JP5366735B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Description
また、転写装置1には、位置合わせ装置(アライメントの調整装置)7が設けられており、位置合わせ装置7は、撮影装置5で撮影した画像に基づいて、型Mに対する基材W1の位置合わせ(アライメントの調整)をするようになっている。たとえば、型Mに設けられているアイマークと基材W1に設けられているアイマークとを撮影装置5で撮影し、型Mに設けられているアイマークと基材W1に設けられているアイマークとの位置ずれ量の基づいて、位置合わせ装置7が、型Mに対する基材W1位置合わせをするようになっている。
3(3A,3B,3C)紫外線発生装置
5 撮影装置
7 位置合わせ装置
13 基材保持体
15 型保持体
M 型
W 被成型品
W1 基材
W2 紫外線硬化樹脂
Claims (3)
- 紫外線や可視光が透過可能な材料で構成された平板状の型の厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターンを、平板状の基材の厚さ方向の一方の面に設けられている膜状の紫外線硬化樹脂に転写するための転写装置において、
前記紫外線硬化樹脂が設けられている基材を保持する基材保持体と、
中央部に貫通孔を備え、前記型の厚さ方向の一方の面が、前記基材保持体に保持されている基材の厚さ方向の一方の面に対向するように、前記型の厚さ方向の他方の面の周辺部を前記貫通孔の周辺部に接触させて前記型を保持し、前記基材保持体に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在になっている型保持体と、
前記型保持体に一体的に設けられ、前記型保持体の貫通孔を通して、前記型保持体に保持されている型と前記基材保持体に保持されている基材とを撮影する撮影装置と、
前記撮影装置で撮影した画像に基づいて、前記保持体に保持されている型に対する前記基材保持体に保持されている基材の相対的な位置合わせをする位置合わせ装置と、
前記転写をするときに前記紫外線硬化樹脂に照射する紫外線を発生し、前記型保持体に保持されている型の厚さ方向一方の面に対して斜めの方向で、前記貫通孔と前記型とを通過させて、前記基材保持体に保持されている基材の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射するように設置されている紫外線発生装置と、
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記紫外線発生装置が複数設けられており、これの紫外線発生装置がお互いに異なる方向から前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射するように構成されていることを特徴とする転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載の転写装置を用いてなされることを特徴とする転写方法。
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