JP5375345B2 - 天井搬送車の軌道設備 - Google Patents
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Description
この設備では、第1下方走行レール部材、第2下方走行レール部材およびガイドレール部材と、連結部材とを分けたので、必要に応じて各部材の肉厚等を変更することができる。その結果、必要な箇所の強度を保持しつつ、天井搬送車の軌道設備の軽量化が達成される。
この設備では、連結部材が複数の部材を有しており連続していないので、軽量化が達成される。
この設備では、遮蔽部によって、給電線から発生する磁界が外部に漏洩しにくい。したがって、搬送車の軌道設備が半導体工場に採用されている場合に、給電線からの漏れ磁界が電子ビーム式検査装置に影響して誤測定を生じさせることが生じにくい。
この設備では、給電線は磁界遮蔽部材からなる遮蔽部と受け面部と中間部によって覆われているので、給電線から発生する磁界が外部に漏洩しにくい。
本発明の一実施形態としての搬送車システムは、定められた搬送軌道上に複数の搬送車を走行させるためのシステムである。搬送車は、搬送軌道上を一方向に走行し、上位のコントローラによって割り付けられる搬送指令に従い、目的の場所から物品を積み込み、次に搬送先の場所まで走行して物品を搬送先の場所に積み出す。
図1を用いて、天井搬送車システム1のレイアウトを説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る搬送車システムのレイアウトを示す部分平面図である。
走行レール2は、図2に示すように、複数の支柱16によって天井17から吊り下げられている。走行レール2は、主に、第1下方走行レール部材19と、第2下方走行レール部材21と、ガイドレール部材23と、複数の連結部材25とから構成されている。
第1下方走行レール部材19と第2下方走行レール部材21は、左右に並んで配置された部材であり、線対称の構成を有している。したがって、以下の説明では第1下方走行レール部材19のみを説明する。なお、以下の説明では、第1下方走行レール部材19からみて第2下方走行レール部材21側を内側とし、反対側を外側とする。
ガイドレール部材23は、第1下方走行レール部材19および第2下方走行レール部材21の上方に配置されている。ガイドレール部材23は、天井搬送車3の駆動車輪53(後述)が走行する駆動走行面23aを下面に有している。また、ガイドレール部材23の下面には、下方に延びる2つの突起23bが形成されている。突起23bの内側面は第1ガイド面23cであり、突起23bの外側面は第2ガイド面23dである(後述)。
連結部材25は、レールの延長方向に所定の間隔を空けて配置されている。所定の間隔は、例えば、500〜700mmである。
連結部材25は、断面逆Uの字型の部材であり、上面部37と、第1側方部39と、第2側方部41とを有している。上面部37は、ガイドレール部材23の上側に配置され、ガイドレール部材23の延びる方向と直交する方向に延びている。上面部37はガイドレール部材23に対してボルト28によって固定されている。
図3および図4を用いて、天井搬送車3の構造について説明する。図3は、レール内の縦断面概略図である。図4は、図2の部分拡大図であり、天井搬送車の部分側面図である。
走行部45は、主に、走行レール2内に配置されており、モータ(図示せず)と、前後のボギー台車50とを有している。ボギー台車50には、左右に2輪ずつの合計4輪の走行車輪51が設けられている。ボギー台車50には、さらに、上部に、左右と前後に各一対で合計4個のガイドローラ55と、さらにその両側に一対の分岐用ガイドローラ56とが設けられている。走行車輪51は、走行部45の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。走行車輪51は、第1下方走行レール部材19および第2下方走行レール部材21の受け面部27の走行面27a上に載置されている。
ボギー台車50からは、下方にシャフト52が延びている。シャフト52は、搬送車本体部49の本体フレーム65(後述)の上面に固定されている。
受電部47は、一対の給電線35から電力を得るための一対のピックアップユニット57を有している。具体的には、一対のピックアップユニット57は、走行レール2内で左右に並んで配置されている。ピックアップユニット57は、断面が略E字型をしたフェライト製のコア59と、コア59に巻かれたピックアップコイル61とを有している。具体的には、コア59は、両側の突出部59aと、その間の中央の突出部59bとを有しており、ピックアップコイル61は中央の突出部59bに巻かれている。
搬送車本体部49は、図2に示すように、主に、本体フレーム65と、横送り部67と、θドライブ69と、ホイスト本体71と、昇降台73とを備えている。図2は、天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図である。
天井搬送車3の走行レール2は、左右一対の走行車輪51とガイドローラ55とを有する天井搬送車3に用いられ、第1下方走行レール部材19と、第2下方走行レール部材21と、ガイドレール部材23と、連結部材25とを備えている。第1下方走行レール部材19は、走行車輪51の一方が当接する受け面部27を有する。第2下方走行レール部材21は、走行車輪51の他方が当接する受け面部27を有する。ガイドレール部材23は、ガイドローラ55が当接する第1ガイド面23cを有する。連結部材25は、第1下方走行レール部材19と、第2下方走行レール部材21と、ガイドレール部材23とを互いに連結する。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
第1下方走行レールおよび第2下方走行レールはアルミ製であったが、非磁性体でかつ導電性の高い材料であれば他の部材でもよい。
前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
一対の給電線は、両方の給電線ホルダに設けられていてもよいし、いずれか一方の給電線ホルダのみに設けられていてもよい。
2 走行レール(軌道設備)
3 天井搬送車
4 FOUP
5 周回走行路
7 基幹走行路
9 処理装置
11 ストッカ
13 入庫ポート
15 出庫ポート
16 支柱
17 天井
19 第1下方走行レール部材
21 第2下方走行レール部材
23 ガイドレール部材
23a 駆動走行面
23b 突起
23c 第1ガイド面
23d 第2ガイド面
25 連結部材
27 受け面部
27a 走行面
28 ボルト
29 中間部
30 ボルト
31 遮蔽部
33 給電線ホルダ(給電線保持部)
35 給電線
37 上面部
39 第1側方部
41 第2側方部
45 走行部
47 受電部
49 搬送車本体部
50 ボギー台車
51 走行車輪
52 シャフト
53 駆動車輪
55 ガイドローラ
56 分岐用ガイドローラ
57 ピックアップユニット
58 切替装置
59 コア
59a 両側の突出部
59b 中央の突出部
61 ピックアップコイル
63 非接触給電部
65 本体フレーム
67 横送り部
69 θドライブ
71 ホイスト本体
73 昇降台
75 前側フレーム
77 後側フレーム
81 フランジ
Claims (4)
- 左右一対の走行車輪と上部ガイドローラとを有する天井搬送車の軌道設備であって、
前記走行車輪の一方が当接する受け面部を有する第1下方走行レール部材と、
前記走行車輪の他方が当接する受け面部を有する第2下方走行レール部材と、
前記上部ガイドローラが当接する当接面部を有するガイドレール部材と、
前記第1下方走行レール部材と、前記第2下方走行レール部材と、前記ガイドレール部材とを互いに連結する連結部材と、
を備えた天井搬送車の軌道設備。 - 前記第1下方走行レール部材と、前記第2下方走行レール部材と、前記ガイドレール部材は連続的に延びて軌道を構成しており、
前記連結部材は、前記軌道が延びる方向に間隔を空けて配置された複数の部材を有している、請求項1に記載の天井搬送車の軌道設備。 - 前記第1下方走行レール部材および前記第2下方走行レール部材は、給電線保持部と、前記給電線保持部の下方に配置された磁界遮蔽材料からなる遮蔽部とを有している、請求項1または2に記載の天井搬送車の軌道設備。
- 前記第1下方走行レール部材および前記第2下方走行レール部材は、前記受け面部と前記遮蔽部とを連結する中間部をさらに有し、
前記受け面部と前記中間部は磁界遮蔽部材からなる、請求項3に記載の天井搬送車の軌道設備。
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