JP5413331B2 - Manufacturing method of semiconductor device - Google Patents
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Description
本発明は、半導体基板に対して高アスペクト比のトレンチを形成するトレンチ形成工程を含む半導体装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device including a trench forming step of forming a high aspect ratio trench in a semiconductor substrate.
従来より、素子間を絶縁分離するためのトレンチ分離構造、トレンチゲート構造のMOSFETやIGBT素子、n型層とp型層とが交互に繰り返し配置されるスーパージャンクション構造などを含む半導体装置を製造するに当り、高アスペクト比のトレンチを形成している。トレンチの形成工程では、トレンチの内壁面への保護膜の形成工程と、保護膜のうちのトレンチ底面部分を取り除く除去工程と、トレンチ底面を異方性ドライエッチングによって掘り進めるエッチング工程とを行うことで、高アスペクト比のトレンチを形成できるようにしている。 Conventionally, a semiconductor device including a trench isolation structure for insulating and isolating elements, a MOSFET or IGBT element having a trench gate structure, a super junction structure in which n-type layers and p-type layers are alternately arranged, and the like are manufactured. In this case, a trench with a high aspect ratio is formed. In the trench forming process, a protective film forming process on the inner wall surface of the trench, a removing process of removing the trench bottom surface portion of the protective film, and an etching process of digging the trench bottom surface by anisotropic dry etching are performed. Thus, a trench with a high aspect ratio can be formed.
異方性ドライエッチングにおいては、反応種である中性の活性ラジカルは拡散によって供給されるため、高アスペクト形状を形成する際には加工が進むに連れてエッチングレートが低下する。また、保護膜の形成においても、高アスペクト形状となるに連れて形成される保護膜の膜厚が変化すると考えられる。 In anisotropic dry etching, neutral active radicals that are reactive species are supplied by diffusion, so that when the high aspect shape is formed, the etching rate decreases as the processing proceeds. Also in the formation of the protective film, it is considered that the film thickness of the protective film formed changes as the aspect ratio becomes high.
このため、トレンチが高アスペクトになるほど、トレンチの側壁面の角度が変化したり、湾曲した形状になる傾向が見られており、エッチングレートが高くなるほどその傾向が顕著に現れている。 For this reason, as the trench has a higher aspect, there is a tendency that the angle of the side wall surface of the trench changes or becomes a curved shape, and the tendency becomes more prominent as the etching rate increases.
このような形状になることを抑制すべく、特許文献1、2では、トレンチ形成工程のトレンチ形成条件(プロセスパラメータ)をトレンチの形成時間と共に変化させることが提案されている。具体的には、トレンチを形成する過程で時間と共にプラズマパワーやエッチングガス流量を減少させることにより、均一な角度の側壁面を有する高アスペクト比のトレンチが形成されるようにしている。
In order to suppress such a shape,
しかしながら、特許文献1、2のような手法では、時間と共にエッチングレートを低下させるようにプロセスパラメータを変化させていることから、当然エッチングレートが低くなる。通常トレンチが高アスペクトになるほどエッチングレートが低下することから、尚更トータルのエッチングレートが低くなる。したがって、従来よりもエッチングレートを高くしつつ、均一な角度の側壁面を有するトレンチを形成できるようにすることが望まれる。なお、特許文献2では、エッチングレートの低下を抑制するために、プロセスと共に圧力を減らすことが提案されているが、それでもエッチングレートの低下抑制が十分ではない。
However, in the methods such as
また、異方性ドライエッチングにおいては、加速させたイオンを半導体基板に衝突させてエッチングするため、半導体基板のトレンチ壁面内部にダメージ層が生じる。このダメージ層が残った状態では、結晶欠陥の発生やトレンチ壁面上に形成される絶縁膜の信頼性が低下するといった問題が生じるため、ダメージ層を除去する必要がある。このとき、ダメージ層の厚さによって除去量が異なるため、ダメージ層除去後には所望のトレンチ形状が得られないことがある。 In anisotropic dry etching, accelerated ions collide with the semiconductor substrate for etching, and a damage layer is generated inside the trench wall surface of the semiconductor substrate. In the state where the damaged layer remains, problems such as generation of crystal defects and deterioration of the reliability of the insulating film formed on the trench wall surface occur. Therefore, it is necessary to remove the damaged layer. At this time, since the removal amount varies depending on the thickness of the damaged layer, a desired trench shape may not be obtained after removing the damaged layer.
本発明は上記点に鑑みて、エッチングレートを高くしつつ、均一な角度の側壁面を有するトレンチを形成できるトレンチ形成工程を含む半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above-described points, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a semiconductor device including a trench forming step capable of forming a trench having a sidewall surface having a uniform angle while increasing an etching rate.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、トレンチ形成工程では、トレンチ(12)のアスペクト比が所定値となるまでは、トレンチ(12)の内壁面を覆うように保護膜(13)を形成する保護膜形成工程と、トレンチ(12)の底部において保護膜(13)を剥離させる工程を行う保護膜剥離工程と、トレンチ(12)の底部において保護膜(13)が剥離させられた部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との3工程からなる第1サイクルを複数繰り返すと共に、トレンチ(12)のアスペクト比が所定値以上において、保護膜形成工程と、トレンチ(12)の底部において保護膜(13)を除去すると共に、トレンチ(12)の底部のうち保護膜(13)が除去された部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との2工程からなる第2サイクルを複数繰り返すことで、トレンチ(12)を形成することを特徴としている。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, in the trench formation step, the protective film (covering the inner wall surface of the trench (12) is covered until the aspect ratio of the trench (12) reaches a predetermined value. 13) forming a protective film, a protective film peeling step for peeling the protective film (13) at the bottom of the trench (12), and a protective film (13) peeling at the bottom of the trench (12). A plurality of first cycles consisting of three steps including an etching step of etching and etching the formed portion, and a protective film forming step and a bottom portion of the trench (12) when the aspect ratio of the trench (12) is a predetermined value or more. The etching film which removes the protective film (13) and etches the portion of the bottom of the trench (12) where the protective film (13) has been removed. By repeating a plurality of second cycle consisting of two steps with the step, it is characterized by forming a trench (12).
このように、アスペクト比が所定値となるまでは保護膜形成工程と保護膜剥離工程およびエッチング工程の3工程によってトレンチ(12)の底部を掘り進め、アスペクト比が所定値以上となると保護膜形成工程とエッチング工程の2工程によってトレンチ(12)の底部を掘り進めるようにしている。このため、アスペクト比が所定値以上となったときに、ダメージ層(14)の厚みに応じてトレンチ(12)のうちエッチング工程によってエッチングされる幅が狭くなるようにでき、半導体基板(10)のうちダメージ層(14)とダメージ層(14)ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度となるようにできる。また、高アスペクト比の領域では、保護膜形成工程とエッチング工程の2工程によってトレンチ(12)の底部を掘り進めており、保護膜剥離工程を行わなくて済むため、エッチングレートも増大する。このため、トレンチ(12)を形成する際のトータルのエッチングレートを高くすることができる。したがって、エッチングレートを高くしつつ、均一な角度の側壁面を有するトレンチを形成できるトレンチ形成工程とすることができる。 In this way, until the aspect ratio reaches a predetermined value, the bottom of the trench (12) is dug through the three steps of the protective film forming step, the protective film peeling step, and the etching step, and when the aspect ratio exceeds the predetermined value, the protective film is formed. The bottom of the trench (12) is dug through two steps, a step and an etching step. For this reason, when the aspect ratio is equal to or greater than a predetermined value, the width of the trench (12) etched by the etching process can be reduced according to the thickness of the damaged layer (14), and the semiconductor substrate (10). Among them, the angle of the boundary between the damaged layer (14) and the non-damaged layer (14) can be set to a substantially desired angle. Further, in the high aspect ratio region, the bottom of the trench (12) is dug through the two steps of the protective film forming step and the etching step, and the protective film peeling step is not necessary, so that the etching rate increases. For this reason, the total etching rate at the time of forming a trench (12) can be made high. Therefore, it is possible to provide a trench formation process capable of forming a trench having a sidewall surface with a uniform angle while increasing the etching rate.
具体的には、請求項1に記載したように、トレンチ形成工程では、第1サイクルから第2サイクルに切替えるときに、第2サイクルに切替えたときの保護膜形成工程後のエッチング工程の際にトレンチ(12)の底部上において除去される保護膜(13)の幅を、トレンチ(12)の底部において該トレンチ(12)の側壁上に形成された保護膜(13)間の幅よりも狭くしている。
Specifically, as described in
これにより、ダメージ層(14)が大きく形成される分、低アスペクト比の領域と比較して高アスペクト比の領域において、トレンチ(12)の側面にダメージ層(14)が形成された半導体基板(10)が厚めに残るようにできる。 As a result, the damage layer (14) is formed larger, so that the semiconductor substrate (in which the damage layer (14) is formed on the side surface of the trench (12) in the high aspect ratio region compared to the low aspect ratio region). 10) can remain thick.
また、請求項2に記載したように、トレンチ形成工程では、第1サイクルにおける保護膜剥離工程の時間を第1サイクルから第2サイクルに切替えるまでに徐々に短時間化させると共に、第1サイクルにおけるエッチング工程に対して第2サイクルのエッチング工程を長時間にすることおよびエッチングガス導入量を多くすることの少なくとも一方を行うことで第1サイクルよりも第2サイクルにおいてエッチングがされ易くなるようにし、第1サイクルにおけるエッチング工程を第1サイクルから第2サイクルに切り替わるまでの間に、徐々に第1サイクルのエッチング時間とエッチングガス導入量を第2サイクルに近づけるようにしても良い。
In addition, as described in
このように、低アスペクト比の領域でも第1サイクルの各種パラメータを変化させるようにすれば、トレンチ(12)の側壁面がより所望角度となるようにできると共に、よりエッチングレートを高くすることができる。 Thus, if the various parameters of the first cycle are changed even in the low aspect ratio region, the side wall surface of the trench (12) can be at a desired angle and the etching rate can be increased. it can.
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態では、半導体基板に対して高アスペクト比のトレンチを形成するトレンチ形成工程を含む半導体装置の製造方法について説明するが、半導体装置の製造方法のうち、高アスペクト比のトレンチを形成するトレンチ形成工程以外の工程については、従来と同様であるため、ここではそのトレンチ形成工程についてのみ説明する。なお、アスペクト比とは、トレンチの幅に対する深さの比のことを意味している。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a semiconductor device manufacturing method including a trench forming step of forming a high aspect ratio trench with respect to a semiconductor substrate will be described. Of the semiconductor device manufacturing method, a trench for forming a high aspect ratio trench. Since the processes other than the forming process are the same as the conventional processes, only the trench forming process will be described here. The aspect ratio means the ratio of the depth to the trench width.
図1は、本実施形態の半導体装置の製造方法中のトレンチ形成工程を示した断面図である。この図を参照してトレンチ形成工程の詳細について説明する。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a trench formation step in the method of manufacturing a semiconductor device of this embodiment. The details of the trench forming step will be described with reference to this figure.
まず、トレンチ形成工程の最初に、図1(a)に示すように、半導体基板10を用意し、この半導体基板10の表面にトレンチ形成用のマスク11を配置する。半導体基板10としては、例えばシリコン基板を採用している。ここでいうシリコン基板とは、単層のシリコンによって構成される基板に限るものではなく、エピタキシャル層が形成されたエピ基板やSOI(Silicon on insulator)基板なども含まれる。また、トレンチ形成工程の前に拡散層の形成工程等を行っておく必要が有る場合には、それらを行った状態としてある。また、マスク11としては、例えばシリコン酸化膜を採用しており、フォトリソグラフィ工程によってパターニングすることでマスク11のうちのトレンチ形成予定領域に開口部11aを形成している。このマスク11もシリコン酸化膜以外のものであってもよく、後工程で行われるエッチング工程の際のエッチングマスクとして機能する材質であればどのような材質であっても構わない。
First, as shown in FIG. 1A, a
次に、マスク11を配置した半導体基板10をエッチング装置内に設置し、マスク11によって半導体基板10の表面を覆った状態で異方性ドライエッチングを行うことでトレンチ12を形成する。このとき、トレンチ12を徐々に深くしていくように、いわゆるBOSCHプロセスと呼ばれるトレンチ12の側壁を保護膜で覆いながらトレンチ12の底面を掘り進めて行くというプロセスを用いている。この手法により、アスペクト比が20程度のトレンチ12を形成する。図2〜図4は、この工程の詳細を示した断面図である。
Next, the
図2は、トレンチ12のアスペクト比が所定値(例えばアスペクト比が10)未満の低アスペクト比のときのトレンチ形成工程を示した断面図である。図3は、トレンチ12のアスペクト比が所定値に至ったときのトレンチ形成工程を示した断面図である。図4は、トレンチ12のアスペクト比が所定値以上の高アスペクト比のときのトレンチ形成工程を示した断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a trench formation process when the aspect ratio of the
まず、トレンチ12のアスペクト比が所定値未満のときには、マスク11を用いてトレンチ12をある程度の深さまで形成したのち、図2(a)に示すようにトレンチ12の内壁面を覆うように保護膜13を形成する(保護膜形成工程)。例えば、CF系ガス(C4F8)等を導入することでポリマー膜をデポジションすることにより、保護膜13を形成することができる。これにより、トレンチ12の側壁面および底面を覆うように保護膜13が形成される。
First, when the aspect ratio of the
続いて、保護膜13の形成に用いたガスの導入を停止し、図2(b)に示すようにトレンチ12の底部において保護膜13を剥離させる工程を行う(保護膜剥離工程)。例えばO2アッシングによりトレンチ12の底部の保護膜13を除去できる。
Subsequently, the introduction of the gas used to form the
その後、O2アッシングを停止し、図2(c)に示すようにエッチング装置内にエッチングガスを導入する。これにより、トレンチ12の底部において保護膜13が剥離させられた部分、つまりシリコンが露出した箇所がエッチングされて掘り進められる(エッチング工程)。例えば、エッチングガスとしてフッ素系ガス(SF6)等を用いることでシリコンをエッチングすることができる。
Thereafter, O 2 ashing is stopped, and an etching gas is introduced into the etching apparatus as shown in FIG. As a result, the portion where the
図5は、トレンチ12のアスペクト比が所定値(例えばアスペクト比が10)未満のときのトレンチ形成工程におけるトレンチ12の底部の保護膜13のデポジション量とエッチング量との関係を示したタイミングチャートである。この図に示されるように、保護膜形成工程において保護膜13を所定量デポジションしたのち、剥離工程において保護膜13を剥離させる。そして、エッチング工程においてトレンチ12の底部をエッチングし、トレンチ12を掘り進めて行く。このときのエッチング工程は、異方性ドライエッチングにより行っているが、化学的エッチングよりも物理的エッチングの影響が大きいエッチング手法であれば採用でき、例えばRIE(Reactive Ion Etching)を採用することができる。物理的エッチングは、加速させたイオンをトレンチ12の底部に衝突させて物理的に露出表面を除去するスパッタエッチングであり、物理的エッチングが化学反応によってトレンチ12の底部を除去する化学的エッチングよりもエッチング量が多い手法であれば、エッチング工程として採用できる。
FIG. 5 is a timing chart showing the relationship between the deposition amount and the etching amount of the
なお、このような物理的エッチングを行っているため、剥離工程で保護膜13のデポジション量が完全に0になっていなくても良く、その後のエッチング工程においてエッチング時の物理的な衝撃によってトレンチ12の底部の保護膜13が除去されても良い。
In addition, since such physical etching is performed, the deposition amount of the
例えば、保護膜形成工程では、CF系ガス(C4F8)等を250sccm、2.0sec導入して保護膜13を形成し、保護膜剥離工程では、O2ガスを100sccm、1.0sec導入してトレンチ12の底部の保護膜13を剥離し、エッチング工程では、フッ素系ガス(SF6)等を300sccm、3.0sec導入してトレンチ12の底部を掘り進めている。保護膜形成工程と保護膜剥離工程およびエッチング工程の時間比について、保護膜形成工程:保護膜剥離工程:エッチング工程=2:1:3としているが、加工するトレンチ形状に応じて適宜変更可能である。また、各種ガスの導入量についても適宜変更可能である。そして、トレンチ12のアスペクト比が所定値未満のときには、保護膜形成工程と剥離工程およびエッチング工程の3工程を第1サイクルとして、アスペクト比が所定値となるまで第1サイクルを複数サイクル繰り返し行う。
For example, in the protective film forming step, CF type gas (C 4 F 8 ) or the like is introduced at 250 sccm for 2.0 seconds to form the
ただし、上記したようにエッチング工程の際に物理的エッチングによってトレンチ12の底部を掘り進めて行くと、トレンチ12のアスペクト比が高くなるに連れて、物理的エッチングによるダメージ層14の厚みが大きくなる。このため、図2に示すような保護膜形成工程と保護膜剥離工程およびエッチング工程を実施する第1サイクルを繰り返したのでは、ダメージ層14の厚みの変化により、トレンチ12にダメージ層14を加えた分の横幅が広くなり、トレンチ12の側壁面の角度が変化したり、湾曲した形状になる。すなわち、最終的にはダメージ層14が除去されることになるが、ダメージ層14を除去する前のトレンチ12の側壁面の角度が所定角度となるようにすると、ダメージ層14の厚みがアスペクト比に応じて変わるためにダメージ層14を除去した後のトレンチ12の側壁面の角度が所定角度にならなくなる。
However, when the bottom of the
このため、トレンチ12のアスペクト比が所定値に達し、それ以上にトレンチ12を掘り進める際には、トレンチ形成工程として図3に示す各工程を行う。
For this reason, when the aspect ratio of the
具体的には、まず、図3(a)に示す保護膜形成工程を行う。このときの保護膜形成工程は、図2(a)に示した保護膜形成工程と同様の工程として実施されるが、トレンチ12のアスペクト比が高くなっているため、トレンチ12の底部での保護膜13のデポジション量が図2(a)の工程と比較して少なくなる。続いて、図3(b)に示すエッチング工程を行う。このとき、先に行った保護膜形成工程でのトレンチ12の底部における保護膜13のデポジション量が少ないため、保護膜剥離工程を行わなくても、エッチング工程で行う異方性ドライエッチングによりトレンチ12の底部における保護膜13が物理的な衝撃によって除去される。このため、保護膜形成工程の後に保護膜剥離工程を行うことなくエッチング工程を行ったとしても、トレンチ12の底部においてシリコンを掘り進めることができ、さらに高アスペクト比にすることができる。
Specifically, first, a protective film forming step shown in FIG. The protective film forming process at this time is performed as a process similar to the protective film forming process shown in FIG. 2A, but since the aspect ratio of the
また、このとき、保護膜13を剥離することなくエッチング工程を行っており、トレンチ12の底部の保護膜13をエッチングによって除去しているが、保護膜13の除去のされ方はエッチング条件によって変わる。すなわち、保護膜13はまずトレンチ12の中心部から除去されていき、徐々に幅が広がるようにして除去されていく。
At this time, the etching process is performed without peeling off the
このため、図3(a)に示すように、エッチング条件次第でトレンチ12の底部の全域において保護膜13を除去してしまうのではなく、トレンチ12の中心部から所定幅の位置まで保護膜13が除去されるようにすることができる。そして、このときにトレンチ12の底部上において除去される保護膜13の幅を、トレンチ12の底部においてトレンチ12の側壁上に形成された保護膜13間の幅よりも狭くする。これにより、ダメージ層14が大きく形成される分、低アスペクト比の領域と比較して高アスペクト比の領域において、トレンチ12の側面にダメージ層14が形成された半導体基板10が厚めに残るようにできる。
For this reason, as shown in FIG. 3A, the
こうすれば、図3(b)に示すように、半導体基板10のうちダメージ層14とダメージ層14ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度となるようにできる。したがって、最終的にダメージ層14を除去した時に、トレンチ12の側壁面が所望の角度となるようにできるし、保護膜剥離工程を行わなくて済むため、エッチングレートも増大する。
In this way, as shown in FIG. 3B, the angle of the boundary between the damaged
この後は、図4(a)、(b)に示すように、図3(a)、(b)と同様に保護膜形成工程とエッチング工程を繰り返すことでトレンチ12の底部を掘り進めて行くことができる。
Thereafter, as shown in FIGS. 4A and 4B, the bottom of the
図6は、トレンチ12のアスペクト比が所定値(例えばアスペクト比が10)以上のときのトレンチ形成工程におけるトレンチ12の底部の保護膜13のデポジション量とエッチング量との関係を示したタイミングチャートである。この図に示されるように、保護膜形成工程において保護膜13が所定量デポジションされるが、これがエッチング工程において除去され、さらにエッチング工程においてトレンチ12の底部が掘り進められる。
FIG. 6 is a timing chart showing the relationship between the deposition amount and the etching amount of the
例えば、保護膜形成工程では、CF系ガス(C4F8)等を250sccm、2.0sec導入して保護膜13を形成し、エッチング工程では、フッ素系ガス(SF6)等を500sccm、5.0sec導入してトレンチ12の底部を掘り進めている。保護膜形成工程とエッチング工程の時間比について、保護膜形成工程:エッチング工程=2:5としているが、加工するトレンチ形状に応じて適宜変更可能である。また、各種ガスの導入量についても適宜変更可能である。そして、トレンチ12のアスペクト比が所定値以上のときには、保護膜形成工程とエッチング工程の2工程を第2サイクルとして、アスペクト比が20になるまで第2サイクルを複数サイクル繰り返し行う。
For example, in the protective film forming step, CF type gas (C 4 F 8 ) or the like is introduced at 250 sccm for 2.0 seconds to form the
このようなトレンチ形成工程を行ったのち、図1(b)に示すように、保護膜剥離工程を行って保護膜13を除去し、トレンチ12の内壁を露出させる。このとき、トレンチ12の深さに応じて厚みが変わったダメージ層14が形成されるものの、半導体基板10のうちダメージ層14とダメージ層14ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度となるようにできる。
After performing such a trench formation process, as shown in FIG. 1B, a protective film peeling process is performed to remove the
この後、図1(c)に示すようにダメージ層14の除去工程を行うことにより、ダメージ層14を除去し、トレンチ12の内壁面をダメージ層14の無い良好な状態にする。例えば、ダメージ層14の除去工程は、ケミカルドライエッチング、等方性ウェットエッチング、犠牲酸化エッチングなどによって行われ、これらのうちのいずれか1つもしくは複数を組み合わせて除去工程を行うこともできる。このようにしてダメージ層14を除去すると、上述したように半導体基板10のうちダメージ層14とダメージ層14ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度とされていることから、ダメージ層14が除去された後のトレンチ12の側壁面の角度がほぼ所望の角度となるようにすることができる。
After that, as shown in FIG. 1C, the
そして、このように形成したトレンチ12を用いて、素子間を絶縁分離するためのトレンチ分離構造、トレンチゲート構造のMOSFETやIGBT素子、n型層とp型層とが交互に繰り返し配置されるスーパージャンクション構造などを含む半導体装置を製造することができる。
Then, using the
以上説明したように、本実施形態では、アスペクト比が所定値となるまでは保護膜形成工程と保護膜剥離工程およびエッチング工程の3工程によってトレンチ12の底部を掘り進め、アスペクト比が所定値以上となると保護膜形成工程とエッチング工程の2工程によってトレンチ12の底部を掘り進めるようにしている。このため、アスペクト比が所定値以上となったときに、ダメージ層14の厚みに応じてトレンチ12のうちエッチング工程によってエッチングされる幅が狭くなるようにでき、半導体基板10のうちダメージ層14とダメージ層14ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度となるようにできる。
As described above, in this embodiment, until the aspect ratio reaches a predetermined value, the bottom portion of the
また、高アスペクト比の領域では、保護膜形成工程とエッチング工程の2工程によってトレンチ12の底部を掘り進めており、保護膜剥離工程を行わなくて済むため、エッチングレートも増大する。さらに、高アスペクト比の領域では、低アスペクト比の領域に比べてエッチング工程を長時間にし、エッチングガス導入量を多くすることでエッチングされ易くなるようにしているため、エッチングレートはさらに増大する。図7は、本実施形態と従来のトレンチ形成工程におけるアスペクト比とエッチングレートとの関係を示した図である。この図に示されるように、従来では、アスペクト比が高くなるほどエッチングレートが低下し続けるが、本実施形態では、アスペクト比が所定値になったときに、トレンチ形成工程を3工程から2工程に切替えているため、エッチングレートを増加させることが可能となる。このため、トレンチ12を形成する際のトータルのエッチングレートを高くすることができる。具体的には、上記手法によってトレンチ形成工程を行ったところ、異方性ドライエッチングの処理時間を従来のおよそ2/3の時間に短縮することができた。
Further, in the high aspect ratio region, the bottom of the
したがって、エッチングレートを高くしつつ、均一な角度の側壁面を有するトレンチを形成できるトレンチ形成工程とすることができる。 Therefore, it is possible to provide a trench formation process capable of forming a trench having a sidewall surface with a uniform angle while increasing the etching rate.
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。上記第1実施形態では、低アスペクト比の領域についてトレンチ形成工程の条件を一定としたが、本実施形態では、徐々にトレンチ形成工程の条件を変更する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment, the conditions of the trench formation process are constant for the low aspect ratio region. However, in the present embodiment, the conditions of the trench formation process are gradually changed.
図8は、本実施形態にかかるトレンチ形成工程を経た後の様子を示した断面図である。本実施形態では、低アスペクト比の領域について実行する第1サイクルの条件を徐々に変更することで、アスペクト比が所定値(例えばアスペクト比10)に達した時にトレンチ12の幅が第2サイクルに切替えられるときのトレンチ12の幅となるようにしている。例えば、剥離工程の時間を制御することによってトレンチ12の底部での保護膜13の除去量を制御すれば、トレンチ12の幅が徐々に狭まるようにすることができる。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state after the trench formation step according to the present embodiment. In the present embodiment, by gradually changing the conditions of the first cycle executed for the low aspect ratio region, the width of the
例えば、第1サイクルでは、初期設定として、保護膜形成工程では、CF系ガス(C4F8)等を250sccm、2.0sec導入し、保護膜剥離工程では、O2ガスを100sccm、1.0sec導入し、エッチング工程では、フッ素系ガス(SF6)等を300sccm、3.0sec導入している。また、第2サイクルとして、保護膜形成工程では、CF系ガス(C4F8)等を250sccm、2.0sec導入し、エッチング工程では、フッ素系ガス(SF6)等を500sccm、5.0sec導入している。 For example, in the first cycle, as an initial setting, in the protective film forming step, CF-based gas (C 4 F 8 ) or the like is introduced at 250 sccm for 2.0 seconds, and in the protective film peeling step, O 2 gas is set at 100 sccm. Introducing 0 sec, fluorine gas (SF 6 ) or the like is introduced at 300 sccm for 3.0 sec in the etching process. As the second cycle, in the protective film forming step, CF-based gas (C 4 F 8 ) or the like is introduced at 250 sccm for 2.0 seconds, and in the etching step, fluorine-based gas (SF 6 ) or the like is introduced at 500 sccm for 5.0 seconds. It has been introduced.
このため、第1サイクルでは、初期設定から徐々に剥離工程の時間を1.0secから0secに短時間化させ、エッチング工程のガス流量を300sccmから500sccmに増加させると共にエッチング工程の時間を3.0secから5.0secに長時間化させる。各パラメータについては、第1サイクルから第2サイクルへの切り替えに必要とされる時間に対して線形的に変化させるように変化量を設定すればよい。 For this reason, in the first cycle, the time of the peeling process is gradually shortened from 1.0 sec to 0 sec from the initial setting, the gas flow rate of the etching process is increased from 300 sccm to 500 sccm, and the etching process time is 3.0 sec. To 5.0 sec. About each parameter, what is necessary is just to set the variation | change_quantity so that it may change linearly with respect to the time required for switching from a 1st cycle to a 2nd cycle.
このようにすれば、図8に示すように、低アスペクト比の領域において、よりダメージ層14の厚みの変化に応じてトレンチ12の幅を変化させられるため、より半導体基板10のうちダメージ層14とダメージ層14ではない部分の境界の角度がほぼ所望の角度となるようにできる。したがって、この後、ダメージ層14を除去した時に、トレンチ12の側壁面がより所望角度となるようにすることが可能となる。
In this way, as shown in FIG. 8, the width of the
また、低アスペクト比の領域でも、徐々に第1サイクルにおける各種パラメータを第2サイクルでの各種パラメータに近づけることにより、より保護膜剥離時間を短くしてエッチング時間を長く取ることが可能となる。したがって、エッチングレートを増加させることが可能となる。図9は、本実施形態のトレンチ形成工程におけるアスペクト比とエッチングレートとの関係を示した図である。この図に示されるように、第1サイクルの中でも、各種パラメータを変化させることにより、初期設定時に対して徐々にエッチングレートが増大し、それが徐々に低下していくようにできる。このようにしても、トレンチ12を形成する際のトータルのエッチングレートを高くすることができる。具体的には、上記手法によってトレンチ形成工程を行ったところ、異方性ドライエッチングの処理時間を従来のおよそ1/2の時間に短縮することができた。
Even in the low aspect ratio region, by gradually bringing the various parameters in the first cycle closer to the various parameters in the second cycle, it is possible to shorten the protective film peeling time and increase the etching time. Therefore, the etching rate can be increased. FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the aspect ratio and the etching rate in the trench formation process of this embodiment. As shown in the figure, even during the first cycle, by changing various parameters, the etching rate can be gradually increased and gradually decreased with respect to the initial setting. Even in this case, the total etching rate when forming the
以上説明したように、低アスペクト比の領域でも第1サイクルの各種パラメータを変化させることにより、トレンチ12の側壁面がより所望角度となるようにできると共に、よりエッチングレートを高くすることができる。
As described above, by changing various parameters of the first cycle even in the low aspect ratio region, the side wall surface of the
(他の実施形態)
上記各実施形態で第1サイクルでの保護膜形成工程と保護膜剥離工程およびエッチング工程の各種パラメータの一例および第2サイクルでの保護膜形成工程およびエッチング工程の各種パラメータの一例を挙げたが、これらについては適宜変更可能である。例えば、第2実施形態で説明した第1サイクルと第2サイクルのエッチング工程では、第1サイクルに対して第2サイクルでよりエッチングがされ易い条件となるようにしている。つまり、仮に第1サイクルと第2サイクルのエッチング工程の条件によってトレンチ12が形成されていない状態の半導体基板10の表面からエッチングを行ったとしたら、第2サイクルのエッチング工程の方が第1サイクルのエッチング工程よりもエッチングレートが早くなる条件としている。このような条件として、上記第2実施形態では、第1サイクルにおけるエッチング工程に対して第2サイクルのエッチング工程を長時間にすることと、エッチングガス導入量を多くすることの両方を行っているが、これらのうちの少なくとも一方を行えば、第2サイクルのエッチング工程の方が第1サイクルのエッチング工程よりもエッチングされ易い条件となるようにすることができる。
(Other embodiments)
In each of the above embodiments, examples of various parameters of the protective film forming process and protective film peeling process and etching process in the first cycle and examples of various parameters of the protective film forming process and etching process in the second cycle are given. These can be changed as appropriate. For example, in the etching process of the first cycle and the second cycle described in the second embodiment, the conditions are such that etching is more easily performed in the second cycle than in the first cycle. That is, if the etching is performed from the surface of the
また、上記実施形態では、第1サイクルと第2サイクルとの切り替えをアスペクト比が所定値となる場合に行い、その所定値の一例としてアスペクト比が10の時を例に挙げた。しかしながら、これについても一例を示したにすぎず、アスペクト比が10以外の場合に第1サイクルと第2サイクルとの切り替えが行われるようにしても良い。さらに、アスペクト比が20のトレンチ12を一例として説明したが、勿論これについても変更可能であり、アスペクト比が20未満もしくは20を超える場合についても、本発明を適用することができる。
In the above embodiment, switching between the first cycle and the second cycle is performed when the aspect ratio becomes a predetermined value, and the case where the aspect ratio is 10 is taken as an example of the predetermined value. However, this is merely an example, and switching between the first cycle and the second cycle may be performed when the aspect ratio is other than 10. Furthermore, although the
10 半導体基板
11 マスク
12 トレンチ
13 保護膜
14 ダメージ層
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記トレンチ形成工程の際に前記トレンチ(12)の側壁面において前記半導体基板(10)に形成されたダメージ層(14)を除去する工程と、を含む半導体装置の製造方法において、
前記トレンチ形成工程では、
前記トレンチ(12)のアスペクト比が所定値となるまでは、前記トレンチ(12)の内壁面を覆うように保護膜(13)を形成する保護膜形成工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)を剥離させる工程を行う保護膜剥離工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)が剥離させられた部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との3工程からなる第1サイクルを複数繰り返すと共に、
前記トレンチ(12)のアスペクト比が所定値以上において、前記保護膜形成工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)を除去すると共に、前記トレンチ(12)の底部のうち前記保護膜(13)が除去された部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との2工程からなる第2サイクルを複数繰り返すことで、前記トレンチ(12)を形成し、
前記トレンチ形成工程では、前記第1サイクルから前記第2サイクルに切替えるときに、前記第2サイクルに切替えたときの前記保護膜形成工程後の前記エッチング工程の際に前記トレンチ(12)の底部上において除去される前記保護膜(13)の幅を、前記トレンチ(12)の底部において該トレンチ(12)の側壁上に形成された前記保護膜(13)間の幅よりも狭くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 An etching mask (11) having an opening (11a) formed in a region where a trench (12) is to be formed is disposed on the surface of the semiconductor substrate (10), and the semiconductor substrate (10) is covered with the etching mask (11). Forming a trench (12) by etching the semiconductor substrate (10) from the opening (11a) in a closed state;
Removing the damaged layer (14) formed on the semiconductor substrate (10) on the side wall surface of the trench (12) during the trench forming step.
In the trench formation step,
Until the aspect ratio of the trench (12) reaches a predetermined value, a protective film forming step of forming a protective film (13) so as to cover the inner wall surface of the trench (12), and at the bottom of the trench (12) 3 steps of a protective film peeling step for peeling off the protective film (13) and an etching step of etching and digging a portion where the protective film (13) is peeled off at the bottom of the trench (12). Repeating the first cycle consisting of
When the aspect ratio of the trench (12) is greater than or equal to a predetermined value, the protective film forming step, the protective film (13) is removed at the bottom of the trench (12), and the bottom of the trench (12) The trench (12) is formed by repeating a plurality of second cycles consisting of two steps including an etching step in which the portion from which the protective film (13) has been removed is etched and dug .
In the trench forming step, when switching from the first cycle to the second cycle, the bottom of the trench (12) is formed during the etching step after the protective film forming step when switching to the second cycle. The width of the protective film (13) to be removed in the step is made narrower than the width between the protective films (13) formed on the side walls of the trench (12) at the bottom of the trench (12). A method for manufacturing a semiconductor device.
前記トレンチ形成工程の際に前記トレンチ(12)の側壁面において前記半導体基板(10)に形成されたダメージ層(14)を除去する工程と、を含む半導体装置の製造方法において、
前記トレンチ形成工程では、
前記トレンチ(12)のアスペクト比が所定値となるまでは、前記トレンチ(12)の内壁面を覆うように保護膜(13)を形成する保護膜形成工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)を剥離させる工程を行う保護膜剥離工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)が剥離させられた部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との3工程からなる第1サイクルを複数繰り返すと共に、
前記トレンチ(12)のアスペクト比が所定値以上において、前記保護膜形成工程と、前記トレンチ(12)の底部において前記保護膜(13)を除去すると共に、前記トレンチ(12)の底部のうち前記保護膜(13)が除去された部分をエッチングして掘り進めるエッチング工程との2工程からなる第2サイクルを複数繰り返すことで、前記トレンチ(12)を形成し、
前記トレンチ形成工程では、
前記第1サイクルにおける前記保護膜剥離工程の時間を前記第1サイクルから前記第2サイクルに切替えるまでに徐々に短時間化させると共に、
前記第1サイクルにおけるエッチング工程に対して前記第2サイクルのエッチング工程を長時間にすることおよびエッチングガス導入量を多くすることの少なくとも一方を行うことで前記第1サイクルよりも前記第2サイクルにおいてエッチングがされ易くなるようにしており、前記第1サイクルにおける前記エッチング工程を前記第1サイクルから前記第2サイクルに切り替わるまでの間に、徐々に前記第1サイクルのエッチング時間とエッチングガス導入量を前記第2サイクルに近づけることを特徴とする半導体装置の製造方法。 An etching mask (11) having an opening (11a) formed in a region where a trench (12) is to be formed is disposed on the surface of the semiconductor substrate (10), and the semiconductor substrate (10) is covered with the etching mask (11). Forming a trench (12) by etching the semiconductor substrate (10) from the opening (11a) in a closed state;
Removing the damaged layer (14) formed on the semiconductor substrate (10) on the side wall surface of the trench (12) during the trench forming step.
In the trench formation step,
Until the aspect ratio of the trench (12) reaches a predetermined value, a protective film forming step of forming a protective film (13) so as to cover the inner wall surface of the trench (12), and at the bottom of the trench (12) 3 steps of a protective film peeling step for peeling off the protective film (13) and an etching step of etching and digging a portion where the protective film (13) is peeled off at the bottom of the trench (12). Repeating the first cycle consisting of
When the aspect ratio of the trench (12) is greater than or equal to a predetermined value, the protective film forming step, the protective film (13) is removed at the bottom of the trench (12), and the bottom of the trench (12) The trench (12) is formed by repeating a plurality of second cycles consisting of two steps including an etching step in which the portion from which the protective film (13) has been removed is etched and dug.
In the trench formation step,
While gradually reducing the time of the protective film peeling step in the first cycle from the first cycle to the second cycle,
By performing at least one of making the etching process of the second cycle longer and increasing the amount of introduced etching gas with respect to the etching process of the first cycle, in the second cycle than in the first cycle Etching is facilitated, and the etching time and the amount of etching gas introduced in the first cycle are gradually increased until the etching process in the first cycle is switched from the first cycle to the second cycle. method of manufacturing a semi-conductor device you characterized in that close to the second cycle.
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