JP5368353B2 - 真空貼合装置 - Google Patents
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- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
11 側壁
20 アライメントアセンブリ
30 イメージングユニット
31 位置決め板
33 滑動部材
35 ホルダー
37 イメージング部材
39 光源
40 チャック機構
41 ベース
42 ガイド部材
43 弾性部材
44 伝動軸
45 チャック部材
46 位置決め部材
50 ガイド機構
51 ガイド柱
53 ベローズ
60 チャックヘッド
70 密封室
71 蓋体
73 基板
100 真空貼合装置
111 ガイドレール
113 第一滑動部材
115 第二滑動部材
117 駆動部
200 貼合部材
421 本体
423 ガイド部
425 位置規制片
451 フレーム
453 挟持部材
461 位置決め面
4231 ガイド孔
4251 位置規制孔
Claims (6)
- 貼合部材を貼合することに用いられ、
前記貼合部材の位置を調整するアライメントアセンブリと、
前記アライメントアセンブリに連接固定され、且つ少なくとも2つのチャック部材を備えるチャック機構と、
前記チャック機構に対向して設置されるチャックヘッドと、
前記チャック機構及び前記チャックヘッドを収容する密封室と、を備えてなる真空貼合装置であって、
前記少なくとも2つのチャック部材が前記密封室内で相対運動することによって、前記貼合部材を保持又は解放し、
前記チャック機構は、前記少なくとも2つのチャック部材の間に設置される弾性部材を更に備え、
前記弾性部材は、前記貼合部材における前記チャック部材の相対運動の方向の両側に配置されていることを特徴とする真空貼合装置。 - 前記チャック機構は、ガイド部材を更に備え、前記弾性部材は、前記ガイド部材に収容されることを特徴とする請求項1に記載の真空貼合装置。
- 前記チャック機構は、前記貼合部材の縁部に接触する位置決め面を有する位置決め部材を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の真空貼合装置。
- 前記真空貼合装置は、ガイドレール及び前記ガイドレールに滑動可能に連接される滑動部材が設置されているハウジングを更に備え、前記アライメントアセンブリは、前記滑動部材に連接されることを特徴とする請求項1に記載の真空貼合装置。
- 前記チャック機構に対向して設置されて、前記貼合部材をイメージングするイメージングユニットをさらに備え、
前記イメージングユニットは、
滑動部材と、
前記滑動部材に連接されるホルダーと、
前記ホルダーに固定されるイメージング部材と、を備え、
前記ホルダーは、前記滑動部材に滑動可能に連接されて前記イメージング部材の位置を変位させることを特徴とする請求項1に記載の真空貼合装置。 - 前記少なくとも2つのチャック部材には、前記貼合部材を保持するための挟持部材が設置されていることを特徴とする請求項1に記載の真空貼合装置。
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