JP5335658B2 - ヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスク装置用ヘッドサスペンションに関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢を背景として、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の分野では、マイクロアクチュエータの要請が高い。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。

前記特許文献１に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれる。この方式では、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加えて、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる圧電素子を採用している。

この圧電素子は、ロードビームの先端側を、サスペンションにおける幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。同方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、圧電素子への給電をいかにして行うか、が問題となる。

かかる問題を解決するためのアプローチのひとつとして、圧電素子へ給電するための一対の配線を設け、一方の配線をベース側電極にワイヤーボンディング接続し、他方の配線を圧電素子の上面側電極にワイヤーボンディング接続する構成のヘッドサスペンションが開示されている（例えば、特許文献２の図９及び図１０参照）。

しかしながら、特許文献２に係るワイヤーボンディング接続技術では、接合強度を確保しつつワイヤーボンディング処理を施そうとすると、圧電素子に対して局所的な応力が加わる。すると、圧電素子に割れが生じてしまうおそれがある。割れが生じないように加減してワイヤーボンディング処理を施した場合には、接合強度を稼げない。すると、電気的接続に係る信頼性を損なうおそれがある。

要するに、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高い信頼性を維持した状態で、圧電素子への配線接続作業を遂行することは困難であった。

特開２００２−５０１４０号公報 特開２００３−６１３７１号公報

解決しようとする問題点は、従来技術では、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高い信頼性を維持した状態で遂行することは困難であった点である。

圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高い信頼性を維持した状態で遂行可能なヘッドサスペンションを得ること目的として、本発明に係るヘッドサスペンションは、導電性基材層、電気絶縁層、及び配線層を順次積層した配線部材により給電し、給電状態に応じて変形して基部に対しロードビームをスウェイ方向へ駆動する圧電素子を備えたヘッドサスペンションであって、前記配線部材の配線層に設けられた配線側電極と、前記圧電素子に設けられた素子側電極と、前記配線部材の導電性基材層及び電気絶縁層を貫通し前記配線側電極を前記素子側電極に対して露出させる貫通孔と、前記配線側電極又は前記素子側電極の少なくとも一方に設けられて前記貫通孔から他方側の電極を臨む突出部と、を備え、前記突出部により前記配線側電極及び前記素子側電極を突き当てて導電性接着剤により接合した、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションでは、前記配線部材の配線層に設けられた配線側電極と、前記圧電素子に設けられた素子側電極と、前記配線部材の導電性基材層及び電気絶縁層を貫通し前記配線側電極を前記素子側電極に対して露出させる貫通孔と、前記配線側電極又は前記素子側電極の少なくとも一方に設けられて前記貫通孔から他方側の電極を臨む突出部と、を備え、前記突出部により前記配線側電極及び前記素子側電極を突き当てて導電性接着剤により接合したため、前記両電極間の突き当てと導電性接着剤による接合作用が相まって確実な導電性が得られると共に、前記圧電素子への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

図１は、実施例１に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図１（Ａ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションの各構成部材を裏面側から視た平面図、図１（Ｂ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図、図１（Ｃ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションのうち圧電素子周りを拡大して表面側から視た平面図である。 図２は、図１（Ｃ）に示す実施例１に係るヘッドサスペンションのＩＩ−ＩＩ線に沿う要部矢視断面図である。 図３（Ａ）は、実施例１に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図３（Ｂ）は、実施例１に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図３（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。 図４（Ａ）は、実施例２に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図４（Ｂ）は、実施例２に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図４（Ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿う矢視断面図である。 図５（Ａ）は、実施例３に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図５（Ｂ）は、実施例３に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図５（Ａ）のＶＢ−ＶＢ線に沿う矢視断面図である。 図６（Ａ）は、実施例４に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図６（Ｂ）は、実施例４に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図６（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿う矢視断面図である。 図７（Ａ）は、実施例５に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図、図７（Ｂ）は、実施例６に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図である。 図８（Ａ）は、実施例７に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図、図８（Ｂ）は、実施例８に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図である。 図９は、実施例７に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。 図１０は、実施例８に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。 図１１（Ａ）は、実施例３，５，７に係るヘッドサスペンションの製造工程のうち配線側電極にドーム形状の突出部をパンチにより曲げ成形する工程を概念的に示す説明図、図１１（Ｂ）は、実施例４，６，８に係るヘッドサスペンションの製造工程のうち配線側電極にドーム形状の突出部をパンチにより曲げ成形する工程を概念的に示す説明図である。 図１２は、図１１に示す曲げ成形工程を、配線部材がフレームに対して複数組み込まれた連鎖品の状態で遂行する様子を概念的に示す説明図である。 図１３（Ａ）は、実施例９に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図、図１３（Ｂ）は、実施例１０に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図である。 図１４は、実施例９に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。 図１５（Ａ）は、実施例１１に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図、図１５（Ｂ）は、実施例１２に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図である。 図１６（Ａ）は、実施例１３に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図、図１６（Ｂ）は、実施例１４に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す要部断面図である。 図１７は、実施例１４に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。 図１８は、実施例１５に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図１８（Ａ）は、実施例１５に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図１８（Ｂ）は、実施例１５に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図１８（Ａ）のＸＶＩＩＩＢ−ＸＶＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。

圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行可能にするといった目的を、貫通孔から他方側の電極を臨む突出部により配線側電極と素子側電極とを突き当てて導電性接着剤により接合する配線接続構造を採用することによって実現した。

以下、本発明の実施例に係るヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法について、いわゆるデュアル・アクチュエータ方式を用いたものを例示して、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、実施例１に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。
［実施例１に係るヘッドサスペンション］
図１は、実施例１に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図１（Ａ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションの各構成部材を裏面側から視た平面図、図１（Ｂ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図、図１（Ｃ）は、実施例１に係るヘッドサスペンションのうち圧電素子周りを拡大して表面側から視た平面図、図２は、図１（Ｃ）に示す実施例１に係るヘッドサスペンションのＩＩ−ＩＩ線に沿う要部矢視断面図、図３（Ａ）は、実施例１に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図３（Ｂ）は、実施例１に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図３（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。

なお、以下では、説明の便宜上、ヘッドサスペンションのうちベースプレートの側を基端側又は後側と呼び、ロードビームの側を前端側、先端側、又は前側と呼ぶ場合がある。また、ヘッドサスペンションのうち反ディスク側を表面側と呼び、ディスク側を裏面側と呼ぶ場合がある。さらに、本発明の説明で内側又は外側というときは、ヘッドサスペンションの中心軸に対して内外いずれかの側に向かう方向を意味する。そして、本発明で左側又は右側というときは、ヘッドサスペンションの中心軸に対して左右いずれかの側に向かう方向を意味する。

実施例１に係るヘッドサスペンション１０は、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示すように、ベースプレート１１ａと、圧電アクチュエータ１２と、ロードビーム１３ａと、受け部材１９ａとなどを備えている。

実施例１に係るヘッドサスペンション１０は、前記圧電アクチュエータ１２の構成要素である圧電セラミック素子（以下、“圧電素子”と省略する。）４０の変形に従って前記ロードビーム１３ａの先端側をスウェイ方向に微少移動可能に構成されている。

前記ベースプレート１１ａは、前記ロードビーム１３ａを弾性支持する役割を果たす。このベースプレート１１ａは、例えば板厚が１５０〜２００μｍ程度のばね性を有するステンレス製薄板からなる。

前記ベースプレート１１ａは、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、開口部２０及び略円形のボス孔２１を有する。このベースプレート１１ａは、本発明の”基部”に相当する部材であり、基端側基部１１ａ１、前端側基部１１ａ２、並びに前記基端側基部１１ａ１及び前端側基部１１ａ２の間を前記開口部２０の両外側部でそれぞれ連結する一対の基部連結部１１ａ３を一体に有する。

前記開口部２０は、図１（Ｃ）及び図２に示すように、矩形板状の圧電素子４０を収容する役割を果たす。この圧電素子４０は、給電状態に応じて変形する例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる。

前記ベースプレート１１ａの基端側基部１１ａ１は、ボイスコイルモータ（不図示）によって駆動されるアクチュエータアーム（不図示）の先端部に固定され、前記ボイスコイルモータによって旋回駆動される。前記基部連結部１１ａ３は、図１（Ａ）に示すように、前記開口部２０の両外側部から外側に向けて略Ｕ字形状にそれぞれ張り出している。この基部連結部１１ａ３によって、前記基端側基部１１ａ１に対して前記前端側基部１１ａ２は、図１（Ｂ）に示すように、前記スウェイ方向Ｘに撓み得るようになっている。

前記ロードビーム１３ａには、図１（Ｂ）に示すように、レーザスポット溶接等の適宜の固着手段によって、その裏面側にフレキシャ１５が接合固定される。このロードビーム１３ａは、前記フレキシャ１５の先端側に設けられる磁気ヘッドスライダ１６に負荷荷重を与える役割を果たす。前記ロードビーム１３ａは、例えば板厚が３０〜１５０μｍ程度のばね性を有するステンレス製薄板からなる。

前記フレキシャ１５は、本発明の“配線部材”に相当する部材であり、前記ロードビーム１３ａよりもさらに薄く精密なばね性を有するステンレス製薄板からなる。このフレキシャ１５は、図２に示すように、前記受け部材１９ａの側から、導電性基材層１５ａ、電気絶縁層１５ｂ、及び配線層１５ｃを順次積層させてなる。前記フレキシャ１５は、前記受け部材１９ａの所定箇所に、レーザスポット溶接等の適宜の固着手段によって接合固定される。

前記導電性基材層１５ａは、例えばステンレス等の金属製薄板からなる。前記電気絶縁層１５ｂは、例えばポリイミド樹脂等の電気絶縁性の良好な素材からなる。前記配線層１５ｃは、例えば銅やニッケル等の電気導電性の良好な素材からなる。この配線層１５ｃは、図２に示すように、前記圧電素子４０の電極７０，７１に対する給電並びに前記磁気ヘッドスライダ１６の読み取り及び書き込み信号を伝送する役割を果たす。

前記受け部材１９ａは、板厚が例えば２０〜５０μｍ程度のばね性を有するステンレス製薄板からなる。

前記受け部材１９ａは、図１（Ａ）に示すように、基端側受け部１９ａ１と、前端側受け部１９ａ２と、前記基端側及び前端側の両受け部間１９ａ１，１９ａ２間を前記圧電素子４０の両外側部でそれぞれ連結する一対の受け部連結部１９ａ３とを一体に有する。この受け部材１９ａには、図１（Ａ）に示すように、前記ベースプレート１１ａの開口部２０と対応する位置に、該開口部２０よりも小さい開口部２２が開設されている。

前記受け部材１９ａの基端側受け部１９ａ１は、前記ベースプレート１１ａの基端側基部１１ａ１の一部に対応する位置及び形状に形成され、この基端側基部１１ａ１の一部に対し、レーザスポット溶接等の適宜の固着手段によって、その裏面側から重ね合わせて接合固定される。

前記受け部材１９ａの前端側受け部１９ａ２は、前記ベースプレート１１ａの前端側基部１１ａ２と対応する位置及び形状に形成され、この前端側基部１１ａ２に対し、レーザスポット溶接等の適宜の固着手段によって、その裏面側から重ね合わせて接合固定される。前記前端側基部１１ａ２には、前記ロードビーム１３ａの基端側が、レーザスポット溶接等の適宜の固着手段によって、その裏面側から重ね合わせて接合固定される。

前記受け部材１９ａの受け部連結部１９ａ３は、前記圧電素子４０の両外側部から外側に向けて略Ｕ字形状にそれぞれ張り出している。この受け部連結部１９ａ３によって、前記基端側受け部１９ａ１に対して前記前端側受け部１９ａ２は、前記スウェイ方向Ｘ（図１（Ｂ）参照）に撓み得るようになっている。

前記受け部連結部１９ａ３は、前記ベースプレート１１ａの基部連結部１１ａ３と比べて僅かに内側寄りに配設されている。要するに、本実施例１では、前記受け部連結部１９ａ３は、前記基部連結部１１ａ３に対して相互に重ならないように配設されている。

前記圧電アクチュエータ１２は、前記圧電素子４０の表裏両面それぞれに後述の電極７０，７１を形成してなる。この圧電アクチュエータ１２は、例えば、０．０７〜０．２０ｍｍ程度の厚さを有する。

前記圧電素子４０は、図１（Ｃ）及び図２に示すように、対向する一対の表面側及び裏面側電極形成面５０，５１と、前後方向の両端面５２，５３と、左右方向の両側面５４，５５とを有する。

前記圧電素子４０は、前記開口部２０に対して埋め込み式に実装されている。ここで、埋め込み式とは、図２に示すように、前記圧電素子４０が前記開口部２０の所定位置に収容された状態において、前記圧電素子４０の表面側電極７０が、前記ベースプレート１１ａの表面１１ｄと比べて同等または低位に位置することによって、外観上、前記圧電素子４０が前記開口部２０に埋め込まれているように見える状態をいう。

前記圧電素子４０の両端面５２，５３は、図２に示すように、該圧電素子４０が前記開口部２０の所定位置に収容された状態において、該開口部２０の前後方向両端の内側面６０，６１に対し、所定のクリアランスを隔てて相互に対向位置している。また、前記圧電素子４０の両側面５４，５５は、図２に示すように、前記基端側基部１１ａ１及び前端側基部１１ａ２の各側壁部６２，６３に対し、所定のクリアランスを隔てて相互に対向位置している。

前記圧電素子４０の表面側及び裏面側電極形成面５０，５１には、図２に示すように、良好な電気伝導性を有する金（Ａｕ）等の材料からなる表面側及び裏面側電極７０，７１が、その全面に渡ってそれぞれ形成されている。これらの電極７０，７１は、蒸着、スパッタリング又はメッキ等によって形成することができる。

前記圧電素子４０の基端部４０ａは、図２に示すように、前記基端側受け部１９ａ１に対向位置している。一方、前記圧電素子４０の前端部４０ｂは、図２に示すように、前記前端側受け部１９ａ２に対向位置している。

これにより、前記開口部２０の内周側面における基端側及び前端側６０，６１には、図２に示すように、前記開口部２０から一部を臨み得るようにせり出して前記圧電素子４０の裏面側電極７１を受ける基端側及び前端側受け部１９ａ１，１９ａ２がそれぞれ形成されている。

前記圧電素子４０の基端部４０ａは、図２に示すように、前記基端側受け部１９ａ１に、非導電性接着剤８０を介して接着固定される。前記圧電素子４０の前端部４０ｂは、図２に示すように、前記前端側受け部１９ａ２に、非導電性接着剤８０を介して接着固定される。

前記非導電性接着剤８０としては、公知の非導電性接着剤、及び公知の導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等のフィラー粒子を含有させたものなどを用いることができる。

要するに、前記圧電素子４０の裏面側電極７１と、前記基端側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２との間には、図２に示すように、適宜の厚みを有する非導電性接着剤８０が層状に介在している。

前記非導電性接着剤８０の層は、その厚みを１０μｍ以上とするのが好ましい。この程度の厚みを有する電気絶縁層であれば、前記裏面側電極７１と、前記基端側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２との間の電気絶縁性を確実に担保することができることに基づく。

また、前記圧電素子４０の外周端面５２，５３，５４，５５と、前記開口部２０の内周側面６０，６１，６２，６３との各間に空けられたクリアランスには、図１（Ｃ）及び図２に示すように、適宜の厚みを有する非導電性接着剤８０が層状に介在している。

前記圧電素子４０の外側周端面５４，５５と、前記開口部２０の左右両内側面６２，６３との各間に充填される非導電性接着剤８０を受けるために、図１（Ｃ）及び図２に示すように、前記受け部材１９ａのうち、前記圧電素子４０の外側周端面５４，５５に対応する部分には、基端側及び前端側のそれぞれに接着剤受け部２３，２４が設けられている。これら基端側及び前端側の各接着剤受け部２３，２４は、前記圧電素子４０の外側周端面５４，５５に沿って突出形成されている。前記接着剤受け部２３，２４は、僅かな間隙を隔てて対向するように配設されている。

要するに、前記圧電素子４０の外周端面５２，５３，５４，５５と、前記開口部２０の内周側面６０，６１，６２，６３との各間に非導電性接着剤８０が層状に介在することによって、該圧電素子４０の歪み（変位）を前記ロードビーム１３ａに的確に伝達すると共に、表面側又は裏面側電極７０，７１と、前記開口部２０の内周側面６０，６１，６２，６３との各間における電気絶縁性を確実に担保することができるようになっている。
［実施例１に係る圧電アクチュエータの配線接続構造］
次に、実施例１に係る圧電アクチュエータ１２の配線接続構造及びその作用効果について説明する。

実施例１に係る圧電素子（ＰＺＴ）４０の前記開口部２０に対する組み付け時において、該圧電素子４０は、前記開口部２０の内周側面６０，６１，６２，６３に規制されて所定の位置に位置決めされる。

前記組み付け時において、前記圧電素子４０の表面側電極７０は、図２に示すように、銀ペースト７２等の導電性接着部材を介して前記ベースプレート１１ａに接地される。

これに対し、前記組み付け時において、本発明の“素子側電極”に相当する前記裏面側電極７１は、図２に示すように、前記フレキシャ（配線部材）１５と相互に対向するように位置する。これら両者７１，１５の隙間は、数１０μｍ程度とごく僅かである。

前記両者７１，１５の隙間を埋めて両者間の電気的な接続関係を確保するために、前記フレキシャ（配線部材）１５には、図２に示すように、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂをそれぞれ貫通する略円形状の貫通孔７３が設けられている。この貫通孔７３を通して前記圧電素子４０の側から臨む前記配線層１５ｃには、図２に示すように、配線側電極７５が設けられている。従って、前記貫通孔７３は、前記配線層１５ｃの配線側電極７５を前記圧電素子４０の裏面側電極（素子側電極）７１に対して露出させるように構成されている。

前記配線側電極７５は、例えば銅やニッケル等の電気導電性の良好な金属素材からなる。前記配線側電極７５は、図２に示すように、前記裏面側電極７１を指向して突出する突出部７７−１を有する。本実施例１では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。前記突出部７７−１は、図２、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、ドーム形状に形成され、その頂部７７−１ａが前記裏面側電極７１に突き当てられている。前記頂部７７−１ａの周囲には、導電性接着剤７９が設けられている。

要するに、本実施例１に係る圧電アクチュエータの配線接続構造では、図２、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、前記突出部７７−１により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

実施例１に係る配線接続構造を採用した圧電アクチュエータ１２では、所定の給電電圧が印加されると、前記圧電素子４０の左右方向における一側が前後方向に収縮する一方、他側が前後方向に伸長することで、全体として略台形形状に歪む。

これにより、前記圧電素子４０の歪み方向及び変位ストロークに応じて、前記ベースプレート１１ａに対して前記ロードビーム１３ａの先端側がスウェイ方向Ｘ（図１（Ｂ）参照）に移動するように動作する。
［実施例１の効果］
実施例１に係るヘッドサスペンションでは、前記配線側電極７５に、前記貫通孔７３から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨む突出部７７−１を設け、前記突出部７７−１により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合したため、前記突き当てと導電性接着剤７９による接合作用が相まって、前記両電極７１，７５間の確実な導電性が得られると共に、前記圧電素子４０への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子４０に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、実施例１に係るヘッドサスペンションによれば、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

また、前記導電性接着剤７９の硬化に伴うシュリンク（サイズ縮小）作用によって、前記両電極７１，７５間の接合強度のさらなる強化を期待することができる。

前記受け部連結部１９ａ３の略Ｕ字状梁連結構造を採用することによって、前記基部側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２間の連結を行っているため、ひとつの圧電素子４０を有する圧電アクチュエータ１２を組み込む場合に、前記受け部材１９ａと前記圧電素子４０とが緩衝することに起因する塵埃発生問題や、電極短絡問題を生じることがない。

さらに、前記基部連結部１１ａ３及び受け部連結部１９ａ３は、相互に重ならないように配置されたため、圧電アクチュエータ１２のスウェイ動作時に、前記両者１１ａ３，１９ａ３が相互に緩衝することに起因する塵埃発生問題や騒音問題等を生じることがない。

しかも、前記受け部材１９ａを、ステンレス鋼材等の金属製薄板基材から、該当部位に化学的な腐食処理を施すことによって所定形状を切り出すエッチングによって製造する場合、前記受け部連結部１９ａ３を、設計に従う形状及び精度をもってつくり込むことができる。このため、前記受け部材１９ａのスウェイ方向のばね定数を、設計に従う精度をもって的確に設定することができる。

また、前記基端側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２と、前記基端側及び前端側の各接着剤受け部２３，２４等とを連係させて、前記圧電素子４０の外周端面を覆うように塗布される非導電性接着剤８０を受ける接着剤受け部を備えたため、前記圧電素子４０の外周端面を非導電性接着剤８０で覆うことができる。

このため、前記圧電素子４０の電極７０，７１と、前記開口部２０との間の電気絶縁性を確実に担保しながら、該圧電素子４０の端面からの塵埃発生を未然に防止することができる。

さらに、前記接着剤受け部２３，２４は、前記圧電素子４０の裏面側電極７１及び外周端面と、前記基端側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２のうち前記裏面側電極７１に対向する底壁部と、前記外周端面に対向する前記開口部２０の側壁部とで区画される接着剤充填空間からなり、前記圧電素子４０は、前記接着剤充填空間に前記非導電性接着剤８０の層が介在することによって前記開口部２０に設けられたため、該圧電素子４０の歪み（変位）を前記ロードビーム１３ａに的確に伝達すると共に、表面側又は裏面側電極７０，７１と、前記開口部２０の内周側面６０，６１，６２，６３との各間における電気絶縁性を確実に担保することができる。しかも、脆く壊れやすい圧電素子４０を前記非導電性接着剤８０の層で覆うことによって、該圧電素子を効果的に保護することができる。

そして、前記接着剤受け部２３，２４は、前記圧電素子４０の両外側部において基端側及び前端側の間に間隙を有するため、前記基部側受け部１９ａ１に対する前記前端側受け部１９ａ２の、左右方向における動きの自由度を拘束することがない。このため、前記基部側及び前端側の各受け部１９ａ１，１９ａ２の各間で左右方向の可撓性を持たせることができる。

従って、実施例１に係るヘッドサスペンションによれば、圧電アクチュエータ１２による前記スウェイ方向Ｘの微少移動を、円滑かつ精度良く行わせることができる。
［実施例２に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例２に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図４は、実施例２に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図４（Ａ）は、実施例２に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図４（Ｂ）は、実施例２に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図４（Ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿う矢視断面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンションと、実施例２に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

なお、実施例１に係る構成部材のうち、例えば、突出部７７−１に対応する各実施例の突出部のバリエーションについては、上位符合”７７”の末尾にハイフン付きのアラビア数字を付して表現している。具体的には、実施例１に係る突出部７７−１に対応する実施例２の突出部には、符合”７７−２”を付して表現している。

このように、相互に異なる実施例間でハイフン付きのアラビア数字を相違させたのは、共通の機能を有する構成部材（例えば突出部など）がどの実施例に係るものかを容易に判別できることに基づく。

また、例えば、実施例１に係る突出部７７−１の頂部７７−１ａに対応する各実施例の突出部の頂部のバリエーションについては、各実施例に係る突出部の符合の末尾に記号”ａ”を付して表現している。具体的には、実施例１に係る突出部７７−１の頂部７７−１ａに対応する実施例２の突出部７７−２の頂部には、符合”７７−２ａ”を付して表現している。

前記のように、例えば、符合”７７−１”を有する構成部材（突出部）と、符合”７７−２”を有する構成部材（突出部）とは、上位符合が共通の場合は実質的に共通の部材であるから、以下では、その重複した説明を省略する。そして、両実施例１，２間の相違点に注目して説明する。

実施例１と実施例２との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンションでは、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１は、その頂部７７−１ａにのぞき孔を有していない。

これに対し、実施例２に係るヘッドサスペンションでは、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−２は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−２ａに有する点が、実施例１とは大きく相違している。

また、実施例１に係るヘッドサスペンションを製造するための製造方法では、前記導電性接着剤７９の塗布後に、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に対して組み付ける。

これに対し、実施例２に係るヘッドサスペンションを製造するための製造方法では、上記相違点に起因して、図４（Ｂ）に示すように、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に組み付けた後に、のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布する点が、実施例１の製造方法とは大きく相違している。この製造方法の相違について後述する。

なお、実施例２に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。この保護被膜８３としては、例えばポリイミド樹脂等を好適に採用することができる。これにより、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護可能に構成されている。

本実施例２では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例２では、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−２により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例２の効果］
実施例２に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１の効果に加えて、以下の効果を奏する。

前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に組み付けた後に、前記のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布することができる。従って、前記導電性接着剤７９を前記突出部７７−８の背面側から塗布可能となる点で、製造工程の簡素化を実現することができる。

前記配線側電極７５のうち、前記頂部７７−２ａとなる部位に前記のぞき孔８１を形成した後、前記突出部７７−２を、例えばパンチの押し当てによって加工成形する工程を採用した場合、前記のぞき孔８１が、前記配線側電極７５に係る素材の伸びを許容するように機能する。このため、前記突出部７７−２の加工形成工程を簡易かつ的確に遂行することができる。

また、実施例２に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有するため、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護することができる。
［実施例３に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例３に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図５は、実施例３に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図５（Ａ）は、実施例３に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図５（Ｂ）は、実施例３に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図５（Ａ）のＶＢ−ＶＢ線に沿う矢視断面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンションと、実施例３に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例１，３間の相違点に注目して説明する。

実施例１と実施例３との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンションでは、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち導電性基材層１５ａは、貫通孔７３の部位を除いて、前記裏面側電極７１と対向して位置する前記フレキシャ（配線部材）１５上の部位を覆っている。

これに対し、実施例３に係るヘッドサスペンションでは、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−３が設けられている点が、実施例１とは大きく相違している。

具体的には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａは、前記液止め部材８５−３の範囲を除き、エッチング処理によって除去されている。これにより、前記導電性基材層１５ａが除去された範囲では、前記電気絶縁層１５ｂが露出している。換言すれば、前記液止め部材８５−３は、前記エッチング処理時に、前記貫通孔７３の周辺における前記導電性基材層１５ａを残すことで形成されている。前記液止め部材８５−３は、塗布時には液状である導電性接着剤７９の拡散を防ぐ役割を果たす。

本実施例３では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例３では、図５（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−３により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例３の効果］
実施例３に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１の効果に加えて、以下の効果を奏する。

前記導電性接着剤７９は、塗布時には液状であり、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち前記裏面側電極（素子側電極）７１の側であって前記貫通孔７３の周囲に前記導電性接着剤７９の拡散を防ぐための液止め部材８５−３を設けたため、前記導電性接着剤７９の塗布時において、同接着剤液が前記貫通孔７３の周辺部位にわたり無節操に拡散するのを防ぐことができる。

このため、塗布した導電性接着剤液が毛細管現象によって前記周辺部位に回り込んで拡散し、接合を要しない部分まで硬化させる事態を可及的に防止することができる。

従って、前記事態に起因して生じる、サスペンションの剛性バランスが崩れて動的特性に悪影響を与えることを未然に抑止することができる。

また、前記液止め部材８５−３は、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなるため、該液止め部材８５−３を設けるために別部材を要しない。このため、部品点数が削減された簡素な工程をもって、所要のサスペンションを製造することができる。

しかも、前記液止め部材８５−３の存在によって無節操な導電性接着剤液の拡散が防止されているため、接着剤液を塗布する工程で量的な調整をラフに行うことができるといった副次的な効果を期待することができる。
［実施例４に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例４に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図６は、実施例４に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図６（Ａ）は、実施例４に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図６（Ｂ）は、実施例４に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図６（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿う矢視断面図である。

実施例２に係るヘッドサスペンションと、実施例４に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例２，４間の相違点に注目して説明する。

実施例２と実施例４との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例２に係るヘッドサスペンションでは、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち導電性基材層１５ａは、貫通孔７３の部位を除いて、前記裏面側電極７１と対向して位置する前記フレキシャ（配線部材）１５上の部位を覆っている。

これに対し、実施例４に係るヘッドサスペンションでは、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、実施例３と同様に、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−４が設けられている点が、実施例２とは大きく相違している。

前記液止め部材８５−４の周辺構成及び役割等については、前述した実施例３に係る液止め部材８５−３と共通のため、その重複した説明を省略する。

本実施例４では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例４では、図６（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−４により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例４の効果］
実施例４に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例２の効果に加えて、前述した実施例３と同様の効果を奏する。

すなわち、塗布した導電性接着剤液が毛細管現象によって前記貫通孔７３の周辺部位にわたり無節操に拡散し、接合を要しない部分まで硬化させる事態を可及的に防止することができる。従って、前記事態に起因して生じる、サスペンションの剛性バランスが崩れて動的特性に悪影響を与えることを未然に抑止することができる。

また、部品点数が削減された簡素な工程をもって、所要のサスペンションを製造することができる。

しかも、接着剤液を塗布する工程で量的な調整をラフに行うことができるといった副次的な効果を期待することができる。
［実施例５に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例５に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図７（Ａ）は、実施例５に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例３に係るヘッドサスペンションと、実施例５に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例３，５間の相違点に注目して説明する。

実施例３と実施例５との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例３に係るヘッドサスペンションでは、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記液止め部材８５−３の内周端縁は、前記圧電素子４０の側から視て、前記突出部７７−３の外周端縁よりも外側に位置している。

これに対し、実施例５に係るヘッドサスペンションでは、図７（Ａ）に示すように、液止め部材８５−５の内周端縁８５−５ａは、前記圧電素子４０の側から視て、突出部７７−５の外周端縁よりも内側に位置している。この相違点に起因して、実施例５に係る液止め部材８５−５の内周端縁８５−５ａは、前記配線側電極７５の側の突出部７７−５のドーム形状に沿って突出形成された点が、実施例３とは大きく相違している。

具体的には、実施例５に係る液止め部材８５−５の内周端縁８５−５ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁は、前記配線側電極７５の側の突出部７７−５のドーム形状が後述するパンチを用いて突出形成されるのと同時に、前記ドーム形状に沿って突出形成される。なお、前記液止め部材８５−５の内周端縁８５−５ａ又は前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁のうちいずれか一方が、前記ドーム形状に沿って突出形成される構成を採用してもよい。

本実施例５では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例５では、図７（Ａ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−５により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例５の効果］
実施例５に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１，３の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、前述の実施例３〜４において、例えば、前記配線側電極７５がめっき銅製の薄板からなる場合、前記突出部７７−３，７７−４を形成する際に、該配線側電極７５の素材が薄く軟弱であるため、該突出部のドーム形状が安定しないという問題が生じた。

これに対し、実施例５に係る液止め部材８５−５の内周端縁８５−５ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁は、前記配線側電極７５の側の突出部７７−５のドーム形状に沿って突出形成されたため、例えば、前記液止め部材８５−５（１５ａ）がステンレス製薄板等の強度の高い素材からなり、前記電気絶縁層１５ｂがポリイミド樹脂からなる場合、前記突出部７７−５のドーム形状の安定した起立を外周側から補助することができる。

また、前記配線側電極７５が純度の高い銅製薄板からなる場合、前記突出部７７−５はある程度の柔軟性を有する。このため、前記突出部７７−５の高さ寸法を公差分を考慮して高めに設定しておけば、該突出部７７−５が突き当てられる前記裏面側電極７１との間隙が前記公差の範囲でバラついた場合であっても、その柔軟性によって前記バラつきを吸収することができる。
［実施例６に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例６に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図７（Ｂ）は、実施例６に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例４に係るヘッドサスペンションと、実施例６に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例４，６間の相違点に注目して説明する。

実施例４と実施例６との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例４に係るヘッドサスペンションでは、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記液止め部材８５−４の内周端縁は、前記圧電素子４０の側から視て、前記突出部７７−４の外周端縁よりも外側に位置している。

これに対し、実施例６に係るヘッドサスペンションでは、図７（Ｂ）に示すように、前記液止め部材８５−６の内周端縁８５−６ａは、前記圧電素子４０の側から視て、突出部７７−６の外周端縁よりも内側に位置している。この相違点に起因して、実施例６に係る液止め部材８５−６の内周端縁８５−６ａは実施例５と同様に、前記配線側電極７５の側の突出部７７−５のドーム形状に沿って突出形成された点が、実施例４とは大きく相違している。

具体的には、実施例６に係る液止め部材８５―６の内周端縁８５―６ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁は、前記配線側電極７５の側の突出部７７−６のドーム形状が後述するパンチを用いて突出形成されると同時に、前記ドーム形状に沿って突出形成される。なお、前記液止め部材８５−６の内周端縁８５−６ａ又は前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁のうちいずれか一方が、前記ドーム形状に沿って突出形成される構成を採用してもよい。 本実施例６では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例６では、図７（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−６により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

［実施例６の効果］
実施例６に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例４の効果に加えて、実施例５と同様の効果を奏する。

すなわち、実施例６に係る液止め部材８５−６の内周端縁８５−６ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁は、前記配線側電極７５の側の突出部７７−６のドーム形状に沿って突出形成されたため、例えば、前記液止め部材８５−６（１５ａ）がステンレス製薄板等の強度の高い素材からなり、前記電気絶縁層１５ｂがポリイミド樹脂からなる場合、前記突出部７７−６のドーム形状の安定した起立を外周側から補助することができる。

また、前記配線側電極７５が純度の高い銅製薄板からなる場合、前記突出部７７−６はある程度の柔軟性を有する。このため、前記突出部７７−６の高さ寸法を公差分を考慮して高めに設定しておけば、該突出部７７−６が突き当てられる前記裏面側電極７１との間隙が前記公差の範囲でバラついた場合であっても、その柔軟性によって前記バラつきを吸収することができる。
［実施例７に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例７に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図８（Ａ）は、実施例７に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例５に係るヘッドサスペンションと、実施例７に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例５，７間の相違点に注目して説明する。

実施例５と実施例７との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例５に係るヘッドサスペンションでは、図７（Ａ）に示すように、前記突出部７７−５の頂部７７−５ａは、ドーム形状を維持した状態で前記裏面側電極７１に突き当てられている。

これに対し、実施例７に係るヘッドサスペンションでは、図８（Ａ）に示すように、突出部７７−７は、その頂部７７−７ａ周辺に突当部７７−７ａ１を有し、この突当部７７−７ａ１が前記裏面側電極７１に突き当てられている点が、実施例５とは大きく相違している。

前記突当部７７−７ａ１は、略円形状に形成されることによって、前記裏面側電極７１と配線側電極７５との接触面積を増大させる。

本実施例７では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例７では、図８（Ａ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−７により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例７の効果］
実施例７に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例５の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、実施例７に係る突出部７７−７は、その頂部７７−７ａ周辺に突当部７７−７ａ１を有し、この突当部７７−７ａ１が前記裏面側電極７１に突き当てられているため、前記裏面側電極７１と配線側電極７５との接触面積を増大させて、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、実施例７に係るヘッドサスペンションによれば、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。
［実施例８に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例８に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図８（Ｂ）は、実施例８に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例７に係るヘッドサスペンションと、実施例８に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例７，８間の相違点に注目して説明する。

実施例７と実施例８との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例７に係るヘッドサスペンションでは、図８（Ａ）に示すように、前記突出部７７−７は、その頂部７７−７ａにのぞき孔を有していない。

これに対し、実施例８に係るヘッドサスペンションでは、図８（Ｂ）に示すように、実施例８に係る突出部７７−８は、実施例２，４，６と同様に、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−８ａに有する点が、実施例７とは大きく相違している。

本実施例８では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、本実施例８では、図８（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−８により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例８の効果］
実施例８に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例６の効果に加えて、実施例７と同様の効果を奏する。

すなわち、実施例８に係るヘッドサスペンションによれば、簡素な工程をもって製造可能なヘッドサスペンションを得ると共に、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。
［第１のヘッドサスペンションの製造方法］
次に、第１のヘッドサスペンションの製造方法について、実施例７に係るヘッドサスペンションの製造例をあげて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図９は、実施例７に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図、図１１（Ａ）は、実施例３，５，７に係るヘッドサスペンションの製造工程のうち配線側電極にドーム形状の突出部をパンチにより曲げ成形する工程を概念的に示す説明図、図１２は、図１１に示す曲げ成形工程を、配線部材がフレームに対して複数組み込まれた連鎖品の状態で遂行する様子を概念的に示す説明図である。

第１のヘッドサスペンションの製造方法は、図９に示すように、貫通孔形成工程（ステップＳ１０１）と、突出部成形工程（ステップＳ１０２）と、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１０３）と、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１０４）と、接着剤硬化工程（ステップＳ１０５）とを含んで構成される。

ステップＳ１０１の貫通孔形成工程では、図９に示すように、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂを貫通する貫通孔７３を形成する。

前記貫通孔形成工程において、前記導電性基材層１５ａの貫通孔７３は、例えばエッチング等の適宜の手段によって形成することができる。また、前記電気絶縁層１５ｂの貫通孔７３は、前記フレキシャ（配線部材）１５のうち該電気絶縁層１５ｂの成形時に、前記貫通孔７３に対応する形状パターンのマスクを適用することによって形成することができる。前記貫通孔７３によって、前記配線側電極７５を前記裏面側電極（素子側電極）７１に対して露出させる。

ステップＳ１０２の突出部成形工程では、図９及び図１１（Ａ）に示すように、前記配線側電極７５の背面側からドーム形状の先端部９１ｂを有するパンチ９１を押し当てることによって該配線側電極７５にドーム形状の突出部７７−７を加工成形する。

前記パンチ加工成形を遂行するにあたっては、図１１（Ａ）に示すように、配線側電極７５の中心点７５ａに、前記パンチ９１の頂点９１ａを一致させる位置決めを行い、その後、前記パンチ９１を前記配線側電極７５の背面側から押し当てる動作を行わせるようにする。この加工成形の際に、パンチ９１の押し当て動作を背面側から受けるダイを用いてもよい。

実際には、前記突出部成形工程は、図１２に示すように、前記フレキシャ（配線部材）１５がフレーム９５に連鎖状に組み込まれた連鎖品の態様で遂行される。ただし、前記実施態様に代えて、個々のフレキシャ（配線部材）１５に対して各個別に突出部をパンチ加工成形してもよい。

前記突出部成形工程では、実施例７に係る液止め部材８５−７の内周端縁８５−７ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁を、前記突出部７７−７のドーム形状をパンチ加工成形するのと同時に、前記突出部７７−７のドーム形状に沿ってパンチ加工成形する。

ステップＳ１０３の導電性接着剤塗布工程では、図９に示すように、前記突出部７７−７の頂部７７−７ａの周辺にわたって前記導電性接着剤７９を塗布する。この接着剤塗布工程では、前記突出部７７−７の頂部７７−７ａの周辺に代えて、又は加えて、該突出部７７−７の頂部７７−７ａが突き当たる前記裏面側電極７１の該当部位に、前記導電性接着剤７９を塗布するようにしてもよい。

ステップＳ１０４のＰＺＴ組付け工程では、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に対して組み付ける。この組み付けに際し、前記突出部７７−７の高さ寸法を、対向する裏面側電極７１との間隙の寸法を超えるように大き目に設定してもよい。

仮に、実施例７に係る配線側電極７５が純度の高い銅製薄板からなる場合、前記突出部７７−７はある程度の柔軟性を有する。このため、前記突出部７７−７を前記裏面側電極７１に対して突き当てた場合であって、前記突出部７７−７の高さ寸法を大き目に設定した場合、該突出部７７−７の頂部７７−７ａ付近が撓んで押しつぶされることによって、図９に示すように、略円形状かつ平坦な突当部７７−７ａ１が出現する。

ここで、本発明で通常用いられる配線側電極７５は、比較的硬度の低い銅等の素材からなる。また、前記ステップＳ１０４のＰＺＴ組み付け時には、前記突出部７７−７と前記裏面側電極７１との間に硬化前の流動性を有する導電性接着剤７９が介在している。

従って、前記配線側電極７５の素材それ自体の柔軟性と、前記導電性接着剤７９の介在による緩衝作用が相まって、前記圧電素子４０に対する機械的衝撃はじゅうぶんに軽減される。その結果、前記突出部７７−７による突き当てを行ったとしても、前記圧電素子４０を損壊させることはない。

また、前記突当部７７−７ａ１は、略円形状かつ平坦に形成される。これは、前記裏面側電極７１と配線側電極７５との接触面積を増大させる。このため、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。

ステップＳ１０５の接着剤硬化工程では、ステップＳ１０４のＰＺＴ組付け工程後のヘッドサスペンションに対し、加熱や紫外線照射等のエネルギーを所定時間与えることによって、前記導電性接着剤７９の硬化を促進させる。この接着剤硬化工程を経て、前記フレキシャ（配線部材）１５に対する圧電素子（ＰＺＴ）４０の組付けが完了する。
［第１のヘッドサスペンション製造方法の効果］
第１のヘッドサスペンション製造方法によれば、下記の効果を奏する。

すなわち、前記配線側電極７５に、前記貫通孔７３から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨む突出部７７−７を成形し、該突出部７７−１により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合したため、前記突き当てと導電性接着剤７９による接合作用が相まって、前記両電極７１，７５間の確実な導電性が得られると共に、前記圧電素子４０への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子４０に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、第１のヘッドサスペンション製造方法によれば、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

また、前記導電性接着剤７９の硬化に伴うシュリンク（サイズ縮小）作用によって、前記両電極７１，７５間の接合強度のさらなる強化を期待することができる。

ところで、例えば、前記配線側電極７５がめっき銅製の薄板からなる場合、該配線側電極７５の素材が薄く軟弱であるため、前記突出部７７−７を成形する際、該突出部７７−７のドーム形状が安定しないおそれがある。

そこで、ステップＳ１０２の突出部成形工程では、実施例７に係る液止め部材８５−７の内周端縁８５−７ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁を、前記突出部７７−７のドーム形状をパンチ加工成形するのと同時に、前記突出部７７−７のドーム形状に沿ってパンチ加工成形する構成を採用したため、例えば、前記液止め部材８５−７（１５ａ）がステンレス製薄板等の強度の高い素材からなり、前記電気絶縁層１５ｂがポリイミド樹脂からなる場合、前記突出部７７−７のドーム形状の安定した起立を外周側から補助することができる。
［第２のヘッドサスペンション製造方法］
次に、第２のヘッドサスペンション製造方法について、実施例８に係るヘッドサスペンションの製造例をあげて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１０は、実施例８に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図、図１１（Ｂ）は、実施例４，５，８に係るヘッドサスペンションの製造工程のうち配線側電極にドーム形状の突出部をパンチにより曲げ成形する工程を概念的に示す説明図である。

第１のヘッドサスペンション製造方法と、第２のヘッドサスペンション製造方法とは、各工程の進行順序を除いて基本的な製造工程がほぼ共通している。このため、共通する個別の各工程については、重複した説明を省略する場合がある。両者間の相違点に注目して説明を進める。

第１のヘッドサスペンション製造方法と、第２のヘッドサスペンション製造方法との相違点は次の通りである。

すなわち、第１のヘッドサスペンション製造方法では、図９に示すように、貫通孔形成工程（ステップＳ１０１）と、突出部成形工程（ステップＳ１０２）と、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１０３）と、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１０４）と、接着剤硬化工程（ステップＳ１０５）とを含み、前記の順序に従って製造工程が進行する。

これに対し、第２のヘッドサスペンション製造方法では、図１０に示すように、貫通孔形成工程（ステップＳ１１１）と、突出部成形工程（ステップＳ１１２）と、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１１３）と、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１１４）と、接着剤硬化工程（ステップＳ１１５）とを含み、前記の順序に従って製造工程が進行する。

要するに、第２のヘッドサスペンション製造方法では、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１１３）の後に、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１１４）が行われる点が、第１のヘッドサスペンション製造方法とは大きく相違している。

具体的には、ステップＳ１１１の貫通孔形成工程では、図１０に示すように、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂを貫通する貫通孔７３を形成する。これと同時に、前記配線側電極７５のうち、前記頂部７７−８ａとなる部位に、前記配線層１５ｃを貫通するのぞき孔８１を形成する。

前記貫通孔形成工程において、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂの各貫通孔７３は、第１のヘッドサスペンション製造方法と同様の手段によって形成することができる。また、前記配線層１５ｃを貫通するのぞき孔８１は、例えばエッチング又はパンチ孔加工等の適宜の手段によって形成することができる。

ステップＳ１１２の突出部成形工程では、図１０及び図１１（Ｂ）に示すように、前記のぞき孔８１を有する配線側電極７５の背面側からドーム形状の先端部９１ｂを有するパンチ９１を押し当てることによって該配線側電極７５にドーム形状の突出部７７−８を加工成形する。

このように、前記配線側電極７５のうち、前記頂部７７−８ａとなる部位に前記のぞき孔８１を形成した後、前記突出部７７−８をパンチ加工成形する工程を採用したため、前記のぞき孔８１が、前記配線側電極７５に係る素材の伸びを許容するように機能する。従って、前記突出部７７−８の加工形成工程を簡易かつ的確に遂行することができる。

前記パンチ加工成形を遂行するにあたっては、図１１（Ｂ）に示すように、配線側電極７５の中心点７５ａに、前記パンチ９１の頂点９１ａを一致させる位置決めを行い、その後、前記パンチ９１を前記配線側電極７５の背面側から押し当てる動作を行わせるようにする。この加工成形の際に、パンチ９１の押し当て動作を背面側から受けるダイを用いてもよい。

前記突出部成形工程では、突出部のパンチ加工成形は、第１のヘッドサスペンション製造方法と同様に、連鎖品の態様で遂行してもよいし、個々のフレキシャ（配線部材）１５に対して各個別に遂行してもよい。

前記突出部成形工程では、実施例８に係る液止め部材８５−８の内周端縁８５−８ａ及び前記電気絶縁層１５ｂの内周端縁を、前記突出部７７−８のドーム形状をパンチ加工成形するのと同時に、前記突出部７７−８のドーム形状に沿ってパンチ加工成形する。

ステップＳ１１３のＰＺＴ組付け工程では、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に対して組み付ける。この組み付けに際し、前記突出部７７−８の高さ寸法を、対向する裏面側電極７１との間隙の寸法を超えるように大き目に設定してもよい。この点は、第１のヘッドサスペンション製造方法と同様である。

仮に、実施例８に係る配線側電極７５が純度の高い銅製薄板からなる場合、前記突出部７７−８はある程度の柔軟性を有する。このため、前記突出部７７−８を前記裏面側電極７１に対して突き当てた場合であって、前記突出部７７−８の高さ寸法を大き目に設定した場合、該突出部７７−８の頂部７７−８ａ付近が撓んで押しつぶされることによって、図１０に示すように、略円形状かつ平坦な突当部７７−８ａ１が出現する。

ここで、本発明で通常用いられる配線側電極７５は、比較的硬度の低い銅等の素材からなる。前記配線側電極７５の素材それ自体の柔軟性によって、前記圧電素子４０に対する機械的衝撃はじゅうぶんに軽減される。その結果、前記突出部７７−８による突き当てを行ったとしても、前記圧電素子４０を損壊させることはない。

また、前記突当部７７−８ａ１は、略円形状かつ平坦に形成される。これは、前記裏面側電極７１と配線側電極７５との接触面積を増大させる。このため、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。

ステップＳ１１４の導電性接着剤塗布工程では、図１０に示すように、前記ＰＺＴ組付け工程後に、前記のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布する。

ステップＳ１１５の接着剤硬化工程では、ステップＳ１１４の導電性接着剤塗布工程後のヘッドサスペンションに対し、加熱や紫外線照射等のエネルギーを所定時間与えることによって、前記導電性接着剤７９の硬化を促進させる。この接着剤硬化工程を経て、前記フレキシャ（配線部材）１５に対する圧電素子（ＰＺＴ）４０の組付けが完了する。

なお、上記実施例では、ＰＺＴ組付け工程後に、導電性接着剤塗布工程を行う例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、ＰＺＴ組付け工程の前に、前記突出部７７−８の頂部７７−８ａの周辺にわたって前記導電性接着剤７９を塗布する構成を採用してもよい。この場合、前記突出部７７−８の頂部７７−８ａの周辺に代えて、又は加えて、該突出部７７−８の頂部７７−８ａが突き当たる前記裏面側電極７１の該当部位に、前記導電性接着剤７９を塗布する構成を採用してもよい。
［第２のヘッドサスペンション製造方法の効果］
第２のヘッドサスペンション製造方法によれば、第１のヘッドサスペンション製造方法の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、前記配線側電極７５のうち、前記頂部７７−８ａとなる部位に前記のぞき孔８１を形成した後、前記突出部７７−８をパンチ加工成形する工程を採用したため、前記のぞき孔８１が、前記配線側電極７５に係る素材の伸びを許容するように機能する。従って、前記突出部７７−２の加工形成工程を簡易かつ的確に遂行することができる。

ステップＳ１１４の導電性接着剤塗布工程では、前記ＰＺＴ組付け工程後に、前記のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布する構成を採用したため、前記導電性接着剤７９を前記突出部７７−８の背面側から塗布可能となる点で、製造工程の簡素化を実現することができる。
［実施例９に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例９に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１３（Ａ）は、実施例９に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンションと、実施例９に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例１と実施例９との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンションでは、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側に、前記貫通孔７３から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨む突出部７７−１が設けられている。これは、実施例１〜８に係るヘッドサスペンションにおいて共通する。

これに対し、実施例９に係るヘッドサスペンションでは、図１３（Ａ）に示すように、前記圧電素子４０の側に、前記貫通孔７３から前記配線側電極（他方側の電極）７５を臨む突出部１０１−９が設けられている点が、実施例１〜８とは大きく相違している。

具体的には、前記圧電素子４０には、ドーム形状の膨出部１０３が形成されている。この膨出部１０３を形成するための圧電素子の成形方法については後述する。前記裏面側電極７１は、前記圧電素子４０の裏面側を均一の厚みで覆うように設けられている。このため、前記裏面側電極７１は、外観上、前記膨出部１０３のドーム形状に沿って盛り上がる***部７１ａを有する。

従って、前記圧電素子４０の膨出部１０３と、前記裏面側電極７１の***部７１ａとによって、前記突出部１０１−９が構成されている。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−９の頂部７７−９ａと、前記圧電素子４０の側の突出部１０１−９の頂部１２１−１３ａとは、相互に重なるように位置決めされている。

本実施例９では、前記配線側電極７５が、本発明の“他方側の電極”に相当する。前記配線側電極７５は、平坦に形成されて突出部を有していない。

前記突出部１０１−９は、図１３（Ａ）に示すように、その頂部１０１−９ａが前記配線側電極７５に突き当てられている。前記頂部１０１−９ａの周囲には、導電性接着剤７９が設けられている。

要するに、本実施例９に係る圧電アクチュエータの配線接続構造では、図１３（Ａ）に示すように、前記突出部１０１−９により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例９の効果］
実施例９に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１の効果と同様の効果を奏する。

すなわち、実施例９に係るヘッドサスペンションでは、前記裏面側電極（素子側電極）７１に、前記貫通孔７３から前記配線側電極（他方側の電極）７５を臨む突出部１０１−９を設け、前記突出部１０１−９により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合したため、前記突き当てと導電性接着剤７９による接合作用が相まって、前記両電極７１，７５間の確実な導電性が得られると共に、前記圧電素子４０への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子４０に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、実施例９に係るヘッドサスペンションによれば、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

また、前記導電性接着剤７９の硬化に伴うシュリンク（サイズ縮小）作用によって、前記両電極７１，７５間の接合強度のさらなる強化を期待することができる。
［実施例１０に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１０に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１３（Ｂ）は、実施例１０に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例９に係るヘッドサスペンションと、実施例１０に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例９と実施例１０との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例９に係るヘッドサスペンションでは、図１３（Ａ）に示すように、前記圧電素子４０の側に、前記貫通孔７３から前記配線側電極（他方側の電極）７５を臨む突出部１０１−９が設けられている。

これに対し、実施例１０に係るヘッドサスペンションでは、図１３（Ｂ）に示すように、前記圧電素子４０の側に、前記貫通孔７３から前記配線側電極（他方側の電極）７５を臨む突出部１０１−１０が設けられると共に、前記配線側電極７５の側にも、前記貫通孔７３から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨む突出部７７−１０が設けられている。つまり、前記圧電素子４０及び前記配線側電極７５の側の両者に、突出部１０１−１０，７７−１０がそれぞれ設けられている点が、実施例９とは大きく相違している。

すなわち、実施例１０に係る配線接続構造では、図１３（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１０は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−１０ａに有する。

一方、実施例１０に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１０は、前記圧電素子４０の膨出部１０３と、前記裏面側電極７１の***部７１ａとによって構成されている。

実施例１０に係るフレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−１０が設けられている。この液止め部材８５−１０の製法及び機能等は、実施例３と同様である。

本実施例１０では、前記裏面側電極７１及び前記配線側電極７５の両者が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、実施例１０では、図１３（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１０及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１０を連係させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−１０に設けられたのぞき孔８１には、前記両電極７１，７５同士が突き当てられた状態で、前記導電性接着剤７９が埋め込まれる。これにより、前記両電極７１，７５間が接合されている。

なお、実施例１０に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。これにより、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護可能に構成されている。
［実施例１０の効果］
実施例１０に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例９の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、実施例１０に係るヘッドサスペンションでは、前記配線側電極７５の側の突出部７７−４及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１０を連係させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合する構成を採用したため、前記両電極７１，７５間の隙間寸法が大きい場合であっても、当該両電極７１，７５間の配線接続を的確に具現化することができる。
［第３のヘッドサスペンション製造方法］
次に、第３のヘッドサスペンション製造方法について、実施例９に係るヘッドサスペンションの製造例をあげて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１４は、実施例９に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。

第１のヘッドサスペンション製造方法と、第３のヘッドサスペンション製造方法とは、各工程の進行順序を除いて基本的な製造工程がほぼ共通している。このため、共通する個別の各工程については、重複した説明を省略する場合がある。両者間の相違点に注目して説明を進める。

第１のヘッドサスペンション製造方法と、第３のヘッドサスペンション製造方法との相違点は次の通りである。

すなわち、第１のヘッドサスペンション製造方法では、図９に示すように、貫通孔形成工程（ステップＳ１０１）と、突出部成形工程（ステップＳ１０２）と、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１０３）と、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１０４）と、接着剤硬化工程（ステップＳ１０５）とを含み、前記の順序に従って製造工程が進行する。

これに対し、第３のヘッドサスペンション製造方法では、図１４に示すように、貫通孔形成工程（ステップＳ１２１）と、圧電素子成形工程（ステップＳ１２２）と、導電性接着剤塗布工程（ステップＳ１２３）と、ＰＺＴ組付け工程（ステップＳ１２４）と、接着剤硬化工程（ステップＳ１２５）とを含み、前記の順序に従って製造工程が進行する。

要するに、第３のヘッドサスペンション製造方法では、突出部成形工程（ステップＳ１０２）の一実施態様である圧電素子の外形形状を成形する圧電素子成形工程（ステップＳ１２２）を採用している点が、第１のヘッドサスペンション製造方法とは大きく相違している。

具体的には、ステップＳ１２１の貫通孔形成工程では、図１４に示すように、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂを貫通する貫通孔７３を形成する。

前記貫通孔形成工程において、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂの各貫通孔７３は、第１のヘッドサスペンション製造方法と同様の手段によって形成することができる。

ステップＳ１２２の圧電素子成形工程では、図１４に示すように、組み付け時に前記配線側電極７５と対応する位置にドーム形状の凹部１１１を有する焼結治具１１３を用いて圧電セラミック素子を焼結成形する。これにより、前記焼結治具１１３の凹部形状に従うドーム形状の膨出部１０３を前記圧電素子４０に成形することができる。

前記焼結治具１１３は、下側治具１１３ａと上側治具１１３ｂとを最中合わせにして構成される。前記凹部１１１は、前記上側治具１１３ｂの内側壁に形成されている。

前記焼結成形後の圧電素子４０には、前記膨出部１０３を含む裏面側の裏面側電極形成面５１を均一の厚みで覆うように裏面側電極７１が形成される。また、前記圧電素子４０の表面側にも電極７０（図２参照）が形成される。これにより、圧電アクチュエータ１２が構成される。前記各電極７０，７１の形成は、例えば蒸着やスパッタリング等の適宜の手段を採用すればよい。

ステップＳ１２３の導電性接着剤塗布工程では、図１４に示すように、前記突出部１０１−９の頂部１０１−９ａ付近にわたって前記導電性接着剤７９を塗布する。

ステップＳ１２４のＰＺＴ組付け工程では、図１４に示すように、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に対して組み付ける。この組付けにあたり、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４の頂部７７−１４ａと、前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４の頂部１２１−１３ａとを、相互に重なるように位置決めする。

すると、前記突出部１０１−９は、図１３（Ａ）及び図１４に示すように、その頂部１０１−９ａが前記配線側電極７５に突き当てられて、前記両電極７１，７５間が機械的に接合される。

ステップＳ１２５の接着剤硬化工程では、ステップＳ１２４のＰＺＴ組付け工程後のヘッドサスペンションに対し、加熱や紫外線照射等のエネルギーを所定時間与えることによって、前記導電性接着剤７９の硬化を促進させる。この接着剤硬化工程を経て、前記フレキシャ（配線部材）１５に対する圧電素子（ＰＺＴ）４０の組付けが完了する。
［第３のヘッドサスペンション製造方法の効果］
第３のヘッドサスペンション製造方法によれば、第１のヘッドサスペンション製造方法の効果と同様の効果を奏する。

すなわち、前記焼結治具１１３の凹部形状に従うドーム形状の膨出部１０３を前記圧電素子４０に成形し、前記圧電素子４０の膨出部１０３と、前記裏面側電極７１の***部７１ａとによって、前記突出部１０１−９を構成し、該突出部１０１−９により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合したため、前記突き当てと導電性接着剤７９による接合作用が相まって、前記両電極７１，７５間の確実な導電性が得られると共に、前記圧電素子４０への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子４０に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、第３のヘッドサスペンション製造方法によれば、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

また、前記導電性接着剤７９の硬化に伴うシュリンク（サイズ縮小）作用によって、前記両電極７１，７５間の接合強度のさらなる強化を期待することができる。
［実施例１１に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１１に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１５（Ａ）は、実施例１１に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例９に係るヘッドサスペンションと、実施例１１に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例９と実施例１１との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例９に係るヘッドサスペンションでは、図１３（Ａ）に示すように、実施例９に係る圧電素子４０の側に、前記貫通孔７３から前記配線側電極（他方側の電極）７５を臨む突出部１０１−９が設けられている。この突出部１０１−９は、前記圧電素子４０の膨出部１０３と、前記裏面側電極７１の***部７１ａとによって構成されている。

これに対し、実施例１１に係るヘッドサスペンションでは、図１５（Ａ）に示すように、実施例１１に係る突出部１０１−１１は、前記圧電素子４０の裏面側電極（素子側電極）７１のうち、前記配線側電極７５と対向する位置の電極素材を増肉することによって形成されている点が、実施例９とは大きく相違している。

具体的には、前記圧電素子４０の裏面側電極形成面５１は平坦であり、膨出部は形成されていない。この裏面側電極形成面５１に積層させて、前記配線側電極７５と対向する位置の電極素材を増肉したドーム形状の増肉部７５ｂが形成されている。この増肉部７５ｂは、例えば、電極素材を該当部位に厚塗り若しくは繰り返し重ねて塗布するか、又は該当部位に対して電極素材の蒸着を繰り返し行う等によって形成することができる。

従って、前記圧電素子４０の裏面側電極７１のうち、前記配線側電極７５と対向する位置に増肉部７１ｂを形成することによって、前記突出部１０１−１１が構成されている。

実施例１１に係るフレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−１１が設けられている。この液止め部材８５−１１の製法及び機能等は、実施例３と同様である。

本実施例１１では、前記配線側電極７５が、本発明の“他方側の電極”に相当する。前記配線側電極７５は、平坦に形成されて突出部を有していない。

前記突出部１０１−１１は、図１５（Ａ）に示すように、その頂部１０１−１１ａが前記配線側電極７５に突き当てられている。前記頂部１０１−１１ａの周囲には、導電性接着剤７９が設けられている。

要するに、本実施例１１に係る圧電アクチュエータの配線接続構造では、図１５（Ａ）に示すように、前記突出部１０１−１１により前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例１１の効果］
実施例１１に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例９の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、実施例１１に係るヘッドサスペンションでは、第３のヘッドサスペンション製造方法に係る圧電素子成形工程（ステップＳ１２２）に代えて、前記裏面側電極７１に対して部分的に増肉部７１ｂを形成する工程を経て、所要の突出部１０１−１１を形成することができる。このため、焼結治具を要することなく所要の突出部１０１−１１を形成可能である点で、製造工程の簡素化を実現することができる。
［実施例１２に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１２に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１５（Ｂ）は、実施例１２に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例１１に係るヘッドサスペンションと、実施例１２に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例１１と実施例１２との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１１に係るヘッドサスペンションでは、図１５（Ａ）に示すように、実施例１１に係る配線側電極７５は、平坦に形成されて突出部を有していない。この平坦な配線側電極７５に、前記突出部１０１−１１が突き当てられている。

これに対し、実施例１２に係るヘッドサスペンションでは、図１５（Ｂ）に示すように、実施例１２に係る配線側電極７５は、ドーム形状の突出部７７−１２を有している。この配線側電極７５の側の突出部７７−１２に、実施例１２に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１２が突き当てられている点が、実施例１１とは大きく相違している。

すなわち、実施例１２に係る配線接続構造では、図１５（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１２は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−１２ａに有する。この頂部７７−１２ａの周辺部位には、前記圧電素子４０の側の突出部１０１−１２を受ける逆ドーム形状の受け部７７−１２ａ１が形成されている。

一方、実施例１２に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１２は、該圧電素子４０の裏面側電極７１の素材が部分的に増肉された増肉部７１ｂによって構成されている。

実施例１２に係るフレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−１２が設けられている。この液止め部材８５−１２の製法及び機能等は、実施例３と同様である。

本実施例１２では、前記裏面側電極７１及び前記配線側電極７５の両者が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、実施例１２では、図１５（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１２に設けた受け部７７−１２ａ１及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１２間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−１２に設けられたのぞき孔８１には、前記両電極７１，７５同士が突き当てられた状態で、前記導電性接着剤７９が埋め込まれる。これにより、前記両電極７１，７５間が接合されている。

なお、実施例１２に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。これにより、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護可能に構成されている。
［実施例１２の効果］
実施例１２に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１０，１１の効果に加えて、下記の効果を奏する。

すなわち、実施例１２に係るヘッドサスペンションでは、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１２に設けた受け部７７−１２ａ１及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１２間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合する構成を採用したため、前記係合部位の接触面積を増大させて、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、実施例１２に係るヘッドサスペンションによれば、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。
［実施例１３に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１３に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１６（Ａ）は、実施例１３に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例１２に係るヘッドサスペンションと、実施例１３に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例１２と実施例１３との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１２に係るヘッドサスペンションでは、図１５（Ｂ）に示すように、実施例１２に係る配線側電極７５は、ドーム形状の突出部７７−１２を有している。この突出部７７−１２の頂部７７−１２ａには、実施例１２に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１２を受ける逆ドーム形状の受け部７７−１２ａ１が設けられている。この配線側電極７５の側の突出部７７−１２に設けた受け部７７−１２ａ１に、実施例１２に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１２が突き当てられて係合している。

これに対し、実施例１３に係るヘッドサスペンションでは、図１６（Ａ）に示すように、実施例１３に係る配線側電極７５は、ドーム形状の突出部７７−１３を有している。この配線側電極７５の側の突出部７７−１３に、実施例１３に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１３が突き当てられている。この突出部１０１−１３の頂部１０１−１３ａに、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３を受ける逆ドーム形状の受け部１０１−１３ａ１が設けられている。そして、前記圧電素子４０の側の突出部１０１−１３に設けた受け部１０１−１３ａ１に、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３が突き当てられて係合している点が、実施例１２とは大きく相違している。

すなわち、実施例１３に係る配線接続構造では、図１６（Ａ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−１３ａに有する。

一方、実施例１３に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１３は、該圧電素子４０の裏面側電極７１の素材が部分的に増肉された増肉部７１ｂによって構成されている。この増肉部７１ｂよりなる突出部１０１−１３には、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３を受ける逆ドーム形状の受け部１０１−１３ａ１が設けられている。この受け部１０１−１３ａ１は、前記増肉部７１ｂのうち該当部位の電極素材を減肉することによって形成されている。

実施例１３に係るフレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−１３が設けられている。この液止め部材８５−１３の製法及び機能等は、実施例３と同様である。

本実施例１３では、前記裏面側電極７１及び前記配線側電極７５の両者が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、実施例１３では、図１６（Ａ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１３に設けた受け部１０１−１３ａ１間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３に設けられたのぞき孔８１には、前記両電極７１，７５同士が突き当てられた状態で、前記導電性接着剤７９が埋め込まれる。これにより、前記両電極７１，７５間が接合されている。

なお、実施例１３に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。これにより、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護可能に構成されている。
［実施例１３の効果］
実施例１３に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１２と同様の効果を奏する。

すなわち、実施例１３に係るヘッドサスペンションでは、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３及び前記裏面側電極７１の側の突出部１０１−１３に設けた受け部１０１−１３ａ１間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合する構成を採用したため、前記係合部位の接触面積を増大させて、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、実施例１３に係るヘッドサスペンションによれば、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。
［実施例１４に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１４に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１６（Ｂ）は、実施例１４に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す断面図である。

実施例１３に係るヘッドサスペンションと、実施例１４に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、その重複した説明を省略する。

実施例１３と実施例１４との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例１３に係るヘッドサスペンションでは、図１６（Ａ）に示すように、実施例１３に係る配線側電極７５は、ドーム形状の突出部７７−１３を有している。この配線側電極７５の側の突出部７７−１３に、実施例１３に係る圧電素子４０の側の突出部１０１−１３が突き当てられている。この突出部１０１−１３の頂部１０１−１３ａには、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３を受ける逆ドーム形状の受け部１０１−１３ａ１が設けられている。そして、前記圧電素子４０の側の突出部１０１−１３に設けた受け部１０１−１３ａ１に、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１３が突き当てられて係合している。

これに対し、実施例１４に係る配線側電極７５は、ドーム形状の突出部７７−１４を有している。この突出部７７−１４が突き当たる圧電素子４０の側には、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４を受ける逆ドーム形状の受け部１２１−１４が設けられている。そして、この圧電素子４０の側の受け部１２１−１４に、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４が突き当てられて係合している点が、実施例１３とは大きく相違している。

すなわち、実施例１４に係る配線接続構造では、図１６（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−１４ａに有する。

一方、実施例１３に係る圧電素子４０は、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４を受ける逆ドーム形状の窪み部１１９を有する。この圧電素子４０の窪み部１１９は、次述する圧電素子成形工程を経て、前記圧電素子４０に成形される。

前記裏面側電極７１は、前記圧電素子４０の裏面側を均一の厚みで覆うように設けられている。このため、前記裏面側電極７１は、外観上、前記圧電素子４０の裏面側に成形される窪み部１１９の逆ドーム形状に沿って陥没する陥没部７１ｃを有する。

従って、前記圧電素子４０の窪み部１１９と、前記裏面側電極７１の陥没部７１ｃとによって、前記受け部１２１−１４が構成されている。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４の頂部７７−１４ａと、前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４の頂部１２１−１４ａとは、相互に重なるように位置決めされている。

実施例１４に係るフレキシャ（配線部材）１５のうち前記圧電素子４０の側には、前記貫通孔７３の周囲に存する前記導電性基材層１５ａを略リング形状に孤立させてなる液止め部材８５−１４が設けられている。この液止め部材８５−１４の製法及び機能等は、実施例３と同様である。

本実施例１４では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

要するに、実施例１４では、図１６（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４及び前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。

前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４に設けられたのぞき孔８１には、前記両電極７１，７５同士が突き当てられた状態で、前記導電性接着剤７９が埋め込まれる。これにより、前記両電極７１，７５間が接合されている。

なお、実施例１４に係る導電性接着剤７９は、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。これにより、前記導電性接着剤７９を、酸化損傷から保護可能に構成されている。
［実施例１４の効果］
実施例１４に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例１２又は１３と同様の効果を奏する。

すなわち、実施例１４に係るヘッドサスペンションでは、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１０４及び前記圧電素子４の側の受け部１２１−１４間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合する構成を採用したため、前記係合部位の接触面積を増大させて、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、実施例１４に係るヘッドサスペンションによれば、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。
［第４のヘッドサスペンション製造方法］
次に、第４のヘッドサスペンション製造方法について、実施例１４に係るヘッドサスペンションの製造例をあげて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１７は、実施例１４に係るヘッドサスペンションの製造工程を、圧電素子と配線部材の関係を示す要部断面図と対比して示す説明図である。

第３のヘッドサスペンション製造方法と、第４のヘッドサスペンション製造方法とは、各工程の進行順序を除いて基本的な製造工程がほぼ共通している。このため、共通する個別の各工程については、重複した説明を省略する場合がある。両者間の相違点に注目して説明を進める。

第３のヘッドサスペンション製造方法と、第４のヘッドサスペンション製造方法との相違点は次の通りである。

すなわち、第３のヘッドサスペンション製造方法では、図１４に示すように、圧電素子の外形形状を成形する圧電素子成形工程（ステップＳ１２２）で用いられる焼結冶具１１３は、組み付け時に前記配線側電極７５と対応する位置にドーム形状の凹部１１１を有する。この焼結治具１１３を用いて圧電セラミック素子を焼結成形すると、前記焼結治具１１３の凹部形状に従うドーム形状の膨出部１０３を前記圧電素子４０に成形することができる。

これに対し、第４のヘッドサスペンション製造方法では、図１７に示すように、圧電素子の外形形状を成形する圧電素子成形工程（ステップＳ１３２）で用いられる焼結冶具１３３は、組み付け時に前記配線側電極７５と対応する位置にドーム形状の凸部１３１を有する。この焼結治具１３３を用いて圧電セラミック素子を焼結成形すると、前記焼結治具１３３の凸部形状に従う逆ドーム形状の窪み部１１９を前記圧電素子４０に成形することができる。

すなわち、第４のヘッドサスペンション製造方法では、圧電素子成形工程（ステップＳ１３２）で用いられる焼結冶具１３３の凹凸形状が異なる点が、第３のヘッドサスペンション製造方法とは大きく相違している。

具体的には、ステップＳ１３１の貫通孔形成工程では、図１７に示すように、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂを貫通する貫通孔７３を形成する。これと同時に、前記配線側電極７５のうち、前記頂部７７−１４ａとなる部位に、前記配線層１５ｃを貫通するのぞき孔８１を形成する。

前記貫通孔形成工程において、前記導電性基材層１５ａ及び電気絶縁層１５ｂの各貫通孔７３は、第１のヘッドサスペンション製造方法と同様の手段によって形成することができる。また、前記配線層１５ｃを貫通するのぞき孔８１は、第２のヘッドサスペンション製造方法と同様の手段によって形成することができる。

ステップＳ１３２の圧電素子成形工程では、図１７に示すように、組み付け時に前記配線側電極７５と対応する位置にドーム形状の凸部１３１を有する焼結治具１３３を用いて圧電セラミック素子を焼結成形する。これにより、前記焼結治具１３３の凸部形状に従う逆ドーム形状の窪み部１１９を前記圧電素子４０に成形することができる。

前記焼結治具１３３は、下側治具１３３ａと上側治具１３３ｂとを最中合わせにして構成される。前記凸部１３１は、前記上側治具１３３ｂの内側壁に形成されている。

前記焼結成形後の圧電素子４０には、前記窪み部１１９を含む裏面側の裏面側電極形成面５１を均一の厚みで覆うように裏面側電極７１が形成される。また、図２に示すように、前記圧電素子４０の表面側電極形成面５０にも電極７０が形成される。これにより、圧電アクチュエータ１２が構成される。前記各電極７０，７１の形成は、例えば蒸着やスパッタリング等の適宜の手段を採用すればよい。

ステップＳ１３３のＰＺＴ組付け工程では、図１７に示すように、前記圧電素子（ＰＺＴ）４０を前記フレキシャ（配線部材）１５に対して組み付ける。この組付けにあたり、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４の頂部７７−１４ａと、前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４の頂部１２１−１４ａとを、相互に重なるように位置決めする。

すると、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４は、図１６（Ｂ）及び図１７に示すように、前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４に突き当てられて、前記両電極７１，７５間が機械的に接合される。

ステップＳ１３４の導電性接着剤塗布工程では、図１７に示すように、前記ＰＺＴ組付け工程後に、前記突出部７７−１４の頂部７７−１４ａに設けられた前記のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布する。

ステップＳ１２５の接着剤硬化工程では、ステップＳ１３４の導電性接着剤塗布工程後のヘッドサスペンションに対し、加熱や紫外線照射等のエネルギーを所定時間与えることによって、前記導電性接着剤７９の硬化を促進させる。この接着剤硬化工程を経て、前記フレキシャ（配線部材）１５に対する圧電素子（ＰＺＴ）４０の組付けが完了する。
［第４のヘッドサスペンション製造方法の効果］
第４のヘッドサスペンション製造方法によれば、下記の効果を奏する。

すなわち、前記焼結治具１３３の凸部形状に従うドーム形状の窪み部１１９を前記圧電素子４０に成形し、前記圧電素子４０の窪み部１１９と、前記裏面側電極７１の陥没部７１ｃとによって、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４を受ける受け部１２１−１４を構成した。そして、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４及び前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合した。このため、前記係合による突き当てと導電性接着剤７９による接合作用が相まって、前記両電極７１，７５間のきわめて確実な導電性が得られる。また、前記圧電素子４０への配線接続作業を遂行する際に、該圧電素子４０に対して局所的な応力が加えられることはない。

従って、第４のヘッドサスペンション製造方法によれば、圧電素子への配線接続作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に高い信頼性を維持した状態で遂行することができる。

また、前記導電性接着剤７９の硬化に伴うシュリンク（サイズ縮小）作用によって、前記両電極７１，７５間の接合強度のさらなる強化を期待することができる。

しかも、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４及び前記圧電素子４０の側の受け部１２１−１４間を係合させて、前記両電極７１，７５同士を突き当てて導電性接着剤７９により接合したため、前記係合部位の接触面積を増大させて、当該両電極７１，７５間の接触抵抗を大幅に低減することができる。

従って、第４のヘッドサスペンション製造方法によれば、前記両電極７１，７５間の導通接続関係を確実にして、きわめて信頼性の高い圧電素子への配線接続を実現することができる。

そして、前記圧電素子４０の側に、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１４を受ける受け部１２１−１４を設けたため、前記両電極７１，７５間の隙間寸法が小さい場合であっても、当該両電極７１，７５間の配線接続を的確に具現化することができる。
［実施例１５に係るヘッドサスペンション］
次に、実施例１５に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１８は、実施例１５に係るヘッドサスペンションの説明図であり、図１８（Ａ）は、実施例１５に係る配線部材を圧電素子の側から視た斜視図、図１８（Ｂ）は、実施例１５に係る圧電素子の裏面側電極と配線側電極との位置関係を示す図１８（Ａ）のＸＶＩＩＩＢ−ＸＶＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。

実施例４に係るヘッドサスペンションと、実施例１５に係るヘッドサスペンションとは、圧電アクチュエータ１２の配線接続構造を除いて基本的な構成要素がほぼ共通している。このため、共通する部材間には原則として共通の符号を付し、前述と同様に重複した説明を省略して、両実施例４，１５間の相違点に注目して説明する。

実施例４と実施例１５との相違点は次の通りである。

すなわち、実施例４に係るヘッドサスペンションでは、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−４は、その頂部７７−４ａにのぞき孔８１を有してるが、その裾部にはのぞき孔を有していない。

これに対し、実施例１５に係るヘッドサスペンションでは、図１８（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１５は、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨むのぞき孔８１を頂部７７−１５ａに有すると共に、その裾部に等間隔を置いて４つの裾部のぞき孔１５１を有している点が、実施例４とは大きく相違している。

ただし、前記裾部のぞき孔１５１はランダムな間隔を置いて設けてもよい。また、前記裾部のぞき孔１５１の数は適宜変更可能である。

本実施例１５に係る導電性接着剤７９は、実施例４と同様に、コロージョン防止用の保護被膜８３を有する。ただし、実施例１５では、前記裾部のぞき孔１５１を通して、前記裏面側電極７１と前記配線側電極７５との間に、保護被膜８３を形成するためのコーティング液剤を塗布することによって、前記両電極７１，７５間の導電性接着剤７９が有する露出面までもがコロージョン防止用の保護被膜８３を有する点で、実施例４とは大きく相違している。

これにより、前記導電性接着剤７９は、その露出面のほぼ全面に渡ってコロージョン防止用の保護被膜８３を有し、酸化損傷から保護可能に構成されている。

なお、実施例４以外にも、前述した実施例２，６，８に係る各突出部７７−２，６，８において、背面側から前記裏面側電極（他方側の電極）７１を臨む頂部のぞき孔８１に加えて、その裾部に裾部のぞき孔１５１を設けてもよい。

本実施例１５では、前記裏面側電極７１が、本発明の“他方側の電極”に相当する。

また、本実施例１５では、図１８（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記配線側電極７５の側の突出部７７−１５により前記両電極７１，７５同士を突き当てて前記導電性接着剤７９により接合することによって、前記両電極７１，７５間を配線接続する構成を採用している。
［実施例１５の効果］
実施例１５に係るヘッドサスペンションによれば、前述した実施例４の効果に加えて、以下の効果を奏する。

前記のぞき孔８１を埋めるように前記導電性接着剤７９を塗布した後、前記保護被膜形成用のコーティング液剤を、前記導電性接着剤７９の露出面に直接塗布するか、又は前記両電極７１，７５間の導電性接着剤７９の露出面に前記裾部のぞき孔１５１を通して塗布することによって、前記導電性接着剤７９が有する露出面のほぼ全面に渡ってコロージョン防止用の保護被膜８３を形成することができる。

従って、実施例１５によれば、導電性接着剤７９の酸化損傷を高水準で予防することができ、信頼性の高い配線接続構造を具現化することができる。
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

例えば、本発明の実施例中、突出部又は受け部等の形状としてドーム形状を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。例えば円錐形状や円柱形状などの、あらゆる形状の突出部又は受け部等であっても、本発明に適宜適用することができる。

また、本発明の実施例中、液止め部材の形状としてリング形状を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。例えば、中央部分が開口された方形状や六角形状などの、あらゆる外形形状の液止め部材であっても、本発明に適宜適用することができる。

最後に、本発明の実施例中、ベースプレート１１ａと、圧電アクチュエータ１２と、ロードビーム１３ａと、受け部材１９ａとなどを備えたヘッドサスペンションを例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明に係る配線接続構造は、圧電素子が実装されたヘッドサスペンションであれば、いかなるものでも適宜適用することができる。

１０ ヘッドサスペンション
１１ａ ベースプレート
１３ａ ロードビーム
１５ フレキシャ（配線部材）
１５ａ 導電性基材層
１５ｂ 電気絶縁層
１５ｃ 配線層
４０ 圧電素子
７１ 裏面側電極（素子側電極）
７３ 貫通孔
７５ 配線側電極
７７−１〜１５ 突出部
７９ 導電性接着剤
８１ （頂部の）のぞき孔
８３ 保護被膜
８５ 液止め部材
１５１ 裾部のぞき孔

Claims (18)

1. 導電性基材層、電気絶縁層、及び配線層を順次積層した配線部材により給電し、給電状態に応じて変形して基部に対しロードビームをスウェイ方向へ駆動する圧電素子を備えたヘッドサスペンションであって、
   前記配線部材の配線層に設けられた配線側電極と、
   前記圧電素子に設けられた素子側電極と、
   前記配線部材の導電性基材層及び電気絶縁層を貫通し前記配線側電極を前記素子側電極に対して露出させる貫通孔と、
   前記配線側電極又は前記素子側電極の少なくとも一方に設けられて前記貫通孔から他方側の電極を臨む突出部と、
   を備え、
   前記突出部により前記配線側電極及び前記素子側電極を突き当てて導電性接着剤により接合した、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
   前記配線側電極は前記突出部を有し、該突出部はドーム形状である、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
3. 請求項２記載のヘッドサスペンションであって、
   前記配線側電極の突出部は、背面側から他方側の電極を臨むのぞき孔を頂部に有する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
4. 請求項２又は３記載のヘッドサスペンションであって、
   前記導電性接着剤は、塗布時には液状であり、
   前記配線部材のうち前記素子側電極の側であって前記貫通孔の周囲に前記導電性接着剤の拡散を防ぐための液止め部材を設けた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
5. 請求項４記載のヘッドサスペンションであって、
   前記液止め部材は、前記貫通孔の周囲に存する前記導電性基材層を略リング形状に孤立させてなる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
6. 請求項５記載のヘッドサスペンションであって、
   前記液止め部材は、前記配線側電極の突出部のドーム形状に沿って突出形成された、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
7. 請求項２〜６のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
   前記圧電素子又は前記素子側電極の少なくとも一方は、前記配線側電極の突出部と対向する位置に前記突出部を有し、当該素子側の突出部はドーム形状である、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
8. 請求項２〜６のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
   前記圧電素子又は前記素子側電極の少なくとも一方は、前記配線側電極の突出部と対向する位置にドーム形状の受け部を有する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
9. 請求項７記載のヘッドサスペンションであって、
   前記配線側電極の突出部は、頂部にドーム形状の受け部を有する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
    前記導電性接着剤は、コロージョン防止用の保護被膜を有する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
    前記配線側電極の突出部は、背面側から他方側の電極を臨むのぞき孔を裾部に有し、
    前記裾部のぞき孔を通して前記導電性接着剤にコロージョン防止用の保護被膜を形成した、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
12. 導電性基材層、電気絶縁層、及び配線層を順次積層した配線部材により給電し、給電状態に応じて変形して基部に対しロードビームをスウェイ方向へ駆動する圧電素子と、前記配線部材の配線層に設けられた配線側電極と、前記圧電素子に設けられた素子側電極と、を備え、前記配線側電極と前記素子側電極とを接続する配線接続構造を備えたヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記導電性基材層及び前記電気絶縁層を貫通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
    前記配線側電極と前記素子側電極のうち少なくとも一方に前記貫通孔から他方側の電極を臨む突出部を成形する突出部成形工程と、
    前記貫通孔を通して前記配線側電極及び前記素子側電極を相互に対向位置させ、前記突出部により前記配線側電極及び前記素子側電極を突き当てて組み付ける組付工程と、
    前記配線側電極及び前記素子側電極間を導電性接着剤により接合する接合工程と、
    を含む、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
13. 請求項１２記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程では、前記配線側電極の背面側からドーム形状の先端部を有するパンチを押し当てることによって当該配線側電極にドーム形状の突出部を成形する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
14. 請求項１３記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程は、前記配線部材がフレームに複数組み込まれた連鎖品の状態で遂行される、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
15. 請求項１２〜１４のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程は、前記圧電素子の外形形状を成形する圧電素子成形工程を含み、
    前記圧電素子成形工程では、組み付け時に前記配線側電極と対応する位置にドーム形状の凹部を有する焼結治具を用いて前記圧電素子を焼結成形することによって、前記焼結治具の凹部形状に従うドーム形状の膨出部を前記圧電素子に成形する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
16. 請求項１２〜１４のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程では、前記素子側電極のうち前記配線側電極と対向する位置の電極素材を増肉することによってドーム形状の突出部を成形する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
17. 請求項１３又は１４記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程は、前記圧電素子の外形形状を成形する圧電素子成形工程を含み、
    前記圧電素子成形工程では、組み付け時に前記配線側電極の突出部と対応する位置にドーム形状の凸部を有する焼結治具を用いて前記圧電素子を焼結成形することによって、前記焼結治具の凸部形状に従うドーム形状の窪み部を前記圧電素子に成形する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
18. 請求項１３又は１４記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記突出部成形工程では、前記素子側電極のうち前記配線側電極の突出部と対向する位置の電極素材を減肉することによってドーム形状の受け部を成形する、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。