JP5406003B2 - テープ貼着装置 - Google Patents
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Description
4 保護テープ
6 DAF一体型ダイシングテープ
8 ダイシングテープ
10 ダイアタッチフィルム(DAF)
12 テープ貼着装置
14 保持テーブル
16 ヒータ
18 テープ体
20 送り出しロール
26 巻き取りロール
30 ピールプレート
32 押圧ローラ
34 環状部材
35 冷風
Claims (2)
- 環状フレームと該環状フレームの開口中央に配設されたウエーハにDAF一体型ダイシングテープを貼着するテープ貼着装置であって、
該環状フレームと、該環状フレームの開口中央に配設されたウエーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブル中に配設された加熱手段と、
帯状の剥離シートに所定間隔毎にDAF一体型ダイシングテープが貼着されたテープ体がロール状に巻回された送り出しロールと、
使用済みの該剥離シートを巻き取る巻き取りロールと、
送り出された該テープ体から該剥離シートを剥離して、該剥離シートと該DAF一体型ダイシングテープとを分離する剥離手段と、
剥離された該DAF一体型ダイシングテープを該環状フレームと該環状フレームの開口中央に配設されたウエーハの裏面に押圧して貼着する押圧手段とを具備し、
該剥離手段と該押圧手段は一体的に貼着ユニットとして構成され、該保持テーブルと該貼着ユニットは水平方向に相対的に移動可能に構成され、
該剥離手段は、該テープ体を横断して該巻き取りロール側に配設され、送り出された該テープ体を該剥離シート側から押圧して該剥離シートを該巻き取りロール側に折り返し、該DAF一体型ダイシングテープを該剥離シートから剥離するピールプレートと、該テープ体を挟んで該ピールプレートと対向し、該DAF一体型ダイシングテープの側から該テープ体に冷風を送り該テープ体を冷却する冷却手段とを含み、
該冷却手段は、該テープ体を横断して配設され該テープ体に対向してスリット又は複数の孔が形成された管状部材と、該管状部材に接続された冷風発生装置とを含み、該管状部材中に送風された冷風が該テープ体に向かって噴出するように構成されていることを特徴とするテープ貼着装置。 - 前記保持テーブルの保持面の温度は60℃以上200℃以下であり、前記冷却手段の冷風は該テープ体を34℃以下の温度に冷却する請求項1記載のテープ貼着装置。
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