JP5371339B2 - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents
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Description
図1(b)に示すように、信号読み出し回路4は、電荷蓄積部2に蓄積された信号電荷をリセットするためのリセットトランジスタ4aと、電荷蓄積部2に蓄積された信号電荷を電圧信号に変換するための出力トランジスタ4bと、出力トランジスタ4bから出力された電圧信号を列信号線に出力するための選択トランジスタ4cとを備えた公知の3トランジスタ構成となっている。p型シリコン基板1上には、これらトランジスタのゲート酸化膜3が形成されている。ゲート酸化膜3は例えば酸化シリコンで構成されている。
“x3=−Tf・tanβ+x2”となる。
“x4=−(Tf+Tp+To/2)tanβ+x2”となる。
(PS−Pp/2+K/2,0)から(PS+Pp/2−K/2,0)の範囲
(PS−Pp/2+K/2,−Tf)から(PS+Pp/2−K/2,−Tf)の範囲
(PS−Pa/2,−Tf−Tp−To/2)から(PS+Pa/2,−Tf−Tp−To/2)の範囲
を満たす光線の本数を数える。
2次元光利用率Ql(θ)=Pl(θ)/TN
2次元混色率Qc(θ)=Pc(θ)/TN
となる。
光利用率Sl(θ)=Ql(θ)・Ql(0)
混色率Sc(θ)=Qc(θ)・Ql(0)
画素部サイズ:2μm、カラーフィルタ10厚さTf:1μm、保護層9厚さTp:可変として、隔壁11有無でのF値依存と入射角依存のシミュレーション結果を図5〜図12に示す。隔壁11なしとは、即ち、上記Kの値がゼロであることを意味する。
・隔壁11を用いることで光利用率には大差ないが混色率は大幅に低減される。
・混色率は、保護層9厚さTpに依存する。
・任意のF値と入射角で混色率が低くなる条件は、全てのF値と入射角で混色率が低くなる。
ことが分かった。次に、隔壁11ありについて、F値:5.6、入射角:25度における、光利用率及び混色率と、カラーフィルタ10厚さTf、保護層9厚さTp、画素部サイズPpの関係を考察した。その結果を以下に示す。
(a)保護層9厚さTp=1μmに固定し、カラーフィルタ10厚さTfを変化させた場合
図13は、図3の構成において保護層9厚さTp=1μmに固定し、カラーフィルタ10厚さTfを変化させた場合の光利用率のシミュレーション結果を示す図である。図14は、図3の構成において保護層9厚さTp=1μmに固定し、カラーフィルタ10厚さTfを変化させた場合の混色率のシミュレーション結果を示す図である。
図15は、図3の構成においてカラーフィルタ10厚さTf=1μmに固定し、保護層9厚さTpを変化させた場合の光利用率のシミュレーション結果を示す図である。図16は、図3の構成においてカラーフィルタ10厚さTf=1μmに固定し、保護層9厚さTpを変化させた場合の混色率のシミュレーション結果を示す図である。
図17は、図3の構成においてTf+Tp=2μmに固定し、保護層9厚さTpを変化させた場合の光利用率のシミュレーション結果を示す図である。図18は、図3の構成においてTf+Tp=2μmに固定し、保護層9厚さTpを変化させた場合の混色率のシミュレーション結果を示す図である。
図19は、図3の構成において保護層9厚さTp=0.4μmに固定してTf+Tpを変化させた場合の光利用率のシミュレーション結果を示す図である。図20は、図3の構成において保護層9厚さTp=0.4μmに固定してTf+Tpを変化させた場合の混色率のシミュレーション結果を示す図である。
・保護層9厚さTpが一定ならカラーフィルタ10厚さTfが変化しても混色率はあまり変化しない。
・Tf+Tpが一定なら保護層9厚さTpが変化しても光利用率はあまり変化しない。
ことが分かり、この結果、混色率の特性はTpで規定でき、光利用率の特性はTf+Tpで規定できることが分かった。
6 下部電極
7 光電変換層
8 上部電極
9 保護層
10 カラーフィルタ
11 隔壁
Claims (8)
- 基板上方に配列された多数の画素部を有する固体撮像素子であって、
前記画素部が、前記基板上方に設けられた光電変換部と、前記光電変換部上方に設けられたカラーフィルタとを含み、
前記光電変換部が、前記基板上方に設けられた下部電極、前記下部電極上方に設けられた上部電極、及び前記下部電極と前記上部電極の間に設けられた光電変換層を含み、
前記光電変換層が、可視域の光を吸収し、吸収した光に応じた信号電荷を発生する光電変換材料で構成されており、
前記多数の画素部に含まれる前記カラーフィルタが、それぞれ異なる波長域の光を透過する3種類以上のカラーフィルタを含み、
前記画素部は、前記画素部に含まれる前記カラーフィルタを通過して当該画素部に含まれる前記光電変換部の前記光電変換層に入射した光によって当該光電変換層で発生した電荷を蓄積する前記基板内に設けられる電荷蓄積部と、前記電荷蓄積部に蓄積された電荷に応じた信号を出力する信号読み出し回路とを含み、
前記画素部の前記カラーフィルタに対する前記下部電極の位置が、前記固体撮像素子の中心から周辺に向かうにしたがって周辺側にずれており、
前記画素部の前記下部電極が、前記固体撮像素子を搭載する撮像装置内の撮像レンズの射出瞳中心を出て前記画素部の前記カラーフィルタの中心を通る光線が前記画素部の前記下部電極及び前記上部電極で挟まれる前記光電変換層の領域の中心に到達するように周辺側にずらされている固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記画素部の前記カラーフィルタ中心と前記下部電極中心とのずれ量が、前記撮像レンズの射出瞳位置と前記固体撮像素子との距離をL、前記カラーフィルタ中心と前記光電変換層中心との距離をTとすると、前記画素部の前記カラーフィルタの中心を通る前記光線と前記固体撮像素子表面との交点から前記撮像レンズの光軸までの距離の(0.303×T/L)倍以上、(0.909×T/L)倍以下となっている固体撮像素子。 - 請求項1又は2記載の固体撮像素子であって、
前記画素部の前記カラーフィルタに入射した光が隣の前記画素部に入射するのを防止するための隔壁を備え、
前記隔壁が、隣接する前記画素部の前記カラーフィルタ同士の間に前記カラーフィルタの側面を覆って設けられており、
前記画素部が、前記カラーフィルタと前記上部電極との間に設けられた、前記光電変換部を保護するための保護層を含み、
前記保護層の厚さが、0より大きく1.0μm以下である固体撮像素子。 - 請求項3記載の固体撮像素子であって、
前記隔壁の前記カラーフィルタ表面に平行な方向の幅が、0.05μm以上で且つ前記画素部のサイズの0.2倍以下であり、
前記カラーフィルタと前記保護層の厚みの合計が、0.2μmより大きく1.4μm以下である固体撮像素子。 - 請求項3又は4記載の固体撮像素子であって、
前記隔壁が、光を吸収又は反射する材料で構成されたもの、又は、光を全反射する空気層である固体撮像素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記光電変換層が有機又は無機の光電変換材料で構成されている固体撮像素子。 - 請求項1〜6のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記画素部が、前記カラーフィルタ上に、前記光電変換部に光を集光するためのマイクロレンズを備える固体撮像素子。 - 請求項1〜7のいずれか1項記載の固体撮像素子を備える撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008233319A JP5371339B2 (ja) | 2008-09-11 | 2008-09-11 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008233319A JP5371339B2 (ja) | 2008-09-11 | 2008-09-11 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010067829A JP2010067829A (ja) | 2010-03-25 |
JP5371339B2 true JP5371339B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=42193156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008233319A Active JP5371339B2 (ja) | 2008-09-11 | 2008-09-11 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5371339B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012015424A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
JP2013088557A (ja) | 2011-10-17 | 2013-05-13 | Toshiba Corp | 固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法 |
JP5759421B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2015-08-05 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP6192379B2 (ja) | 2013-06-18 | 2017-09-06 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
US11251218B2 (en) * | 2016-10-20 | 2022-02-15 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors with enhanced wide-angle performance |
CN110034145B (zh) * | 2019-04-23 | 2021-09-14 | 德淮半导体有限公司 | 图像传感器及其形成方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006120922A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 光電変換膜積層型カラー固体撮像装置 |
JP4414901B2 (ja) * | 2005-01-19 | 2010-02-17 | 富士フイルム株式会社 | カラー画像生成方法 |
JP4598680B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2010-12-15 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びカメラ |
JP4491352B2 (ja) * | 2005-01-25 | 2010-06-30 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2007088440A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-04-05 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び撮像素子 |
JP4966618B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-07-04 | 富士フイルム株式会社 | 撮像素子及び内視鏡装置 |
-
2008
- 2008-09-11 JP JP2008233319A patent/JP5371339B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010067829A (ja) | 2010-03-25 |
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