JP2010067544A - X-ray generator, and x-ray inspection device - Google Patents
X-ray generator, and x-ray inspection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010067544A JP2010067544A JP2008234513A JP2008234513A JP2010067544A JP 2010067544 A JP2010067544 A JP 2010067544A JP 2008234513 A JP2008234513 A JP 2008234513A JP 2008234513 A JP2008234513 A JP 2008234513A JP 2010067544 A JP2010067544 A JP 2010067544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating oil
- container
- ray
- ray generator
- outer container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Description
本発明は、Ｘ線管を冷却する絶縁油の油圧を調整する油圧調整機構を有したＸ線発生装置、及び、このＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray generation apparatus having a hydraulic pressure adjustment mechanism that adjusts the hydraulic pressure of insulating oil that cools an X-ray tube, and an X-ray inspection apparatus including the X-ray generation apparatus.
従来から、絶縁油を充填した容器内において高電圧で使用されるＸ線管を有したＸ線発生装置及びＸ線検査装置として、下記特許文献１、２に代表されるような技術が公知となっている。なお、特許文献１のものは、Ｘ線管を収納し、内部に絶縁油を充填した管容器と、前記絶縁油が出入りする絶縁油穴に通じる側と空気が出入りする空気穴に通じる側とに内部空間が弾性部材で仕切られたベローズ収納容器とを具備したＸ線管装置において、前記ベローズ収納容器の空気穴が、前記絶縁油に濡れ難い材料の絶縁油遮断層を有するフィルターで封止されていることを特徴とするＸ線管装置である。特許文献２のものは、Ｘ線を発生するＸ線管を内部に収容するとともに前記Ｘ線管を浸漬する絶縁油が充填された筐体と、該筐体の開口を密閉する伝熱性を有した蓋体と、該蓋体の外側に設けられた放熱フィンと、前記蓋体の内側に取り付けられて前記絶縁油に浸漬された吸熱部と、を備えたことを特徴とするＸ線発生装置である。 Conventionally, as an X-ray generator and an X-ray inspection apparatus having an X-ray tube used at a high voltage in a container filled with insulating oil, techniques represented by the following Patent Documents 1 and 2 are known. It has become. In addition, the thing of patent document 1 accommodates the X-ray tube, the tube container filled with insulating oil inside, the side which leads to the insulating oil hole through which the said insulating oil enters and exits, and the side which leads to the air hole through which air enters and exits In the X-ray tube apparatus having an inner space partitioned by an elastic member, the air hole of the bellows storage container is sealed with a filter having an insulating oil blocking layer made of a material difficult to wet with the insulating oil This is an X-ray tube device. In Patent Document 2, an X-ray tube that generates X-rays is accommodated therein, and a housing filled with an insulating oil that immerses the X-ray tube and a heat transfer property that seals the opening of the housing are provided. An X-ray generator comprising: a lid body, a heat dissipating fin provided outside the lid body, and a heat absorbing portion attached to the inside of the lid body and immersed in the insulating oil It is.
しかしながら、特許文献１のものにおいては、ベローズが破れたことによる絶縁油の漏れを防止できるものの、その後においては、容器内に気泡が入って絶縁油を酸化させてしまうこと及び該気泡自体によって、絶縁耐電圧を劣化させ、油内放電の原因となるおそれがある。また、特許文献２のものにおいては、Ｘ線管が収納されている容器内部に絶縁油とともに気体が封入されており、この気体に酸素が含まれる場合、絶縁油が酸化し、絶縁耐電圧を劣化させてしまうことがあった。 However, in the thing of patent document 1, although leakage of insulating oil by the bellows being torn can be prevented, after that bubbles enter the container and oxidize the insulating oil and the bubbles themselves, Insulation breakdown voltage may be deteriorated, which may cause discharge in oil. Moreover, in the thing of patent document 2, gas is enclosed with the insulating oil inside the container in which the X-ray tube is accommodated, and when this gas contains oxygen, the insulating oil is oxidized and the insulation withstand voltage is increased. It sometimes deteriorated.
そこで、本発明の目的は、ベローズなどの弾性部材が劣化し破損しても、絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができるとともに、運転をそのまま持続できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供することである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an X-ray generator and an X-ray generator that can suppress the deterioration of the insulation withstand voltage due to the oxidation of the insulating oil and can maintain the operation as it is even if the elastic member such as the bellows deteriorates and breaks. A line inspection apparatus is provided.
（１） 本発明は、開口部を有しており、Ｘ線管を内包し支持する容器と、前記容器内に充填され、前記Ｘ線管を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油と、前記第１の絶縁油の膨張、収縮を緩衝するために前記開口部を閉塞するように取り付けられた弾性部材とを含むＸ線発生装置であって、前記開口部及び前記弾性部材の外部とともに形成した空間を内部に有し、気体及び前記第１の絶縁油と異なる液体のうち少なくとも一方が貯留されている貯留器を備えているものである。 (1) The present invention has an opening, a container that contains and supports an X-ray tube, and a first insulating oil that is filled in the container and immerses and insulates the X-ray tube An X-ray generator including an elastic member attached to close the opening to buffer expansion and contraction of the first insulating oil, together with the opening and the outside of the elastic member It has a formed space inside and is provided with a reservoir in which at least one of a gas and a liquid different from the first insulating oil is stored.
（２） 上記（１）のＸ線発生装置においては、前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した第１の外部容器と、前記第１の外部容器に管を介して連通している第２の外部容器とを有しているものであることが好ましい。 (2) In the X-ray generator of (1), the reservoir has a first external container having a hole connected to the opening and the outside of the elastic member, and the first external It is preferable to have a second external container communicating with the container through a pipe.
（３） 別の観点として、上記（１）のＸ線発生装置においては、前記開口部が、前記容器の側部に設けられ、前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した外部容器を有しているものであってもよい。 (3) As another aspect, in the X-ray generator of (1) above, the opening is provided on a side of the container, and the reservoir is connected to the opening and the outside of the elastic member. It may have an outer container having a formed hole.
上記（１）〜（３）の構成によれば、従来の弾性部材だけの場合に比べて、より前記容器内の第１の絶縁油の膨張、収縮を緩衝できる。また、仮に弾性部材が破れたとしても、前記弾性部材の外部に前記貯留器が設けられているため、ゴミが入りづらく且つ絶縁油に触れる気体の量を少なくできるので、絶縁油の酸化を抑制することができる。したがって、絶縁油の膨張、収縮を緩衝しつつ、絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができ、油内放電を抑制することができる。 According to the above configurations (1) to (3), the expansion and contraction of the first insulating oil in the container can be buffered more than in the case of using only the conventional elastic member. Even if the elastic member is torn, the reservoir is provided outside the elastic member, so that it is difficult for dust to enter and the amount of gas that touches the insulating oil can be reduced, so that oxidation of the insulating oil is suppressed. can do. Therefore, deterioration of the insulation withstand voltage due to oxidation of the insulating oil can be suppressed while buffering expansion and contraction of the insulating oil, and discharge in oil can be suppressed.
（４） 上記（１）のＸ線発生装置においては、前記気体が不活性ガスであることが好ましい。 (4) In the X-ray generator of (1), the gas is preferably an inert gas.
上記（４）の構成によれば、仮に前記弾性部材が破れたとしても、前記第１の絶縁油の酸化を防止できる。 According to the configuration of (4), even if the elastic member is torn, oxidation of the first insulating oil can be prevented.
（５） 上記（１）のＸ線発生装置においては、前記第１の絶縁油と異なる液体が、前記第１の絶縁油よりも比重の小さい第２の絶縁油であることが好ましい。 (5) In the X-ray generator of (1), the liquid different from the first insulating oil is preferably a second insulating oil having a specific gravity smaller than that of the first insulating oil.
上記（５）の構成によれば、仮に前記弾性部材が破れ、前記第１の絶縁油と前記第２の絶縁油とが混合することがあったとしても、前記空間中において、比重の小さい前記第２の絶縁油が前記第１の絶縁油よりも常に上に位置することになる。これにより、前記第１の絶縁油が空気などの気体に触れて酸化することをさらに抑制することができる。なお、第１の絶縁油と第２の絶縁油とは、同様のものでもよいし、異なっているものでもよい。ただし、第１の絶縁油と第２の絶縁油とが異なるものである場合には、混合しても反応しないことが必要である。 According to the configuration of (5) above, even if the elastic member is broken and the first insulating oil and the second insulating oil are mixed, the specific gravity is small in the space. The second insulating oil is always located above the first insulating oil. Thereby, it can further suppress that the 1st insulating oil touches gas, such as air, and oxidizes. The first insulating oil and the second insulating oil may be the same or different. However, when the first insulating oil and the second insulating oil are different, it is necessary that they do not react even if they are mixed.
（６） 上記（２）のＸ線発生装置においては、前記開口部が、前記容器の側部に設けられ、前記管の他端が、前記第１の外部容器の上部に接続されていることが好ましい。 (6) In the X-ray generator of (2), the opening is provided on a side of the container, and the other end of the tube is connected to an upper part of the first outer container. Is preferred.
上記（６）の構成によれば、前記Ｘ線管の発熱によって前記第１の絶縁油が熱膨張し、前記弾性部材が破れ、前記第１の外部容器内が前記第１の絶縁液で満たされた場合に、前記第２の外部容器に前記第１の絶縁液が流れ込むようにすることができる。また、前記第２の外部容器内に排出される前記第１の絶縁液の量を最小にすることができるので、前記容器内の前記第１の絶縁液の温度が低温になって、前記第１の外部容器内における前記第１の絶縁液の一部が前記容器内に戻っても、さほど影響を受けないようにすることができる。また、前記管の他端が前記第１の外部容器の上部以外に接続される場合に比べて、前記第２の外部容器内に排出された前記第１の絶縁液の量を、適切に確認できる。 According to the configuration of (6) above, the first insulating oil is thermally expanded due to heat generated by the X-ray tube, the elastic member is broken, and the inside of the first outer container is filled with the first insulating liquid. In this case, the first insulating liquid can flow into the second outer container. In addition, since the amount of the first insulating liquid discharged into the second external container can be minimized, the temperature of the first insulating liquid in the container becomes low, and the first insulating liquid becomes low. Even if a part of the first insulating liquid in one outer container returns into the container, it can be prevented from being affected so much. In addition, the amount of the first insulating liquid discharged into the second outer container is appropriately confirmed as compared with the case where the other end of the pipe is connected to other than the upper part of the first outer container. it can.
（７） 上記（６）のＸ線発生装置においては、前記管の中央部が、前記管の一端及び他端の高さ位置よりも低い位置に設置されていることが好ましい。 (7) In the X-ray generator of said (6), it is preferable that the center part of the said tube is installed in the position lower than the height position of the one end and the other end of the said tube.
上記（７）の構成によれば、前記弾性部材が破れ、前記第１の外部容器内が満たされて、前記管に前記第１の絶縁液が流れ込んできた後、前記容器内の前記第１の絶縁液の温度が低温になって、前記第１の外部容器内における第１の絶縁液の一部が前記容器内に戻ったとしても、前記管内に前記第１の絶縁液を一部残すことができる。その結果として、前記管内に残った第１の絶縁液が、前記管内を閉塞し、空気などの気体を遮断するものとなるので、前記容器内の前記第１の絶縁液が酸化するのを防止することができる。 According to the configuration of (7) above, after the elastic member is broken and the inside of the first outer container is filled, and the first insulating liquid flows into the pipe, the first inside the container Even if the temperature of the insulating liquid becomes low and a part of the first insulating liquid in the first outer container returns to the container, a part of the first insulating liquid remains in the pipe. be able to. As a result, the first insulating liquid remaining in the pipe closes the inside of the pipe and blocks gas such as air, so that the first insulating liquid in the container is prevented from being oxidized. can do.
（８） 上記（６）のＸ線発生装置においては、前記第１の外部容器が、前記容器の側部に、中心軸を水平として前記容器の側部に設けられた丸筒状容器であることが好ましい。 (8) In the X-ray generator of (6) above, the first outer container is a round cylindrical container provided on the side of the container and on the side of the container with the central axis being horizontal. It is preferable.
上記（８）の構成によれば、内部曲面において負荷される圧力を放射状に分散することができるので、前記第１の外部容器に過大な圧力をかけないようにすることができ、他の形状の容器に比べて、前記第１の外部容器の寿命を延ばすことができる。 According to the configuration of (8) above, since the pressure applied to the inner curved surface can be distributed radially, it is possible to prevent excessive pressure from being applied to the first outer container. The life of the first outer container can be extended as compared with the container.
（９） 上記（２）、（６）、（７）、（８）のＸ線発生装置においては、前記第１の外部容器及び前記管に前記第２の絶縁油が充填されているとともに、前記第２の外部容器に前記気体及び前記第２の絶縁油が封入されており、前記容器内における第１の絶縁油の最上位と、前記第２の外部容器における第２の絶縁油の最上位との高さ位置が、略同一であることが好ましい。 (9) In the X-ray generator of (2), (6), (7), (8) above, the first outer container and the tube are filled with the second insulating oil, The gas and the second insulating oil are sealed in the second outer container, and the uppermost of the first insulating oil in the container and the uppermost of the second insulating oil in the second outer container. It is preferable that the height position of the upper part is substantially the same.
（１０） 上記（３）のＸ線発生装置においては、前記第１の外部容器及び前記管に前記第２の絶縁油が充填されているとともに、前記第２の外部容器に前記気体及び前記第２の絶縁油が封入されており、前記容器内における第１の絶縁油の最上位と、前記外部容器における第２の絶縁油の最上位との高さ位置が、略同一であることが好ましい。 (10) In the X-ray generator of (3), the first outer container and the tube are filled with the second insulating oil, and the gas and the second outer container are filled with the gas. It is preferable that the top position of the first insulating oil in the container and the top position of the second insulating oil in the outer container are substantially the same. .
（１１） 上記（１）〜（１０）のＸ線発生装置においては、運転前において、前記空間内が大気圧程度の圧力となるように調整されていることが好ましい。 (11) In the X-ray generators of the above (1) to (10), it is preferable that the space is adjusted to a pressure of about atmospheric pressure before operation.
上記（９）〜（１１）の構成によれば、前記容器内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置を提供できる。 According to the configurations of (9) to (11), the pressure in the container is easily stabilized, so that an X-ray generator that can perform safer operation can be provided.
（１２） 上記（１）〜（１１）のＸ線発生装置においては、前記空間が密閉空間であることが好ましい。 (12) In the X-ray generators of the above (1) to (11), the space is preferably a sealed space.
上記（１２）の構成によれば、前記弾性部材の外部が密閉空間となっているため、ゴミが入りづらく且つ絶縁油に触れる気体の量を極力少なくできるので、絶縁油の酸化をより抑制することができる。したがって、絶縁油の膨張、収縮を緩衝しつつ、絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化をさらに抑制することができ、油内放電をより抑制することができる。また、密閉空間中に第２の絶縁油が貯留されている場合には、前記弾性部材が劣化し破損しない限り、第１の絶縁油のような絶縁耐電圧の劣化を考慮しないでいいので、酸素を含む気体と触れていても、さほど差し支えない。なお、仮に弾性部材が劣化し破損した際には、第２の絶縁油が混合して第１の絶縁油が多少劣化することもあるが、破損後からでも所定期間は、安全に運転を持続できるＸ線発生装置を提供できる。これにより、従来よりも、絶縁油の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できるＸ線発生装置を提供できる。 According to the configuration of (12), since the outside of the elastic member is a sealed space, it is difficult for dust to enter and the amount of gas that touches the insulating oil can be reduced as much as possible, so that oxidation of the insulating oil is further suppressed. be able to. Therefore, it is possible to further suppress the deterioration of the insulation withstand voltage due to the oxidation of the insulating oil while buffering the expansion and contraction of the insulating oil, and to further suppress the discharge in the oil. Further, when the second insulating oil is stored in the sealed space, unless the elastic member is deteriorated and broken, it is not necessary to consider the deterioration of the insulation withstand voltage like the first insulating oil. Even if it is in contact with a gas containing oxygen, there is no problem. If the elastic member deteriorates and breaks, the second insulating oil may mix and the first insulating oil may deteriorate somewhat, but even after the breakage, the operation continues safely for a predetermined period. An X-ray generator that can be provided can be provided. Thereby, it is possible to provide an X-ray generator capable of significantly extending the insulating oil replacement maintenance interval as compared with the prior art.
（１３） 本発明のＸ線検査装置は、上記（１）〜（１２）のいずれか１つのＸ線発生装置を備えているものである。 (13) The X-ray inspection apparatus of the present invention includes any one of the above-described (1) to (12) X-ray generators.
上記（１３）の構成によれば、上記（１）〜（１２）のＸ線発生装置の効果を有したＸ線検査装置を提供できる。 According to the configuration of (13), an X-ray inspection apparatus having the effects of the X-ray generation apparatuses of (1) to (12) can be provided.
＜第１実施形態＞
以下、図面を用いて、本発明の実施形態に係るＸ線発生装置について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を搭載したＸ線検査装置の斜視概略図である。図２は、図１のＸ線発生装置の断面図である。ここで、図１におけるＸ線発生装置１は、設置位置を示すための大まかな概略図を表示したものであり、詳細な概略図は図２に示したものである。
<First Embodiment>
Hereinafter, an X-ray generator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view of an X-ray inspection apparatus equipped with the X-ray generator according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the X-ray generator of FIG. Here, the X-ray generator 1 in FIG. 1 displays a rough schematic diagram for showing the installation position, and the detailed schematic diagram is shown in FIG.
図１に示されるＸ線検査装置１００は、Ｘ線を発生するＸ線発生装置１と、Ｘ線発生装置１を内部に有したＸ線発生装置収納部２と、Ｘ線発生装置収納部２の下部に連設され、基台と一体化しているＸ線検査部３と、Ｘ線検査部３内に設けられ、物品を搬送するベルトコンベア４と、Ｘ線発生装置１及びベルトコンベア４の下部に設けられているＸ線検出器５とを備えているものである。 An X-ray inspection apparatus 100 shown in FIG. 1 includes an X-ray generation apparatus 1 that generates X-rays, an X-ray generation apparatus storage section 2 that has the X-ray generation apparatus 1 inside, and an X-ray generation apparatus storage section 2. Of the X-ray inspection unit 3 integrated with the base, the belt conveyor 4 provided in the X-ray inspection unit 3 for conveying articles, the X-ray generator 1 and the belt conveyor 4. An X-ray detector 5 provided at the lower portion is provided.
Ｘ線発生装置収納部２は、Ｘ線発生装置１を取り囲んで密封する金属製の筐体であり、正面側（図１中の手前側）においては、水平方向に片開きする扉２ａを有している。この扉２ａには、Ｘ線検査装置の運転中におけるＸ線の感度調整などの設定ができるタッチパネル２ｂが設けられている。 The X-ray generator housing section 2 is a metal housing that surrounds and seals the X-ray generator 1 and has a door 2a that opens horizontally in the front side (front side in FIG. 1). is doing. The door 2a is provided with a touch panel 2b that can perform settings such as X-ray sensitivity adjustment during operation of the X-ray inspection apparatus.
Ｘ線検査部３は、側方の左面及び右面に、検査する物品を通過させるための入口３ａ及び出口３ｂが形成されている。これら入口３ａ及び出口３ｂそれぞれの内側には、複数枚のＸ線漏洩防止カーテン（図示せず）が取り付けられており、Ｘ線発生装置１から照射されるＸ線が外部に漏洩しないようになっている。 The X-ray inspection unit 3 has an inlet 3a and an outlet 3b for allowing an article to be inspected to pass through on the left and right sides. A plurality of X-ray leakage prevention curtains (not shown) are attached to the inside of each of the inlet 3a and the outlet 3b so that X-rays emitted from the X-ray generator 1 do not leak to the outside. ing.
ベルトコンベア４は、駆動モータ（図示せず）により駆動され、入口３ａから搬入された検査する物品を出口３ｂへ搬送することができるものである。 The belt conveyor 4 is driven by a drive motor (not shown), and can convey the article to be inspected carried in from the inlet 3a to the outlet 3b.
Ｘ線検出器５は、検査する物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出することができるものである。 The X-ray detector 5 can detect whether or not foreign matters such as metal scraps and bones are included from the amount of X-ray transmitted to the article to be inspected.
Ｘ線発生装置１は、図２に示すように、略直方体をなし、側部に開口部１０ａを有した金属製の容器１０と、容器１０内に設けられた台１１と、台１１の上に取りつけられたＸ線管１２と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して冷却する第１の絶縁油１３と、開口部１０ａを内部側から密閉するように固定部材１４によって固定されたベローズ１５と、開口部１０ａの外部に接続された貯留器１６とを備えている。 As shown in FIG. 2, the X-ray generator 1 has a substantially rectangular parallelepiped shape, a metal container 10 having an opening 10 a on the side, a table 11 provided in the container 10, and a top of the table 11. By the X-ray tube 12 attached to the container, the first insulating oil 13 filled in the container 10 and cooled by immersing the X-ray tube 12, and the fixing member 14 so as to seal the opening 10a from the inside. A fixed bellows 15 and a reservoir 16 connected to the outside of the opening 10a are provided.
ベローズ１５は、樹脂などの弾性部材からなり、フランジ部を縁に有したカップ状の部材である。固定部材１４は、リング状部材であり、ベローズ１５のフランジ部を容器１０の開口部１０ａ周囲に押しつけるように、容器１０に取り外し可能な状態で固定されているものである。 The bellows 15 is a cup-shaped member made of an elastic member such as resin and having a flange portion at the edge. The fixing member 14 is a ring-shaped member, and is fixed to the container 10 in a removable state so as to press the flange portion of the bellows 15 around the opening 10 a of the container 10.
貯留器１６は、開口部１０ａの外部に設けられた第１の外部容器１７と、第１の外部容器１７に管１８を介して連通している第２の外部容器１９と、第１の外部容器１７及び管１８に充填されているとともに、第２の外部容器１９に封入されている第２の絶縁油２０とを備えている。 The reservoir 16 includes a first external container 17 provided outside the opening 10a, a second external container 19 communicating with the first external container 17 via a pipe 18, and a first external container The container 17 and the pipe 18 are filled with a second insulating oil 20 sealed in a second outer container 19.
第１の外部容器１７は、図３に示すように、一端に蓋部を有し、他端の孔１７ａの周囲にフランジ部を有し、中心軸を鉛直方向に対して垂直となるように設けられている丸筒状部材である。 As shown in FIG. 3, the first outer container 17 has a lid at one end and a flange around the hole 17a at the other end so that the central axis is perpendicular to the vertical direction. It is a provided round cylindrical member.
管１８は、柔軟な樹脂からなるものであり、第１の外部容器１７の曲面部のうち上部に設けられている。また、第２の外部容器１９を設置する位置によって、適当な長さのものが選ばれる。ここで、一変形例として、管１８は金属からなるものであってもよい。 The tube 18 is made of a flexible resin, and is provided on the upper portion of the curved surface portion of the first outer container 17. Moreover, the thing of suitable length is chosen by the position which installs the 2nd outer container 19. FIG. Here, as a modification, the tube 18 may be made of metal.
第２の外部容器１９は筒状部材であり、内部には第１の外部容器１７及び管１８に充填されている第２の絶縁油２０が、気体とともに封入されている。該気体の例としては、少量であれば空気でもかまわないが、絶縁油の酸化を防止することを考慮して、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスなどの不活性ガスであることが好ましい。 The second outer container 19 is a cylindrical member, and the second insulating oil 20 filled in the first outer container 17 and the pipe 18 is sealed together with gas inside. As an example of the gas, air may be used as long as the amount is small, but in view of preventing oxidation of the insulating oil, an inert gas such as nitrogen gas, argon gas, or helium gas is preferable.
なお、容器１０内における第１の絶縁油１３の最上位の高さ位置と、第２の外部容器１９における第２の絶縁油２０の最上位の高さ位置とは、位置２１になるように調整されている。これにより、容器１０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置１を提供できる。また、運転前において、前記密閉空間内が大気圧程度の圧力となるように調整されている。これにより、さらに容器１０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置１を提供できる。 The highest height position of the first insulating oil 13 in the container 10 and the highest height position of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 are set to the position 21. It has been adjusted. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 10, the X-ray generator 1 which can perform safer driving | operation can be provided. Further, before the operation, the inside of the sealed space is adjusted to a pressure of about atmospheric pressure. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 10, the X-ray generator 1 which can perform a safer driving | operation can be provided.
ここで、第２の絶縁油２０は、第１の絶縁油１３と同様のものであってもよいが、異なる種類のものであってもよい。ただし、第２の絶縁油２０と第１の絶縁油１３とが異なる種類のものである場合には、ベローズ１５が破れた際、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とは混合することになるので、その際に化学反応などを起こさない組み合わせが選ばれている。また、第２の絶縁油２０には、第１の絶縁油１３よりも比重が小さいものを用いてもよい。このときは、仮に前記弾性部材が破れ、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とが混合することがあったとしても、密閉空間中において、比重の小さい第２の絶縁油２０が第１の絶縁油１３よりも常に上に位置することになる。これにより、第１の絶縁油１３が空気などの気体に触れて酸化することをさらに抑制することができる。 Here, the second insulating oil 20 may be the same as the first insulating oil 13, but may be of a different type. However, when the second insulating oil 20 and the first insulating oil 13 are of different types, when the bellows 15 is torn, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are mixed. Therefore, a combination that does not cause a chemical reaction or the like is selected. Further, the second insulating oil 20 may have a specific gravity smaller than that of the first insulating oil 13. At this time, even if the elastic member is torn and the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 may be mixed, the second insulating oil 20 having a small specific gravity is contained in the sealed space. It is always above the first insulating oil 13. Thereby, it can further suppress that the 1st insulating oil 13 touches gas, such as air, and oxidizes.
次に、本実施形態に係るＸ線発生装置１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が開始されると、Ｘ線管１２からＸ線がベルトコンベア４によって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器５によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管１２は熱を発することになるが、第１の絶縁油１３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油１３が膨張する。この第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５の変形及び貯留器１６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５の変形によって、第１の外部容器１７内の第２の絶縁油２０、管１８内の第２の絶縁油２０、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の順に伝達される。そして、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が上昇し、第２の外部容器１９内の気体が圧縮されることによって緩衝される。 Next, the operation of the X-ray generator 1 according to this embodiment will be described. First, when the operation of the X-ray generator 1 is started in the X-ray inspection apparatus 100, X-rays are emitted from the X-ray tube 12 to the inspection object conveyed by the belt conveyor 4, and are detected by the X-ray detector 5. It is detected from the amount of X-rays transmitted to the article whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 12 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 13 and the first insulating oil 13 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 is buffered by the deformation of the bellows 15 and the reservoir 16. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 is caused by the deformation of the bellows 15, the second insulating oil 20 in the first outer container 17, and the second insulating oil in the pipe 18. 20 and the second insulating oil 20 in the second outer container 19 are transmitted in this order. Then, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 rises and is buffered by the gas in the second outer container 19 being compressed.
なお、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が停止されると、Ｘ線管１２からの発熱が停止され、第１の絶縁油１３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、ベローズ１５が元の形状に戻るとともに、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が、元の高さ位置まで戻ることになる。このとき、ベローズ１５によって、第２の絶縁油２０は容器１０内に入り込むことはないので、第１の絶縁油１３と混合することはない。したがって、仮に第２の絶縁油２０が酸化していたり、第２の絶縁油２０にほこりなどが入っていたりしても、第２の絶縁油２０が第１の絶縁油１３に影響を与えることがない。 When the operation of the X-ray generator 1 is stopped in the X-ray inspection apparatus 100, the heat generation from the X-ray tube 12 is stopped and the first insulating oil 13 is externally cooled to contract to the original volume. Therefore, the bellows 15 returns to its original shape, and the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 returns to its original height position. At this time, since the second insulating oil 20 does not enter the container 10 by the bellows 15, the second insulating oil 20 is not mixed with the first insulating oil 13. Therefore, even if the second insulating oil 20 is oxidized or dust is contained in the second insulating oil 20, the second insulating oil 20 affects the first insulating oil 13. There is no.
次に、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１を運転している最中に、ベローズ１５が破れた場合のＸ線発生装置１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が開始されると、Ｘ線管１２からＸ線がベルトコンベア４によって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器５によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管１２は熱を発することになるが、第１の絶縁油１３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油１３が膨張する。この第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５を通過して、貯留器１６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油１３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ１５を通過して、第１の外部容器１７内の第２の絶縁油２０、管１８内の第２の絶縁油２０、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の順に伝達される。そして、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面が上昇し、第２の外部容器１９内の気体が圧縮されることによって緩衝される。また、このとき、ベローズ１５が破れているので、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とは混合される。 Next, the operation of the X-ray generator 1 when the bellows 15 is torn during the operation of the X-ray generator 1 in the X-ray inspection apparatus 100 will be described. First, when the operation of the X-ray generator 1 is started in the X-ray inspection apparatus 100, X-rays are emitted from the X-ray tube 12 to the inspection object conveyed by the belt conveyor 4, and are detected by the X-ray detector 5. It is detected from the amount of X-rays transmitted to the article whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 12 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 13 and the first insulating oil 13 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 passes through the bellows 15 and is buffered by the reservoir 16. More specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 13 passes through the bellows 15, the second insulating oil 20 in the first outer container 17, and the second insulation in the pipe 18. The oil 20 is transmitted in the order of the second insulating oil 20 in the second outer container 19. Then, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 rises and is buffered by the gas in the second outer container 19 being compressed. At this time, since the bellows 15 is broken, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are mixed.
なお、Ｘ線検査装置１００においてＸ線発生装置１の運転が停止されると、Ｘ線管１２からの発熱が停止され、第１の絶縁油１３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、第２の外部容器１９内の第２の絶縁油２０の液面は、元の高さ位置まで戻ることになる。ただし、ベローズ１５は破れているので、第１の絶縁油１３と第２の絶縁油２０とはさらに混合することになるが、第２の外部容器１９内の気体に不活性ガスを使用して、第２の絶縁油２０の酸化などを防止しておけば、特に問題は発生せず、所定期間（例えば、（ａ）ベローズ１５の寿命期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置１００を安全に運転することが可能である。もちろん、第２の外部容器１９内の気体が空気であったとしても、該空気の量が少ないので、絶縁油の酸化が進行しにくいことから、従来よりも長い所定期間（例えば、（ａ）絶縁油の寿命を考慮した期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置１００を安全に運転することが可能である。 When the operation of the X-ray generator 1 is stopped in the X-ray inspection apparatus 100, the heat generation from the X-ray tube 12 is stopped and the first insulating oil 13 is externally cooled to contract to the original volume. Therefore, the liquid level of the second insulating oil 20 in the second outer container 19 returns to the original height position. However, since the bellows 15 is broken, the first insulating oil 13 and the second insulating oil 20 are further mixed, but an inert gas is used as the gas in the second outer container 19. If the oxidation of the second insulating oil 20 is prevented, no particular problem occurs, and a predetermined period (for example, (a) the lifetime of the bellows 15 or (b) the period determined by the company regulations) The X-ray inspection apparatus 100 can be safely operated without maintenance of the X-ray generation apparatus 1. Of course, even if the gas in the second outer container 19 is air, the amount of the air is small, so that the oxidation of the insulating oil is difficult to proceed. Therefore, for a predetermined period (for example, (a) It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus 100 without performing maintenance of the X-ray generation apparatus 1 during a period considering the life of the insulating oil, (b) a period determined by internal regulations, and the like.
本実施形態によれば、従来のベローズなどの弾性部材だけの場合に比べて、より容器１０内の絶縁油の膨張、収縮を緩衝できる。また、ベローズ１５の外部が密閉空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）になっているので、ゴミが入りづらく且つ第１の絶縁油１３に触れる気体の量を少なくできるので、第１の絶縁油１３の酸化を抑制することができる。したがって、第１の絶縁油１３の膨張、収縮を緩衝しつつ、第１の絶縁油１３の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができ、油内放電を抑制することができる。また、密閉空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）中の第２の絶縁油２０は、ベローズ１５が劣化し破損しない限り、第１の絶縁油１３のような絶縁耐電圧の劣化を考慮しないでいいので、酸素を含む気体と触れていても、さほど差し支えない。なお、仮にベローズ１５が劣化し破損した際には、第２の絶縁油２０が混合して第１の絶縁油１３が多少劣化することもあるが、破損後からでも所定期間は、安全に運転を持続できるＸ線発生装置１を提供できる。これにより、従来よりも、絶縁油の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できるＸ線発生装置１を提供できる。 According to this embodiment, compared with the case of only elastic members, such as the conventional bellows, expansion | swelling and shrinkage | contraction of the insulating oil in the container 10 can be buffered more. Further, since the outside of the bellows 15 is a sealed space (the internal space of the first outer container 17, the pipe 18, and the second outer container 19), dust is difficult to enter and touches the first insulating oil 13. Since the amount of gas can be reduced, oxidation of the first insulating oil 13 can be suppressed. Therefore, deterioration of the insulation withstand voltage due to oxidation of the first insulating oil 13 can be suppressed while buffering expansion and contraction of the first insulating oil 13, and discharge in oil can be suppressed. Further, the second insulating oil 20 in the sealed space (the inner space of the first outer container 17, the pipe 18, and the second outer container 19) is the first insulating oil unless the bellows 15 is deteriorated and damaged. Since it is not necessary to consider the deterioration of the dielectric strength voltage as in FIG. 13, even if it is in contact with a gas containing oxygen, there is no problem. If the bellows 15 is deteriorated and damaged, the second insulating oil 20 may be mixed and the first insulating oil 13 may be slightly deteriorated. However, even after the damage, the bellows 15 may be safely operated for a predetermined period. Can be provided. Thereby, the X-ray generator 1 which can lengthen the replacement | exchange maintenance interval of insulating oil significantly longer than before can be provided.
また、開口部１０ａが、容器１０の側部に設けられ、管１８の他端が、第１の外部容器１７の上部に接続されているので、Ｘ線管１２の発熱によって第１の絶縁油１３が熱膨張し、ベローズ１５が破れ、第１の外部容器１７内が第１の絶縁液１３で満たされた場合に、第２の外部容器１９に第１の絶縁液１３が流れ込むようにすることができる。また、第２の外部容器１９内に排出される第１の絶縁液１３の量を最小にすることができるので、容器１０内の第１の絶縁液１３の温度が低温になって、第１の外部容器１７内における第１の絶縁液１３の一部が容器１０内に戻っても、さほど影響を受けないようにすることができる。また、管１８の他端が第１の外部容器１７の上部以外に接続される場合に比べて、第２の外部容器１９内に排出された第１の絶縁液１３の量を適切に確認できる。 Further, the opening 10 a is provided on the side of the container 10, and the other end of the tube 18 is connected to the upper portion of the first outer container 17, so that the first insulating oil is generated by the heat generated by the X-ray tube 12. 13 is thermally expanded, the bellows 15 is broken, and the first insulating liquid 13 flows into the second outer container 19 when the first outer container 17 is filled with the first insulating liquid 13. be able to. Further, since the amount of the first insulating liquid 13 discharged into the second outer container 19 can be minimized, the temperature of the first insulating liquid 13 in the container 10 becomes low, and the first Even if a part of the first insulating liquid 13 in the outer container 17 returns to the container 10, it can be prevented from being affected so much. Further, the amount of the first insulating liquid 13 discharged into the second external container 19 can be appropriately confirmed as compared with the case where the other end of the pipe 18 is connected to other than the upper part of the first external container 17. .
さらに、第１の外部容器１７が、容器１０の側部に、中心軸を鉛直方向に対して垂直となるように設けられている丸筒状容器であるので、内部曲面において負荷される圧力を放射状に分散することができるので、第１の外部容器１７に過大な圧力をかけないようにすることができ、他の形状の容器に比べて、第１の外部容器１７の寿命を延ばすことができる。 Furthermore, since the first outer container 17 is a round cylindrical container provided on the side of the container 10 so that the central axis is perpendicular to the vertical direction, the pressure applied on the inner curved surface is reduced. Since it can disperse | distribute radially, it can avoid applying an excessive pressure to the 1st outer container 17, and can prolong the lifetime of the 1st outer container 17 compared with the container of other shapes. it can.
＜第２実施形態＞
次に、図４を用いて、本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置について説明する。なお、上記実施形態と異なる部分についてのみ説明し、同様の部分に関しては、説明を省略する。特に、符号４０〜４８の部分は、順に、第１実施形態の符号１０〜１７、２０と同様であるので、説明を省略する。
<Second Embodiment>
Next, an X-ray generator according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Only parts different from the above embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted. In particular, reference numerals 40 to 48 are the same as the reference numerals 10 to 17 and 20 of the first embodiment in order, and thus the description thereof is omitted.
Ｘ線発生装置３１は、第１実施形態で示したＸ線検査装置１００に係るＸ線発生装置１の代わりに用いることができるものであり、第１実施形態の貯留器１６の代わりに貯留器４６が用いられている点で、第１実施形態に係るＸ線発生装置１と異なっている。 The X-ray generator 31 can be used instead of the X-ray generator 1 according to the X-ray inspection apparatus 100 shown in the first embodiment, and a reservoir instead of the reservoir 16 of the first embodiment. 46 differs from the X-ray generator 1 according to the first embodiment in that 46 is used.
貯留器４６は、孔４７ａを有した筒状の外部容器４７である。孔４７ａは、容器４０の開口部４０ａ及びベローズ４５の外部側に接続されている。 The reservoir 46 is a cylindrical outer container 47 having a hole 47a. The hole 47 a is connected to the opening 40 a of the container 40 and the outside of the bellows 45.
Ｘ線発生装置３１の運転前において、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面高さ位置は、図４に示すように、容器４０内の第１の絶縁油４３の最上位の液面の位置と、略同一になっている。これにより、容器４０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができる。また、運転前において、前記密閉空間内が大気圧程度の圧力となるように調整されている。これにより、さらに容器４０内の圧力を安定させやすくなるので、より安全な運転を行うことができるＸ線発生装置３１を提供できる。 Before the operation of the X-ray generator 31, the liquid level height position of the second insulating oil 48 in the outer container 47 is the highest level of the first insulating oil 43 in the container 40 as shown in FIG. 4. It is substantially the same as the position of the liquid level. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 40, safer operation can be performed. Further, before the operation, the inside of the sealed space is adjusted to a pressure of about atmospheric pressure. Thereby, since it becomes easy to stabilize the pressure in the container 40, the X-ray generator 31 which can perform a safer operation can be provided.
次に、本実施形態に係るＸ線発生装置３１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が開始されると、Ｘ線管４２からＸ線がベルトコンベアによって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管４２は熱を発することになるが、第１の絶縁油４３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油４３が膨張する。この第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５の変形及び貯留器４６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５の変形によって、外部容器４７内の第２の絶縁油４８に伝達される。そして、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が上昇し、外部容器４７内の気体が圧縮されることによって緩衝される。 Next, the operation of the X-ray generator 31 according to this embodiment will be described. First, when the operation of the X-ray generator 31 is started in the X-ray inspection apparatus, X-rays are emitted from the X-ray tube 42 to the article to be inspected conveyed by the belt conveyor, and the X-ray detector applies the X-ray detector to the article. It is detected from the amount of transmitted X-rays whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 42 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 43, and the first insulating oil 43 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 is buffered by the deformation of the bellows 45 and the reservoir 46. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 is transmitted to the second insulating oil 48 in the outer container 47 due to the deformation of the bellows 45. Then, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 rises and is buffered by compressing the gas in the outer container 47.
なお、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が停止されると、Ｘ線管４２からの発熱が停止され、第１の絶縁油４３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、ベローズ４５が元の形状に戻るとともに、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が、元の高さ位置まで戻ることになる。このとき、ベローズ４５によって、第２の絶縁油４８は容器４０内に入り込むことはないので、第１の絶縁油４３と混合することはない。したがって、仮に第２の絶縁油４８が酸化していたり、第２の絶縁油４８にほこりなどが入っていたりしても、第２の絶縁油４８が第１の絶縁油４３に影響を与えることがない。 When the operation of the X-ray generator 31 is stopped in the X-ray inspection apparatus, the heat generation from the X-ray tube 42 is stopped and the first insulating oil 43 is contracted to the original volume by being externally cooled. Therefore, the bellows 45 returns to the original shape, and the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 returns to the original height position. At this time, the second insulating oil 48 does not enter the container 40 due to the bellows 45, so that it is not mixed with the first insulating oil 43. Therefore, even if the second insulating oil 48 is oxidized or dust is contained in the second insulating oil 48, the second insulating oil 48 affects the first insulating oil 43. There is no.
次に、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１を運転している最中に、ベローズ４５が破れた場合のＸ線発生装置３１の動作について説明する。まず、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が開始されると、Ｘ線管４２からＸ線がベルトコンベアによって搬送された検査対象の物品に発せられ、Ｘ線検出器によって該物品に曝射されたＸ線の透過量から金属屑，骨などの異物が含まれているか否かを検出する。このとき、Ｘ線管４２は熱を発することになるが、第１の絶縁油４３によって該熱が吸収され、第１の絶縁油４３が膨張する。この第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５を通過して、貯留器４６によって緩衝される。具体的に述べると、第１の絶縁油４３の膨張によって増加した圧力は、ベローズ４５を通過して、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の順に伝達される。そして、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面が上昇し、外部容器４７内の気体が圧縮されることによって緩衝される。また、このとき、ベローズ４５が破れているので、第１の絶縁油４３と第２の絶縁油４８とは混合される。 Next, the operation of the X-ray generator 31 when the bellows 45 is broken while the X-ray generator 31 is operating in the X-ray inspection apparatus will be described. First, when the operation of the X-ray generator 31 is started in the X-ray inspection apparatus, X-rays are emitted from the X-ray tube 42 to the article to be inspected conveyed by the belt conveyor, and the X-ray detector applies the X-ray detector to the article. It is detected from the amount of transmitted X-rays whether foreign matter such as metal scraps or bones is contained. At this time, the X-ray tube 42 generates heat, but the heat is absorbed by the first insulating oil 43, and the first insulating oil 43 expands. The pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 passes through the bellows 45 and is buffered by the reservoir 46. Specifically, the pressure increased by the expansion of the first insulating oil 43 passes through the bellows 45 and is transmitted in the order of the second insulating oil 48 in the outer container 47. Then, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 rises and is buffered by compressing the gas in the outer container 47. At this time, since the bellows 45 is broken, the first insulating oil 43 and the second insulating oil 48 are mixed.
なお、Ｘ線検査装置においてＸ線発生装置３１の運転が停止されると、Ｘ線管４２からの発熱が停止され、第１の絶縁油４３が外部冷却されることにより元の体積まで収縮するので、外部容器４７内の第２の絶縁油４８の液面は、元の高さ位置まで戻ることになる。ただし、ベローズ４５は破れているので、第１の絶縁油４３と第２の絶縁油４８とはさらに混合することになるが、外部容器４７内の気体に不活性ガスを使用して、第２の絶縁油４８の酸化などを防止しておけば、特に問題は発生せず、所定期間（例えば、（ａ）ベローズ４５の寿命期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置３１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置を安全に運転することが可能である。もちろん、外部容器４７内の気体が空気であったとしても、該空気の量が少ないので、絶縁油の酸化が進行しにくいことから、従来よりも長い所定期間（例えば、（ａ）絶縁油の寿命を考慮した期間、（ｂ）社内規定で決めた期間、など）、Ｘ線発生装置３１のメンテナンスを行わずにＸ線検査装置を安全に運転することが可能である。 When the operation of the X-ray generator 31 is stopped in the X-ray inspection apparatus, the heat generation from the X-ray tube 42 is stopped and the first insulating oil 43 is contracted to the original volume by being externally cooled. Therefore, the liquid level of the second insulating oil 48 in the outer container 47 returns to the original height position. However, since the bellows 45 is torn, the first insulating oil 43 and the second insulating oil 48 are further mixed, but the second gas is obtained by using an inert gas as the gas in the outer container 47. If oxidation of the insulating oil 48 is prevented, no particular problem occurs, and a predetermined period (for example, (a) the lifetime of the bellows 45, (b) a period determined by internal regulations, etc.), X-ray It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus without performing maintenance on the generator 31. Of course, even if the gas in the outer container 47 is air, the amount of the air is small, so that the oxidation of the insulating oil is difficult to proceed. Therefore, for a predetermined period longer than conventional (for example, (a) the insulating oil It is possible to safely operate the X-ray inspection apparatus without performing maintenance of the X-ray generation apparatus 31 during a period considering the life (b) a period determined by internal regulations, etc.).
本実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。すなわち、従来のベローズなどの弾性部材だけの場合に比べて、より容器４０内の絶縁油の膨張、収縮を緩衝できる。また、ベローズ４５の外部が密閉空間（外部容器４７の内部空間）になっているので、ゴミが入りづらく且つ第１の絶縁油４３に触れる気体の量を少なくできるので、第１の絶縁油４３の酸化を抑制することができる。したがって、第１の絶縁油４３の膨張、収縮を緩衝しつつ、第１の絶縁油４３の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができ、油内放電を抑制することができる。また、密閉空間（外部容器４７の内部空間）中の第２の絶縁油４８は、ベローズ４５が劣化し破損しない限り、第１の絶縁油４３のような絶縁耐電圧の劣化を考慮しないでいいので、酸素を含む気体と触れていても、さほど差し支えない。なお、仮にベローズ４５が劣化し破損した際には、第２の絶縁油４８が混合して第１の絶縁油４３が多少劣化することもあるが、破損後からでも所定期間は、安全に運転を持続できるＸ線発生装置３１を提供できる。これにより、従来よりも、絶縁油の交換メンテナンス間隔を大幅に長期化できるＸ線発生装置３１を提供できる。また、第１実施形態のものよりも、簡素な構成とすることができる。 According to this embodiment, the following effects can be achieved. That is, the expansion and contraction of the insulating oil in the container 40 can be buffered more than in the case of using only an elastic member such as a conventional bellows. Further, since the outside of the bellows 45 is a sealed space (internal space of the external container 47), it is difficult for dust to enter and the amount of gas that touches the first insulating oil 43 can be reduced. Can be suppressed. Therefore, deterioration of the insulation withstand voltage due to oxidation of the first insulating oil 43 can be suppressed while buffering expansion and contraction of the first insulating oil 43, and discharge in oil can be suppressed. Further, the second insulating oil 48 in the sealed space (the inner space of the outer container 47) does not have to consider the deterioration of the insulation withstand voltage like the first insulating oil 43 unless the bellows 45 is deteriorated and broken. Therefore, even if it is in contact with a gas containing oxygen, there is no problem. If the bellows 45 is deteriorated and damaged, the second insulating oil 48 may be mixed and the first insulating oil 43 may be slightly deteriorated. However, even after the damage, the safe operation is performed for a predetermined period. Can be provided. Thereby, the X-ray generator 31 can be provided that can greatly extend the replacement interval of the insulating oil compared to the conventional case. Moreover, it can be set as a simple structure rather than the thing of 1st Embodiment.
なお、本発明は、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で設計変更できるものであり、上記実施形態又は変形例に限定されるものではない。例えば、各実施形態における第１の絶縁油が封入されている容器の開口部は、外部容器を取り付けることができる位置及びＸ線管からのＸ線照射を阻害しない位置であれば、どこに設けられていてもよい。 The present invention can be modified in design without departing from the scope of the claims, and is not limited to the above-described embodiment or modification. For example, the opening of the container in which the first insulating oil in each embodiment is sealed is provided anywhere as long as it is a position where an external container can be attached and a position that does not hinder X-ray irradiation from the X-ray tube. It may be.
また、第１実施形態においては、第１の外部容器１７として丸筒状部材を用いたが、これに限られず、角筒状部材など他の形状の筒状部材であってもよい。 In the first embodiment, a round tubular member is used as the first outer container 17, but the present invention is not limited to this, and a tubular member having another shape such as a square tubular member may be used.
また、上記各実施形態においては、貯留器内に不活性ガス及び第２の絶縁油が貯留されているものが示されているが、不活性ガス及び第２の絶縁油のうちいずれか一方が貯留されているだけのものであってもよい。 Moreover, in each said embodiment, although the thing in which the inert gas and 2nd insulating oil are stored in the reservoir | reserver is shown, either one of inert gas and 2nd insulating oil is shown. It may only be stored.
また、図示しないが、上記第１実施形態において、第２の絶縁液の代わりに気体のみが封入されている場合、管１８の中央部を、管１８の一端（第１の外部容器１７の上部と接続されている部分）及び他端（第２の外部容器１９に挿入されている部分の上端）の高さ位置よりも低い位置に設置することとしてもよい。これにより、弾性部材であるベローズ１５が破れ、第１の外部容器１７内が満たされて、管１８に第１の絶縁液１３が流れ込んできた場合、容器１０内の第１の絶縁液１３の温度が低温になって、第１の外部容器１７内における第１の絶縁液１３の一部が容器１０内に戻ったとしても、管１８内に第１の絶縁液１３を一部残すことができる。その結果として、管１８内に残った第１の絶縁液１３が、管１８内を閉塞し、空気などの気体を遮断するものとなるので、容器１０内の第１の絶縁液１３が酸化するのを防止することができる。 Although not shown, in the first embodiment, when only the gas is sealed instead of the second insulating liquid, the central portion of the tube 18 is connected to one end of the tube 18 (the upper portion of the first outer container 17). It is good also as installing in the position lower than the height position of the part and the other end (upper end of the part inserted in the 2nd external container 19). Thereby, when the bellows 15 which is an elastic member is torn, the inside of the first outer container 17 is filled, and the first insulating liquid 13 flows into the pipe 18, the first insulating liquid 13 in the container 10 Even if the temperature becomes low and part of the first insulating liquid 13 in the first outer container 17 returns to the container 10, part of the first insulating liquid 13 may remain in the pipe 18. it can. As a result, the first insulating liquid 13 remaining in the pipe 18 closes the inside of the pipe 18 and shuts off gas such as air, so that the first insulating liquid 13 in the container 10 is oxidized. Can be prevented.
また、上記各実施形態においては、貯留器内を密閉空間としたが、必ずしも密閉空間でなくともよい。例えば、第２の絶縁油に、第１の絶縁油よりも比重が小さいものを用いた際、仮にベローズが破れ、第１の絶縁油と第２の絶縁油とが混合することがあったとしても、貯留器内において、比重の小さい第２の絶縁油が第１の絶縁油よりも常に上に位置することになる。したがって、第１の絶縁油が空気などの気体に触れて酸化することを抑制することができることから、貯留器内が密閉空間でなくともよいときがある。また、比重が空気より重く第１の絶縁油よりも軽い不活性ガスを貯留器内に貯留した際でも、同様に、貯留器内を密閉空間としないでよい。 Moreover, in each said embodiment, although the inside of the storage device was made into sealed space, it does not necessarily need to be sealed space. For example, when the second insulating oil having a specific gravity smaller than that of the first insulating oil is used, the bellows may be broken and the first insulating oil and the second insulating oil may be mixed. However, the second insulating oil having a small specific gravity is always located above the first insulating oil in the reservoir. Therefore, since it can suppress that the 1st insulating oil touches gas, such as air, and oxidizes, the inside of a storage device may not be a sealed space. Similarly, even when an inert gas having a specific gravity heavier than air and lighter than the first insulating oil is stored in the reservoir, the interior of the reservoir may not be a sealed space.
１、３１ Ｘ線発生装置
２ Ｘ線発生装置収納部
２ａ 扉
２ｂ タッチパネル
３ Ｘ線検査部
３ａ 入口
３ｂ 出口
４ ベルトコンベア
５ Ｘ線検出器
１０、４０ 容器
１０ａ、４０ａ 開口部
１１、４１ 台
１２、４２ Ｘ線管
１３、４３ 第１の絶縁油
１４、４４ 固定部材
１５、４５ ベローズ
１６、４６ 貯留器
１７ 第１の外部容器
１７ａ、４７ａ 孔
１８ 管
１９ 第２の外部容器
２０ 第２の絶縁油
２１ 位置
４７ 外部容器
４８ 第２の絶縁油
１００ Ｘ線検査装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 31 X-ray generator 2 X-ray generator accommodating part 2a Door 2b Touch panel 3 X-ray inspection part 3a Inlet 3b Outlet 4 Belt conveyor 5 X-ray detector 10, 40 Container 10a, 40a Opening 11, 41 stand 12, 42 X-ray tube 13, 43 First insulating oil 14, 44 Fixing member 15, 45 Bellows 16, 46 Reservoir 17 First outer container 17a, 47a Hole 18 Tube 19 Second outer container 20 Second insulating oil 21 Position 47 External container 48 Second insulating oil 100 X-ray inspection apparatus
Claims (13)
前記開口部及び前記弾性部材の外部とともに形成した空間を内部に有し、気体及び前記第１の絶縁油と異なる液体のうち少なくとも一方が貯留されている貯留器を備えていることを特徴とするＸ線発生装置。 A container having an opening and enclosing and supporting the X-ray tube; a first insulating oil which is filled in the container and is immersed to insulate the X-ray tube; and the first insulating oil An X-ray generator including an elastic member attached to close the opening to cushion expansion and contraction of
It has a space formed with the opening and the outside of the elastic member inside, and has a reservoir in which at least one of gas and liquid different from the first insulating oil is stored. X-ray generator.
前記管の他端が、前記第１の外部容器の上部に接続されていることを特徴とする請求項４に記載のＸ線発生装置。 The opening is provided on a side of the container;
The X-ray generator according to claim 4, wherein the other end of the tube is connected to an upper portion of the first outer container.
前記貯留器が、前記開口部及び前記弾性部材の外部と接続されている孔を有した外部容器を有していることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装置。 The opening is provided on a side of the container;
The X-ray generator according to claim 1, wherein the reservoir has an external container having a hole connected to the opening and the outside of the elastic member.
前記容器内における第１の絶縁油の最上位と、前記第２の外部容器における第２の絶縁油の最上位との高さ位置が、略同一であることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。 The first outer container and the pipe are filled with the second insulating oil, and the gas and the second insulating oil are sealed in the second outer container,
The height positions of the top of the first insulating oil in the container and the top of the second insulating oil in the second outer container are substantially the same. The X-ray generator of any one of these.
前記容器内における第１の絶縁油の最上位と、前記外部容器における第２の絶縁油の最上位との高さ位置が、略同一であることを特徴とする請求項８に記載のＸ線発生装置。 The first outer container and the pipe are filled with the second insulating oil, and the gas and the second insulating oil are sealed in the second outer container,
The X-ray according to claim 8, wherein height positions of the uppermost first insulating oil in the container and the uppermost second insulating oil in the outer container are substantially the same. Generator.
An X-ray inspection apparatus comprising the X-ray generation apparatus according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008234513A JP2010067544A (en) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | X-ray generator, and x-ray inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008234513A JP2010067544A (en) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | X-ray generator, and x-ray inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010067544A true JP2010067544A (en) | 2010-03-25 |
Family
ID=42192941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008234513A Pending JP2010067544A (en) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | X-ray generator, and x-ray inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010067544A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2677843A4 (en) * | 2012-01-06 | 2015-07-01 | Nuctech Co Ltd | Radiation device installation box and x-ray generator |
| CN106024084A (en) * | 2016-07-05 | 2016-10-12 | 上海核工程研究设计院 | Water tank support structure |
| CN113906827A (en) * | 2019-05-24 | 2022-01-07 | 赛默凯维X射线股份有限公司 | Pressure regulator for X-ray equipment |
| CN114486946A (en) * | 2020-11-09 | 2022-05-13 | 株式会社岛津制作所 | X-ray inspection apparatus and degradation determination method for X-ray inspection apparatus |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142500U (en) * | 1984-02-29 | 1985-09-20 | 株式会社島津製作所 | X-ray tube equipment |
| JPS63120400U (en) * | 1987-01-28 | 1988-08-04 | ||
| JPH05101778A (en) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Toshiba Corp | Manufacture of x-ray tube device |
| JPH0927394A (en) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Toshiba Corp | X-ray tube device |
| JP2002056791A (en) * | 2001-07-27 | 2002-02-22 | Toshiba Corp | Method for manufacturing x-ray tube equipment |
| JP2002252099A (en) * | 2001-02-20 | 2002-09-06 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Insulation oil inlet cap and its container |
| JP2003168592A (en) * | 2001-11-27 | 2003-06-13 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X-ray generator |
| JP2005116525A (en) * | 2003-09-25 | 2005-04-28 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X-ray tube energy absorption device |
-
2008
- 2008-09-12 JP JP2008234513A patent/JP2010067544A/en active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142500U (en) * | 1984-02-29 | 1985-09-20 | 株式会社島津製作所 | X-ray tube equipment |
| JPS63120400U (en) * | 1987-01-28 | 1988-08-04 | ||
| JPH05101778A (en) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Toshiba Corp | Manufacture of x-ray tube device |
| JPH0927394A (en) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Toshiba Corp | X-ray tube device |
| JP2002252099A (en) * | 2001-02-20 | 2002-09-06 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Insulation oil inlet cap and its container |
| JP2002056791A (en) * | 2001-07-27 | 2002-02-22 | Toshiba Corp | Method for manufacturing x-ray tube equipment |
| JP2003168592A (en) * | 2001-11-27 | 2003-06-13 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X-ray generator |
| JP2005116525A (en) * | 2003-09-25 | 2005-04-28 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X-ray tube energy absorption device |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2677843A4 (en) * | 2012-01-06 | 2015-07-01 | Nuctech Co Ltd | Radiation device installation box and x-ray generator |
| US9263226B2 (en) | 2012-01-06 | 2016-02-16 | Nuctech Company Limited | Radiation device installation housing and X-ray generator |
| CN106024084A (en) * | 2016-07-05 | 2016-10-12 | 上海核工程研究设计院 | Water tank support structure |
| CN113906827A (en) * | 2019-05-24 | 2022-01-07 | 赛默凯维X射线股份有限公司 | Pressure regulator for X-ray equipment |
| CN114486946A (en) * | 2020-11-09 | 2022-05-13 | 株式会社岛津制作所 | X-ray inspection apparatus and degradation determination method for X-ray inspection apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010067544A (en) | X-ray generator, and x-ray inspection device | |
| US8658107B2 (en) | Isolator | |
| US9834089B2 (en) | Fuel tank structure | |
| KR20150028294A (en) | Hydrogen generating device | |
| JP5925474B2 (en) | Wafer processing equipment | |
| US20160368374A1 (en) | Fuel tank structure | |
| JP2017151021A (en) | Test device | |
| JP6309746B2 (en) | Hydrogen removal device | |
| WO2001003169A1 (en) | Semiconductor manufacture equipment, and method and apparatus for semiconductor manufacture | |
| JP4695911B2 (en) | Insulating piping member, gas supply device, and ion beam device | |
| JP5319226B2 (en) | X-ray generator and X-ray inspection apparatus | |
| JP2006108069A (en) | Excimer lamp apparatus | |
| JP5363775B2 (en) | X-ray generator and X-ray inspection apparatus | |
| JP2008066102A (en) | Air supply device for fuel cell | |
| JP2007531291A (en) | Multi-chamber system as liquid conditioning tank and its use | |
| JP3989432B2 (en) | Vacuum drying equipment | |
| JP5376819B2 (en) | Heat treatment equipment | |
| KR20100084086A (en) | Device for preventing the explosion of oil-tank using in transformer | |
| JP2015026573A (en) | X-ray generating device and x-ray inspection device | |
| JP2004096111A (en) | Apparatus and method for isolating contaminant by use of exothermic reaction structure | |
| DE602004002389D1 (en) | DISTILLATION DEVICE AND TRANSPORT METHOD THEREFOR | |
| WO2024043189A1 (en) | Fire extinguishing device and charging and discharging inspection apparatus having same, and fire extinguishing method | |
| JP2019158074A (en) | Sealing facility | |
| KR102606370B1 (en) | Leaked hydrogen removal system of hydrogen fuel cell vehicles | |
| JP2008240715A (en) | Storage box |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110615 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120302 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120307 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130723 |