JP5424616B2 - エキシマ照射装置 - Google Patents
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Description
2:放電容器
2A:窓面
3:窓側電極層
4:背面側電極層
5:電源装置(電源手段)
6:電極側窓部材
7:被照射体側窓部材
8:フィルタ
9:ガス供給装置(ガス供給手段)
Claims (8)
- 紫外線を透過させる材料で構成され、放電用ガスを封入した薄箱形状を呈し、厚さ方向に直交する互いに平行な2側面の一方を被照射体に対向する窓面とした放電容器と、
前記窓面の外側面に配置され、紫外線を透過させる窓側電極層と、
前記放電容器における前記窓面に対向する背面の外側面に配置される背面側電極層と、
前記窓側電極層と前記背面側電極層との間に高周波電圧を印加する電源手段と、
前記窓側電極層の外側に間隙を設けて配置され、紫外線を透過させる被照射体側窓部材と、
前記被照射体側窓部材の上面の周縁部に全周にわたって載置されて前記窓側電極層と前記被照射体側窓部材との間に前記間隙を形成する支持体であって、矩形断面の管体からなる支持体と、
前記支持体の内部を経由して前記間隙に不活性ガスを流通させるガス供給手段と、
を備えたエキシマ照射装置。 - 前記窓側電極層と前記被照射体側窓部材との間に、紫外線を透過させる電極側窓部材備えた請求項1に記載のエキシマ照射装置。
- 紫外線を透過させるフィルタを、前記被照射体側窓部材の外側に、前記被照射体側窓部材の外側面との間を無酸素状態にして着脱自在に備えた請求項1又は2に記載のエキシマ照射装置。
- 前記窓面の法線方向に沿って前記被照射体側窓部材を前記電極側窓部材に対して変位自在に支持する支持手段を備えた請求項1乃至3の何れかに記載のエキシマ照射装置。
- 前記窓側電極層は前記窓面の面方向に沿って複数の開口を有する網状電極であり、前記背面側電極層は前記背面の外側面に貼付されて紫外線を遮光する板状電極である請求項1乃至4の何れかに記載のエキシマ照射装置。
- 前記放電容器における前記窓面以外の面のエキシマ光を検出するセンサと、前記センサの検出信号に応じて前記紫外線の照射状態を検出する制御部と、を備えた請求項1乃至5の何れかに記載のエキシマ照射装置。
- 前記制御部は、前記センサの検出信号に応じて前記電源手段の出力を制御する請求項6に記載のエキシマ照射装置。
- 前記背面電極層の外側に流体冷却手段を配置した請求項1乃至7の何れかに記載のエキシマ照射装置。
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