JP5431678B2 - 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 Download PDFInfo
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Description
面記録密度を上昇させるためには、磁気記録媒体上の各記録ビットのサイズをより微細なものとし、各記録ビットに可能な限り大きな飽和磁化と磁性膜厚を確保する必要がある。しかし、記録ビットを微細化していくと、1ビット当たりの磁化最小体積が小さくなり、熱揺らぎによる磁化反転で記録データが消失するという問題が生じる。
ディスクリートトラック法には、何層かの薄膜からなる磁気記録層を形成した後に、物理的にトラックを形成する方法と、基板表面に凹凸パターンを形成した後に、磁気記録層の薄膜形成を行う方法がある(例えば、特許文献2,特許文献3参照。)。
本発明は、このような磁気記録領域で発生する腐食を防ぎ、耐環境性の高い磁気記録媒体を提供することを目的とする。
(1)磁性層の磁気記録領域を形成する凸部が、境界領域を形成する凹部により分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体であって、凸部上のカーボン保護膜が凹部上のカーボン保護膜より厚く形成されていることを特徴とする磁気記録媒体。
(2)上記境界領域が、非磁性領域であることを特徴とする上記(1)に記載の磁気記録媒体。
(3)上記境界領域が、反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらされ、またはイオン注入されたものであることを特徴とする上記(1)または(2)に記載の磁気記録媒体。
(4)上記凸部と凹部の段差が0.1nm〜9nmの範囲内であることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(6)磁性層の凸部上のカーボン保護膜が、厚さ1〜5nmの範囲内であることを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(7)境界領域が酸化物であることを特徴とする上記(1)〜6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(8)連続した磁性層に、凸部を形成する磁気記録領域と凹部を形成する境界領域を有し、必要により境界領域に反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらし、またはイオン注入を行って磁気記録パターンを形成する磁気記録媒体の製造方法であって、凸部を形成する磁気記録領域と凹部を形成する境界領域の表面にCVD法でカーボン保護膜を形成するに際し、凸部上のカーボン保護膜を、凹部上のカーボン保護膜より厚く形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(10)上記(1)〜(7)のいずれか1項に記載の磁気記録媒体又は上記(8)〜(9)のいずれかの製造方法で製造した磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対運動させる手段と、磁気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再生を行うための記録再生信号処理手段を組み合わせて具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらすか、またはイオン注入を行って非磁性化等磁気特性を改質(低下)することが望ましい。
[1]基板にバイアス電圧を印加することにより磁気記録領域の凸部にプラズマを集中させ、凸部のラジカル密度を高め、凸部の成膜速度を高める。
[2]マスク層を除去した後、磁気記録領域および境界領域にイオン注入を行い、両領域におけるラジカルの付着確率を同一にする。その後、その表面にCVD法でカーボン保護膜を成膜するに際し、チャンバ内に均一なプラズマを形成し、磁気記録領域の凸部をプラズマに対して近づけ、凸部の成膜速度を高める。
[3]境界領域のみにマスクを設けてイオン注入を行い、磁気記録領域を境界領域に比べてあらし、磁気記録領域におけるラジカルの付着確率を境界領域に対して高める。
本発明において、境界領域を非磁性材料、特に、酸化物の非磁性材料から形成するのが好ましい。酸化物は酸化性の反応性プラズマ等にさらすことにより形成することができる。前述のように、磁気記録領域のカーボン保護膜を厚くし、逆に、境界領域のカーボン保護膜を薄くすると境界領域の腐食を加速する可能性がある。ここで境界領域を非磁性材料とした場合、該箇所は磁気記録には関係がないため腐食が発生してもそれほどの影響はなく、さらに、境界領域を酸化物とした場合は、腐食(酸化)が進んでも何ら問題は生じない。
本発明の磁気記録媒体は、例えば、非磁性基板の表面に軟磁性層、中間層、磁気パターンが形成された磁性層、カーボン保護膜を積層した構造を有し、さらに最表面には潤滑膜が形成されている。なお、本発明の磁気記録媒体では、非磁性基板、磁性層、カーボン保護膜以外は適宜設ければ可能である。よって図2では、磁気記録媒体を構成する非磁性基板1、磁性層2、カーボン保護膜9以外の層は省略している。
誘導結合プラズマとは、気体に高電圧をかけることによってプラズマ化し、さらに高周波数の変動磁場によってそのプラズマ内部に渦電流によるジュール熱を発生させることによって得られる高温のプラズマである。誘導結合プラズマは電子密度が高く、従来のイオンビームを用いてディスクリートトラックメディアを製造する場合に比べ、広い面積の磁性膜において、高い効率で磁気特性の改質を実現することができる。反応性イオンプラズマとは、プラズマ中にO2、SF6、CHF3、CF4、CCl4等の反応性ガスを加えた反応性の高いプラズマである。このようなプラズマを本発明の反応性プラズマとして用いることにより、磁性膜の磁気特性の改質をより高い効率で実現することが可能となる。
本発明では、その後、工程Gに示すように、レジスト層4およびマスク層3を除去する。この工程は、ドライエッチング、反応性イオンエッチング、イオンミリング、湿式エッチング等の手法を用いることができる。
本発明の不活性ガスとしては、Ar、He、Xeからなる群から選ばれた何れか1種以上のガスを用いることが好ましい。これらの元素は安定であり、磁性粒子のマイグレーション等の抑制効果が高いからである。 本発明の不活性ガスの照射は、イオンガン、ICP,RIEからなる群から選ばれた何れかの方法を用いるのが好ましい。この中で特に、照射量の多さの点で、ICP,RIEを用いるのが好ましい。ICP,RIEについては前述したとおりである。
本発明に用いるCVD法自体およびCVD成膜装置自体は公知であるが、磁気記録領域のカーボン保護膜を境界領域より厚くするため例えば以下のような方法が好ましい態様として挙げることができる。
チャンバには、反応ガスをチャンバ内に導入する導入管と、チャンバ内のガスを系外に排出する排気管を接続する。排気管には排気量調節バルブを設け、排気量を調節することによって、チャンバの内圧を任意の値に設定することができるようにする。
また、バイアス電源としては、磁気記録パターン部の凸部にプラズマを集中させ、凸部のラジカル密度を高め、凸部の成膜速度を高めるためには、高周波電源またはパルス直流電源を用いるのが好ましい。これに用いる高周波電源としては、10〜300Wの高周波電力をディスクに印加できるものが好ましい。また、パルス直流電源としては、パルス幅は10〜50000ns、周波数は10kHz〜1GHzの範囲内で、−400〜−10Vの電圧(平均電圧)をディスクに印加することが可能なものを用いるのが好ましい。
カーボン保護膜の上には潤滑層を形成することが好ましい。潤滑層に用いる潤滑剤としては、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤及びこれらの混合物等が挙げられ、通常1〜4nmの厚さで潤滑層を形成する。
(実施例1〜7)
HD用ガラス基板をセットした真空チャンバをあらかじめ1.0×10-5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)は2オングストロームである。
その表面にCVD法にてカーボン(DLC:ダイヤモンドライクカーボン)保護膜を成膜した。成膜はRFプラズマCVD装置を用い、印加電力は、13.56MHzで500W、成膜時間は10秒とした。なお、カーボン保護膜の成膜に際して、基板に、−150V、パルス幅200nm、周波数200kHzの直流パルス電圧を印可した。カーボン保護膜形成後の、カーボン保護膜上部凹凸段差、凸部保護膜厚、凹部保護膜厚を表1に示す。
その後、潤滑剤として、Z−dol 2000を20オングストローム塗布して磁気記録媒体を製造した。
また、この磁気記録媒体の表面に3%の硝酸水溶液を5箇所(100マイクロリットル/箇所)、純水を5箇所(100マイクロリットル/箇所)ずつ滴下し、1時間静置後これを回収し、この中に含まれるCo量をICP−MSで測定した。なお、ICP−MSでの測定は、Yを200ppt含んだ3%硝酸1ミリリットルを基準液とした。評価結果を表1に示す。
(比較例1〜4)
実施例と同様の条件で磁気記録媒体を製造し、耐環境性評価を実施したが、CVDカーボン保護膜の成膜に際して、基板にバイアス電圧を印加しなかった。評価結果を表1に示す。
2 磁性層
3 マスク層
4 レジスト層
5 スタンプ
6 ミリングイオン
7 部分的に磁性層を除去した箇所
d 磁性層の除去深さ
8 残ったレジスト層
9 保護層
10 反応性プラズマまたは反応性イオン
11 不活性ガス
30 磁気記録媒体
31 磁気ヘッド
32 記録再生信号系
33 ヘッド駆動部
34 媒体駆動部
100 磁気記録領域(凸部)
200 境界領域(凹部)
300 カーボン保護膜
400 凹凸の段差
500 磁気記録領域のカーボン膜厚
600 境界領域のカーボン膜厚
700 凸部と凹部のカーボン膜表面の段差
Claims (8)
- 連続した磁性層に、凸部を形成する磁気記録領域と凹部を形成する境界領域を有し、磁気記録領域が境界領域により分離された磁気記録媒体の製造方法であって、前記凹部の境界領域を反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらし、または境界領域にイオン注入を行って磁性層を改質して、凸部の磁気記録領域と凹部の境界領域を形成し、次いで凸部を形成する磁気記録領域の磁性層の表面と凹部を形成する境界領域の前記改質した磁性層の表面にCVD法でカーボン保護膜を、凸部上のカーボン保護膜を凹部上のカーボン保護膜より厚く、形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 非磁性基板上に連続した磁性層を形成する工程、磁性層上にマスク層を形成して磁性層に磁気記録領域となる凸部とこれを分離する境界領域となる凹部を形成する工程、凹部の境界領域を反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらす、または境界領域にイオン注入して磁性層を改質する工程、マスク層を除去する工程、凸部を形成する磁気記録領域の磁性層の表面および凹部を形成する境界領域の前記改質した磁性層の表面にCVD法でカーボン保護膜を、凸部上のカーボン保護膜を凹部上のカーボン保護膜より厚く、形成する工程をこの順で有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 上記境界領域が、非磁性領域であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記凸部と凹部の段差が0.1nm〜9nmの範囲内であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- カーボン保護膜の凸部上と凹部上の表面の段差が1〜10nmの範囲内であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 磁性層の凸部上のカーボン保護膜が、厚さ1〜5nmの範囲内であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 境界領域が酸化物であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の製造方法で製造した磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対運動させる手段と、磁気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再生を行うための記録再生信号処理手段を組み合わせて具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
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US6949004B1 (en) * | 2002-09-06 | 2005-09-27 | Maxtor Corporation | Method for reducing pole and alumina recession on magnetic recording heads |
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US20050036223A1 (en) | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
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US7106531B2 (en) * | 2005-01-13 | 2006-09-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Method of forming a servo pattern on a rigid magnetic recording disk |
US7161753B2 (en) | 2005-01-28 | 2007-01-09 | Komag, Inc. | Modulation of sidewalls of servo sectors of a magnetic disk and the resultant disk |
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JP4703604B2 (ja) * | 2007-05-23 | 2011-06-15 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
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