JP5347466B2 - 教示治具によって教示する基板搬送用マニピュレータ - Google Patents
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Description
このように、従来の教示治具では、マニピュレータ本体(ボディ)と教示治具の間で、光ファイバやケーブルが直接接続されている。
また、光ファイバやケーブルがアームに引っかからなくともアームとの擦れによって断線する恐れがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、マニピュレータハンドに教示治具を搭載して教示するマニピュレータにおいて、マニピュレータが動作しても、教示治具からマニピュレータへ接続される光ファイバやケーブルが周辺装置に引っかからず、適切な教示が出来る装置を提供することを目的とする
本発明は、基板あるいは教示治具を保持可能なハンドをそれぞれ有する第1のアーム部および第2のアーム部を備え、前記教示治具を保持した状態の前記ハンドで検出対象物を検出して各々のアーム部の教示を行なう基板搬送用マニピュレータにおいて、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部は、複数のアームが互いに水平方向に回転可能に接続された水平多関節型アームであり、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部の先端にそれぞれ回転可能に支持され、前記ハンドを固定する各ハンド基端部の同じ側の側面にコネクタ接続部が設けられ、検出対象物を検出するセンサおよび該センサのアンプが搭載された前記教示治具の前記アンプから導出された教示治具用信号伝達ケーブルの端部に、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部のそれぞれの前記コネクタ接続部に接続可能なコネクタが設けられ、前記教示治具用信号伝達ケーブルは、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部において前記コネクタ接続部からアーム内を通って前記第1のアーム部および前記第2のアーム部を上部において支持する基部へ案内され、前記基部の前記上部付近に設けられた信号接続部において前記アンプへの電源線を含む同じ信号線が接続されて1本となってコントローラへ接続されることを特徴とする基板搬送用マニピュレータとするものである。
また、本発明は、前記コネクタ接続部は、前記ハンド基端部の側面に設けられて前記コネクタが水平方向から挿抜可能であることを特徴とするものである。
また、本発明は、前記教示治具用信号伝達ケーブルを光ファイバとし、前記コネクタおよび前記コネクタ接続部を光コネクタとしたことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記ハンド基端部が、前記アーム部の先端に複数設けられ、前記複数のハンド基端部が互いに同軸に水平方向に回転可能に支持されることを特徴とするものである。
また、本発明は、請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板搬送用マニピュレータを搭載したことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
図において、マニピュレータ21は、昇降部28と旋回部27とアーム部24から概ね構成され、図示省略した半導体製造装置の架台に固定されて半導体製造に用いる基板を、予め教示された位置間で搬送する基板搬送装置である。本実施例の場合、アーム部24は、上アーム24aと下アーム24bの2つのアームを備えたダブルアームのマニピュレータとなっている。
昇降部28は上下方向のZ軸に沿った自由度をもち、昇降部28内に配置された図示しない昇降機構によってアーム部24と旋回部27を昇降動作させる。旋回部27は図示しない旋回機構を収容し、本実施例の場合Z軸と同軸のS軸で旋回可能で、アーム部24を旋回動作させる。アーム部24は旋回部27内あるいはアーム部内に配置された図示しないアーム駆動機構によって、上アーム24a、下アーム24bそれぞれ個別に水平なX軸に沿って進退動作が可能である。X軸はS軸と直角な水平方向の軸である。上アーム24a、下アーム24bのそれぞれは、複数のアームを有し、本実施例の場合、旋回部27に基端が旋回可能に接続された第1アーム241と、第1アーム241の先端上に基端が旋回可能に接続された第2アーム242とから構成されている。上下アームそれぞれの第1アーム241と第2アーム242は、旋回部27の上面に対してそれぞれ同じ高さになるよう設置されている。そして、第2アーム242の先端上に、後述するハンド基端部251の基端が旋回可能に接続されていて、ハンド基端部251の先端に基板を保持可能なハンド25が固定されている。ハンド基端部251の基端側の形状は上下アームそれぞれで異なっており、上アーム24aのハンド基端部251の基端側の形状は、下アーム24bのハンド基端部よりも高い位置でハンド25を固定するような形状となっている。そして、上下アームのそれぞれのハンド25は上から見たときに一致するX軸の軌跡を通るように保持されている。ハンド25は基板を保持可能であり、かつ後述する教示治具を保持可能に形成されている。
以上で構成されるマニピュレータ21は、予め教示されたデータを再生しながら動作し、ハンド25の位置、角度が制御される。
図1は、本発明の教示治具210をハンド部25に装着した状態の基板搬送用マニピュレータの斜視図であり、マニピュレータの待機時の姿勢を示したものである。図1は図2と同じ方向から見た斜視図である。
また、図3は上アーム24aのハンド25をX軸方向に伸長動作させて上アーム24aを教示しているときのマニピュレータの姿勢を示したものである。
また、図4は、アーム部24内での教示治具用信号伝達ケーブルの這い回しを示した側断面図である。
また、図5は下アーム24bのハンド25をX軸方向に伸長動作させて下アーム24bを教示しているときのマニピュレータの姿勢を示したものである。
教示治具210は、ハンド25上の基板が搭載される位置に、基板が保持されるときと同様に保持される。教示治具210は、本実施例の場合、アーム部24が上アーム24aと下アーム24bのダブルアームで構成されているが、そのいずれのアームのハンドにも搭載可能な形状となっている。教示治具210は、教示したい位置に設置した検出対象物2101を検出するセンサ2102を搭載している。図3や図5のように教示治具210をハンド25に搭載した状態でアーム部24を伸長させ、対象物2101を教示治具210上のセンサ2102で検出することによって、そのときのアーム部、旋回部、昇降部の位置と姿勢を記憶し、これを教示位置とする。センサ2102は、本実施例の場合、透過型のセンサを示しているが、光ファイバ式のセンサや反射型のセンサであってもよい。
本発明では、教示治具210から導出されるこの教示治具用信号伝達ケーブル221を、ハンド25の基端部であるハンド基端部251に到達できる程度の長さとし、その端部にコネクタ26を設けている。ハンド基端部251は、最も基端側が第2アーム242に対して旋回可能に取り付けられている部分であって、教示治具210や基板が搭載される薄板状のハンド25を固定支持する部分である。そして、コネクタ26を接続可能なコネクタ接続部261がハンド基端部251の側面に設けられていて、コネクタ26がコネクタ接続部261に接続されている。ここで、コネクタ接続部261は、複数のアームからなるアーム部24の姿勢に影響がなく、また、教示治具210との相対的位置関係が変動しないハンド基端部251に設け、かつコネクタ26が水平方向となるような位置に備え付ける。コネクタ26が水平方向となるように取り付けるのは、教示の際、ハンド25が高さ方向に低い搬送位置に到達することを妨げないようにするためである。
さらに本実施例の場合、アーム部24が上アーム24aと下アーム24bのダブルアームで構成されているので、これら各アームにおけるハンド基端部251のコネクタ接続部261は、これらが同じ側面側になるように設けられている。同じ側面側にコネクタ接続部261が配置されることにより、アンプ2103からコネクタ26までの部分の教示治具信号伝達ケーブル211は、必要最小限の長さで双方のコネクタ接続部に到達できる。
さらに本実施例のように、アーム部24が上アーム24aと下アーム24bのダブルアームで構成されている場合は、それぞれの教示治具信号伝達ケーブル211が旋回部27へ導入された位置で、つまり旋回部27の上部付近の信号接続部2111で、これらのケーブル211における同一の信号線が1つになるよう接続される。つまり、例えば電源の+24V同士が接続される。本実施例のようにダブルアームのような構成でハンド25が複数あっても教示治具210は共通で使用して各アームごとに教示するので、ケーブルの各信号をここで接続しても問題は無く、マニピュレータの基部側でケーブルを1本にすることで、昇降部や旋回部による動作でケーブルが断線する確率を下げるようにしている。
その後、教示治具信号伝達ケーブル211は昇降部28の図示しないケーブルガイドに導入され、マニピュレータ基部の図示しない箇所で再びコネクタ等を介してマニピュレータのコントローラに接続されるようになっている。
また、コネクタを水平面上に配置することで、ケーブル211の高さ方向の出っ張りを押さえ、装置やハンドとの干渉を防止した上でコンパクトなケーブル処理が可能となる。
また、本実施例ではいわゆる水平多関節のアーム部を備えたマニピュレータを説明したが、ハンド基端部に教示治具からのケーブルを中継するコネクタ接続部を備えてケーブルをアーム部に収納することは、アーム部がリニアガイドを使った直動タイプのものに適用することもできる。
また、本実施例ではいわゆる水平多関節のアーム部であって、1つのアームの先端に1つのハンドを有するマニピュレータを説明したが、1つのアームの先端に2つのハンド基端部を同軸に重ねるように配置して、それぞれのハンド基端部にハンドを有するものにも本発明は適用することができる。この場合、さらに本実施例のようにダブルアームになるよう構成すると、左右のアームでそれぞれ2つのハンドを有するため、計4つのハンドとハンド基端部とを有することになり、計4つのハンド基端部のそれぞれに教示治具からのケーブルを中継するコネクタ接続部を設けることになる。
24 アーム部
25 ハンド
251 ハンド基端部
26 コネクタ
261 コネクタ接続部
27 旋回部
28 昇降部
210 教示治具
211 教示治具用信号伝達ケーブル
2111 信号接続部
111 スイッチ
112 ボックス
24a 上アーム
24b 下アーム
241 第1アーム
242 第2アーム
2101 検出対象物
2102 センサ
2103 アンプ
Claims (5)
- 基板あるいは教示治具を保持可能なハンドをそれぞれ有する第1のアーム部および第2のアーム部を備え、前記教示治具を保持した状態の前記ハンドで検出対象物を検出して各々のアーム部の教示を行なう基板搬送用マニピュレータにおいて、
前記第1のアーム部および前記第2のアーム部は、複数のアームが互いに水平方向に回転可能に接続された水平多関節型アームであり、
前記第1のアーム部および前記第2のアーム部の先端にそれぞれ回転可能に支持され、前記ハンドを固定する各ハンド基端部の同じ側の側面にコネクタ接続部が設けられ、
検出対象物を検出するセンサおよび該センサのアンプが搭載された前記教示治具の前記アンプから導出された教示治具用信号伝達ケーブルの端部に、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部のそれぞれの前記コネクタ接続部に接続可能なコネクタが設けられ、
前記教示治具用信号伝達ケーブルは、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部において前記コネクタ接続部からアーム内を通って前記第1のアーム部および前記第2のアーム部を上部において支持する基部へ案内され、前記基部の前記上部付近に設けられた信号接続部において前記アンプへの電源線を含む同じ信号線が接続されて1本となってコントローラへ接続されることを特徴とする基板搬送用マニピュレータ。 - 前記コネクタ接続部は、前記コネクタが水平方向から挿抜可能であることを特徴とする請求項1記載の基板搬送用マニピュレータ。
- 前記教示治具用信号伝達ケーブルを光ファイバとし、前記コネクタおよび前記コネクタ接続部を光コネクタとしたことを特徴とする請求項1または2記載の基板搬送用マニピュレータ。
- 前記ハンド基端部が、前記第1のアーム部および前記第2のアーム部の先端にそれぞれ複数設けられ、前記複数のハンド基端部が互いに同軸に水平方向に回転可能に支持されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板搬送用マニピュレータ。
- 請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板搬送用マニピュレータを搭載したことを特徴とする半導体製造装置。
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