CN211292031U - 一种划片机z轴光栅检验装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于检测设备技术领域，公开了一种划片机Z轴光栅检验装置，包括：主体框架、触摸屏、工业控制计算机、设备空开、内部元件和Z轴安装底座；主体框架分为上层框架与下层框架；触摸屏设置在上层框架上，上层框架的内部设置内部元件；设备空开设置在下层框架上，下层框架的内部设置工业控制计算机；内部元件包括：控制卡、步进电机驱动器和开关电源；控制卡与步进电机驱动器分别通过信号线连接待检验Z轴中的步进电机，开关电源通过电线连接待检验Z轴中的步进电机；控制卡、步进电机驱动器、开关电源、触摸屏与工业控制计算机分别通过电线连接设备空开；Z轴安装底座与下层框架固定。

Description

一种划片机Z轴光栅检验装置

技术领域

本实用新型属于检测设备技术领域，特别提供一种划片机Z轴光栅检验装置。

背景技术

划片机是综合水气电及精密传动及自动化控制的精密设备。各个运动轴的定位精度和设备的整体性能息息相关。由于半导体行业的发展，各种芯片的加工要求越来越高，部分产品的切割深度控制已经进入纳米级，因此对加工设备(砂轮划片机)的上下运动轴(即Z轴)的定位精度及重复定位精度提出了极高的要求。

在装配时我们导入了先进的工艺方法。检验时，过去是通过把Z轴部件安装在整机上，在进行配电作业后进行实际检验。这种方法可以得到实际的结果，但是如果出现问题点，不但分析判断故障点难度较大，整体进行返修时，设备拆卸和再安装的工作量也非常大。

因此需要开发一种通过光栅***可以单独对Z轴运动定位精度的检测的设备，来优化并提高检验和生产的效率，加强设备精度数据的把控。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种划片机Z轴光栅检验装置，通过光栅***可以单独对Z轴运动定位精度的检测，化并提高检验和生产的效率，加强设备精度数据的把控。

本实用新型技术方案如下：

本实用新型提供一种划片机Z轴光栅检验装置，包括：主体框架、触摸屏、工业控制计算机、设备空开、内部元件和Z轴安装底座；

主体框架分为上层框架与下层框架；触摸屏设置在上层框架上，上层框架的内部设置内部元件；设备空开设置在下层框架上，下层框架的内部设置工业控制计算机；其中，触摸屏用于进行操作和监控，及数据的分析处理；工业控制计算机中安装有人机对话软件，用来进行对设备运动的控制和运动信号的接收与反馈。

内部元件包括：控制卡、步进电机驱动器和开关电源；控制卡与步进电机驱动器分别通过信号线连接待检验Z轴中步进电机，其中，控制卡用来控制接待检验Z轴中步进电机运动，步进电机驱动器用来驱动接待检验Z 轴中步进电机；开关电源通过电线连接接待检验Z轴中步进电机；开关电源用来给接待检验Z轴中步进电机供电；在划片机Z轴光栅检验装置工作时，还需要使用限位开关来固定Z轴，使用光栅尺读数头获取数据，其中开关电源也用于限位开关与光栅尺读数头的供电；

控制卡、步进电机驱动器、开关电源、触摸屏与工业控制计算机分别通过电线连接设备空开；设备空开为划片机Z轴光栅检验装置总开关；

Z轴安装底座与下层框架固定。

优选的，触摸屏为19英寸。

优选的，开关电源为24V的开关电源。

本实用新型可以自动进行运动并采集数据，可以通过软件对不同的高度或多种高度进行检验和分析；最后得出结果后，程序可以自动分析偏差并得出结论；还可以减少在整机检验时的不合格率，并有效降低了返修率，同时使得运动轴的定位精度的特性数据化，以便后期进行跟踪和统计。

除此之外，应用本工装也可大批量验证不同供应商的不同批次的传动件的精度，通过采集大量数据进行分析处理，为设备精度的稳定性打下基础。

附图说明

图1实用新型提供的划片机Z轴光栅检验装置的第一视角示意图。

图2实用新型提供的划片机Z轴光栅检验装置的第二视角示意图。

附图标记：1-主体框架；2-触摸屏；3-工业控制计算机；4-设备空开； 5-内部元件；51-控制卡；52-步进电机驱动器；53-开关电源；6-Z轴安装底座。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供一种划片机Z轴光栅检验装置，参见图1与图2，包括：主体框架1、触摸屏2、工业控制计算机3、设备空开4、内部元件5和Z 轴安装底座6；

主体框架1分为上层框架与下层框架；触摸屏2设置在上层框架上，上层框架的内部设置内部元件5；设备空开4设置在下层框架上，下层框架的内部设置工业控制计算机3；其中，触摸屏2用于进行操作和监控，及数据的分析处理；工业控制计算机3中安装有人机对话软件，用来进行对设备运动的控制和运动信号的接收与反馈。

内部元件5包括：控制卡51、步进电机驱动器52和开关电源53；控制卡51与步进电机驱动器52分别通过信号线连接待检验Z轴中步进电机，其中，控制卡51用来控制待检验Z轴中步进电机运动，步进电机驱动器52 用来驱动待检验Z轴中步进电机；开关电源53通过电线连接检验Z轴中步进电机；开关电源53用来给检验Z轴中步进电机供电；在划片机Z轴光栅检验装置工作时，还需要使用限位开关来固定Z轴，使用光栅尺读数头获取数据，其中开关电源53也用于限位开关与光栅尺读数头的供电。

控制卡51、步进电机驱动器52、开关电源53、触摸屏2与工业控制计算机3分别通过电线连接设备空开4；设备空开为划片机Z轴光栅检验装置总开关；

Z轴安装底座6与下层框架固定。

优选的，触摸屏2为19英寸。

优选的，开关电源53为24V的开关电源。

本实用新型未尽事宜为公知技术。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种划片机Z轴光栅检验装置，其特征在于，包括：主体框架(1)、触摸屏(2)、工业控制计算机(3)、设备空开(4)、内部元件(5)和Z轴安装底座(6)；

主体框架(1)分为上层框架与下层框架；触摸屏(2)设置在上层框架上，上层框架的内部设置内部元件(5)；设备空开(4)设置在下层框架上，下层框架的内部设置工业控制计算机(3)；

内部元件(5)包括：控制卡(51)、步进电机驱动器(52)和开关电源(53)；控制卡(51)与步进电机驱动器(52)分别通过信号线连接待检验Z轴中的步进电机，开关电源(53)通过电线连接待检验Z轴中的步进电机；

控制卡(51)、步进电机驱动器(52)、开关电源(53)、触摸屏(2)与工业控制计算机(3)分别通过电线连接设备空开(4)；

Z轴安装底座(6)与下层框架固定。

2.按照权利要求1所述的划片机Z轴光栅检验装置，其特征在于：触摸屏(2)为19英寸。

3.按照权利要求1所述的划片机Z轴光栅检验装置，其特征在于：开关电源(53)为24V的开关电源。

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