JP5361943B2 - 半導体製造設備における異常予測制御装置及び方法 - Google Patents
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Description
なお、半導体製造設備における異常予測制御装置及び方法は例えば、特許文献1に開示されている。
各第一振動検出器は、磁気感知素子を有するとともに、さらに複数の磁化シートを有する。磁化シートは、第一回転型周波数変換装置の少なくとも1つの振動部に予め設置され、磁気感知素子を吸着させるために用いられる。
アダプタは、高速USBキャリア(hi−speed USB carrier)である。
アダプタは、シングルパック式であり、モジュール化されて単一な多重チャンネル接合モジュールと結合する。
アダプタは、マルチパック式であり、モジュール化されて複数個の多重チャンネル接合モジュールと結合する。
本発明の第一実施例による半導体製造設備における異常予測制御装置200は、1つの多重チャンネル伝送器210、複数の第一振動検出器220、1つの第一制御信号接続ワイヤ230、および1つの振動スペクトル解析装置240を有する。異常予測制御装置200は、様々な半導体製造設備に応用することができる。半導体製造設備100は、内部に1つの第一回転型周波数変換装置110と、第一回転型周波数変換装置110を駆動する1つの第一コントローラ120とを有する。
図6に示すように、半導体製造設備100は、内部に、1つの第一回転型周波数変換装置110と、第一回転型周波数変換装置110を駆動する1つの第一コントローラ120とを有する。異常予測制御装置300は、1つの多重チャンネル伝送器210、複数の第一振動検出器220、1つの第一制御信号接続ワイヤ230、および1つの振動スペクトル解析装置240を有する。ここで、第一実施例で用いた部材と同一の機能を有する部材には、同一の部材番号を付記し、その説明を省略する。
図9に示すように、測定計器設定で検出器設定を行う。先ず、「設定」アイコン、そして「検出器設定」欄をそれぞれ選択するか、あるいはツールバーから「検出器設定」を選択すると、検出器設定表が開かれる。次に、マウスを右クリックして検出器設定表が表示されると、表中に、メニュー項目「検出器追加」、「検出器編集」、「検出器削除」が提供される。
110 第一回転型周波数変換装置
111 振動部
120 第一コントローラ
130 第二回転型周波数変換装置
140 第二コントローラ
200 異常予測制御装置
210 多重チャンネル伝送器
211 アダプタ
212 多重チャンネル接合モジュール
213 信号接続端子
213A 余った信号接続端子
214 接続部
215 接続部
220 第一振動検出器
221 電磁気感知素子
222 スクリュー
223 ねじ穴
230 第一制御信号接続ワイヤ
240 振動スペクトル解析装置
250 磁化シート
260 第二振動検出器
261 電磁気感知素子
270 第二制御信号接続ワイヤ
300 異常予測制御装置
314 接続部
315 アダプタ
316 出力部
Claims (10)
- 半導体製造設備内に、第一回転型周波数変換装置と前記第一回転型周波数変換装置を駆動する第一コントローラとが設置され、
異常予測制御装置として、多重チャンネル伝送器、複数の第一振動検出器、第一制御信号接続ワイヤおよび振動スペクトル解析装置を備え、
前記多重チャンネル伝送器は、アダプタと、少なくとも1つの多重チャンネル接合モジュールとを含み、前記多重チャンネル接合モジュールは、複数の信号接続端子を有し、モジュール化されて前記アダプタに差込まれ、
前記複数の第一振動検出器は、前記第一回転型周波数変換装置の少なくとも1つの振動部に非破壊的に結合され、前記複数の信号接続端子群と接続され、
前記複数の第一振動検出器の接続数量は、前記多重チャンネル伝送器内に設置された前記複数の信号接続端子の数量より少なく、少なくとも1つの信号接続端子が余り、
前記第一制御信号接続ワイヤは、余った信号接続端子と前記第一コントローラとを接続し、
前記振動スペクトル解析装置は、前記アダプタに接続され、振動信号と制御信号を記録収集して時間波形に転換し、転換された前記時間波形に基づいて前記第一回転型周波数変換装置の異常を予測することを特徴とする半導体製造設備における異常予測制御装置。 - 前記複数の第一振動検出器が貼付けられる振動部は、振動源と、振動源固定部材と、振動源伝送部材とを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記複数の第一振動検出器は、各々が磁気感知素子を有するとともに、さらに複数の磁化シートを有し、前記複数の磁化シートを前記第一回転型周波数変換装置の少なくとも1つの振動部に予め設置して前記磁気感知素子を吸着するために用いることを特徴とする請求項1記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記複数の第一振動検出器は、各々が本体にスクリューを有し、前記磁気感知素子がモジュール化されて前記スクリューと結合することを特徴とする請求項3記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記アダプタは、高速USBキャリアであることを特徴とする請求項1記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記第一制御信号接続ワイヤは、前記第一コントローラと前記複数の信号接続端子との間に信号伝送用の許容電圧を有し、前記許容電圧は±5V以内であることを特徴とする請求項1記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記アダプタは、シングルパック式であり、モジュール化されて単一の多重チャンネル接合モジュールと結合されることを特徴とする請求項1〜6いずれか一項に記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記アダプタは、マルチパック式であり、モジュール化されて複数の多重チャンネル接合モジュールと結合されることを特徴とする請求項1〜6いずれか一項に記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。
- 前記半導体製造設備内に、第二回転型周波数変換装置と、前記第二回転型周波数変換装置を駆動する第二コントローラとが設置され、
前記異常予測制御装置として、さらに、複数の第二振動検出器と、1つの第二制御信号接続ワイヤとを備え、
前記複数の第一振動検出器と前記複数の第二振動検出器との接続数量が、前記多重チャンネル伝送器内に設置された前記複数の信号接続端子の数量より少なく、少なくとも2つの信号接続端子が余り、この余った信号接続端子中の1つは、前記第二制御信号接続ワイヤを介して前記第二コントローラに接続されることを特徴とする請求項8記載の半導体製造設備における異常予測制御装置。 - 半導体製造設備内に、第一回転型周波数変換装置と、前記第一回転型周波数変換装置を駆動する第一コントローラとを配置するステップと、
請求項1〜9いずれか一項に記載の半導体製造設備における異常予測制御装置を設けるステップと、
を含む半導体製造設備における異常予測制御方法であって、
収集した制御信号を時間基準点とし、前記第一回転型周波数変換装置の少なくとも1つの振動部が作動する時の前記複数の第一振動検出器が検出する振動量の二乗平均平方根を計算して異常制御限界を設けることを特徴とする半導体製造設備における異常予測制御方法。
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