JP5350216B2 - 加工品の測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
(a)表面検知装置が追跡するであろう所望の測定プロフィールを表面上に決定するステップと、
(b)表面検知装置の向きの所望の動きを決定するステップであって、向きは、表面検知装置がステップ(a)の測定プロフィールをたどるときに表面に対して変化する、ステップと、
(c)表面検知装置が測定プロフィールに沿った軌跡を指示するように、座標位置決め装置の部材と表面との間の相対的な動作の必要とされる経路を導き出すために、ステップ(a)および(b)で求められたデータを使用するステップと、
を含む。
(a)表面検知装置がたどるであろう所望の測定プロフィールを前記表面上に決定するステップと、
(b)表面検知装置の向きの所望の動きを決定するステップであって、向きは、表面検知装置がステップ(a)の測定プロフィールをたどるときに表面に対して変化する、ステップと、
(c)表面検知装置が測定プロフィールに沿った軌跡を指示するように、座標位置決め装置の部材と表面との間の相対的な動作の必要とされる経路を導き出すためにステップ(a)および(b)で決定されたデータを使用するステップと、
を実行するためのコンピュータを備える。
θ=θs+(δL/L)θp [1]
θ=sinωt [2]
φ=cosωt [3]
Claims (21)
- 座標位置決め装置の部材上の走査ヘッドに搭載された表面検知装置を使用して表面を測定する方法であって、前記座標位置決め装置は、前記走査ヘッドと表面プロフィールとの間の相対的な移動を生じさせるように動作することができ、前記走査ヘッドは、1つまたは複数の軸の周りに表面検知装置の回転移動を生じさせるための駆動部を含む方法において、
(a)前記表面検知装置が追跡するであろう所望の測定プロフィールを前記表面上に決定するステップと、
(b)前記表面検知装置の向きの所望の動きを決定するステップであって、前記向きは、前記表面検知装置がステップ(a)の測定プロフィールをたどるときに前記表面に対して変化する、ステップと、
(c)前記表面検知装置が前記測定プロフィールに沿った軌跡を指示するように、前記座標位置決め装置の前記部材と前記表面との間の相対的な動作の必要とされる経路を導き出すために、ステップ(a)および(b)で求められたデータを使用するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記表面検知装置の前記測定プロフィールは線形であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記表面検知装置の前記測定プロフィールは非線形であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- ステップ(b)での前記向きの動きは、前記測定プロフィールに沿った前記表面検知装置の動作中の前記向きを決定する関数を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- ステップ(b)での前記向きの動きは、前記測定プロフィールに沿った別々の点、およびそれらの間に内挿される点における前記向きを定めることによって、決定されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- ステップ(b)での前記向きの動きは、前記向きが前記表面垂直に対して変化するものであることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- ステップ(b)での前記向きは、前記表面検知装置が前記ヘッドの後をたどるか、前記ヘッドの前で押されるか、あるいは前記表面垂直と位置合わせされるように、前記表面検知装置を位置決めすべく選ばれることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 1つのタイプの向きから別のタイプの向きへの過渡期が存在することを特徴とする請求項7に記載の方法。
- ステップ(a)での前記測定プロフィール、およびステップ(b)での前記向きの前記動きは、前記座標位置決め装置の前記部材と前記表面との間の所望の相対的な動作を与えるように、選ばれることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- ステップ(a)の前記測定プロフィールは、前記表面プロフィール上に2つ以上の別々の測定点を定めることによって決定されることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- ステップ(a)の前記測定プロフィールは、関数により定められることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1つの軸での動作は、測定プロフィールの一部において凍結することができることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の方法。
- 前記走査ヘッドの動作は、前記測定プロフィールの一部において凍結されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記位置決め装置の動作は、前記測定プロフィールの一部において凍結されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 表面を測定するためにステップ(a)、(b)および(c)からのデータを使用するステップを含むことを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1つの軸の周りでの前記走査ヘッドの回転移動は、前記表面検知装置をその測定範囲内に維持するために使用されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記走査ヘッドは、前記表面検知装置をその測定範囲内に維持するために、目標ベクトルに沿ってサーボ制御されることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記座標位置決め装置の前記部材と前記表面との間の相対的な動作は、前記表面検知装置が前記表面の所望の平面に沿って追跡することを維持するために使用されることを特徴とする請求項15から17のいずれかに記載の方法。
- 座標位置決め装置の部材上の走査ヘッドに搭載された表面検知装置のための測定経路をプログラミングするためのコンピュータプログラムであって、前記座標位置決め装置は、前記走査ヘッドと前記表面プロフィールとの間の相対的な移動を生じさせるように動作することができ、前記走査ヘッドは、1つまたは複数の軸の周りに表面検知装置の回転移動を生じさせるための駆動部を含むコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータ上で実行されたときに、請求項1から18のいずれかに記載の方法を実行するようになされたコードを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。 - 座標位置決め装置の部材上の走査ヘッドに搭載された表面検知装置を使用して、表面プロフィールを測定するための装置であって、前記座標位置決め装置は、前記走査ヘッドと前記表面プロフィールとの間の相対的な移動を生じさせるように動作することができ、前記走査ヘッドは、1つまたは複数の軸の周りに表面検知装置の回転移動を生じさせるための駆動部を含む装置において、
(a)前記表面検知装置がたどるであろう所望の測定プロフィールを前記表面上に決定するステップと、
(b)前記表面検知装置の向きの所望の動きを決定するステップであって、前記向きは、前記表面検知装置がステップ(a)の測定プロフィールをたどるときに前記表面に対して変化する、ステップと、
(c)前記表面検知装置が前記測定プロフィールに沿った軌跡を指示するように、前記座標位置決め装置の前記部材と前記表面との間の相対的な動作の必要とされる経路を導き出すために、ステップ(a)および(b)で求められたデータを使用するステップと、
を実行するためのコンピュータを備えることを特徴とする装置。 - 前記コンピュータは、表面を測定するためにステップ(a)、(b)および(c)からのデータを使用するステップを実行するものであることを特徴とする請求項20に記載の装置。
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