JP5441243B2 - 赤外線透過性部材の熱処理用石英ガラス治具 - Google Patents
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Description
本発明は、赤外線透過性部材をエネルギー効率よく加熱できる熱処理用石英ガラス治具を提供することを目的とする。
300mmφ×6mm高さの石英ガラス円板を半割り切断し、その表面を#320の砥粒で研削して白色部を有する半円状石英ガラス体を得た。一方、石英ガラスに炭素粉末を0.6重量%加えよく混合し、ガラス化して300mmφ×6mm高さの黒色石英ガラス円板体を製造した。この黒色石英ガラス円板体を半割りにし、その切断面と研削された半円状石英ガラス体とをそれぞれの切断面で接合し、300mmφ×6mm高さの反射体を得た。反射体に室温で波長2μmの放射線を照射し、白色部及び黒色石英ガラス部の反射率を測定した。 その結果を表1に示す。
気泡径10〜250μmの気泡を30,000個/cm3含む300mmφ×6mm高さの不透明石英ガラス円板を半割りに切断し、それと参考例1の黒色石英ガラスの半円板体とを切断面で接合し、300mmφ×6mm高さの反射体を得た。この反射体に室温で波長2μmの放射線を照射し、白色部及び黒色石英ガラス部の反射率を測定した。 その結果を表1に示す。
参考例1と同様にして300mmφ×6mm高さの黒色石英ガラス円板体を製造した。次いで、前記円板体の表面の半分を#320の砥粒で研削し、その研削面に粒径80〜250μmの非晶質石英ガラス微粒子を固形分で79%含むスラリーを塗布し、乾燥し、1100℃で焼成した。得られた300mmφ×6mm高さの反射体に室温で波長2μmの放射線を照射し、白色部及び黒色石英ガラス部の反射率を測定した。 その結果を表1に示す。
300mmφ×6mm高さの透明石英ガラス円板の半割り部材に、実施例1で得た半割りの黒色石英ガラス円板を接合して、300mmφ×6mm高さの反射体を得た。得られた300mmφ×6mm高さの反射体に室温で波長2μmの放射線を照射し、その反射率を測定した。その結果を表1に示す。
300mmφ×6mm高さの透明石英ガラス円板体表面に、実施例3のスラリーを円板の半分に塗布し、乾燥したのち、1100℃で焼成して白色部を有する反射体を得た。この反射体に室温で波長2μmの放射線を照射し、その反射率を測定した。その結果を表1に示す。
2: 石英ガラス製窓
3: 赤外線ランプ
4: Siウェーハ回転機構
5: Siウェーハ
6: 加熱処理用石英ガラス治具
7: ガス導入管
8: ガス排出管
Claims (5)
- 赤外線透過性部材の熱処理用石英ガラス治具であって、該熱処理用石英ガラス冶具が赤外線の反射率の高い二酸化珪素被覆層からなる白色部と赤外線の吸収率の高い黒色石英ガラスとからなることを特徴とするウエーハの熱処理用石英ガラス冶具。
- 赤外線の反射率の高い二酸化珪素被覆層からなる白色部の室温における反射率が70〜90%であることを特徴とする請求項1記載のウエーハの熱処理用石英ガラス治具。
- 二酸化珪素被覆層が非晶質の石英ガラス微粒子スラリーを塗布してパターンを形成しガラス化した層であることを特徴とする請求項2記載のウエーハの熱処理用石英ガラス治具。
- 黒色石英ガラス部が室温での赤外線の吸収率が50%以上であることを特徴とする請求項1記載のウエーハの熱処理用石英ガラス治具。
- 二酸化珪素被覆層が黒色石英ガラス表面にパターン状に研削した孔又は溝に二酸化珪素スラリーを流し込んで形成した任意の形状の層であることを特徴とする請求項2または3記載のウエーハの熱処理用石英ガラス治具。
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