JP5435902B2 - 流量調整弁 - Google Patents
流量調整弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5435902B2 JP5435902B2 JP2008177265A JP2008177265A JP5435902B2 JP 5435902 B2 JP5435902 B2 JP 5435902B2 JP 2008177265 A JP2008177265 A JP 2008177265A JP 2008177265 A JP2008177265 A JP 2008177265A JP 5435902 B2 JP5435902 B2 JP 5435902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- flow rate
- valve seat
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 16
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 16
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 13
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 11
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 34
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
- F16K41/103—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube the diaphragm and the closure member being integrated in one member
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
- G05D16/202—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means actuated by an electric motor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
- Y10T137/8225—Position or extent of motion indicator
- Y10T137/8242—Electrical
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
- Y10T137/8225—Position or extent of motion indicator
- Y10T137/8275—Indicator element rigidly carried by the movable element whose position is indicated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
さらに、軸体を回転駆動するステッピングモータ、および、軸体の回転を軸体の進退に変換する変換機構を上述のバルブに設けて、バルブを遠隔操作可能とする技術も知られている(例えば、特許文献1参照。)。
このような変換機構を有するバルブでは、使用部品の数が増えるとともに、バルブの組み立て工数が増加していた。
すると、当該バルブの製造コストが増加するとともに、メンテナンス性が低下するという問題があった。
本発明の流量調整弁は、 液体流体が流れる流路および弁座が形成された下部筐体と、前記弁座とともに前記流路を流れる液体流体の流量を調整する弁体と、該弁体を、前記弁座に対して接近離間させる往復駆動部と、該往復駆動部が収納される上部筐体と、前記下部筐体と前記上部筐体との間に挟み込まれ、前記上部筐体と組み合わされることにより前記往復駆動部から延びる軸体が収容される中間筐体と、が設けられ、前記弁体には、前記往復駆動部から延びる軸体が挿通される挿通穴と、前記上部筐体に最も近いところに配置されて、径方向外側に延びる略円板状のフランジ部と、が設けられているとともに、前記挿通穴の内部と大気との間が、前記挿通穴から径方向外側に向かって前記フランジ部内を延びる貫通した孔である連通部と、前記中間筐体の下面に設けられて外側に向かって延び、かつ、下方に向かって開口するとともに、前記連通部と連通する排気溝とを介して繋がれていることを特徴とする。
以下、本発明の第1の実施形態に係る流量調整弁ついて図1から図11を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る流量調整弁の全体構成を説明する断面視図である。図2は、図1の流量調整弁の構成を説明する上面視図である。
本実施形態では、本願発明の流量調整弁1を半導体製造装置における薬液の流量を調整する調整弁に適用して説明する。
なお、本実施形態の流量調整弁1は、半導体製造に用いる薬液の流量調整に用いられる調整弁に限られることなく、その他の液体の流量調整をおこなう調整弁に適用することもでき、特に限定するものではない。
上部カバー2は、図1および図3に示すように、ミドルカバー3と組み合わされることにより内部に空間を形成するものであって、当該空間内には、リニアステッピングモータ5A、および、基板9などが収納されている。さらに、上部カバー2の側面には、リニアステッピングモータ5Aの駆動制御に用いられる配線や、センサ8と接続される配線を含むケーブル21が取り付けられる接続部22が設けられている。
一方、上部カバー2の上面(図3の上側の面)には、ビス23が設けられている。
ビス23は、上部カバー2の上面に螺合される止めネジであって、ビス23の下端が、基板9の上端と接触する位置に配置されている。
その結果、センサ8によるスライダ6および嵌合部73の検出位置、つまり機構的なゼロ点が一定する。
ミドルカバー3は、上部カバー2と組み合わされることにより、シャフト5B,5Cや、スライダ6や、基板9や、センサ8などが収納される空間を形成するものである。
ミドルカバー3には、図3および図5に示すように、外形を構成する略四角筒状の外壁部31と、下部カバー4側に形成された底板部32と、外壁部31の内部に形成された略円筒状のガイド部33と、が設けられている。
ガイド部33には、後述するスライダ6における突出部61が挿通されるスリット部35が設けられている。
下部カバー4は、図1および図6に示すように、ミドルカバー3との間に弁体7を挟んで配置される部材であり、弁体7とともに薬液の流量を調整する弁座43Aが形成された部材である。
下部カバー4には、図6に示すように、薬液が流入する流入流路41と、薬液が流出する流出流路42と、弁体7の一部が内部に配置される弁室43と、下部カバー4におけるミドルカバー3と対向する面に凹状に形成されたシール面44と、が設けられている。
流出流路42は、弁室43の側面から斜め下方に向かって延びた後、略水平方向に向かって延びて下部カバー4の側面に開口する流路である。
このような構成とすることにより、流入流路41および流出流路42における略水平方向に延びる部分のセンタ(中心線)を略一致させることができる。そのため、流入流路41および流出流路42に接続する配管の配置高さが略一定となり、当該配管の取り回しが容易となる。
弁室43の底面には流入流路41が開口しており、弁室43の底面は弁体7とともに薬液の流量を調整する弁座43Aとして構成されている。
その一方で、円柱状に形成された弁室43における円筒面に相当する側壁には、流出流路42が開口している。
シール面44には、弁室43を中心として環状に形成された溝部が設けられている。当該溝部は、フランジ部71に環状に形成された畝部と嵌合され、上述のシール構造を構成するものである。
このようにすることで、ミドルカバー3とモータ5Aとの軸を正確に出すことができる。言い換えると、ミドルカバー3のガイド部33における中心軸線と、モータ5Aにおける中心軸線とを、略一致させることができる。
なお、リニアステッピングモータ5Aとしては、公知のモータを用いることができ、特に限定するものではない。
シャフト5Bの下端には、スライダ6が設けられている。
さらに、シャフト5Cは、耐腐食性を有する材料から形成されていることが望ましい。このようにすることで、薬液が蒸発したガス(腐食性ガス等)が後述する伸縮部72を透過してシャフト5Cと接する場合であっても、シャフト5Cが腐食されることを防止できる。
スライダ6は、図3および図7に示すように、シャフト5Bとシャフト5Cとの間に取り付けられる略円板状の部材であって、スライダ6の円周面が、ガイド部33の内周面と接触しながら上下方向(図3の上下方向)に移動する部材である。このようにスライダ6の円周面と、ガイド部33の内周面とが摺動することで、シャフト5B,5Cの配置位置がガイド部33の中心軸線から外れることが防止される。
弁体7には、上部カバー2側から下部カバー4側に向かって順に、フランジ部71と、伸縮部72と、嵌合部73とが設けられ、さらに、シャフト5Cが挿通される挿通穴74が設けられている。
なお、本実施形態では、フランジ部71と、伸縮部72と、嵌合部73とが一体に形成された例に適用して説明する。
さらに、フランジ部71における挿通穴74とシャフト5Cとの間には、シール部71Bが設けられている。シール部71Bは、挿通穴74における連通部71Aよりも開口端側の位置に配置されている。
伸縮部72の内部には、シャフト5Cが挿通される挿通穴74が構成されている。
嵌合部73には、シャフト5Cの先端が取り付けられる取付け穴73Aと、弁室43の弁座43Aと接触する接触面73Bと、接触面73Bから突出し流入流路41に挿入される突起部73Cと、が設けられている。
本実施形態では、センサ8における溝部分に突出部61が進入した際に、突出部61の進入を検出するセンサに適用して説明するが、その他の公知の位置検出センサを用いることができ、特に限定するものではない。
まず、弁体7と弁座43Aとの間が開き、薬液が流量調整弁1を通過する状態について説明する。
弁室43に流入した薬液は、弁室43から流出流路42に流入して流量調整弁1の外部へ流出する。
挿通穴74に侵入したガスは、図3、図6および図7に示すように、上部カバー2に向かって上昇し、上方がシール部71Bにより封止されているため連通部71Aに流入する。連通部71Aに流入したガスは、連通部71Aから排気溝38を介して流量調整弁1の外部へ排出される。
弁体7が、図8および図9に示すように、弁座43Aの近傍まで移動すると、弁体7と弁座43Aとの間に形成される絞り部の流路面積はゼロに近くなり、当該絞り部を通過する薬液の流量は略ゼロとなる。
このとき、弁体7と弁座43Aとは当接しておらず、弁体7と弁座43Aとの間に微小な隙間が形成されている。
流量調整弁1による薬液の流量調整を続けると、各種の誤差の積み重ねより、弁体7の位置制御に用いられる弁体7の配置位置と、実際の配置位置との間の誤差が拡大する。この誤差により、流量調整弁1による薬液の正確な流量調整が困難になるとともに、弁体7と弁座43Aとの干渉が発生するおそれがある。このように、弁体7と弁座43Aとの干渉が発生すると、弁体7や弁座43Aが変形し、薬液の正確な流量調整が困難になる。
スライダ6にはスリット部35に挿通された突出部61が設けられており、スリット部35もシャフト5B,5Cおよびスライダ6とともに下部カバー4に向かって移動する。
例えば、弁体7と弁座43Aとが最も離れた状態を100%、接触した状態を0%とすると、数%の状態のときにセンサ8により突出部61が検出される。
そのため、嵌合部73と弁座43Aとの間に形成される絞り部の流路面積の変動が抑制され、流量調整弁1による薬液の流量調整の精度確保が容易となる。
そのため、弁座43Aに対して接近離間する方向への弁体7の移動が阻害されることがなく、流量調整弁1による薬液の流量調整の精度確保が容易となる。
なお、上述のように、弁体7がフランジ部71と、伸縮部72と、嵌合部73とが一体に形成されたものであってもよいし、図10に示すように、弁体7Xが別体のフランジ部71と、嵌合部73Xとから構成されたものであってもよく、特に限定するものではない。言い換えると、弁体7Xのフランジ部71と、嵌合部73Xとの間には、弁体7の伸縮部72に相当する部材が配置されていない。
このようにすることで、弁体7Xの形成が容易となるため、製造コストを抑えることができる。
なお、本実施形態のように、流出流路42が、弁室43の側面から斜め下方に延びた後に、略水平方向に延びる構成であってもよいし、図11に示すように、弁室43の側面から略水平方向(図11の左右方向)に沿って延びる構成であってもよく、特に限定するものではない。
このようにすることで、流出流路42の形成が容易となるため、製造コストを抑えることができる。
次に、本発明の第2の実施形態について図12を参照して説明する。
本実施形態の流量調整弁の基本構成は、第1の実施形態と同様であるが、第1の実施形態とは、ミドルカバーの構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図12を用いてミドルカバー周辺の構成のみを説明し、その他の構成要素等の説明を省略する。
図12は、本実施形態に係る流量調整弁の全体構成を説明する断面視図である。
なお、第1の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付して、その説明を省略する。
ミドルカバー103の外形を構成する略四角筒状の外壁部31には、上部カバー2およびミドルカバー103により形成される空間内に空気を供給する供給部131と、上述の空間内から空気を排出する排出部132と、が設けられている。
供給部131および排出部132は、継ぎ手状に構成されている。
供給部131には、図12に示すように、薬液のガスなどが含まれていない不活性ガス(例えば、N2ガス)が外部から供給され、当該不活性ガスはミドルカバー103内に流入する。具体的には、当該不活性ガスは、供給部131から外壁部31とガイド部33との間の空間に流入する。
当該空間内を循環した不活性ガスは、排出部132から外部へ排出される。
さらに、リニアステッピングモータ5A自身も冷却され、リニアステッピングモータ5Aの温度を下げることができる。
上部カバー2およびミドルカバー103により形成される空間内には、供給部131から不活性ガスが供給されて、当該空間の外部と比較して圧力が高くなっている。そのため、排出部132を単なる貫通孔としても、当該空間に外部の空気が流入することがない。
例えば、上記の実施形態においては、上部カバー2や、ミドルカバー3や、下部カバー4や、シャフト5Cや、弁体7など、薬液および薬液が蒸発した気体など接触する可能性がある部品を、薬液に対する耐性の高いポリ四フッ化エチレン(PTFE(テフロン(登録商標))から形成している例に適用して説明するが、その他の耐薬性の高い樹脂などの材料から形成されていてもよく、特に限定するものではない。
2 上部カバー(上部筐体)
3,103 ミドルカバー(中間筐体)
4 下部カバー(下部筐体)
5A リニアステッピングモータ(往復駆動部)
5B,5C シャフト(軸体)
6 スライダ(スライド部)
7 弁体
8 センサ(位置検出部)
33 ガイド部
71A 連通部
Claims (3)
- 液体流体が流れる流路および弁座が形成された下部筐体と、
前記弁座とともに前記流路を流れる液体流体の流量を調整する弁体と、
該弁体を、前記弁座に対して接近離間させる往復駆動部と、
該往復駆動部が収納される上部筐体と、
前記下部筐体と前記上部筐体との間に挟み込まれ、前記上部筐体と組み合わされることにより前記往復駆動部から延びる軸体が収容される中間筐体と、が設けられ、
前記弁体には、
前記往復駆動部から延びる軸体が挿通される挿通穴と、
前記上部筐体に最も近いところに配置されて、径方向外側に延びる略円板状のフランジ部と、が設けられているとともに、
前記挿通穴の内部と大気との間が、前記挿通穴から径方向外側に向かって前記フランジ部内を延びる貫通した孔である連通部と、前記中間筐体の下面に設けられて外側に向かって延び、かつ、下方に向かって開口するとともに、前記連通部と連通する排気溝とを介して繋がれていることを特徴とする流量調整弁。 - 前記往復駆動部には、前記弁体に向かって延びる軸体と、該軸体に対して交差する方向に延びる略円板状のスライド部と、が設けられ、
前記下部筐体と前記上部筐体の間には、前記往復駆動部が嵌合されるとともに、前記軸体および前記スライド部を前記弁座に対して接近離間する方向に移動可能に支持する略筒状のガイド部を有する中間筐体が設けられ、
前記ガイド部における前記スライド部と摺動する部分は、前記中間筐体から独立していることを特徴とする請求項1記載の流量調整弁。 - 前記弁体が前記弁座の近傍に接近した際に、前記弁体を検出する検出部が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の流量調整弁。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177265A JP5435902B2 (ja) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | 流量調整弁 |
EP20090163323 EP2143983B1 (en) | 2008-07-07 | 2009-06-19 | Flow-rate control valve |
KR1020090058266A KR101543798B1 (ko) | 2008-07-07 | 2009-06-29 | 유량조절밸브 |
US12/458,152 US8800959B2 (en) | 2008-07-07 | 2009-07-01 | Flow-rate control valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177265A JP5435902B2 (ja) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | 流量調整弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010014260A JP2010014260A (ja) | 2010-01-21 |
JP5435902B2 true JP5435902B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=41139315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008177265A Active JP5435902B2 (ja) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | 流量調整弁 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8800959B2 (ja) |
EP (1) | EP2143983B1 (ja) |
JP (1) | JP5435902B2 (ja) |
KR (1) | KR101543798B1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5276038B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-08-28 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
CN102235538B (zh) * | 2010-04-29 | 2015-04-08 | 浙江三花股份有限公司 | 一种电磁阀 |
JP5612906B2 (ja) | 2010-05-28 | 2014-10-22 | サーパス工業株式会社 | 流量調整弁 |
US20150083947A1 (en) * | 2012-03-08 | 2015-03-26 | Waters Technologies Corporation | Back pressure regulation |
US9769356B2 (en) | 2015-04-23 | 2017-09-19 | Google Inc. | Two dimensional shift array for image processor |
CN105135043A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-12-09 | 无锡乐华自动化科技有限公司 | 一种圆盘式流速控制阀的调速方法 |
CN105134968A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-12-09 | 无锡乐华自动化科技有限公司 | 一种圆盘式流速控制阀 |
DE102015118938B4 (de) * | 2015-11-04 | 2018-05-24 | Franz Kaldewei Gmbh & Co. Kg | Fluidventil sowie Wasserführungssystem mit Fluidventil |
JP6518713B2 (ja) * | 2017-04-12 | 2019-05-22 | 株式会社不二工機 | 電動弁 |
KR101879569B1 (ko) * | 2017-04-20 | 2018-07-18 | 동주에이피 주식회사 | 누액 차단 밸브 |
US10935153B2 (en) * | 2019-01-28 | 2021-03-02 | Mac Valves, Inc. | Proportional flow control valve poppet with flow control needle |
KR102067975B1 (ko) * | 2019-09-18 | 2020-01-20 | 동주에이피 주식회사 | 밸브 시스템 |
KR102103718B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2020-04-23 | (주)와이스테이지 | 수위 조절 밸브 |
KR20210086462A (ko) * | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 주식회사 경동나비엔 | 유량조절용 밸브 |
US11549590B2 (en) | 2019-12-31 | 2023-01-10 | Kyungdong Navien Co., Ltd | Valve for water flow control |
US11668409B2 (en) * | 2020-12-11 | 2023-06-06 | The Digivac Company | Stepper motor proportional control bellows valve |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3488030A (en) * | 1966-08-17 | 1970-01-06 | Halliburton Co | Electrical motor operated valve |
JPS5913770A (ja) | 1982-07-13 | 1984-01-24 | Sanwa Kagaku Kenkyusho:Kk | 新規の1−フエニル−2,5−ベンゾチアゾシン誘導体及びその製法 |
JPS5913770U (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-27 | 吉川 敬一郎 | 光を使つたバルブの開閉監視装置 |
JPS59133770A (ja) | 1983-01-19 | 1984-08-01 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 画像判別装置 |
US4779642A (en) * | 1987-09-28 | 1988-10-25 | Coleman Wood | Back pressure regulator and valve system |
US5168200A (en) * | 1989-12-18 | 1992-12-01 | Payne Kenneth R | Automatic powered flowmeter valves and control thereof |
JPH0738843A (ja) | 1993-07-16 | 1995-02-07 | Canon Inc | 映像記録装置 |
JP3032708B2 (ja) * | 1995-09-25 | 2000-04-17 | シーケーディ株式会社 | 真空用開閉弁 |
JP3842870B2 (ja) * | 1997-07-11 | 2006-11-08 | Smc株式会社 | 開閉弁 |
JP3924867B2 (ja) * | 1997-10-15 | 2007-06-06 | Smc株式会社 | 高真空バルブのボディーの均一加熱装置 |
JP2001012632A (ja) * | 1999-04-30 | 2001-01-16 | Tokyo Keiso Co Ltd | 流量調節弁及び流量調節システム |
US6321776B1 (en) * | 2000-04-24 | 2001-11-27 | Wayne L. Pratt | Double diaphragm precision throttling valve |
JP2003021252A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Smc Corp | 流量制御弁 |
JP2003194250A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Saginomiya Seisakusho Inc | 流量制御弁 |
JP4143761B2 (ja) * | 2003-04-28 | 2008-09-03 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
JP5144880B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2013-02-13 | サーパス工業株式会社 | 流量調整弁 |
US20060238039A1 (en) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Parker-Hannifin Corporation | Step motor valve assembly with fail-safe feature |
JP4835354B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2011-12-14 | 三浦工業株式会社 | ニードル弁 |
JP2008133928A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Aisin Seiki Co Ltd | ダイヤフラム式バルブ装置 |
JP4873635B2 (ja) | 2007-01-17 | 2012-02-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2008
- 2008-07-07 JP JP2008177265A patent/JP5435902B2/ja active Active
-
2009
- 2009-06-19 EP EP20090163323 patent/EP2143983B1/en active Active
- 2009-06-29 KR KR1020090058266A patent/KR101543798B1/ko active IP Right Grant
- 2009-07-01 US US12/458,152 patent/US8800959B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2143983B1 (en) | 2015-03-18 |
US20100001221A1 (en) | 2010-01-07 |
KR20100005667A (ko) | 2010-01-15 |
EP2143983A2 (en) | 2010-01-13 |
US8800959B2 (en) | 2014-08-12 |
EP2143983A3 (en) | 2013-03-20 |
KR101543798B1 (ko) | 2015-08-11 |
JP2010014260A (ja) | 2010-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5435902B2 (ja) | 流量調整弁 | |
US8573247B2 (en) | Flow-rate controller, and regulator unit and valve unit used for the same | |
KR101282925B1 (ko) | 유량 조정 밸브 | |
US20080210017A1 (en) | Orifice Member, and Differential-Pressure Flow Meter and Flow-Regulating Apparatus Using the Same | |
JP2008506068A (ja) | 精密供給ポンプ | |
JP5612906B2 (ja) | 流量調整弁 | |
KR101951698B1 (ko) | 유량 조정 장치 | |
JP5666475B2 (ja) | ダイヤフラム保持リングを有する空気式アクチュエータ | |
KR102302845B1 (ko) | 유량 조정 장치 | |
JP6030421B2 (ja) | 流量調整装置 | |
JP4667964B2 (ja) | 流量調整弁 | |
JP2017067110A (ja) | 流量制御弁 | |
JP5986450B2 (ja) | 空気圧操作弁及びその組立方法 | |
JP4925936B2 (ja) | サックバックバルブ | |
JP4860506B2 (ja) | 制御弁 | |
US11236840B2 (en) | Flow rate regulating device and control method of flow rate regulating device | |
JP5989950B2 (ja) | 検出器付開閉弁 | |
KR102625999B1 (ko) | 유체 제어 장치 | |
JP2006170361A (ja) | 弁装置 | |
KR20210074377A (ko) | 밸브 장치 및 가스 공급 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5435902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |