JP5421646B2 - シリンダのストロークセンサ - Google Patents
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Description
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施の形態に係るストロークセンサ100について説明する。
(第2の実施の形態)
以下、図4を参照しながら本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、以下に示す各実施形態では前述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。
(第3の実施の形態)
以下、図5を参照しながら本発明の第3の実施の形態について説明する。
10 シリンダ
20 シリンダチューブ
30 ピストンロッド
50 MRセンサ
50a〜50p MR素子
60 磁気スケール
Claims (4)
- シリンダ本体であるシリンダチューブと、
前記シリンダチューブに対して進退自在に設けられるピストンロッドと、を備えるシリンダのストロークセンサであって、
前記ピストンロッドは、ストロークに伴って円周上の位置が異なるように軸方向に形成されるスケールを備え、
前記シリンダチューブは、前記ピストンロッドの周囲を囲むように等間隔で設けられ前記スケールを検出可能な複数の検出素子を同一円周上に備え、
前記ピストンロッドは磁性体で形成され、
前記スケールは、非磁性体によって構成される磁気スケールであり、
前記検出素子は、前記非磁性体を検出可能な磁気抵抗素子であり、互いに隣り合う検出素子同士の検出可能範囲が重複するように配置され、
前記磁気抵抗素子は、前記磁気スケールが検出可能範囲に入ってから外れるまでの間に略サイン波状に変化する電圧を出力し、隣接する前記磁気抵抗素子は、互いの検出可能範囲が略サイン波状の出力電圧の4分の1周期重複するように配置され、
円周上のいずれか一つの前記磁気抵抗素子が前記磁気スケールを検出し、かつ隣接する前記磁気抵抗素子の前記4分の1周期の出力電圧を検出したか否かによって、前記ピストンロッドの絶対的なストロークが検出されることを特徴とするシリンダのストロークセンサ。 - 前記磁気スケールは、前記ピストンロッドのストローク全体で前記ピストンロッドの外周を一周する螺旋形状に形成されることを特徴とする請求項1に記載のシリンダのストロークセンサ。
- 前記磁気スケールは、前記ピストンロッドのストローク全体で前記ピストンロッドの外周を複数周する螺旋形状に形成され、二周目以降は複数の螺旋が並行して形成されて順次数が増加することを特徴とする請求項1に記載のシリンダのストロークセンサ。
- 前記磁気スケールは、ストロークに対して比例的に幅が大きくなるように形成されることを特徴とする請求項1に記載のシリンダのストロークセンサ。
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