JP5363775B2 - X-ray generator and X-ray inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、Ｘ線管を冷却する絶縁油の油圧を調整する油圧調整機構を有したＸ線発生装置、及び、このＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray generation apparatus having a hydraulic pressure adjustment mechanism that adjusts the hydraulic pressure of insulating oil that cools an X-ray tube, and an X-ray inspection apparatus including the X-ray generation apparatus.
従来から、絶縁油を充填した容器内において高電圧で使用されるＸ線管を有したＸ線発生装置及びＸ線検査装置として、下記特許文献１に代表されるような技術が公知となっている。なお、特許文献１のものは、Ｘ線管を収納し、内部に絶縁油を充填した管容器と、前記絶縁油が出入りする絶縁油穴に通じる側と空気が出入りする空気穴に通じる側とに内部空間が弾性部材で仕切られたベローズ収納容器とを具備したＸ線管装置において、前記ベローズ収納容器の空気穴が、前記絶縁油に濡れ難い材料の絶縁油遮断層を有するフィルターで封止されていることを特徴とするＸ線管装置である。 Conventionally, as an X-ray generator and an X-ray inspection apparatus having an X-ray tube used at a high voltage in a container filled with insulating oil, a technique represented by the following Patent Document 1 has become known. Yes. In addition, the thing of patent document 1 accommodates the X-ray tube, the tube container filled with insulating oil inside, the side which leads to the insulating oil hole through which the said insulating oil enters and exits, and the side which leads to the air hole through which air enters and exits In the X-ray tube apparatus having an inner space partitioned by an elastic member, the air hole of the bellows storage container is sealed with a filter having an insulating oil blocking layer made of a material difficult to wet with the insulating oil This is an X-ray tube device.
しかしながら、特許文献１のものにおいては、経年劣化などによりベローズが破れた場合、該破損したことを確認することが困難であるだけでなく、Ｘ線管を収容している容器から、絶縁油が外部に排出されてしまい、Ｘ線管を十分に冷却できなくなるおそれがあった。その結果として、Ｘ線発生装置の運転をそのまま続行していいかどうかの判断は困難であった。 However, in the case of Patent Document 1, when the bellows is torn due to aging or the like, it is difficult not only to confirm that the bellows is broken, but also from the container containing the X-ray tube, the insulating oil is removed. There is a possibility that the X-ray tube cannot be sufficiently cooled due to being discharged to the outside. As a result, it has been difficult to determine whether or not to continue the operation of the X-ray generator.
そこで、本発明の目的は、経年劣化などにより前記弾性部材が破断した際、該破損したことを容易に検知できるとともに、運転の続行可否を容易に判断できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray generator and an X-ray inspection apparatus that can easily detect whether the elastic member is broken due to aging or the like and can easily determine whether or not to continue the operation. Is to provide.
（１） 本発明は、開口部を有しており、Ｘ線管を内包し支持する容器と、前記容器内に充填され、前記Ｘ線管を浸漬して、絶縁する絶縁油と、前記絶縁油の膨張、収縮を緩衝するために前記開口部を閉塞するように取り付けられた弾性部材とを含むＸ線発生装置であって、前記開口部及び前記弾性部材の外部とともに形成した空間を内部に有している貯留器を備えており、前記貯留器が、外部から前記空間内を目視できる透明部を有しているものである。なお、前記透明部又は前記透明部の側部に、前記貯留器の高さ方向に沿って目盛りが設けられていることが好ましい。 (1) The present invention has an opening, and encloses and supports an X-ray tube, an insulating oil filled in the container and immersed in the X-ray tube for insulation, and the insulation An X-ray generator including an elastic member attached so as to block the expansion and contraction of oil, the space formed together with the opening and the outside of the elastic member inside It has the storage device which has, and the storage device has a transparent part which can visually recognize the inside of the space from the outside. In addition, it is preferable that the scale is provided in the side part of the said transparent part or the said transparent part along the height direction of the said reservoir.
（２） 上記（１）のＸ線発生装置においては、前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した第１の外部容器と、前記第１の外部容器に管を介して連通している第２の外部容器とを有していることが好ましい。 (2) In the X-ray generator of (1), the reservoir has a first external container having a hole connected to the opening and the outside of the elastic member, and the first external It is preferable to have the 2nd external container connected to the container through the pipe | tube.
（３） 別の観点として、上記（１）のＸ線発生装置においては、前記開口部が、前記容器の側部に設けられ、前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した外部容器を有しているものであってもよい。 (3) As another aspect, in the X-ray generator of (1) above, the opening is provided on a side of the container, and the reservoir is connected to the opening and the outside of the elastic member. It may have an outer container having a formed hole.
上記（１）〜（３）の構成によれば、貯留器内の空間を、外部から容易に視認できる。これにより、前記弾性部材が破損した際には、前記絶縁油が前記貯留器内に流入していることを検知できる。つまり、前記弾性部材の破損を検知できるものとなる。また、前記透明部又は前記透明部の側部に前記目盛りが設けられており、予め前記貯留器内に気体しか封入されていないような場合には、前記容器から漏れ出た前記絶縁油の量を検知できる。その結果として、前記弾性部材が破れてしまった後の前記容器内の絶縁油量を検知できるので、装置の運転を続行してもよいかどうかの判断材料として用いることができる。 According to the above configurations (1) to (3), the space in the reservoir can be easily visually recognized from the outside. Thereby, when the elastic member is damaged, it can be detected that the insulating oil flows into the reservoir. That is, the breakage of the elastic member can be detected. Further, in the case where the scale is provided on the transparent part or the side part of the transparent part and only the gas is sealed in advance in the reservoir, the amount of the insulating oil leaked from the container Can be detected. As a result, the amount of insulating oil in the container after the elastic member has been torn can be detected, so that it can be used as a material for determining whether or not the operation of the apparatus can be continued.
（４） 上記（２）のＸ線発生装置においては、前記開口部が、前記容器の側部に設けられ、前記管の他端が、前記第１の外部容器の上部に接続されていることが好ましい。 (4) In the X-ray generator of (2), the opening is provided on a side of the container, and the other end of the tube is connected to an upper part of the first outer container. Is preferred.
上記（４）の構成によれば、前記Ｘ線管の発熱によって前記第１の絶縁油が熱膨張し、前記弾性部材が破れ、前記第１の外部容器内が前記第１の絶縁液で満たされた場合に、前記第２の外部容器に前記第１の絶縁液が流れ込むようにすることができる。また、前記第２の外部容器内に排出される前記第１の絶縁液の量を最小にすることができるので、前記容器内の前記第１の絶縁液の温度が低温になって、前記第１の外部容器内における前記第１の絶縁液の一部が前記容器内に戻っても、さほど影響を受けないようにすることができる。また、前記管の他端が前記第１の外部容器の上部以外に接続される場合に比べて、前記第２の外部容器内に排出された前記第１の絶縁液の量を、適切に確認できる。 According to the configuration of (4) above, the first insulating oil is thermally expanded due to heat generated by the X-ray tube, the elastic member is broken, and the inside of the first outer container is filled with the first insulating liquid. In this case, the first insulating liquid can flow into the second outer container. In addition, since the amount of the first insulating liquid discharged into the second external container can be minimized, the temperature of the first insulating liquid in the container becomes low, and the first insulating liquid becomes low. Even if a part of the first insulating liquid in one outer container returns into the container, it can be prevented from being affected so much. In addition, the amount of the first insulating liquid discharged into the second outer container is appropriately confirmed as compared with the case where the other end of the pipe is connected to other than the upper part of the first outer container. it can.
（５） 上記（４）のＸ線発生装置においては、前記第１の外部容器が、中心軸を水平として前記容器の側部に設けられた丸筒状容器であることが好ましい。 (5) In the X-ray generator of (4), it is preferable that the first outer container is a round cylindrical container provided on a side portion of the container with a central axis being horizontal.
上記（５）の構成によれば、内部曲面において負荷される圧力を放射状に分散することができるので、前記第１の外部容器に過大な圧力をかけないようにすることができ、他の形状の容器に比べて、前記第１の外部容器の寿命を延ばすことができる。 According to the configuration of the above (5), the pressure applied to the inner curved surface can be distributed radially, so that excessive pressure is not applied to the first outer container, and other shapes can be obtained. The life of the first outer container can be extended as compared with the container.
（６） 上記（１）〜（５）のＸ線発生装置においては、運転前において、前記空間内が前記容器内と同程度の圧力となるように調整されていることが好ましい。 (6) In the X-ray generator of said (1)-(5), it is preferable to adjust so that the inside of the said space may become a pressure comparable as the inside of the said container before a driving | operation.
上記（６）の構成によれば、前記容器内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置を提供できる。 According to the configuration of (6) above, since the pressure in the container is easily stabilized, it is possible to provide an X-ray generator that can perform safer operation.
（７） 上記（１）〜（６）のＸ線発生装置においては、前記空間を満たす気体が不活性ガスであることが好ましい。 (7) In the X-ray generator of said (1)-(6), it is preferable that the gas which fills the said space is an inert gas.
上記（７）の構成によれば、仮に前記弾性部材が破れたとしても、前記第１の絶縁油の酸化をも防止できる。 According to the configuration of (7), even if the elastic member is torn, oxidation of the first insulating oil can be prevented.
（８） 本発明のＸ線検査装置は、上記（１）〜（７）のいずれか１つのＸ線発生装置を備えているものである。 (8) The X-ray inspection apparatus of the present invention includes any one of the above-described (1) to (7) X-ray generators.
上記（８）の構成によれば、上記（１）〜（７）のＸ線発生装置の効果を有したＸ線検査装置を提供できる。 According to the configuration of (8) above, it is possible to provide an X-ray inspection apparatus having the effects of the X-ray generators of (1) to (7) above.
＜第１実施形態＞
以下、図面を用いて、本発明の実施形態に係るＸ線発生装置について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を搭載したＸ線検査装置の斜視概略図である。図２は、図１のＸ線発生装置の断面図である。ここで、図１におけるＸ線発生装置１は、設置位置を示すための大まかな概略図を表示したものであり、詳細な概略図は図２に示したものである。
<First Embodiment>
Hereinafter, an X-ray generator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view of an X-ray inspection apparatus equipped with the X-ray generator according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the X-ray generator of FIG. Here, the X-ray generator 1 in FIG. 1 displays a rough schematic diagram for showing the installation position, and the detailed schematic diagram is shown in FIG.
図１に示されるＸ線検査装置１００は、Ｘ線を発生するＸ線発生装置１と、Ｘ線発生装置１を内部に有したＸ線発生装置収納部２と、Ｘ線発生装置収納部２の下部に連設され、基台と一体化しているＸ線検査部３と、Ｘ線検査部３内に設けられ、物品を搬送するベルトコンベア４と、Ｘ線発生装置１及びベルトコンベア４の下部に設けられているＸ線検出器５とを備えているものである。 An X-ray inspection apparatus 100 shown in FIG. 1 includes an X-ray generation apparatus 1 that generates X-rays, an X-ray generation apparatus storage section 2 that has the X-ray generation apparatus 1 inside, and an X-ray generation apparatus storage section 2. Of the X-ray inspection unit 3 integrated with the base, the belt conveyor 4 provided in the X-ray inspection unit 3 for conveying articles, the X-ray generator 1 and the belt conveyor 4. An X-ray detector 5 provided at the lower portion is provided.
Ｘ線発生装置収納部２は、Ｘ線発生装置１を取り囲んで密封する金属製の筐体であり、正面側（図１中の手前側）においては、水平方向に片開きする扉２ａを有している。この扉２ａには、Ｘ線検査装置の運転中におけるＸ線の感度調整などの設定ができるタッチパネル２ｂが設けられている。 The X-ray generator housing section 2 is a metal housing that surrounds and seals the X-ray generator 1 and has a door 2a that opens horizontally in the front side (front side in FIG. 1). doing. The door 2a is provided with a touch panel 2b that can perform settings such as X-ray sensitivity adjustment during operation of the X-ray inspection apparatus.
Ｘ線検査部３は、側方の左面及び右面に、検査する物品を通過させるための入口３ａ及び出口３ｂが形成されている。これら入口３ａ及び出口３ｂそれぞれの内側には、複数枚のＸ線漏洩防止カーテン（図示せず）が取り付けられており、Ｘ線発生装置１から照射されるＸ線が外部に漏洩しないようになっている。 The X-ray inspection unit 3 has an inlet 3a and an outlet 3b for allowing an article to be inspected to pass through on the left and right sides. A plurality of X-ray leakage prevention curtains (not shown) are attached to the inside of each of the inlet 3a and the outlet 3b so that X-rays emitted from the X-ray generator 1 do not leak to the outside. ing.
ベルトコンベア４は、駆動モータ（図示せず）により駆動され、入口３ａから搬入された検査する物品を出口３ｂへ搬送することができるものである。 The belt conveyor 4 is driven by a drive motor (not shown), and can convey the article to be inspected carried in from the inlet 3a to the outlet 3b.
Ｘ線検出器５は、検査する物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出することができるものである。 The X-ray detector 5 can detect whether or not foreign matters such as metal scraps and bones are included from the amount of X-ray transmitted to the article to be inspected.
Ｘ線発生装置１は、図２に示すように、略直方体をなし、側部に開口部１０ａを有した金属製の容器１０と、容器１０内に設けられた台１１と、台１１の上に取りつけられたＸ線管１２と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して冷却する第１の絶縁油１３と、開口部１０ａを密閉するように固定部材１４によって固定されたベローズ１５と、開口部１０ａの外部に接続された貯留器１６とを備えている。 As shown in FIG. 2, the X-ray generator 1 has a substantially rectangular parallelepiped shape, a metal container 10 having an opening 10 a on the side, a table 11 provided in the container 10, and a top of the table 11. Fixed to the X-ray tube 12 attached to the first insulating oil 13 filled in the container 10 and immersed in the X-ray tube 12 for cooling, and the fixing member 14 so as to seal the opening 10a. A bellows 15 and a reservoir 16 connected to the outside of the opening 10a are provided.
ベローズ１５は、樹脂などの弾性部材からなり、フランジ部を縁に有したカップ状の部材である。固定部材１４は、リング状部材であり、ベローズ１５のフランジ部を容器１０の開口部１０ａ周囲に押しつけるように、容器１０に取り外し可能な状態で固定されているものである。 The bellows 15 is a cup-shaped member made of an elastic member such as resin and having a flange portion at the edge. The fixing member 14 is a ring-shaped member, and is fixed to the container 10 in a removable state so as to press the flange portion of the bellows 15 around the opening 10 a of the container 10.
貯留器１６は、開口部１０ａの外部に設けられた第１の外部容器１７と、第１の外部容器１７に管１８を介して連通している第２の外部容器１９と、第１の外部容器１７及び管１８に充填されているとともに、第２の外部容器１９に封入されている第２の絶縁油２０とを備えている。 The reservoir 16 includes a first external container 17 provided outside the opening 10a, a second external container 19 communicating with the first external container 17 via a pipe 18, and a first external container The container 17 and the pipe 18 are filled with a second insulating oil 20 sealed in a second outer container 19.
第１の外部容器１７は、一端に蓋部を有し、他端の孔１７ａの周囲にフランジ部を有し、中心軸を鉛直方向に対して垂直となるように設けられている丸筒状部材である。 The first outer container 17 has a lid portion at one end, a flange portion around the hole 17a at the other end, and a cylindrical shape provided so that the central axis is perpendicular to the vertical direction. It is a member.
管１８は、柔軟な樹脂からなるものであり、第１の外部容器１７の曲面部のうち上部に設けられている。また、第２の外部容器１９を設置する位置によって、適当な長さのものが選ばれる。ここで、一変形例として、管１８は金属からなるものであってもよい。 The tube 18 is made of a flexible resin, and is provided on the upper portion of the curved surface portion of the first outer container 17. Moreover, the thing of suitable length is chosen by the position which installs the 2nd outer container 19. FIG. Here, as a modification, the tube 18 may be made of metal.
第２の外部容器１９は、樹脂又はガラスなどの透明な材料からなる窓部１９ａを有した筒状部材であり、内部には第１の外部容器１７及び管１８に充填されている第２の絶縁油２０が、気体とともに封入されている。窓部１９ａの側部には、第２の絶縁油２０液面の通常位置を示した目盛り１９ｂ１、１９ｂ２（図３（ａ）参照）と、運転時の第２の絶縁油２０液面位置の目盛り１９ｃ１、１９ｃ２（図３（ｂ）参照）と、ベローズ１５破断時の第２の絶縁油２０液面位置の目盛り１９ｄ１、１９ｄ２（図３（ｃ）参照）とが設けられている。ここで、運転時の第２の絶縁油２０液面位置は、ベローズ１５が劣化する前にＸ線発生装置１を運転し、予め第２の絶縁油２０液面の最大上昇位置を測定することによって得ることができる。また、ベローズ１５破断時の第２の絶縁油２０液面位置は、ベローズ１５を破断させた状態でＸ線発生装置１を運転し、予め第２の絶縁油２０液面の最大上昇位置を測定することによって得ることができる。また、第２の外部容器１９に封入されている気体の例としては、少量であれば空気でもかまわないが、絶縁油の酸化を防止することを考慮して、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスなどの不活性ガスであることが好ましい。 The second outer container 19 is a cylindrical member having a window portion 19a made of a transparent material such as resin or glass. The second outer container 19 is filled with the first outer container 17 and the pipe 18 inside. Insulating oil 20 is enclosed with gas. On the side of the window 19a, there are scales 19b1 and 19b2 (see FIG. 3A) showing the normal position of the second insulating oil 20 liquid level, and the second insulating oil 20 liquid level position during operation. Scales 19c1 and 19c2 (see FIG. 3B) and scales 19d1 and 19d2 (see FIG. 3C) of the liquid surface position of the second insulating oil 20 when the bellows 15 is broken are provided. Here, the second insulating oil 20 liquid level position during operation is that the X-ray generator 1 is operated before the bellows 15 deteriorates and the maximum rising position of the second insulating oil 20 liquid level is measured in advance. Can be obtained by: The second insulating oil 20 liquid level position when the bellows 15 is broken is determined by operating the X-ray generator 1 with the bellows 15 broken and measuring the maximum rising position of the second insulating oil 20 liquid level in advance. Can be obtained. Examples of the gas sealed in the second outer container 19 may be air as long as it is small, but in consideration of preventing the oxidation of the insulating oil, nitrogen gas, argon gas, helium gas An inert gas such as is preferable.
なお、容器１０内における第１の絶縁油１３の最上位の高さ位置と、第２の外部容器１９における第２の絶縁油２０の最上位の高さ位置とは、位置２１になるように調整されている。これにより、容器１０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置１を提供できる。また、運転前において、前記空間内が大気圧程度の圧力となるように調整されている。これにより、さらに容器１０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置１を提供できる。 The highest height position of the first insulating oil 13 in the container 10 and the highest height position of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 are set to the position 21. It has been adjusted. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 10, the X-ray generator 1 which can perform safer driving | operation can be provided. In addition, before the operation, the space is adjusted to a pressure of about atmospheric pressure. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 10, the X-ray generator 1 which can perform a safer driving | operation can be provided.
ここで、第２の絶縁油２０は、第１の絶縁油１３と同様のものであってもよいが、異なる種類のものであってもよい。ただし、第２の絶縁油２０と第１の絶縁油１３とが異なる種類のものである場合には、ベローズ１５が破れた際、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とは混合することになるので、その際に化学反応などを起こさない組み合わせが選ばれている。 Here, the second insulating oil 20 may be the same as the first insulating oil 13, but may be of a different type. However, when the second insulating oil 20 and the first insulating oil 13 are of different types, when the bellows 15 is torn, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are mixed. Therefore, a combination that does not cause a chemical reaction or the like is selected.
次に、本実施形態に係るＸ線発生装置１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が開始されると、Ｘ線管１２からＸ線がベルトコンベア４によって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器５によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管１２は熱を発することになるが、第１の絶縁油１３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油１３が膨張する。この第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５の変形及び貯留器１６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５の変形によって、第１の外部容器１７内の第２の絶縁油２０、管１８内の第２の絶縁油２０、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の順に伝達される。そして、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が上昇し（図３（ｂ）の目盛り１９ｃ１、１９ｃ２）、第２の外部容器１９内の気体が圧縮されることによって緩衝される。 Next, the operation of the X-ray generator 1 according to this embodiment will be described. First, when the operation of the X-ray generator 1 is started in the X-ray inspection apparatus 100, X-rays are emitted from the X-ray tube 12 to the inspection object conveyed by the belt conveyor 4, and are detected by the X-ray detector 5. It is detected from the amount of X-rays transmitted to the article whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 12 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 13 and the first insulating oil 13 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 is buffered by the deformation of the bellows 15 and the reservoir 16. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 is caused by the deformation of the bellows 15, the second insulating oil 20 in the first outer container 17, and the second insulating oil in the pipe 18. 20 and the second insulating oil 20 in the second outer container 19 are transmitted in this order. Then, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 rises (scales 19c1 and 19c2 in FIG. 3B), and the gas in the second outer container 19 is compressed. Buffered.
なお、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が停止されると、Ｘ線管１２からの発熱が停止され、第１の絶縁油１３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、ベローズ１５が元の形状に戻るとともに、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が、元の高さ位置（図３（ａ）の目盛り１９ｂ１、１９ｂ２）まで戻ることになる。このとき、ベローズ１５によって、第２の絶縁油２０は容器１０内に入り込むことはないので、第１の絶縁油１３と混合することはない。したがって、仮に第２の絶縁油２０が酸化していたり、第２の絶縁油２０にほこりなどが入っていたりしても、第２の絶縁油２０が第１の絶縁油１３に影響を与えることがない。 When the operation of the X-ray generator 1 is stopped in the X-ray inspection apparatus 100, the heat generation from the X-ray tube 12 is stopped and the first insulating oil 13 is externally cooled to contract to the original volume. Therefore, the bellows 15 returns to the original shape, and the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 reaches the original height position (scales 19b1 and 19b2 in FIG. 3A). Will return. At this time, since the second insulating oil 20 does not enter the container 10 by the bellows 15, the second insulating oil 20 is not mixed with the first insulating oil 13. Therefore, even if the second insulating oil 20 is oxidized or dust is contained in the second insulating oil 20, the second insulating oil 20 affects the first insulating oil 13. There is no.
次に、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１を運転している最中に、ベローズ１５が破れた場合のＸ線発生装置１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が開始されると、Ｘ線管１２からＸ線がベルトコンベア４によって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器５によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管１２は熱を発することになるが、第１の絶縁油１３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油１３が膨張する。この第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５を通過して、貯留器１６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５を通過して、第１の外部容器１７内の第２の絶縁油２０、管１８内の第２の絶縁油２０、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の順に伝達される。そして、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が上昇し（図３（ｃ）の目盛り１９ｄ１、１９ｄ２の位置参照）、第２の外部容器１９内の気体が圧縮されることによって緩衝される。また、このとき、ベローズ１５が破れているので、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とは混合される。 Next, the operation of the X-ray generator 1 when the bellows 15 is torn during the operation of the X-ray generator 1 in the X-ray inspection apparatus 100 will be described. First, when the operation of the X-ray generator 1 is started in the X-ray inspection apparatus 100, X-rays are emitted from the X-ray tube 12 to the inspection object conveyed by the belt conveyor 4, and are detected by the X-ray detector 5. It is detected from the amount of X-rays transmitted to the article whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 12 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 13 and the first insulating oil 13 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 passes through the bellows 15 and is buffered by the reservoir 16. More specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 passes through the bellows 15, the second insulating oil 20 in the first outer container 17, and the second insulation in the pipe 18. The oil 20 is transmitted in the order of the second insulating oil 20 in the second outer container 19. Then, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 rises (see the positions of the scales 19d1 and 19d2 in FIG. 3C), and the gas in the second outer container 19 is compressed. Buffered by At this time, since the bellows 15 is broken, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are mixed.
なお、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が停止されると、Ｘ線管１２からの発熱が停止され、第１の絶縁油１３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面は、元の高さ位置（図３（ａ）の目盛り１９ｂ１、１９ｂ２の位置）まで戻ることになる。ただし、ベローズ１５は破れているので、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とはさらに混合することになるが、第２の外部容器１９内の気体に不活性ガスを使用して、第２の絶縁油２０の酸化などを防止しておけば、特に問題は発生せず、所定期間（例えば、（ａ）ベローズ１５の寿命期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置１００を安全に運転することが可能である。もちろん、第２の外部容器１９内の気体が空気であったとしても、該空気の量が少ないので、絶縁油の酸化が進行しにくいことから、従来よりも長い所定期間（例えば、（ａ）絶縁油の寿命を考慮した期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置１００を安全に運転することが可能である。 When the operation of the X-ray generator 1 is stopped in the X-ray inspection apparatus 100, the heat generation from the X-ray tube 12 is stopped and the first insulating oil 13 is externally cooled to contract to the original volume. Therefore, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 returns to the original height position (positions of the scales 19b1 and 19b2 in FIG. 3A). However, since the bellows 15 is broken, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are further mixed, but an inert gas is used as the gas in the second outer container 19. If the oxidation of the second insulating oil 20 is prevented, no particular problem occurs, and a predetermined period (for example, (a) the lifetime of the bellows 15, (b) a period determined by internal regulations, etc.) The X-ray inspection apparatus 100 can be safely operated without maintenance of the X-ray generation apparatus 1. Of course, even if the gas in the second outer container 19 is air, the amount of the air is small, so that the oxidation of the insulating oil is difficult to proceed. Therefore, for a predetermined period (for example, (a) It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus 100 without performing maintenance of the X-ray generation apparatus 1 during a period considering the life of the insulating oil, (b) a period determined by internal regulations, and the like.
本実施形態によれば、第２の絶縁油２０の液面位置を、外部から容易に視認できる。これにより、ベローズ１５が破損した際には、第２の絶縁油２０が貯留器１６内に流入していることを検知できる。つまり、ベローズ１５の破損を検知できるものとなる。また、弾性部材であるベローズ１５が破損する前の運転時において、第１の絶縁油１３が最大膨張したときの第２の絶縁油２０の液面位置を予め測定し、該位置を目盛り１９ｃ１、１９ｃ２として記しておけば、ベローズ１５が破損した際、目盛り１９ｃ１、１９ｃ２の位置よりも大幅に高い位置まで液面上昇することが明らかであるので、ベローズ１５が破損したことを容易に検知できる。特に、予め、ベローズ１５を破損させた状態で運転した際の液面位置を測定し、該位置を目盛り１９ｄ１、１９ｄ２として記しておくことで、ベローズ１５が破損した際の液面位置を把握しておくことができる。これにより、ベローズ１５の破損を容易に検知できるだけでなく、ベローズ１５の交換タイミングを破損前の一定期間とせずとも、実際のベローズ１５の破損に合わせて交換すればよいものとできる。したがって、従来ではベローズ１５の寿命前に必ず交換する必要があったのが、寿命を迎えてから交換できるようになるので、従来よりも、ベローズ１５の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できたＸ線発生装置１を提供できる。 According to this embodiment, the liquid level position of the second insulating oil 20 can be easily visually recognized from the outside. Thereby, when the bellows 15 is damaged, it can be detected that the second insulating oil 20 flows into the reservoir 16. That is, breakage of the bellows 15 can be detected. Further, during the operation before the bellows 15 that is the elastic member is broken, the liquid level position of the second insulating oil 20 when the first insulating oil 13 has expanded to the maximum is measured in advance, and the position is indicated by a scale 19c1, If it is described as 19c2, it is clear that when the bellows 15 is broken, the liquid level rises to a position significantly higher than the positions of the scales 19c1 and 19c2, so that the bellows 15 can be easily detected. In particular, by measuring the liquid level position when operating with the bellows 15 damaged in advance, and recording the positions as scales 19d1 and 19d2, the liquid level position when the bellows 15 is damaged can be grasped. I can keep it. Thereby, not only can the breakage of the bellows 15 be easily detected, but the replacement of the bellows 15 may be performed in accordance with the actual breakage of the bellows 15 without setting the replacement timing of the bellows 15 for a certain period before the breakage. Therefore, in the past, it was necessary to replace the bellows 15 before the end of its life. However, since the replacement can be performed after the end of the life, the replacement maintenance interval of the bellows 15 can be greatly prolonged compared to the conventional X. The line generator 1 can be provided.
また、従来のベローズなどの弾性部材だけの場合に比べて、より容器１０内の絶縁油の膨張、収縮を緩衝できる。また、ベローズ１５の外部が空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）になっているので、ゴミが入りづらく且つ第１の絶縁油１３に触れる気体の量を少なくできるので、第１の絶縁油１３の酸化を抑制することができる。したがって、第１の絶縁油１３の膨張、収縮を緩衝しつつ、第１の絶縁油１３の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができ、油内放電を抑制することができる。また、前記空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）中の第２の絶縁油２０は、ベローズ１５が劣化し破損しない限り、第１の絶縁油１３のような絶縁耐電圧の劣化を考慮しないでいいので、酸素を含む気体と触れていても、さほど差し支えない。なお、仮にベローズ１５が劣化し破損した際には、第２の絶縁油２０が混合して第１の絶縁油１３が多少劣化することもあるが、破損後からでも所定期間は、安全に運転を持続できるＸ線発生装置１を提供できる。これにより、従来よりも、絶縁油の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できるＸ線発生装置１を提供できる。 Moreover, the expansion | swelling and shrinkage | contraction of the insulating oil in the container 10 can be buffered more compared with the case where only elastic members, such as the conventional bellows, are used. Further, since the outside of the bellows 15 is a space (the internal space of the first outer container 17, the pipe 18, and the second outer container 19), it is difficult for dust to enter and the gas that touches the first insulating oil 13 Therefore, the oxidation of the first insulating oil 13 can be suppressed. Therefore, deterioration of the insulation withstand voltage due to oxidation of the first insulating oil 13 can be suppressed while buffering expansion and contraction of the first insulating oil 13, and discharge in oil can be suppressed. Further, the second insulating oil 20 in the space (the inner space of the first outer container 17, the pipe 18, and the second outer container 19) is the first insulating oil unless the bellows 15 is deteriorated and damaged. Since it is not necessary to consider the deterioration of the dielectric strength voltage as in FIG. 13, even if it is in contact with a gas containing oxygen, there is no problem. If the bellows 15 is deteriorated and damaged, the second insulating oil 20 may be mixed and the first insulating oil 13 may be slightly deteriorated. However, even after the damage, the bellows 15 may be safely operated for a predetermined period. Can be provided. Thereby, the X-ray generator 1 which can lengthen the replacement | exchange maintenance interval of insulating oil significantly longer than before can be provided.
さらに、開口部１０ａが、容器１０の側部に設けられ、管１８の他端が、第１の外部容器１７の上部に接続されているので、Ｘ線管１２の発熱によって第１の絶縁油１３が熱膨張し、ベローズ１５が破れ、第１の外部容器１７内が第１の絶縁液１３で満たされた場合に、第２の外部容器１９に第１の絶縁液１３が流れ込むようにすることができる。また、第２の外部容器１９内に排出される第１の絶縁液１３の量を最小にすることができるので、容器１０内の第１の絶縁液１３の温度が低温になって、第１の外部容器１７内における第１の絶縁液１３の一部が容器１０内に戻っても、さほど影響を受けないようにすることができる。また、管１８の他端が第１の外部容器１７の上部以外に接続される場合に比べて、第２の外部容器１９内に排出された第１の絶縁液１３の量を適切に確認できる。 Further, the opening 10 a is provided at the side of the container 10, and the other end of the tube 18 is connected to the upper portion of the first outer container 17, so that the first insulating oil is generated by the heat generated by the X-ray tube 12. 13 is thermally expanded, the bellows 15 is broken, and the first insulating liquid 13 flows into the second outer container 19 when the first outer container 17 is filled with the first insulating liquid 13. be able to. Further, since the amount of the first insulating liquid 13 discharged into the second outer container 19 can be minimized, the temperature of the first insulating liquid 13 in the container 10 becomes low, and the first Even if a part of the first insulating liquid 13 in the outer container 17 returns to the container 10, it can be prevented from being affected so much. Further, the amount of the first insulating liquid 13 discharged into the second external container 19 can be appropriately confirmed as compared with the case where the other end of the pipe 18 is connected to other than the upper part of the first external container 17. .
加えて、第１の外部容器１７が、中心軸を水平として容器１０の側部に設けられた丸筒状容器であるので、内部曲面において負荷される圧力を放射状に分散することができるので、第１の外部容器１７に過大な圧力をかけないようにすることができ、他の形状の容器に比べて、第１の外部容器１７の寿命を延ばすことができる。 In addition, since the first outer container 17 is a round cylindrical container provided on the side of the container 10 with the central axis being horizontal, the pressure loaded on the inner curved surface can be distributed radially. An excessive pressure can be prevented from being applied to the first outer container 17, and the life of the first outer container 17 can be extended as compared with containers of other shapes.
＜第２実施形態＞
次に、図４、図５を用いて、本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置について説明する。なお、上記実施形態と異なる部分についてのみ説明し、同様の部分に関しては、説明を省略する。特に、符号４０〜４８の部分は、順に、第１実施形態の符号１０〜１７、２０と同様であるので、説明を省略する。
Second Embodiment
Next, an X-ray generator according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Only parts different from the above embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted. In particular, reference numerals 40 to 48 are the same as the reference numerals 10 to 17 and 20 of the first embodiment in order, and thus the description thereof is omitted.
Ｘ線発生装置３１は、第１実施形態で示したＸ線検査装置１００に係るＸ線発生装置１の代わりに用いることができるものであり、第１実施形態の貯留器１６の代わりに貯留器４６が用いられている点で、第１実施形態に係るＸ線発生装置１と異なっている。 The X-ray generator 31 can be used instead of the X-ray generator 1 according to the X-ray inspection apparatus 100 shown in the first embodiment, and a reservoir instead of the reservoir 16 of the first embodiment. 46 differs from the X-ray generator 1 according to the first embodiment in that 46 is used.
貯留器４６は、孔４７ａと、樹脂又はガラスなどの透明な材料からなる窓部４７ｂ（図５参照）とを有した筒状の外部容器４７である。孔４７ａは、容器４０の開口部４０ａ及びベローズ４５の外部側に接続されている。また、窓部４７ｂの側部には、第２の絶縁油４８液面の通常位置を示した目盛り（図５（ａ）参照）と、運転時の第２の絶縁油４８液面位置の目盛り４７ｄ１、４７ｄ２（図５（ｂ）参照）と、ベローズ４５破断時の第２の絶縁油４８液面位置の目盛り４７ｅ１、４７ｅ２（図５（ｃ）参照）とが設けられている。ここで、運転時の第２の絶縁油４８液面位置は、ベローズ４５が劣化する前にＸ線発生装置３１を運転し、予め第２の絶縁油４８液面の最大上昇位置を測定することによって得ることができる。また、ベローズ４５破断時の第２の絶縁油４８液面位置は、ベローズ４５を破断させた状態でＸ線発生装置３１を運転し、予め第２の絶縁油４８液面の最大上昇位置を測定することによって得ることができる。 The reservoir 46 is a cylindrical outer container 47 having a hole 47a and a window 47b (see FIG. 5) made of a transparent material such as resin or glass. The hole 47 a is connected to the opening 40 a of the container 40 and the outside of the bellows 45. Further, on the side of the window 47b, a scale indicating the normal position of the second insulating oil 48 liquid level (see FIG. 5A) and a scale of the second insulating oil 48 liquid level during operation. 47d1 and 47d2 (see FIG. 5B) and scales 47e1 and 47e2 (see FIG. 5C) of the liquid surface position of the second insulating oil 48 when the bellows 45 is broken. Here, the second insulating oil 48 liquid level position during operation is that the X-ray generator 31 is operated before the bellows 45 deteriorates and the maximum rising position of the second insulating oil 48 liquid level is measured in advance. Can be obtained by: The second insulating oil 48 liquid level position when the bellows 45 breaks is measured by operating the X-ray generator 31 with the bellows 45 broken and measuring the maximum rising position of the second insulating oil 48 liquid level in advance. Can be obtained.
Ｘ線発生装置３１の運転前において、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面高さ位置は、図４に示すように、容器１０内の第１の絶縁油４３の最上位の液面の位置と、略同一になっている。 Before the operation of the X-ray generator 31, the liquid level height position of the second insulating oil 48 in the outer container 47 is the highest level of the first insulating oil 43 in the container 10 as shown in FIG. 4. It is substantially the same as the position of the liquid level.
次に、本実施形態に係るＸ線発生装置３１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が開始されると、Ｘ線管４２からＸ線がベルトコンベアによって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管４２は熱を発することになるが、第１の絶縁油４３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油４３が膨張する。この第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５の変形及び貯留器４６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５の変形によって、外部容器４７内の第２の絶縁油４８に伝達される。そして、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が上昇し（図５（ｂ）の目盛り４７ｄ１、４７ｄ２の位置参照）、外部容器４７内の気体が圧縮されることによって緩衝される。 Next, the operation of the X-ray generator 31 according to this embodiment will be described. First, when the operation of the X-ray generator 31 is started in the X-ray inspection apparatus, X-rays are emitted from the X-ray tube 42 to the article to be inspected conveyed by the belt conveyor, and the X-ray detector applies the X-ray detector to the article. It is detected from the amount of transmitted X-rays whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 42 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 43, and the first insulating oil 43 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 is buffered by the deformation of the bellows 45 and the reservoir 46. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 is transmitted to the second insulating oil 48 in the outer container 47 due to the deformation of the bellows 45. Then, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 rises (see the positions of the scales 47d1 and 47d2 in FIG. 5B), and the gas in the outer container 47 is buffered by being compressed. .
なお、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が停止されると、Ｘ線管４２からの発熱が停止され、第１の絶縁油４３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、ベローズ４５が元の形状に戻るとともに、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が、元の高さ位置（図５（ａ）の目盛り４７ｃ１、４７ｃ２の位置）まで戻ることになる。このとき、ベローズ４５によって、第２の絶縁油４８は容器４０内に入り込むことはないので、第１の絶縁油４３と混合することはない。したがって、仮に第２の絶縁油４８が酸化していたり、第２の絶縁油４８にほこりなどが入っていたりしても、第２の絶縁油４８が第１の絶縁油４３に影響を与えることがない。 When the operation of the X-ray generator 31 is stopped in the X-ray inspection apparatus, the heat generation from the X-ray tube 42 is stopped and the first insulating oil 43 is contracted to the original volume by being externally cooled. Therefore, the bellows 45 returns to the original shape, and the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 returns to the original height position (the positions of the scales 47c1 and 47c2 in FIG. 5A). become. At this time, the second insulating oil 48 does not enter the container 40 due to the bellows 45, so that it is not mixed with the first insulating oil 43. Therefore, even if the second insulating oil 48 is oxidized or dust is contained in the second insulating oil 48, the second insulating oil 48 affects the first insulating oil 43. There is no.
次に、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１を運転している最中に、ベローズ４５が破れた場合のＸ線発生装置３１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が開始されると、Ｘ線管４２からＸ線がベルトコンベアによって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管４２は熱を発することになるが、第１の絶縁油４３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油４３が膨張する。この第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５を通過して、貯留器４６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５を通過して、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の順に伝達される。そして、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が上昇し（図５（ｃ）の目盛り４７ｅ１、４７ｅ２の位置参照）、外部容器４７内の気体が圧縮されることによって緩衝される。また、このとき、ベローズ４５が破れているので、第１の絶縁油４３と第２の絶縁油４８とは混合される。 Next, the operation of the X-ray generator 31 when the bellows 45 is broken while the X-ray generator 31 is operating in the X-ray inspection apparatus will be described. First, when the operation of the X-ray generator 31 is started in the X-ray inspection apparatus, X-rays are emitted from the X-ray tube 42 to the article to be inspected conveyed by the belt conveyor, and the X-ray detector applies the X-ray detector to the article. It is detected from the amount of transmitted X-rays whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 42 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 43, and the first insulating oil 43 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 passes through the bellows 45 and is buffered by the reservoir 46. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 passes through the bellows 45 and is transmitted in the order of the second insulating oil 48 in the outer container 47. Then, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 rises (see the positions of the scales 47e1 and 47e2 in FIG. 5C), and the gas in the outer container 47 is buffered by being compressed. . At this time, since the bellows 45 is broken, the first insulating oil 43 and the second insulating oil 48 are mixed.
なお、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が停止されると、Ｘ線管４２からの発熱が停止され、第１の絶縁油４３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面は、元の高さ位置（図５（ａ）の目盛り４７ｃ１、４７ｃ２の位置）まで戻ることになる。ただし、ベローズ４５は破れているので、第１の絶縁油４３と第２の絶縁油４８とはさらに混合することになるが、外部容器４７内の気体に不活性ガスを使用して、第２の絶縁油４８の酸化などを防止しておけば、特に問題は発生せず、所定期間（例えば、（ａ）ベローズ４５の寿命期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置３１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置を安全に運転することが可能である。もちろん、外部容器４７内の気体が空気であったとしても、該空気の量が少ないので、絶縁油の酸化が進行しにくいことから、従来よりも長い所定期間（例えば、（ａ）絶縁油の寿命を考慮した期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置３１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置を安全に運転することが可能である。 When the operation of the X-ray generator 31 is stopped in the X-ray inspection apparatus, the heat generation from the X-ray tube 42 is stopped and the first insulating oil 43 is contracted to the original volume by being externally cooled. Therefore, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 returns to the original height position (the positions of the scales 47c1 and 47c2 in FIG. 5A). However, since the bellows 45 is torn, the first insulating oil 43 and the second insulating oil 48 are further mixed, but the second gas is obtained by using an inert gas as the gas in the outer container 47. If oxidation of the insulating oil 48 is prevented, no particular problem occurs, and a predetermined period (for example, (a) the lifetime of the bellows 45, (b) a period determined by internal regulations, etc.), X-ray It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus without performing maintenance on the generator 31. Of course, even if the gas in the outer container 47 is air, the amount of the air is small, so that the oxidation of the insulating oil is difficult to proceed. It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus without performing maintenance of the X-ray generation apparatus 31 during a period considering the life (b) a period determined by internal regulations, etc.).
本実施形態によれば、第２の絶縁油４８の液面位置を、外部から容易に視認できる。これにより、ベローズ４５が破損した際には、第２の絶縁油４８が貯留器４６内に流入していることを検知できる。つまり、ベローズ４５の破損を検知できるものとなる。また、弾性部材であるベローズ４５が破損する前の運転時において、第１の絶縁油４３が最大膨張したときの第２の絶縁油４８の液面位置を予め測定し、該位置を目盛り４７ｄ１、４７ｄ２として記しておけば、ベローズ４５が破損した際、目盛り４７ｄ１、４７ｄ２の位置よりも大幅に高い位置まで液面上昇することが明らかであるので、ベローズ４５が破損したことを容易に検知できる。特に、予め、ベローズ４５を破損させた状態で運転した際の液面位置を測定し、該位置を目盛り４７ｅ１、４７ｅ２として記しておくことで、ベローズ４５が破損した際の液面位置を把握しておくことができる。これにより、ベローズ４５の破損を容易に検知できるだけでなく、ベローズ４５の交換タイミングを破損前の一定期間とせずとも、実際のベローズ４５の破損に合わせて交換すればよいものとできる。したがって、従来ではベローズ４５の寿命前に必ず交換する必要があったのが、寿命を迎えてから交換できるようになるので、従来よりも、ベローズ４５の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できたＸ線発生装置３１を提供できる。 According to this embodiment, the liquid level position of the second insulating oil 48 can be easily visually recognized from the outside. Thereby, when the bellows 45 is damaged, it can be detected that the second insulating oil 48 flows into the reservoir 46. That is, it becomes possible to detect breakage of the bellows 45. Further, during the operation before the bellows 45, which is an elastic member, is damaged, the liquid level position of the second insulating oil 48 when the first insulating oil 43 has expanded to the maximum is measured in advance, and the position is calibrated 47d1, If it is described as 47d2, it is clear that when the bellows 45 is damaged, the liquid level rises to a position significantly higher than the positions of the scales 47d1, 47d2, so that the bellows 45 can be easily detected. In particular, by measuring the position of the liquid level when the bellows 45 is damaged in advance and measuring the position as scales 47e1 and 47e2, the position of the liquid level when the bellows 45 is damaged can be grasped. I can keep it. Thereby, not only can the breakage of the bellows 45 be easily detected, but the replacement timing of the bellows 45 may be replaced in accordance with the actual breakage of the bellows 45 without setting a certain period before the breakage. Therefore, in the past, it was necessary to replace the bellows 45 before the end of its life. However, since it can be replaced after the end of its life, the replacement maintenance interval of the bellows 45 can be greatly prolonged compared to the conventional X. The line generator 31 can be provided.
また、以下のような効果を奏することができる。すなわち、従来のベローズなどの弾性部材だけの場合に比べて、より容器４０内の絶縁油の膨張、収縮を緩衝できる。また、ベローズ４５の外部が空間（外部容器４７の内部空間）になっているので、ゴミが入りづらく且つ第１の絶縁油４３に触れる気体の量を少なくできるので、第１の絶縁油４３の酸化を抑制することができる。したがって、第１の絶縁油４３の膨張、収縮を緩衝しつつ、第１の絶縁油４３の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができ、油内放電を抑制することができる。また、前記空間（外部容器４７の内部空間）中の第２の絶縁油４８は、ベローズ４５が劣化し破損しない限り、第１の絶縁油４３のような絶縁耐電圧の劣化を考慮しないでいいので、酸素を含む気体と触れていても、さほど差し支えない。なお、仮にベローズ４５が劣化し破損した際には、第２の絶縁油４８が混合して第１の絶縁油４３が多少劣化することもあるが、破損後からでも所定期間は、安全に運転を持続できるＸ線発生装置３１を提供できる。これにより、従来よりも、絶縁油の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できるＸ線発生装置３１を提供できる。また、第１実施形態のものよりも、簡素な構成とすることができる。 In addition, the following effects can be achieved. That is, the expansion and contraction of the insulating oil in the container 40 can be buffered more than in the case of using only an elastic member such as a conventional bellows. Further, since the outside of the bellows 45 is a space (internal space of the external container 47), it is difficult for dust to enter and the amount of gas that touches the first insulating oil 43 can be reduced. Oxidation can be suppressed. Therefore, deterioration of the insulation withstand voltage due to oxidation of the first insulating oil 43 can be suppressed while buffering expansion and contraction of the first insulating oil 43, and discharge in oil can be suppressed. Further, the second insulating oil 48 in the space (the inner space of the outer container 47) does not have to consider the deterioration of the insulation withstand voltage like the first insulating oil 43 unless the bellows 45 is deteriorated and broken. Therefore, even if it is in contact with a gas containing oxygen, there is no problem. If the bellows 45 is deteriorated and damaged, the second insulating oil 48 may be mixed and the first insulating oil 43 may be slightly deteriorated. However, even after the damage, the safe operation is performed for a predetermined period. Can be provided. Thereby, the X-ray generator 31 can be provided that can greatly extend the replacement interval of the insulating oil compared to the conventional case. Moreover, it can be set as a simple structure rather than the thing of 1st Embodiment.
なお、本発明は、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で設計変更できるものであり、上記実施形態又は変形例に限定されるものではない。例えば、各実施形態における第１の絶縁油が封入されている容器の開口部は、外部容器を取り付けることができる位置及びＸ線管からのＸ線照射を阻害しない位置であれば、どこに設けられていてもよい。 The present invention can be modified in design without departing from the scope of the claims, and is not limited to the above-described embodiment or modification. For example, the opening of the container in which the first insulating oil in each embodiment is sealed is provided anywhere as long as it is a position where an external container can be attached and a position that does not hinder X-ray irradiation from the X-ray tube. It may be.
また、第１実施形態においては、第１の外部容器１７として、丸筒状部材を用いたが、これに限られず、角筒状部材など他の形状の筒状部材であってもよい。 In the first embodiment, a round cylindrical member is used as the first outer container 17. However, the first outer container 17 is not limited to this, and may be a cylindrical member having another shape such as a square cylindrical member.
また、第１実施形態における第２の外部容器１９、及び、第２実施形態における外部容器４７については、全体が透明又は半透明の材料からなるものであってもよい。なお、透明又は半透明の材料としては、樹脂、ガラスなどの他、透明又は半透明の材料であって絶縁油を貯留することができるものであれば、どのようなものでもよい。 Moreover, about the 2nd outer container 19 in 1st Embodiment, and the outer container 47 in 2nd Embodiment, the whole may consist of a transparent or translucent material. The transparent or translucent material may be any material as long as it is a transparent or translucent material and can store insulating oil in addition to resin, glass, and the like.
また、第１実施形態における第２の外部容器１９に設けた各目盛り、及び、第２実施形態における外部容器４７に設けた各目盛りは、各窓部の側部に設けたが、各窓部自体に目盛りシールなどを貼り付ける、若しくは、各窓部自体に目盛りを形成してもよい。 In addition, each scale provided on the second external container 19 in the first embodiment and each scale provided on the external container 47 in the second embodiment are provided on the side portion of each window part. A scale seal etc. may be affixed to itself, or a scale may be formed in each window part itself.
また、上記各実施形態においては、第２の絶縁油を用いたものとしているが、この第２の絶縁油を用いずに、各貯留器内の空間の中を気体で満たすだけとしてもよい。このとき、前記空間内が容器内と同程度の圧力となるように調整されていることが好ましい。これにより、容器内の圧力を安定させやすくなるので、安全な運転を行うことができるＸ線発生装置を提供できる。また、Ｘ線管の発熱によって第１の絶縁油が熱膨張し、弾性部材が破れた際、貯留器における空間内に流入してきた第１の絶縁油の液面位置を、外部から容易に視認できる。したがって、弾性部材が破損した際には、第１の絶縁油が貯留器内に流入していることを検知できる。つまり、弾性部材の破損を検知できるものとなる。また、このときにおいても、透明部又は透明部の側部に目盛りが設けられていると、容器から漏れ出た第１の絶縁油の量を検知できる。その結果として、弾性部材が破れてしまった後の容器内の絶縁油量を検知できるので、装置の運転を続行してもよいかどうかの判断材料として用いることができる。 Further, in each of the above embodiments, the second insulating oil is used. However, the space in each reservoir may be filled with gas without using the second insulating oil. At this time, it is preferable that the inside of the space be adjusted so as to have the same pressure as the inside of the container. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in a container, the X-ray generator which can perform a safe driving | operation can be provided. Further, when the first insulating oil is thermally expanded due to the heat generated by the X-ray tube and the elastic member is broken, the liquid level position of the first insulating oil that has flowed into the space in the reservoir is easily visible from the outside. it can. Therefore, when the elastic member is damaged, it can be detected that the first insulating oil flows into the reservoir. That is, the breakage of the elastic member can be detected. Also at this time, if the scale is provided on the transparent part or the side part of the transparent part, the amount of the first insulating oil leaking from the container can be detected. As a result, the amount of insulating oil in the container after the elastic member has been broken can be detected, and can be used as a material for determining whether or not the operation of the apparatus can be continued.
１、３１ Ｘ線発生装置
２ Ｘ線発生装置収納部
２ａ 扉
２ｂ タッチパネル
３ Ｘ線検査部
３ａ 入口
３ｂ 出口
４ ベルトコンベア
５ Ｘ線検出器
１０、４０ 容器
１０ａ、４０ａ 開口部
１１、４１ 台
１２、４２ Ｘ線管
１３、４３ 第１の絶縁油
１４、４４ 固定部材
１５、４５ ベローズ
１６、４６ 貯留器
１７ 第１の外部容器
１７ａ、４７ａ 孔
１８ 管
１９ 第２の外部容器
１９ｂ１、１９ｂ２、１９ｃ１、１９ｃ２、１９ｄ１、１９ｄ２、４７ｃ１、４７ｃ２、４７ｄ１、４７ｄ２、４７ｅ１、４７ｅ２ 目盛り
２０、４８ 第２の絶縁油
２１ 位置
４７ 外部容器
１００ Ｘ線検査装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 31 X-ray generator 2 X-ray generator accommodating part 2a Door 2b Touch panel 3 X-ray inspection part 3a Inlet 3b Outlet 4 Belt conveyor 5 X-ray detector 10, 40 Container 10a, 40a Opening 11, 41 stand 12, 42 X-ray tube 13, 43 First insulating oil 14, 44 Fixing member 15, 45 Bellows 16, 46 Reservoir 17 First outer container 17a, 47a Hole 18 Tube 19 Second outer container 19b1, 19b2, 19c1, 19c2, 19d1, 19d2, 47c1, 47c2, 47d1, 47d2, 47e1, 47e2 Scale 20, 48 Second insulating oil 21 Position 47 External container 100 X-ray inspection apparatus
Claims (8)
前記開口部及び前記弾性部材の外部とともに形成した空間を内部に有している貯留器を備え、
前記貯留器が、外部から前記空間内を目視できる透明部を有しており、
前記透明部又は前記透明部の側部に、前記貯留器の高さ方向に沿って目盛りが設けられていることを特徴とするＸ線発生装置。 A container having an opening and containing and supporting an X-ray tube; an insulating oil that fills the container and immerses and insulates the X-ray tube; and buffers expansion and contraction of the insulating oil An X-ray generator including an elastic member attached so as to close the opening,
A reservoir having a space formed with the opening and the outside of the elastic member;
The reservoir has a transparent part that allows the inside of the space to be visually observed from the outside,
A scale is provided along the height direction of the reservoir in the transparent part or a side part of the transparent part.
前記管の他端が、前記第１の外部容器の上部に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。 The opening is provided on a side of the container;
The X-ray generator according to claim 2, wherein the other end of the tube is connected to an upper portion of the first outer container.
前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した外部容器を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線発生装置。 The opening is provided on a side of the container;
The X-ray generator according to claim 1, wherein the reservoir has an external container having a hole connected to the opening and the outside of the elastic member.
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