JP5375083B2 - 円形の幅寸法測定装置 - Google Patents
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Description
また、測定者によるフォトスペーサーの幅寸法測定の場合には、測定者の判断でフォトスペーサーのエッジが決定されてしまうので、測定者によって測定結果に差が生じている。
前記撮像手段によって得られた画像から円形のフォトスペーサーパターンの仮中心点を求める手段と、
前記仮中心点から円形のフォトスペーサーパターンのエッジパターンを得る手段と、
前記円形の複数のエッジパターンから仮想円の中心を求める手段と、
前記仮想円の中心と前記複数のエッジパターンとの平均距離から仮想円の径を求める手段と、
前記仮想円から円形のフォトスペーサーパターンの幅寸法を得る幅寸法算出手段と、
からなる円形の幅寸法測定装置であって、
(1)ブラックマトリックス上に複数の着色フォトレジストが円錐状に積層されていているフォトスペーサーを形成した前記カラーフィルタ基板から円形のフォトスペーサーパターンを前記撮像装置にて取得して、
(2)前記撮像手段によって得られた画像から予め登録しておいたブラックマトリックスのパターンと該ブラックマトリックスのパターンとフォトスペーサーの円形状パターンの中心点の相対的な位置情報から、前記円形のフォトスペーサーパターンの仮中心点を、仮中心点を求める手段にて求め、
(3)放射状に設定した複数の検査エリア毎に円形のフォトスペーサーパターンの複数のエッジパターンを、エッジパターンを得る手段にて得て、
(4)前記円形の複数のエッジパターンの中から選択したエッジパターンを用いて仮想円の中心を、仮想円の中心を求める手段にて求め、
(5)前記仮想円の中心と前記円形の複数のエッジパターンとの平均距離から仮想円の径を、仮想円の径を求める手段にて求め、
(6)前記仮想円から予め設定された距離を外れたエッジパターンを削除し、残りのエッジパターンから再度仮想円を求めることを繰り返して、削除する検出エッジが無くなった時の仮想円を検出円として、前記検出円の直径をフォトスペーサーパターンの幅寸法とする幅寸法算出手段にて求めることを特徴とする円形の幅寸法測定装置である。
11・・・BM
12−1・・・レッドRの着色画素
12−2・・・グリーンGの着色画素
12−3・・・ブルーBの着色画素
13・・・透明電極
14・・・フォトスペーサー
14−1・・・フォトスペーサーの一部
14−2・・・フォトスペーサーの一部
15・・・破線で囲まれた部分
16・・・レッドの着色フォトレジストの層
17・・・グリーンの着色フォトレジストの層
18・・・ブルーの着色フォトレジストの層
19・・・BMとレッドの着色フォトレジストの層16の境界部分
20・・・レッドの着色フォトレジストの層16とグリーンの着色フォトレジストの層1
7の境界部分
21・・・グリーンの着色フォトレジストの層17とブルーの着色フォトレジストの層1
8の境界部分
30・・・ガラス基板
31・・・BM
32・・・R画素
33・・・B画素
35・・・フォトスペーサーの一部
36・・・レッドの着色フォトレジストの層
37・・・グリーンの着色フォトレジストの層
38・・・ブルーの着色フォトレジストの層
41・・・カラーフィルタ基板
42・・・測定ステージ
43・・・撮像部
44・・・制御ユニット
45・・・X軸駆動部
46・・・Y軸駆動部
47・・・Z軸駆動部
50・・・フォトスペーサーの一部の中の特徴あるパターン
51・・・BM
52・・・特徴パターン
53・・・R画素
54・・・G画素
55・・・B画素
56・・・レッドの着色フォトレジストの層
57・・・グリーンの着色フォトレジストの層
58・・・ブルーの着色フォトレジストの層
61・・・BMとレッドの着色フォトレジストの層56の境界部分
62・・・レッドの着色フォトレジストの層56とグリーンの着色フォトレジストの層5
7の境界部分
63・・・グリーンの着色フォトレジストの層57とブルーの着色フォトレジストの層5
8の境界部分
71・・・円形の仮中心点
72・・・検査エリア
a1〜a12・・・検査エリア
73・・・検出された24個のエッジ
75・・・仮想円の中心
76・・・仮想円
77・・・仮想円の半径
78・・・規格外エッジ
79・・・検出された24個のエッジから規格外エッジを削除した残りのエッジ
80・・・ガラス基板
81・・・BM
82・・・着色画素
83・・・透明電極
84・・・フォトスペーサー
Claims (1)
- 円形のフォトスペーサーパターンが形成されたカラーフィルタ基板を上方から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた画像から円形のフォトスペーサーパターンの仮中心点を求める手段と、
前記仮中心点から円形のフォトスペーサーパターンのエッジパターンを得る手段と、
前記円形の複数のエッジパターンから仮想円の中心を求める手段と、
前記仮想円の中心と前記複数のエッジパターンとの平均距離から仮想円の径を求める手段と、
前記仮想円から円形のフォトスペーサーパターンの幅寸法を得る幅寸法算出手段と、
からなる円形の幅寸法測定装置であって、
(1)ブラックマトリックス上に複数の着色フォトレジストが円錐状に積層されていているフォトスペーサーを形成した前記カラーフィルタ基板から円形のフォトスペーサーパターンを前記撮像装置にて取得して、
(2)前記撮像手段によって得られた画像から予め登録しておいたブラックマトリックスのパターンと該ブラックマトリックスのパターンとフォトスペーサーの円形状パターンの中心点の相対的な位置情報から、前記円形のフォトスペーサーパターンの仮中心点を、仮中心点を求める手段にて求め、
(3)放射状に設定した複数の検査エリア毎に円形のフォトスペーサーパターンの複数のエッジパターンを、エッジパターンを得る手段にて得て、
(4)前記円形の複数のエッジパターンの中から選択したエッジパターンを用いて仮想円の中心を、仮想円の中心を求める手段にて求め、
(5)前記仮想円の中心と前記円形の複数のエッジパターンとの平均距離から仮想円の径を、仮想円の径を求める手段にて求め、
(6)前記仮想円から予め設定された距離を外れたエッジパターンを削除し、残りのエッジパターンから再度仮想円を求めることを繰り返して、削除する検出エッジが無くなった時の仮想円を検出円として、前記検出円の直径をフォトスペーサーパターンの幅寸法とする幅寸法算出手段にて求めることを
特徴とする円形の幅寸法測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008330027A JP5375083B2 (ja) | 2008-12-25 | 2008-12-25 | 円形の幅寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008330027A JP5375083B2 (ja) | 2008-12-25 | 2008-12-25 | 円形の幅寸法測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010151610A JP2010151610A (ja) | 2010-07-08 |
JP5375083B2 true JP5375083B2 (ja) | 2013-12-25 |
Family
ID=42570881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008330027A Expired - Fee Related JP5375083B2 (ja) | 2008-12-25 | 2008-12-25 | 円形の幅寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5375083B2 (ja) |
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JPS63217480A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 円形類似断面を有する物体の形状測定法 |
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JPH11288463A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Toray Ind Inc | 物体の検査装置 |
JP4369276B2 (ja) * | 2004-04-05 | 2009-11-18 | 三菱電機株式会社 | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 |
JP4599885B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2010-12-15 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタ |
JP4525264B2 (ja) * | 2004-09-15 | 2010-08-18 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
JP4957020B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2012-06-20 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ |
-
2008
- 2008-12-25 JP JP2008330027A patent/JP5375083B2/ja not_active Expired - Fee Related
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