JP5347969B2 - ガラス板の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献2に記載の方法は、高強度のレーザ光線などをガラス板に照射するため、光線照射によるガラス板への影響が問題となる。
したがって、特許文献2に記載の方法を実施する際には、上記したガラス板の表面の***形状、またはガラス板の内部における局所的な残留応力若しくは複屈折性といった問題が発生しないように、またはできるだけ軽微になるように、光線の照射条件(光源の強度、波長、照射時間、照射部位等)を選択する必要がある。
さらに、ガラス板の表面に生じた***形状は、ガラス板の表面を研磨することによって除去する必要がある。一方、光線を集光させた部位におけるガラスの密度変化や網目構造の変化は、光線照射後のガラス板を電気炉などで徐々に加熱し、その後徐冷することで解消する必要がある。
すなわち、本発明は、泡を含むガラス板をそのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sとなる温度に加熱し、該加熱温度下において、前記ガラス板に対する吸収率が30%以上となる波長のレーザ光線を前記ガラス板中の泡に照射して該泡を縮小ないし消失させることを特徴とするガラス板の製造方法を提供する。
d2≦D≦4d1
(式中、d1およびd2は、それぞれ前記泡を前記ガラス板表面の法線方向に投影した形状における最大径および最小径を表す。)
さらに、上記発明において、前記レーザ光線の照射後において、前記ガラス板に存在する泡の最大径は350μm未満であることが好ましい。
すなわち、本発明は、溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程とガラスリボンを冷却する冷却工程と冷却されたガラスリボンを切断してガラス板とする切断工程とを含むガラス板の製造方法であって、ガラスリボンのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度域において、ガラスリボンに対する吸収率が30%以上となる波長域のレーザ光線を、ガラスリボン中の泡に照射して、該泡を縮小ないし消失させる工程を備えた、ガラス板の製造方法も提供する。
前記ガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度域は、ガラスリボンのガラスの歪点以上かつ軟化点以下の温度域であることが好ましい。また、前記ガラスリボンの表面における前記レーザ光線の最大径Dは、下記式を満たすことが好ましい。
(式中、d1およびd2は、それぞれ前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最大径および最小径を表す。)
さらに上記Dは下記式を満たすことがより好ましい。
d1≦D≦2d1
(式中、d1は、前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最大径を表す。)
また、前記ガラスリボン表面における前記レーザ光線の中心軸と前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状の中心軸との距離Eは、下記式を満たすことが好ましい。
(式中、d2は、前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最小径を表す。また、前記形状の中心軸とは、前記形状内のある点を通る任意の直交軸に対して、断面2次モーメントがともにゼロとなる軸を表す。)
前記レーザ光線の波長は、10〜360nm若しくは2700〜10600nmであることが好ましく、また、前記レーザ光線照射位置のガラスリボンの厚さは0.05〜25mmであることが好ましい。
また、前記レーザ光線の照射後において、前記ガラスリボン中の泡の最大径が350μm未満であることが好ましく、さらに、ガラスリボンの表面から深さ10μmの範囲内に最大径80μm以上の泡が実質的に存在しないことが好ましい。
また、本発明の方法によれば、白抜けが低減された、視認性に優れたディスプレイ基板用ガラス板を得ることができる。
本発明の方法では、ガラス板またはガラスリボンに対して、そのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度下でレーザ光線を照射するため、レーザ光線の照射によって、ガラス板やガラスリボンの表面に局所的な***形状が発生したり、ガラス内部に局所的な残留応力や複屈折性が発現したりする恐れがない。
さらに、本発明のガラスリボンに対してレーザ光線を照射してガラス板を製造する方法では、ガラスリボンに対する吸収率が30%以上のレーザ光線を泡に向けて照射することのみで、レーザ光線照射による泡縮小作用、若しくは、レーザ光線照射による泡浮上作用により、ディスプレイ基板用ガラス板、特にフラットパネルディスプレイ基板用ガラス板、若しくは、フォトマスク用のガラス板としての使用上問題となる泡が存在しない状態にすることができる。このため、背景技術として前述した従来の方法に比べて工数が少なくてすみ、かつ操作が容易である。
10:ガラス板(ガラスリボン)
ガラス板やガラスリボンに対する吸収率が30%以上となる波長のレーザ光線は、泡の周囲近傍のガラスを効率的に加熱して溶融するために使用される。吸収率が低すぎるとガラスを透過する光線の割合が高くなり泡の周囲のガラスを効率的に加熱できない。また、レーザ光線は泡の周囲近傍のガラスを加熱して溶融するために充分な強度を有する必要がある。泡の周囲近傍のガラスを溶融するために必要なレーザ光線の強度は、吸収率以外に、泡の位置(照射された表面からの距離)や泡の大きさ、レーザ光線の断面積の大きさ、照射時間などによっても左右されると考えられ、それらを考慮して光源のレーザ光線強度が決められる。本発明においては、レーザ光線の照射時にガラス板やガラスリボンの温度が歪点以上にあることより、前記特許文献2に記載の発明に比較して、レーザ光線によって与えるエネルギー量が少なくてすみ、より小さい強度で短時間に泡の周囲近傍のガラスを溶融することができる。
より好ましくは、d2≦D≦2d1
本発明の製造方法によれば、本発明により得られるガラス板(レーザ光線の照射後のガラスリボンから切り出されたガラス板も意味する)中に存在する泡の最大径を所望の大きさ以下に縮小することができる。ディスプレイ基板として使用されるガラス板の場合、レーザ光線照射後の泡の最大径は350μm未満に縮小することが好ましく、200μm未満に縮小することがより好ましく、100μm未満に縮小されることがさらに好ましい。より高精細の表示装置およびパソコン用のモニター用のガラス板の場合には、許容できる泡が前記のさらに好ましい範囲となることが望ましい。フォトマスクとして使用されるガラス板の場合、内部に存在する泡の最大径は50μm以下に縮小されることが好ましく、20μm以下に縮小されることがより好ましい。
ガラスリボン照射法における本発明のガラス板の製造方法は、溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程とガラスリボンを冷却する冷却工程と冷却されたガラスリボンを切断してガラス板とする切断工程とを含むガラス板の製造方法において、ガラスリボンのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度域にあるガラスリボン中の泡に前記レーザ光線を照射して、該泡を縮小ないし消失させる、ガラス板の製造方法である。この方法は、前記温度域にあるガラスリボン中の泡に前記レーザ光線を照射する点を除いて、通常のガラス板の製造方法と特に異なるものではない。通常のガラス板の製造方法と同様に、上記成形工程の前には、一般的な手順として、ガラス原料を加熱溶解させて溶融ガラスとする溶解工程、及び、溶融ガラス中の泡を揮発等により除去する清澄工程を通常有する。
d1/d2=1.5〜10
この関係から明らかなように、ガラスリボン10の内部に存在する泡1の径で問題となるのは、泡1の最大径、すなわち略楕円形状をした泡1の長径d1である。なお、フュージョン法もしくはダウンドロー法といった他の成形方法で成形されたガラスリボンにおいても、ガラスリボンの内部に存在する泡は、成形時にガラスリボンの長さ方向に引き伸ばされて略楕円形状になることが多い。
第1の原理として、ガラスリボン10に存在する泡1に向けてレーザ光線を照射すると、泡1近傍のガラス、より具体的には、泡1との境界面付近のガラスが加熱されることによって、泡1との境界面付近のガラスが流動性を持つようになる。この際、泡1の界面における圧力が均一になるように、泡1の形状が略楕円形状から球状に変化する。この結果、泡1の形状が球状に変化することによって、泡1の最大径が略楕円形状時に比べて縮小される。
より高精細の表示装置およびパソコン用のモニター用のガラスリボン10の場合には、許容できる泡が前記のさらに好ましい範囲となることが望ましい。フォトマスクとして使用されるガラスリボン10の場合、内部に存在する泡1の最大径は50μm以下に縮小されることが好ましく、20μm以下に縮小されることがより好ましい。
泡1がガラスリボン10の下表面付近に存在する場合、レーザ光線をガラスリボン10の上表面側から照射することによって、泡1近傍、特に、泡1に対して上方のガラスが加熱され流動性を持つようになる。これによって、泡1が上方へと浮上し、ガラスリボン10の内部へと移動する。
したがって、液晶ディスプレイ基板用のガラス板は、表面に最大径が80μm以上の開口泡が存在してはならない。しかも、液晶ディスプレイ基板用のガラス板は、表面に存在する欠点を除去するため、表面がエッチング処理される場合があり、製造段階には表面に開口泡が存在しない場合であっても、表面付近に最大径が80μm以上の泡が存在すると、エッチング処理によってガラス板の表面に最大径が80μm以上の開口泡が生じる場合がある。このため、液晶ディスプレイ基板用のガラス板は、表面から深さ10μmの範囲には、最大径が80μm以上の泡が存在してはならない。
また、本発明の方法においては、レーザ光線の波長の前記2つの領域のうち高い方の領域での上限値は、CO2レーザの波長である10600nmが好ましい。
レーザ光線が照射されるガラスの歪点および軟化点は、ガラスの組成によって異なるので、ガラス組成に応じて、レーザ光線を照射する温度域を適宜選択する必要がある。具体的には、例えば、あるソーダライムガラスでは歪点および軟化点がそれぞれ510℃および729℃である。あるプラズマディスプレイ基板用ガラスでは歪点および軟化点がそれぞれ570℃および830℃である。ある無アルカリガラスでは歪点および軟化点がそれぞれ670℃および950℃である。これらの温度は、各対象ガラスのガラス組成の違いによって当然ながら変動する。本発明におけるガラスとしては、歪点が450〜750℃、軟化点が650〜1100℃で、両者の差が150℃以上のガラスが好ましい。特に、歪点が500〜700℃、軟化点が700〜1000℃で、両者の差が200〜350℃のガラスが好ましい。
冷却工程では、ガラスリボンに成形されたガラスは、徐冷窯へと搬送され、該徐冷窯内を移動しながら徐冷される。したがって、本発明の方法では、ガラスリボン中に存在する泡にレーザ光線を照射する場合、徐冷窯へと移動する途中のガラスリボン中の泡に向けて、または、徐冷窯内を移動するガラスリボン中の泡に向けて、レーザ光線を照射することになる。すなわち、ガラスリボン中の泡に向けてレーザ光線を照射するためには、ガラスリボンの移動方向に沿ってレーザ光線を走査する必要がある。したがって、静止したガラス板中の泡にレーザ光線を照射する場合に比べると、泡に向けてレーザ光線を照射する操作が複雑になる。しかし、仮に流動している溶融ガラス中の泡にレーザ光線を照射する場合と比較すると、レーザ光線を照射する操作は容易である。上流から下流へと一定方向に流動している溶融ガラスの場合は、その溶融ガラスの流動に加えて、溶融ガラス内部で泡の位置が変化することにより、泡に向けてレーザ光線を照射する操作がさらに複雑になる。
本発明の方法では溶融ガラスを成形した後の実質的に流動性がない状態のガラスリボンにレーザ光線を照射することより、そのようなおそれは生じない。
d2≦D≦4d1 (1)
より好ましくは、d2≦D≦2d1
ガラスリボン10の表面におけるレーザ光線の最大径Dが上記式を満たすレーザ光線を照射することにより、泡1およびその近傍のガラスがレーザ光線を吸収し、レーザ光線照射による泡縮小作用、または、レーザ光線照射による泡浮上作用が好ましく発揮される。
d1≦D≦2d1 (2)
本発明の方法では、ガラスリボン10の表面(照射面)におけるレーザ光線の中心軸と、泡をガラスリボン10の表面(照射面)の法線方向に投影した形状の中心軸と、の距離Eが、下記式(3)を満たすことが好ましい。
レーザ光線と、ガラスリボンに存在する泡と、が上記式で示される関係を満たしていれば、泡1およびその近傍のガラスがレーザ光線を吸収し、レーザ光線照射による泡縮小作用、または、レーザ光線照射による泡浮上作用が好ましく発揮される。
本発明の方法で用いるレーザ光線は、ガラスリボンに対する吸収率が30%以上となる波長域のレーザ光線である限り特に限定されない。レーザ光源としては、CO2レーザ、YAGレーザ、エキシマレーザ、およびYVO4レーザといった公知のレーザ光源を用いることができる。これらのレーザ光源は単独で使用してもよいし、複数のレーザ光源を組み合わせて使用してもよい。但し、一般的に広く使用されており、かつ高強度の光源が得られることから、CO2レーザ、YAGレーザ、またはエキシマレーザが好ましい。
エキシマレーザでは、発振波長157、193、248、308、351nmの光線が一般的である。この波長領域であれば、ガラスリボンの厚さに応じて吸収率が変化するが、ほぼすべてのガラス組成の前記した厚さのガラスリボンに対して吸収率が30%以上となる。
但し、発振波長とガラスリボンの組成との関係によっては、ガラスリボンに対する吸収率が低く、30%未満となる場合もある。したがって、ガラスリボンに対する吸収率が30%以上となるように、ガラスリボンの組成に応じて、レーザ光の発振波長を適宜選択する必要がある。
但し、極端に高強度の光源を使用した場合、ガラスの変質や蒸発が発生する恐れや、ガラスリボン表面に***形状が発生する恐れや、ガラスリボン内部に局所的な残留応力若しくは複屈折性が発生する恐れがある。
一般に、照射部位、例えば、ガラスリボン表面(照射面)におけるレーザ光線の形状は円形であるが、略楕円形状をした泡に合わせた断面形状のレーザ光線を照射してもよい。例えば、照射部位におけるレーザ光線の形状が楕円形状になるように、楕円形状のレンズを用いてレーザ光線を照射してもよい。また、ダイクロックミラー等の光学系を利用して、照射部位におけるレーザ光線の形状が楕円形状をなすようにレーザ光線を走査してもよい。さらに、照射部位における全体形状が楕円形状をなすように、複数のレーザ光線を照射してもよい。
内部に泡が存在するガラス板を用意した。ガラス板は、3cm×3cmの液晶ディスプレイ用ガラス基板(商品名AN100、旭硝子株式会社製、歪点670℃、軟化点950℃)であり、厚みは0.7mmであった。このガラス板中にある泡は、略楕円形をしており、最大径が400μmであった。このガラス板を加熱炉に入れて、ガラス板の温度を800℃にした後、このガラス板中の泡に向けて、CO2レーザ光源から以下の条件で照射した。
光線形態: 連続発振光(CW光)
ガラス板表面における光線の最大径: 1.4mm
平均出力: 5W
照射時間: 10秒
照射後の泡の最大径は、当初の400μmから200μm程度に縮小する。また、ガラス板上の照射領域の近傍およびその周辺を目で確認すると、ガラス板表面の形状の変化、屈折率の変化などは確認できない。
本出願は、2007年11月8日出願の日本特許出願2007−290652に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
Claims (15)
- 泡を含むガラス板をそのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sとなる温度に加熱し、該加熱温度下において、前記ガラス板に対する吸収率が30%以上となる波長のレーザ光線を前記ガラス板中の泡に照射して該泡を縮小ないし消失させることを特徴とするガラス板の製造方法。
- 前記ガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sとなる温度が、ガラスの歪点以上かつ軟化点以下の温度である、請求項1に記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板の表面における前記レーザ光線の最大径Dが、下記式を満たす請求項1または2に記載のガラス板の製造方法。
d2≦D≦4d1
(式中、d1およびd2は、それぞれ前記泡を前記ガラス板表面の法線方向に投影した形状における最大径および最小径を表す。) - 前記レーザ光線の照射後において、前記ガラス板に存在する泡の最大径が350μm未満である請求項1〜3のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
- 溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程とガラスリボンを冷却する冷却工程と冷却されたガラスリボンを切断してガラス板とする切断工程とを含むガラス板の製造方法であって、
ガラスリボンのガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度域において、ガラスリボンに対する吸収率が30%以上となる波長域のレーザ光線を、ガラスリボン中の泡に照射して、該泡を縮小ないし消失させる工程を備えた、ガラス板の製造方法。 - 前記ガラスの粘度が107〜1014.5dPa・sである温度域が、ガラスリボンのガラスの歪点以上かつ軟化点以下の温度域である、請求項5に記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラスリボンの表面における前記レーザ光線の最大径Dが、下記式を満たす請求項5または6に記載のガラス板の製造方法。
d2≦D≦4d1
(式中、d1およびd2は、それぞれ前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最大径および最小径を表す。) - 前記ガラスリボンの表面における前記レーザ光線の最大径Dが、下記式を満たす請求項5または6に記載のガラス板の製造方法。
d1≦D≦2d1
(式中、d1は、前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最大径を表す。) - 前記ガラスリボン表面における前記レーザ光線の中心軸と、前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状の中心軸と、の距離Eが、下記式を満たす請求項5〜8のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
0≦E≦d2/2
(式中、d2は、前記泡を前記ガラスリボン表面の法線方向に投影した形状における最小径を表す。また、前記形状の中心軸とは、前記形状内のある点を通る任意の直交軸に対して、断面2次モーメントがともにゼロとなる軸を表す。) - 前記レーザ光線の波長が、10〜360nm若しくは2700〜10600nmである請求項5〜9のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記レーザ光線照射位置のガラスリボンの厚さが0.05〜25mmである請求項5〜10のいずれかに記載のガラス板製造方法。
- ガラスリボン中の泡を検出する手順を有し、該手順で検出された泡にレーザ光線を照射する請求項5〜11のいずれかに記載のガラス板製造方法。
- 前記レーザ光線の照射後において、前記ガラスリボン中の泡の最大径が350μm未満である請求項5〜12のいずれかに記載のガラス板製造方法。
- 前記レーザ光線の照射後において、ガラスリボンの表面から深さ10μmの範囲内に最大径80μm以上の泡が実質的に存在しない請求項5〜13のいずれかに記載のガラス板製造方法。
- 前記レーザ光線の光源が、CO2レーザ、YAGレーザ、エキシマレーザ、及びYVO4レーザからなる群から選択される少なくとも一つである請求項5〜14のいずれかに記載のガラス板製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0616440A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Sharp Corp | 透明板表面の欠陥修正方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0616440A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Sharp Corp | 透明板表面の欠陥修正方法 |
JP2003012346A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Central Glass Co Ltd | 板ガラスの着色方法 |
JP2004035333A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガラス材料の加工方法 |
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