JP5427852B2 - インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 11
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 146
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 73
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 73
- 239000010408 film Substances 0.000 description 21
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
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- B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
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Claims (9)
- 第1の部分と前記第1の部分より滑らかな第2の部分とを有する基材の表面と、前記基材に取り付けられた駆動素子の表面と、にそれぞれ金属膜を形成し、
レーザービームによって前記基材の第1の部分に形成された前記金属膜を削り、前記第1の部分に形成された前記金属膜を削るレーザービームよりも弱いパワーのレーザービームによって前記基材の第2の部分に形成された前記金属膜を削ることで導体パターンを形成する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記導体パターンを形成する際に、前記基材の第1の部分に形成された前記金属膜を削ったレーザービームよりもパワーが強いレーザービームによって前記駆動素子の表面に形成された前記金属膜を削ることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記導体パターンを形成する際に、前記駆動素子の表面に形成された前記金属膜を削ったレーザービームよりもパワーが強いレーザービームによって、前記基材と前記駆動素子との間に介在する接着層に形成された前記金属膜を削ることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- レーザービームを照射するレーザー加工装置は、レーザーダイオードを有し、
前記レーザーダイオードの電流値を変化させることにより、レーザービームのパワーを変化させる請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - レーザービームを照射するレーザー加工装置は、レーザービームのパワーを可変的に低減可能な減衰器を有し、
前記減衰器によって、レーザービームのパワーを変化させる請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - レーザービームを照射するレーザー加工装置は、レーザービームが出射されるビーム出射部を有し、
前記ビーム出射部と加工点との距離を変化させることにより、レーザービームのパワーを変化させる請求項1ないし3に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - レーザービームの径を変化させることにより、レーザービームのパワーを変化させる請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 第1の部分と、前記第1の部分より滑らかな第2の部分とを有した基材と、
前記基材に取り付けられ、複数の溝が設けられた駆動素子と、
前記基材の第1の部分および第2の部分と前記駆動素子とに亘って設けられ、前記第1の部分に設けられた部分がレーザビームによって形成され、前記第2の部分に設けられた部分が前記レーザビームよりも弱いパワーのレーザビームによって形成された複数の導体パターンと、
を具備したことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記複数の導体パターンの間にそれぞれ設けられ、前記第1の部分に形成された部分の深さと前記第2の部分に形成された部分の深さとが異なる複数の凹部をさらに具備した請求項8に記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011181353A JP5427852B2 (ja) | 2011-08-23 | 2011-08-23 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
US13/495,159 US8721904B2 (en) | 2011-08-23 | 2012-06-13 | Method of manufacturing inkjet head and the inkjet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011181353A JP5427852B2 (ja) | 2011-08-23 | 2011-08-23 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013043319A JP2013043319A (ja) | 2013-03-04 |
JP5427852B2 true JP5427852B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=47743087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011181353A Expired - Fee Related JP5427852B2 (ja) | 2011-08-23 | 2011-08-23 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8721904B2 (ja) |
JP (1) | JP5427852B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3502743B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2004-03-02 | 東芝テック株式会社 | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
JPH11219848A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Kyocera Corp | コンデンサ |
JP3919077B2 (ja) | 2000-12-18 | 2007-05-23 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
US20020073544A1 (en) | 2000-12-18 | 2002-06-20 | Konica Corporation | Manufacturing method of ink-jet haead |
JP4247734B2 (ja) * | 2002-03-05 | 2009-04-02 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法及びインクジェットプリンタヘッド |
US7163640B2 (en) * | 2004-05-21 | 2007-01-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Methods and systems for laser processing |
JP2006150385A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Canon Inc | レーザ割断方法 |
JP2009196122A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド、およびその製造方法 |
JP2010069855A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2011037057A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
2011
- 2011-08-23 JP JP2011181353A patent/JP5427852B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-13 US US13/495,159 patent/US8721904B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013043319A (ja) | 2013-03-04 |
US8721904B2 (en) | 2014-05-13 |
US20130050340A1 (en) | 2013-02-28 |
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Date | Code | Title | Description |
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