JP5332142B2 - Levitation transfer device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えばガラス基板等の薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に関する。 The present invention relates to a levitation conveyance device that conveys a thin plate such as a glass substrate in a conveyance direction under a floating state.
近年、浮上搬送装置について種々の開発がなされており、一般的な浮上搬送装置の構成は、次のようになる。 2. Description of the Related Art In recent years, various developments have been made on levitation conveyance devices, and the configuration of a typical levitation conveyance device is as follows.
即ち、一般的な浮上搬送装置は、基台を具備しており、基台には、ガラス基板等の薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、基台には、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に間隔を置いて配設されており、各浮上ユニットの上面には、浮上ガスとしての圧縮空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。 That is, a general levitation transport apparatus includes a base, and the base is provided with a transport unit that transports a thin plate such as a glass substrate in the transport direction. In addition, a plurality of levitation units that levitate the thin plate are arranged at intervals in the transport direction on the base, and nozzles that eject compressed air as levitation gas are formed on the upper surface of each levitation unit. Has been.
したがって、各ノズルから圧縮空気をそれぞれ噴出しつつ、搬送ユニットを適宜に動作させることにより、浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる。 Accordingly, by appropriately operating the transport unit while jetting compressed air from each nozzle, the thin plate loaded into the levitation transport device can be transported in the transport direction under the state of being levitated.
ところで、ガラス基板等の薄板はたわみ易く、搬送方向に隣接関係にある浮上ユニット間において、薄板が先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、薄板の一部が後続の浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に干渉して、浮上搬送装置による薄板の搬送作業に支障が生じる。そのため、従来の浮上搬送装置においては、(i)薄板の浮上量を大きくすること、(ii)後続の浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側のノズル(複数のノズルのうち上流側の位置しているノズル、又はノズルの一部分であって上流側に位置している部分)からの圧縮空気の噴出量を大きくすること、(iii)薄板が先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、後続の浮上ユニットを先行の浮上ユニットに対して相対的に低くすること等の対策を採っている(特許文献1参照)。
しかしながら、前述の(i)(ii)の対策を採る場合には、圧縮空気の消費量が増えて、浮上搬送装置のランニングコストが高くなるという問題がある。 However, when the measures (i) and (ii) described above are taken, there is a problem that the consumption of compressed air increases and the running cost of the levitation transport device increases.
また、前述の(iii)の対策を採る場合には、後続の浮上ユニットを先行の浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構が必要になり、浮上搬送装置の構成が複雑化するという問題がある。 Further, when the measure (iii) described above is taken, there is a need for an elevating mechanism that raises and lowers the subsequent levitating unit relative to the preceding levitating unit, which complicates the configuration of the levitating conveyance device. There is.
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とをする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a levitating and conveying apparatus having a novel configuration that can solve the above-described problems.
本発明の特徴は、薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に間隔を置いて配設されかつ薄板を浮上させる複数の平面視矩形の浮上ユニットとを具備し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、搬送方向に隣接関係のある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルの上流側の縁部に連通するように構成され、前記下り段差の高さが前記ノズルの入口の高さよりも高くなっていることを要旨とする。 The present invention is characterized in that, in a levitation transport apparatus that transports a thin plate in a transport direction in a state where the thin plate is levitated, a transport unit that is provided on the base and transports a thin plate in the transport direction, and the base Are provided with a plurality of rectangular floating units in plan view, which are arranged at intervals in the transport direction and float a thin plate, and each has a rectangular frame-shaped nozzle in plan view for ejecting floating gas on the upper surface of each floating unit. Each nozzle is configured to be inclined toward the unit center with respect to the vertical direction, and between the levitation units adjacent to each other in the conveyance direction, on the upstream edge as viewed from the conveyance direction in the subsequent levitation unit. It is necessary that a descending step is formed, the descending step communicates with an upstream edge of the nozzle, and the height of the descending step is higher than the height of the inlet of the nozzle. To.
本発明の特徴によると、各ノズルから浮上ガスをそれぞれ噴出しつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させることにより、前記浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる(前記浮上搬送装置の一般的な作用)。 According to the features of the present invention , the thin plate loaded in the levitation conveyance device is conveyed in the conveyance direction under the condition that the conveyance unit is appropriately operated while ejecting the floating gas from each nozzle. (General action of the levitating device).
前記浮上搬送装置の一般的な作用の他に、後続の前記浮上ユニットにおける上流側の縁部に前記下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルに連通するように構成されているため、薄板が先行の前記浮上ユニットから後続の前記浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、薄板は前記下り段差から噴出された浮上ガスによって支持され、薄板の一部と後続の前記浮上ユニットにおける上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の前記浮上ユニットを先行の前記浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、前記浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができる。 In addition to the general operation of the levitation conveyance device, the down step is formed at the upstream edge of the subsequent levitation unit, and the down step communicates with the nozzle. Is transferred from the preceding levitation unit to the subsequent levitation unit, the thin plate is supported by the levitation gas ejected from the descending step, and a portion of the thin plate and the upstream edge of the subsequent levitation unit Interference can be avoided. Thereby, without increasing the consumption of levitation gas or using a lifting mechanism for moving the subsequent levitation unit relative to the preceding levitation unit, the levitation conveyance device can carry out the thin plate conveyance work. Can be done appropriately.
本発明によれば、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の前記浮上ユニットを先行の前記浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、前記浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができるため、前記浮上搬送装置のランニングコストの低下及び前記浮上搬送装置の構成の簡略化を図ることができる。 According to the present invention, the levitation conveying device can reduce the thickness of the thin plate without increasing the amount of levitation gas consumption or using a lifting mechanism that moves the subsequent levitation unit relative to the preceding levitation unit. Since the transfer work can be performed appropriately, the running cost of the levitation transfer apparatus can be reduced and the configuration of the levitation transfer apparatus can be simplified.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について図1から図7を参照して説明する。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
ここで、図1は、第1実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図2は、図1におけるII-II線に沿った拡大図、図3は、第1実施形態に係る浮上ユニットの平面図、図4は、図3におけるIV-IV線に沿った断面図、図5は、図3におけるV-V線に沿った断面図、図6は、図1におけるVI-VI線に沿った拡大図、図7は、第1実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。なお、本願の図面中、「FF」は、前方向を、「FR」は、後方向を、「L」は、左方向を、「R」は、右方向をそれぞれ指している。 Here, FIG. 1 is a partial plan view of the levitation transport apparatus according to the first embodiment, FIG. 2 is an enlarged view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a levitation unit according to the first embodiment. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3, FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 3, and FIG. 6 is taken along line VI-VI in FIG. An enlarged view and FIG. 7 are side views showing another aspect of the levitation unit of the first embodiment. In the drawings of the present application, “FF” indicates the forward direction, “FR” indicates the backward direction, “L” indicates the left direction, and “R” indicates the right direction.
図1及び図2に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置1は、例えばガラス基板等の薄板Wを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、前後方向へ延びた基台3を具備している。なお、搬送方向は、原則として前方向であって、例外的に前方向から後方向に逆転する場合がある。
As shown in FIGS. 1 and 2, a levitating and conveying
基台3には、薄板Wを搬送方向へ搬送する搬送ユニット5が設けられている。そして、搬送ユニット5の具体的な構成は、次のようになる。
The
即ち、基台3の左端部付近及び右端部付近には、薄板Wの端部を支持する回転可能な複数の支持ローラ7(複数の左寄りの支持ローラ7と複数の右寄りの支持ローラ7)がブラケット9を介して前後方向へ間隔を置いてそれぞれ設けられており、各支持ローラ7の回転軸7sには、ウォームホイール11がそれぞれ一体的に設けられている。また、基台3の左端部及び右端部には、前後方向へ延びた駆動軸13が軸受(図示省略)等を介して回転可能にそれぞれ設けられており、各駆動軸13は、外周部に、対応するウォームホイール11に噛合した複数のウォーム15をそれぞれ有している。そして、基台3の前側左部及び前側右部には、対応する駆動軸13を回転させる搬送モータ17がブラケット19を介してそれぞれ設けられており、各搬送モータ17の出力軸17sは、対応する駆動軸13の前端部にカップリング等を介して一体的に連結されている。
That is, a plurality of rotatable support rollers 7 (a plurality of left-
なお、2本の駆動軸13を2つ搬送モータ17で回転させる代わりに、1つの搬送モータ17で回転させるようにしても構わない。また、複数の支持ローラ7及び搬送モータ17等を備えた搬送ユニット5の代わりに、薄板Wの端部を把持しかつ搬送方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送ユニット等を用いても構わない。
Instead of rotating the two
基台3における複数の左寄り支持ローラ7と複数の右寄りの支持ローラ7との間には、薄板Wを基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニット21が前後方向及び左右方向(換言すれば、搬送方向及び搬送方向に直交する方向)に間隔を置いて配設されている。そして、各浮上ユニット21の具体的な構成は、次のようになる。
Between the plurality of left-
即ち、図3から図5に示すように、基台3には、浮上ユニット21のユニットベース部材23がブラケット25を介して設けられており、このユニットベース部材23は、内側に、浮上ガスとしての圧縮空気を供給可能なチャンバー27を有している。なお、ユニットベース部材23のチャンバー27は、ブロワ等の圧縮空気供給源(図示省略)に接続されている。
That is, as shown in FIG. 3 to FIG. 5, the
ユニットベース部材23の上側には、枠状の下部外郭部材29が設けられており、この下部外郭部材29の内側には、島部材31が一体的に設けられている。また、島部材31の上部は、下部外郭部材29から上方向へ突出してあって、島部材31は、上部外側に、垂直方向に対してユニット中心側(浮上ユニット21の中心側)へ略45度傾斜した外側傾斜面31aを有している。
A frame-shaped lower
下部外郭部材29の上側には、枠状の上部外郭部材33が島部材31を囲むように設けられており、上部外郭部材33は、内側に、垂直方向に対してユニット中心側へ略45度傾斜した内側傾斜面33aを有している。また、上部外郭部材33の内側傾斜面33aには、島部材31の外側傾斜面31aに当接可能な複数の位置決め突起35が一体的に設けられている。なお、上部外郭部材33の内側傾斜面33aに位置決め突起35が一体的に設けられる代わりに、島部材31の外側傾斜面31aに上部外郭部材33の内側傾斜面33aに当接可能な位置決め突起が一体的に設けられるようにしても構わない。
A frame-shaped upper
上部外郭部材33の内側傾斜面33aと島部材31の外側傾斜面31aとの間には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル37が区画形成されており、換言すれば、浮上ユニット21の上面には、枠状のノズル37が形成されており、ノズル37は、チャンバー27に連通してある。また、前述のように、島部材31の外側傾斜面31a及び上部外郭部材33の内側傾斜面33aが垂直方向に対してユニット中心側へ略45度傾斜しているため、ノズル37は、垂直方向に対してユニット中心側へ略45度傾斜するように構成されている。
A frame-
そして、図6に示すように、搬送方向(前方向)に隣接関係のある浮上ユニット21間において、後続の浮上ユニット21の上部外郭部材33における後側の縁部(換言すれば、搬送方向からみて上流側の縁部)には、下り段差39が形成されており、後続の浮上ユニット21の上部外郭部材33における下り段差39は、ノズル37に連通するように構成されている。
Then, as shown in FIG. 6, between the floating
また、搬送方向が前方向から後方向に逆転するような場合には、図7に示すように、前後方向に隣接関係のある浮上ユニット21間において、浮上ユニット21の上部外郭部材33における隣接側の縁部に下り段差39がそれぞれ形成されるようになっている。
When the transport direction is reversed from the front direction to the rear direction, as shown in FIG. 7, the adjacent side of the upper
続いて、第1実施形態の作用及び効果について説明する。 Then, the effect | action and effect of 1st Embodiment are demonstrated.
圧縮空気供給源によって各ユニットベース部材23のチャンバー27へ圧縮空気をそれぞれ供給して、各ノズル37から圧縮空気をそれぞれ噴出させる。また、2つの搬送モータ17の駆動により2本の駆動軸13を同期して回転させることにより、ウォームホイール11とウォーム15の噛合作用によって複数の左寄りの支持ローラ7及び複数の右寄りの支持ローラ7を一方向へ回転させる。これにより、浮上搬送装置1に搬入された薄板Wを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる。ここで、各ノズル37が垂直方向に対してユニット中心側へ45度傾斜するようにそれぞれ構成されているため、各島部材31の上面と薄板Wの裏面との間に略均一な圧力のガス溜まり層(圧縮空気溜まり層)Sをそれぞれ発生させて、各浮上ユニット21の浮上性能を十分に発揮させることができる(浮上搬送装置1の一般的な作用)。
The compressed air is supplied to the
浮上搬送装置1の一般的な作用の他に、後続の浮上ユニット21の上部外郭部材33における上流側の縁部に下り段差39が形成され、下り段差39がノズル37に連通するように構成されているため、薄板Wが先行の浮上ユニット21から後続の浮上ユニット21へ乗り継ぐ際に、薄板Wは下り段差39から噴出された浮上ガスによって支持され、薄板Wの一部と後続の浮上ユニット21における上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の浮上ユニット21を先行の浮上ユニット21に対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、浮上搬送装置1によって薄板Wの搬送作業を適切に行うことができる。
In addition to the general operation of the
よって、第1実施形態によれば、浮上搬送装置1のランニングコストの低下及び浮上搬送装置1の構成の簡略化を図ることができる。
Therefore, according to 1st Embodiment, the fall of the running cost of the
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について図8から図12を参照して説明する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
ここで、図8は、第2実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図9は、第2実施形態に係る浮上ユニットの平面図、図10は、図9におけるX-X線に沿った断面図、図11は、図8におけるXI-XI線に沿った拡大図、図12は、第2実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。 Here, FIG. 8 is a partial plan view of the levitation transport apparatus according to the second embodiment, FIG. 9 is a plan view of the levitation unit according to the second embodiment, and FIG. 10 is a cross section taken along line XX in FIG. FIG. 11 is an enlarged view taken along line XI-XI in FIG. 8, and FIG. 12 is a side view showing another aspect of the floating unit of the second embodiment.
図8から図10に示すように、第2実施形態に係る浮上搬送装置41は、薄板Wを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、第1実施形態に係る浮上搬送装置1と略同じ構成を有しており、第2の実施形態の係る浮上搬送装置41の具体的な構成のうち、第1の実施形態に係る浮上搬送装置1の具体的な構成と異なる部分(第2実施形態に係る浮上ユニット43の特徴部分)について説明する。なお、第2の実施形態に係る浮上搬送装置41における複数の構成要素のうち、第1の実施形態に係る浮上搬送装置1における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
As shown in FIGS. 8 to 10, the levitating and conveying
即ち、図11に示すように、搬送方向(前方向)に隣接関係のある浮上ユニット43間において、後続の浮上ユニット43の上部外郭部材33における後側の縁部(換言すれば、搬送方向からみて上流側の縁部)には、下り段差45が形成されており、後続の浮上ユニット43の上部外郭部材33における下り段差45には、薄板Wの接触を許容する接触許容ローラ47がブラケット49を介して回転自在に設けられている。また、各接触許容ローラ47の支持高さ位置は、それぞれ浮上ユニット43の上面(上部外郭部材33の上面)の高さ位置以上で(望ましくは、浮上ユニット43の上面の高さ位置よりも高く)かつ浮上ユニット43による基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、各接触許容ローラ47の回転軸心は、搬送方向に直交する方向をそれぞれ指向している。
That is, as shown in FIG. 11, between the floating
また、搬送方向が前方向から後方向に逆転するような場合には、図12に示すように、前後方向に隣接関係のある浮上ユニット43間において、浮上ユニット43の上部外郭部材33における隣接側の縁部に下り段差45が形成され、浮上ユニット43の上部外郭部材33における下り段差45に接触許容ローラ47がブラケット49を介して回転自在にそれぞれ設けられている。
When the transport direction is reversed from the front direction to the rear direction, as shown in FIG. 12, the adjacent side of the upper
続いて、第2実施形態の作用及び効果について説明する。 Then, the effect | action and effect of 2nd Embodiment are demonstrated.
前述の浮上搬送装置1の一般的な作用と同様に、浮上搬送装置41を動作させることにより、浮上搬送装置41に搬入された薄板Wを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる(浮上搬送装置41の一般的な作用)。
Similarly to the general operation of the above-described
浮上搬送装置41の一般的な作用の他に、後続の浮上ユニット43における上流側の縁部に薄板Wの接触を許容する接触許容ローラ47が回転自在に設けられ、接触許容ローラ47の支持高さ位置が浮上ユニット43の上面の高さ位置以上でかつ浮上ユニット43による基準の浮上高さ位置よりも低くなっているため、薄板Wが先行の浮上ユニット21から後続の浮上ユニット21へ乗り継ぐ際に、薄板Wは接触許容ローラ47によって支持され、薄板Wの一部と後続の浮上ユニット21における上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の浮上ユニット21を先行の浮上ユニット21に対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができる。
In addition to the general operation of the
よって、第2実施形態によれば、浮上搬送装置41のランニングコストの低下及び浮上搬送装置41の構成の簡略化を図ることができる。
Therefore, according to the second embodiment, the running cost of the
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。 In addition, this invention is not restricted to description of the above-mentioned embodiment, In addition, it can implement in a various aspect. Further, the scope of rights encompassed by the present invention is not limited to these embodiments.
W 薄板
S ガス溜まり層
1 浮上搬送装置
3 基台
5 搬送ユニット
21 浮上ユニット
37 ノズル
39 下り段差
41 浮上搬送装置
43 浮上ユニット
47 接触許容ローラ
W thin plate S
Claims (1)
基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に間隔を置いて配設されかつ薄板を浮上させる複数の平面視矩形の浮上ユニットとを具備し、
各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、搬送方向に隣接関係のある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルの上流側の縁部に連通するように構成され、前記下り段差の高さが前記ノズルの入口の高さよりも高くなっていることを特徴とする浮上搬送装置。 In the levitation transport device that transports in the transport direction under the condition that the thin plate is levitated,
A base, a transport unit that is provided on the base and transports a thin plate in the transport direction, and a plurality of rectangular floating units that are arranged on the base at intervals in the transport direction and float the thin plate Comprising
The nozzles in the plan view rectangular frame shape for ejecting the floating gas are respectively formed on the upper surface of each floating unit, each nozzle is configured to be inclined toward the unit center side with respect to the vertical direction, and is adjacent to the transport direction. Between the levitation units, a descending step is formed at an upstream edge as viewed from the conveying direction in the subsequent levitation unit, and the descending step communicates with an upstream edge of the nozzle. The height of the nozzle is higher than the height of the inlet of the nozzle.
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