the second direction changing open / close cylinders 91 includes a mover 87 in the second direction. It is connected to an appropriate position of the conversion shutter 89. The inside of the second direction changing roller case 71 can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state by an opening / closing operation by the second direction changing shutter 89.

ここで、本発明の実施形態の変形例においても、前述の本発明の実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏する。 Here, also in the modification of the embodiment of the present invention, the same operation and effect as the above-described operation and effect of the embodiment of the present invention are exhibited.

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。 In addition, this invention is not restricted to description of the above-mentioned embodiment, It can implement in a various aspect. Further, the scope of rights encompassed by the present invention is not limited to these embodiments.

Ｄ１第１搬送方向
Ｄ２第２搬送方向
ＬＰ基準の浮上高さ位置
ＳＰ浮上ユニットの高さ位置
Ｗ基板
１浮上搬送システム
３第１浮上搬送装置
５第２浮上搬送装置
７搬送方向転換装置
９第１搬送装置本体
１５浮上ユニット
１５ｎノズル
１７第１搬送用ローラユニット
１９第１搬送用ローラケース
２３第１搬送用ローラ
２５第１搬送用回転モータ
２９第２搬送装置本体
３５浮上ユニット
３５ｎノズル
３７第２搬送用ローラユニット
３９第２搬送用ローラケース
４３第２搬送用ローラ
４５第２搬送用回転モータ
４９方向転換装置本体
５５浮上ユニット
５５ｎノズル
５７第１方向転換用ローラユニット
５９第１方向転換用ローラケース
５９ｈ第１方向転換用吸引穴
６１第１方向転換用吸引ファン
６３第１方向転換用ローラ
６５第１方向転換用回転モータ
６９第２方向転換用ローラユニット
７１第２方向転換用ローラケース
７１ｈ第２方向転換用吸引穴
７３第２方向転換用吸引ファン
７５第２方向転換用ローラ
７７第２方向転換用回転モータ D1 1st conveyance direction D2 2nd conveyance direction LP Reference floating height position SP Height position of levitation unit W Substrate 1 Levitation conveyance system 3 First levitation conveyance device 5 Second levitation conveyance device 7 Conveyance direction change device 9 1st Conveying device main body 15 Floating unit 15n Nozzle 17 First conveying roller unit 19 First conveying roller case 23 First conveying roller 25 First conveying rotating motor 29 Second conveying device main body 35 Levitating unit 35n Nozzle 37 Second conveying Roller unit 39 Second transport roller case 43 Second transport roller 45 Second transport rotary motor 49 Direction change device body 55 Floating unit 55n Nozzle 57 First direction change roller unit 59 First direction change roller case 59h First direction changing suction hole 61 First direction changing suction fan 63 First direction changing roller 65 Rotation motor 69 for first direction change Roller unit 71 for second direction change Roller case 71h for second direction change Second suction hole 73 for second direction change Second direction change suction fan 75 Second direction change roller 77 Second direction Rotary motor for conversion

Claims

基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、
方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、
前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備し、
各第１方向転換用ローラケース及び各第２方向転換用ローラケースは、
各第１方向転換用ローラケースの内部を、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る前に常圧状態から負圧状態に切り替えると共に、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取った後であってかつ前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す前に負圧状態から常圧状態に切り替えるように動作させられ、
各第２方向転換用ローラケースの内部を、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取った後であってかつ前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す前に常圧状態から負圧状態に切り替えるように動作させられ、
前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更することなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことを特徴とする搬送方向転換装置。 A substrate is received from a first levitation transport device that floats and transports a substrate in the first transport direction, and the substrate is sent out to a second levitation transport device that floats and transports the substrate in a second transport direction orthogonal to the first transport direction. In the transfer direction changing device for changing the transfer direction of the substrate from the first transfer direction to the second transfer direction,
A plurality of levitation units that are provided in the direction changing device main body, a nozzle that ejects levitation gas is formed on the upper surface, and the substrate is levitated to a reference levitation height position using the pressure of the levitation gas;
A first direction changing roller case that is disposed in the direction changing device main body along the first conveying direction, has an upper opening, and is capable of switching between a negative pressure state and a normal pressure state inside, and the first direction. A height change position of the first direction change roller is provided in the change case, the first direction change roller provided rotatably around an axis parallel to the second transport direction and supporting the back surface of the substrate. Are lower than the reference flying height position, and a plurality of first turning roller units for receiving a substrate from the first flying transport device,
A first direction changing rotary actuator for rotating the first direction changing roller in the plurality of first direction changing roller units;
A second direction changing roller case which is arranged in the direction changing device main body along the second conveying direction and which is open on the upper side and which can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state; and the second direction A second direction changing roller is provided in the conversion roller case so as to be rotatable around an axis parallel to the first transport direction and supports the back surface of the substrate, and the height position of the second direction changing roller Is lower than the reference flying height position, and a plurality of second direction changing roller units for feeding the substrate to the second flying transport device,
A second direction changing rotary actuator for rotating the second direction changing roller in the plurality of second direction changing roller units;
Each first direction change roller case and each second direction change roller case,
After the inside of each first direction changing roller case is switched from the normal pressure state to the negative pressure state before receiving the substrate from the first levitation transfer device, and after receiving the substrate from the first levitation transfer device, And is operated to switch from a negative pressure state to a normal pressure state before sending the substrate to the second levitation transfer device ,
The inside of each second direction changing roller case is switched from the normal pressure state to the negative pressure state after receiving the substrate from the first levitation transfer device and before sending the substrate to the second levitation transfer device. To be operated
The substrate is received from the first levitating and conveying device and sent to the second levitating and conveying device without changing the height positions of the first direction changing roller and the second direction changing roller. Transport direction changing device.

各第１方向転換用ローラユニットは、前記第１方向転換用ローラケースに形成された第１方向転換用吸引穴から前記第１方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファンを備え、前記第１方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第１方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっており、
各第２方向転換用ローラユニットは、前記第２方向転換用ローラケースに形成された第２方向転換用吸引穴から前記第２方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファンを備え、前記第２方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第２方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする請求項１に記載の搬送方向転換装置。 Each first direction changing roller unit sucks air in the first direction changing roller case from a first direction changing suction hole formed in the first direction changing roller case. A negative pressure is applied to the inside of the first direction changing roller case by operating the first direction changing suction fan or stopping the operation state of the first direction changing suction fan. It is possible to switch to normal pressure state,
Each second direction changing roller unit sucks air in the second direction changing roller case from a second direction changing suction hole formed in the second direction changing roller case. A negative pressure is applied to the inside of the second direction changing roller case by providing a fan and operating the second direction changing suction fan or stopping the second direction changing suction fan. The conveyance direction changing device according to claim 1, wherein the conveyance direction changing device can be switched to a normal pressure state.

基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、
方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、
前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備し、
各第１方向転換用ローラユニットは、前記第１方向転換用ローラケースに形成された第１方向転換用吸引穴から前記第１方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファン、及び前記第１方向転換用ローラケースの前記第１方向転換用吸引穴を開閉する第１方向転換用シャッタを備え、前記第１方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっており、
各第２方向転換用ローラユニットは、前記第２方向転換用ローラケースに形成された第２方向転換用吸引穴から前記第２方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファン、及び前記第２方向転換用ローラケースの前記第２方向転換用吸引穴を開閉する第２方向転換用シャッタを備え、前記第２方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする搬送方向転換装置。 A substrate is received from a first levitation transport device that floats and transports a substrate in the first transport direction, and the substrate is sent out to a second levitation transport device that floats and transports the substrate in a second transport direction orthogonal to the first transport direction. In the transfer direction changing device for changing the transfer direction of the substrate from the first transfer direction to the second transfer direction,
A plurality of levitation units that are provided in the direction changing device main body, a nozzle that ejects levitation gas is formed on the upper surface, and the substrate is levitated to a reference levitation height position using the pressure of the levitation gas;
A first direction changing roller case that is disposed in the direction changing device main body along the first conveying direction, has an upper opening, and is capable of switching between a negative pressure state and a normal pressure state inside, and the first direction. A height change position of the first direction change roller is provided in the change case, the first direction change roller provided rotatably around an axis parallel to the second transport direction and supporting the back surface of the substrate. Are lower than the reference flying height position, and a plurality of first turning roller units for receiving a substrate from the first flying transport device,
A first direction changing rotary actuator for rotating the first direction changing roller in the plurality of first direction changing roller units;
A second direction changing roller case which is arranged in the direction changing device main body along the second conveying direction and which is open on the upper side and which can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state; and the second direction A second direction changing roller is provided in the conversion roller case so as to be rotatable around an axis parallel to the first transport direction and supports the back surface of the substrate, and the height position of the second direction changing roller Is lower than the reference flying height position, and a plurality of second direction changing roller units for feeding the substrate to the second flying transport device,
A second direction changing rotary actuator for rotating the second direction changing roller in the plurality of second direction changing roller units;
Each first direction changing roller unit sucks air in the first direction changing roller case from a first direction changing suction hole formed in the first direction changing roller case. A first direction changing shutter that opens and closes the first direction changing suction hole of the fan and the first direction changing roller case, and the first direction changing roller is opened and closed by the first direction changing shutter; The inside of the case can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state,
Each second direction changing roller unit sucks air in the second direction changing roller case from a second direction changing suction hole formed in the second direction changing roller case. A second direction changing shutter that opens and closes the second direction changing suction hole of the fan and the second direction changing roller case, and the second direction changing roller is opened and closed by the second direction changing shutter; A transfer direction changing device characterized in that the inside of the case can be switched between a negative pressure state and a normal pressure state.

基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送システムにおいて、
基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、基板を前記第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置と前記第２浮上搬送装置との中継領域に配設され、請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の搬送方向転換装置と、を具備したことを特徴とする浮上搬送システム。 In a levitation transport system that floats and transports a substrate in a first transport direction and floats and transports the substrate in a second transport direction orthogonal to the first transport direction,
A first levitating and conveying device for levitating and conveying a substrate in the first conveying direction;
A second levitation transport device disposed in the vicinity of the first levitation transport device for levitating and transporting a substrate in the second transport direction;
It was arrange | positioned in the relay area | region of a said 1st levitation conveyance apparatus and a said 2nd levitation conveyance apparatus, The conveyance direction change apparatus of any one of Claims 1-3 was comprised. A floating transportation system.