JP5440410B2 - 金属化樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
実施例1では、上記金属化ポリイミドフィルムを電気めっき装置Aから連続して熱処理装置Bに搬送し、2.4N/mm2の張力を加えながら、遠赤外線ヒーターで100℃に加熱して熱処理(熱処理時間52秒間)を施した。熱処理後の金属化ポリイミドフィルムは、引き続き連続して、銅の二次金属層が表向きになるように巻取ロールにロール状に巻き取った。
比較例1では、上記金属化ポリイミドフィルムを、2.0N/mm2の張力を加えながら90℃に加熱した以外は実施例1と同様に熱処理(熱処理時間52秒間)して、銅の二次金属層が表向きになるように巻取ロールに巻き取った。
この比較例13では、上記金属化ポリイミドフィルムを電気めっき装置Aから連続して熱処理装置Bに搬送し、2.4N/mm2の張力を加えながら、遠赤外線ヒーターで100℃に加熱して熱処理(熱処理時間52秒間)を施した。熱処理後の金属化ポリイミドフィルムは、引き続き連続して、銅の二次金属層が上記実施例1とは逆に裏向きになるように巻取ロールにロール状に巻き取った。
B 熱処理装置
F 一次金属層付樹脂フィルム
S 金属化樹脂フィルム
1 巻出ロール
2 めっき槽
2a めっき液
3a、3b、3c、3d 給電ロール
4a、4b、4c、4d 反転ロール
5a、5b、5c、5d アノード
6 ガイドロール
7 巻取ロール
8a、8b テンションロール
9a、9b 加熱手段
Claims (6)
- 長尺樹脂フィルムの片方の表面に接着剤を介さず下地金属薄膜と銅薄膜を積層した一次金属層を有する一次金属層付樹脂フィルムを、巻出ロールから巻き出してロールツーロールで搬送しながら、一次金属層の表面に電気めっきにより銅の二次金属層を形成し、得られた長尺の金属化樹脂フィルムを単位断面積当たり2.4〜4.9N/mm2の張力を加えながら100〜150℃の温度で熱処理を施した後、二次金属層が表向きになるように巻取ロールに巻き取ることを特徴とする金属化樹脂フィルムの製造方法。
- 前記熱処理は、前記金属化樹脂フィルムの二次金属層を有しない表面側を加熱することを特徴とする、請求項1に記載の金属化樹脂フィルムの製造方法。
- 前記電気めっきと前記熱処理を連続して行うことを特徴とする、請求項1又は2に記載の金属化樹脂フィルムの製造方法。
- 前記熱処理は遠赤外線の加熱によることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の金属化樹脂フィルムの製造方法。
- 前記一次金属層は、乾式めっきにより形成したニッケル薄膜又はニッケル合金薄膜からなる下地金属薄膜と、その表面に乾式めっきにより積層した銅薄膜とからなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の金属化樹脂フィルムの製造方法。
- 前記長尺樹脂フィルムがポリイミドフィルムからなることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の金属化樹脂フィルムの製造方法。
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